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摘要 ^Q_0Zq^H /T*]RO4%>] 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 jX{lo \9BIRY`
TM':G9n D058=}^HE 本用例展示了...... T ~t%3G
•如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: UeT"v?zP - 矩形光栅界面 _B|g)Rdv - 过渡点列表界面 @*l}2W - 锯齿光栅界面 U07n7`2w - 正弦光栅界面 ]?Ru~N} •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 I#f<YbzD 1}!f.cWV( 光栅工具箱初始化 BZx#@356N •初始化 58MBG&a% - 开始
*Qg/W?"m 光栅 I\DT(9
'E 通用光栅光路图 4aZsz,= •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, TZZqV8 可直接选择特定的光路图。 J2H8r 'T Md_\9G .e
diqG8KaK q@u$I'`Bs 光栅结构设置 +]|J •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 jvm
"7)h
4(YKwY2_L •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 OY`G _=6!N •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 !cE)LG ({zp$P}
'J<KL#og <<&:BK •例如,选择第一个界面上的堆栈。 "Rs^0iT7> M* QqiE 堆栈编辑器 Khw!+!(H •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 &2#x(v •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 P/Sv^d5=e G m<t2Csn
#\4uu 4y21v|(9 矩形光栅界面 ]Wv\$JXI FQ(=Fnqn •一种可能的界面是矩形光栅界面。 Cg21-G. •此类界面适用于简单二元结构的配置。 S)$ES6]9/ •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 |TEf? <"c •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 m=NX;t •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 ";",r^vr\ rMf& HX
3r^i>r8B rmR7^Ycv/ 矩形光栅界面 $o1Gxz •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 r"U$udwjg •所选界面在视图中以红色突出显示。 U#,2et6
@ZK|k •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 g4j?E{M? •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 d%4!d_I< a*S4rq@ •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 WGVvBX7# •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 ga~rllm;i •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 &Cdk%@Tj]B ]eP&r?B S4`uNB#Ht LfrS:g
\\x``* M.!U;U<? 矩形光栅界面参数
+<AX
0( •矩形光栅界面由以下参数定义 @;d(>_n - 狭缝宽度(绝对或相对) H-0A&oG - 光栅周期 ;9 XM
s) - 调制深度 OES+BXGX •可以选择设置横向移位和旋转。 Al'
sY^B QSEf
Ck(D:
% ~s Gv6EJV1i 高级选项和信息 eA#J7=eC •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 d^WVWk K •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 qeSxE`E" •可以设置总级次数或衰逝波级次数 xQ7>u-^ (evanescent orders)。 pz@_%IUS •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 m[Px|A5{ •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 +@AN+!( I6'U[)% tX&Dum $ xAQ=oF
+ •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 r/+<_3 •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 x:"_B •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 TQ.d|{B[ •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 "M6:)h9jV Yep(,J~' W<u63P q%"]}@a0 过渡点列表界面 '1|r+(q|2 •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 HpuHJ#l
•此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 /) MzF6 •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 r2qxi' ^zO%O653 Bj;Fy9[yb 过渡点列表参数 b qEwi[` •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 b;Pqq@P|g •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 %#yCp2 @T|mHfQ8 <IGnWAWn >QU1_'1r •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 9L]x9lI; •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 sr
sDnf •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 /
\!hW-+]W k2"Z:\?z
aYkm]w;C qeb:n$ 高级选项及信息 }>6=(! •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 _}EGk4E S`5^H~
$A9!} `V 12~zS 正弦光栅界面 x4pl#~Su •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 M4XnuFGB[w •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 %XMrSlSOp •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: 6cb;iA - 脊的材料:基板的材料 ,i;kAy) - 凹槽材料:光栅前面的材料 W r);A{ h3h2 KqM' 6,7Fl=< -:Nowb 正弦光栅界面参数 8G?'F${` - 正弦光栅界面也由以下参数定义: XD<7d")I •光栅周期 Ge8&_7 •调制深度 z%Op_Ddp - 可以选择设置横向移位和旋转。 TSt-#c4B - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 x;#
OM -ytSS:|%\ ! %S9H2Lv qN1(mxa.? 高级选项和信息 gz;( ).{ •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 :=UiEDN@ no?TEXp*
lNs 'jaD JR<#el
高级选项及信息 ?<YtlqL •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 T?I&n[Y| U59uP
7n 2^Tj7@ 锯齿光栅界面 {:$0j|zL1 •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 IpXg2QbN •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 Sd2R$r •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: a.v$+}+.[, - 脊的材料:基板的材料 a\$PqOB! - 凹槽材料:光栅前面的材料 JUok@6 rteViq+|.
zO<EbqNe! w;vp X> 锯齿光栅界面参数 0|nvi=4~e| •锯齿光栅界面也由以下参数定义: g2l|NI#c^ - 光栅周期 N#Bg`:! - 调制深度
w1F7gd •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 `<zaxO •可以选择设置横向移位和旋转。 .^N+'g •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 ,-ZAI b* v1?P$f*g j
wlmWO6 JAj<*TB.% 高级选项和信息 f(=yC}si •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 M@UkXA} sTU]ntoQqR 探测器位置的注释
0|9(oP/: 关于探测器位置的注释 c5>&~^~>Tx •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 "5BgajrB •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 { dhuvB •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 0PE $n •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 M6vW}APH[n •可以避免这些干涉效应的不良影响。 L,of@> fw ._ cpz}!D 文件信息 i)Vqvb0Q m1a0uEA
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4NUCLr7Y \/$T 3f`x 3M8P% QQ:2987619807 #M&rmKv)g
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