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摘要 !Lkk1zo [ @ >} 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 [QwEidX| W>W b|W
v,]-;V~< a8nqzuI 本用例展示了...... j.or:nF •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: 5,dKha - 矩形光栅界面 GYH{_Fq - 过渡点列表界面 fSc)PqLP - 锯齿光栅界面 b$FK}D5 - 正弦光栅界面 -@bOFClE •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 orBB5JJ :`Kv\w. 光栅工具箱初始化 +;,65j+n
•初始化 .Nk'yow - 开始 JX!z,X?r4 光栅 wH]5VltUT1 通用光栅光路图 qh9d.Q+n •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, (E(J}r~E 可直接选择特定的光路图。 D*=.;Rq <8)cr0~zy>
GY`mF1b *? V boyU 光栅结构设置 (>49SOu;$\ •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 okm
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-XASS% •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 @tT2o@2Y^ •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 ~#MXhhqB ^=Dz)95c
'8w}m8{y MoZ8A6e?B •例如,选择第一个界面上的堆栈。 v_|k:l 1u8 k} 堆栈编辑器 ~V t?'v20@ •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 3QI. |;X •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 !P8Y(i jhR`%aH4
8 /vGA= z{H=;"+rh 矩形光栅界面 J5!-<oJ/ t p<v •一种可能的界面是矩形光栅界面。 -xXdT$Xd •此类界面适用于简单二元结构的配置。 V1#:[o63+ •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 0fJz[;dV>n •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 {nPiIPH •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 8-B6D~i ;,lFocGv
,Dab( 0^3n#7m;K 矩形光栅界面 "IHFme@^ •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 K+\2cf?bU •所选界面在视图中以红色突出显示。 5pU/X.lc
Na>w~ •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 ~_SRcM{ •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 8'PK}heBU 5<XWbGW •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 Skg}/Ek •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 r]0>A&, •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 RkZyqt
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7NvnCs !^'6&NR#K \`0s %F:V}
esM r@Oc ]JR2Av 矩形光栅界面参数 y?V^S;}&] •矩形光栅界面由以下参数定义 'gtcy - 狭缝宽度(绝对或相对) |%oI,d=ycv - 光栅周期 r=HL!XFk - 调制深度 cd|/4L6 •可以选择设置横向移位和旋转。 pAws{3(Q )(9[> _+40
I!#WXK i}e/!IVR3 高级选项和信息 IczMf% •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 F/PH=Dk •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 9;Q|"
T •可以设置总级次数或衰逝波级次数 Eunmc (evanescent orders)。 /}/GK|tj •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 QHxof7 •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 (tyky&$! "ql$Rz8 F9"Xu-g O!t=,F1j •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 ,D'm#Fti •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 8aJJ??o{ •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 4jc?9(y% •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 FTr'I82m( g^}C/~b[ AhkDLm+ $;&l{=e2) 过渡点列表界面 7GTDe'T •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 ol K+|nR •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 _K&Hiz/' •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 {V pk o c39j|/!;Y bU[_YuJbM 过渡点列表参数 ##%&*vh •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 4JyA+OD4 { •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 NG`Y{QT6N P,xIDj4d &6vWz6 !P N~0ihTG5 •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 Fv*QcB9K •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 dVk(R9 8 •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 f[
2PAz 6Xz d>5x
cU-A1W fC3T\@(& 高级选项及信息 U{j4FlB •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 |Y8}*C\M.h ?pcbso
*?*~<R R(*t1R\ 正弦光栅界面 1Q!kk5jE •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 4"H*hKp •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 g*(z.
•如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: {bADMj1 - 脊的材料:基板的材料 PU[<sr#, - 凹槽材料:光栅前面的材料 pF7N = mO Aix6O=K6 97UOH ^{{a
v?h 正弦光栅界面参数 }O>4XFj - 正弦光栅界面也由以下参数定义: Mk0x#-F •光栅周期 nF_q{e7 •调制深度 8{QCW{K - 可以选择设置横向移位和旋转。 -8Hc M\b - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 `U b*rOMu <R+?>kz6 gS'7:UH, C
#iZAR 高级选项和信息 qH5nw}] •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 -KV,l $,J0) ~
h`n '{s G<=I\T'g; 高级选项及信息 c|JQ0] K •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 BWQ`8 m [^)Q9o} !mTq6H12 ! 锯齿光栅界面 K#N9N@W jR •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 bhGRD{= •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 AT+l%% •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: deArH5&! - 脊的材料:基板的材料 ]hS<"=oj - 凹槽材料:光栅前面的材料 )c&ya|h !yPy@eP~
AWi>(wk< _B#x{ii 锯齿光栅界面参数 \Cu=Le^ •锯齿光栅界面也由以下参数定义: tM;cvc`/ - 光栅周期 xGQP*nZ - 调制深度 Exqz$'(W9 •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 [8UZ5_1W L •可以选择设置横向移位和旋转。 'G~i;o 2 •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 .B-b51Uz @2L^?*n= C4$P#DZT^ xT_"` @ 高级选项和信息 l^ay*H •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 O|+ZEBP m3Wc};yE*Q 探测器位置的注释 v0dzM/?* 关于探测器位置的注释 ;M0`8MD •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 zl6]N3+4 •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 (J %4}Dm •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 u &1M(~Ub= •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 Y @'do) •可以避免这些干涉效应的不良影响。 C5-u86F TK18U*z7J kJJiDDL0;* 文件信息 Be]z @E1x ;$6L_C4B
}dzVwP= w-ald?` ed/B.SY QQ:2987619807 "Ot%{&:2
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