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摘要 593D/^}D =X2 Ieb 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 GCkc[]2p 4Fgy<^94` zQV$!%qR w*e O9k 本用例展示了...... k?o(j/ •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: g0 \c - 矩形光栅界面 XuVbi=pN.2 - 过渡点列表界面 bT@3fuL4 - 锯齿光栅界面 EXK~Zf|&Z - 正弦光栅界面 dUk^DI,:l •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 aqK<}jy =.#*MYB.l 光栅工具箱初始化 lGwX.cA!' •初始化 jt@k<#h~ - 开始 J'sVT{@GS 光栅 >t.2!Z_RQ 通用光栅光路图 ]/XNfb •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, vClD)Ar 可直接选择特定的光路图。 =q.2S;? J0~Ha u '3 xvQFg "i<i.6| 光栅结构设置 O{y2tz3 •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 -4mUGh1dy x\)0+c~\}x •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 \h~;n)FI •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 Vf`n> -5l74f!i Mf^ ;('~ X<9jBj/t •例如,选择第一个界面上的堆栈。 {a- p/\U RAxAy{ 堆栈编辑器 n{J<7I e"* •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 r5xu#%hgp; •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 #G:~6^A 4nzUDeI3MG U{gJn#e/. w8:~LX.n 矩形光栅界面 R;,+0r^i &Y;z[+(P •一种可能的界面是矩形光栅界面。 ;]3Tuq •此类界面适用于简单二元结构的配置。 6 :K~w<mMJ •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 'KMyaEh.u •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 ~v$gk •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 i|0H {q u~=>$oT't HA&][%^ ;]34l."85 矩形光栅界面 BaIH7JLZ8 •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 f'Dl*d •所选界面在视图中以红色突出显示。 Ouc=4'$- 5K|1Y#X •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 LSv0zAIe/ •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 m7Nm!Z7 ' :lADUt •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 T52A}vf4 •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 /KFCq|;7s, •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 i{?uIb B pPem;i^~ (?Fz{ B v/]>Z 23BzD^2a V4ml& D 矩形光栅界面参数 T B~C4H K= •矩形光栅界面由以下参数定义 )"s <hR, - 狭缝宽度(绝对或相对) U@x5cw: - 光栅周期 Xs$k6C3 - 调制深度 s|.V:%9e •可以选择设置横向移位和旋转。 H@GiHej a^t#kdT (E )@@p7,: rTT Uhd 高级选项和信息 :KGUO{_u •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 pwU
l&hwte •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 WQv%57+
•可以设置总级次数或衰逝波级次数 g+|1khS) (evanescent orders)。 NCbn<ojb •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 TC;2K,.#k •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 RI9&KS UM%]A'h2O" . S4Xw2MS m?VA 1 •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 & F\HR •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 =Bu>}$BD •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。
$x# 0m •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 o5)lTVQ~~ 8`l bKV `3m7b!0k 'M+iw:R__ 过渡点列表界面 >J,Rx!fq3 •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 1Ys6CJ# •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 pLi_)(#z_ •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 U[1Rw6 feSd% X<{kf-GP 过渡点列表参数 Y@N-q •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 (
`T;nz •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 T9N][5 \ 2ZW
{ 6wK>SW)#&j w ;+x g •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 Tl>D=Vnhh •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 `5,46_ •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 1 ~fD: =E?kxf[X FJxg9!%d nKpXRuFn\ 高级选项及信息 D>neY9 •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 4+Aht]$hC }Fs;sfH ;Qe-y|> W
!TnS/O_1 正弦光栅界面 _M[@a6? •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 fg"]4&`j- •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 t+7|/GLs2 •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: ,=!_7'm - 脊的材料:基板的材料 TKJs'%Q7F6 - 凹槽材料:光栅前面的材料 W.u+R?a= .yK~FzLs fL-lx-~ hc#LniR3$ 正弦光栅界面参数 &d}1)? - 正弦光栅界面也由以下参数定义: |qe[`x;
% •光栅周期 ePF)wl;m •调制深度 t@=*k9 - 可以选择设置横向移位和旋转。 Xm#rkF[, - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 |7XPu (@wgNA-P DAYR=s .tRp 高级选项和信息 -;T!d •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 rf@Cz%xDD F_C7S $wnK"k%G f7&53yZF 高级选项及信息 ,v^A;,q •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 s0EF{2<F 4G ?Cu,$ w~+C.4=7 锯齿光栅界面 b3j?@31AD •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 wAt|'wP
: •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 .5?e)o) •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: jg)+]r/hS - 脊的材料:基板的材料 (*6kYkUK - 凹槽材料:光栅前面的材料 (%N=7? {Sl#z}@s 7\;4 d4u st4WjX_Q 锯齿光栅界面参数 +)J;4B •锯齿光栅界面也由以下参数定义: z8VcV*6 - 光栅周期 <I
5F@pe' - 调制深度
ORCG(N •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 $%:=;1Jl •可以选择设置横向移位和旋转。 9-B/n0 •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 %?sPKOh3N} ;*J_V/&? }Mv$Up | XGj97#M 高级选项和信息 @XJzM]*w& •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 =\ek;d0Tqb Yo-$Z-ud 探测器位置的注释 EOj.Jrs~ 关于探测器位置的注释 ;xXD2{q •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 J]AkWEiCJ •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 " z8iuF •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 2h;#BJ)) •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 Hoj'zY •可以避免这些干涉效应的不良影响。 w%2|Po5 )/:j$aq 4{v?<x8 文件信息 1#w'<}h#U XI5TVxo(q Jc=~BT_G jtH>&O .EfGL_ QQ:2987619807 S!Bnz(z
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