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摘要 0~^RHb.NA8 n@p@@ 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 E6 -*2U)k+ l9&k!kF`
C$1W+( +K`A2&F9 本用例展示了...... &~H ed_ •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: K8&;B)VT> - 矩形光栅界面 7<]
EH:9 - 过渡点列表界面 @i; )`k5b - 锯齿光栅界面 uwSSrT - 正弦光栅界面 z m$Sw0#( •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 ^F+7<$2 lt&(S) 光栅工具箱初始化 P$#: $U@ •初始化 kY~4AH - 开始 yEI@^8]s 光栅 Ct w <-' 通用光栅光路图 P U/<7P* •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, LD}~] 可直接选择特定的光路图。 ?!U[~Gq ]$[sfPKA
)_=2lu3%{ nOGTeKjEJ 光栅结构设置 Ptv'.<- •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 W-n4wIj"
Ec@n<KK# •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 -$Hu$Y}> •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 k6;bUOo @a?7D;+<
RDp y(p_Unm •例如,选择第一个界面上的堆栈。 <ukBAux,D YOD.y!.zq7 堆栈编辑器 7~mhWPzMwB •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 n|~y
>w4 •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 o3 fc - DVL-qt\;n
(?na|yd lb-1z]YwQ 矩形光栅界面 ^es]jng` 3N2dV6u •一种可能的界面是矩形光栅界面。 &vpKBR^ •此类界面适用于简单二元结构的配置。 U%nkPIFm •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 FQDf?d5 •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 VI&x1C •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 6QX m]<
E^axLp>(I
'BjTo*TB]Z MY^{[#Q 矩形光栅界面 Rqh5FzB> •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 _fHml •所选界面在视图中以红色突出显示。 147QB+cE
I+8n;I)]X •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 $v|W2k •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 D(AH3`*|# 8b2 =n •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 1`&`y%c?B •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 lM6pYYEq= •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 hy5[
L`B -b(DPte to'7o8Z u5(8k_7
wGc7 }Y~Dk]* 矩形光栅界面参数 x#>V50E •矩形光栅界面由以下参数定义 NBYJ'nA%;f - 狭缝宽度(绝对或相对) +xFn~b/ - 光栅周期 Lgg,K//g - 调制深度 CJ IuMsZ •可以选择设置横向移位和旋转。 @NiuT%#c Jj"{C]
$5R2QNg n pH1!6X 高级选项和信息 HL38iXQ(
3 •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 oJ74Mra •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 qb>41j9_t •可以设置总级次数或衰逝波级次数 3e_tT8 (evanescent orders)。 4l$OO;B •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 `^bP9X_a •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 9L=mS Yj/afn(Jt qO#3{kW i(}PrA
•高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 _%w680b' •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 -*C
WF|<G •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 x[(6V' •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 aSzI5J]/= v@_1V j/ 5 f[@96p?a[ 过渡点列表界面 i\i%WiRl •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 J2bvHxb Rd •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 [C'bfX5HB5 •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 3U[O : nf.Ox.kM) Y{YbKKM 过渡点列表参数 -'! J?~ •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 Bn}woyJdx •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 k9Pvh,_wp J]F&4O 6 d-\+t8 xe@1H\7: •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 ul~ux$a •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 n5:uG'L\ •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 E9:@H;Gc -$Oh.B`i
F-_u/C] 2|nm> 4 高级选项及信息 WR;1 •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 D|-]<r1" |5&+VI
\TQZZ_Z Z(mUU] 正弦光栅界面 H QqFrR
•另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 EL 5+pt •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 5^B79A"} •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: V;M_Y$`Lh - 脊的材料:基板的材料 3$|/7(M&DA - 凹槽材料:光栅前面的材料 e;]tO-Nu A_xC@$1e< OF-k7g7 oaIk1U;g 正弦光栅界面参数 +7_qg
i7: - 正弦光栅界面也由以下参数定义: TEtmmp0OD •光栅周期 u47<J?!Q •调制深度 &> sbsx\y - 可以选择设置横向移位和旋转。 eg0_ < - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 Q:}]-lJg 8wU$kK [!'+} YQBLbtn6( 高级选项和信息 *1|7%*!8 •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 b8mH.g&l iT]t`7R
w"hd_8cO ]Q^)9uE\D 高级选项及信息 +QChD* •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 \J'}CX*aQ T{{:p\<]_ Y|Iq~Qy~ 锯齿光栅界面 TW|K.t@5#H •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 o) )` "^ •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 _imuyt".+ •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: D"7}&Ry: - 脊的材料:基板的材料 RSX27fb4 - 凹槽材料:光栅前面的材料 |RX#5Q>z 1IXtu
dlu*s(O" #]` uH{ 锯齿光栅界面参数 u]p21)m$x •锯齿光栅界面也由以下参数定义: ,i>`Urd - 光栅周期 NL21se - 调制深度 rH@Rh}#yp •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 HDe\Oty_ •可以选择设置横向移位和旋转。 #M-!/E •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 N
J3;[qJ G m~ ./- \"lz,bT GppCrQ%Ra| 高级选项和信息 uwe#& |