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摘要 sGiK
S,.K yO\bVu5V 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 ^I6Vz?0Jl x6\VIP"9L
,0nrSJED Xfb-<
Q0A 本用例展示了...... JX>`N5s •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: M
$EHx[*5 - 矩形光栅界面 N48X[Q* - 过渡点列表界面 Y)(w&E>1 - 锯齿光栅界面 it>l?h7 I - 正弦光栅界面 KL(sVj^e •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 |,TBP@ |Q%nnN 光栅工具箱初始化 aAd1[?& •初始化 KdTWi;mV2- - 开始 1B 0[dK2N 光栅 /UR;,ts 通用光栅光路图 09Q5gal •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, bq5we*"V 可直接选择特定的光路图。 VggSDb V=>]&95-f
NVom6K siV]NI':| 光栅结构设置 Y>2#9LA •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 Sy*p6DP
wYS r.T8Q •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 3F6A.Ny
•堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 B'y)bY'_dS R:^jQ'1
x
FvKjO) G_k_qP^: •例如,选择第一个界面上的堆栈。 NP!LBB)=Y JnQ@uZb` 堆栈编辑器 =yJV8%pa •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 d,'gh4C •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 2>CR] SFEDR?s
80gOh: 9*!*n ~ 矩形光栅界面 *xx)j:Sc2 _3g!_ •一种可能的界面是矩形光栅界面。 .%0a •此类界面适用于简单二元结构的配置。 Qo(<>d •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 1p-<F3; •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 %82:?fq •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 d7Cs a
c ']^]z".H
v(uNqX.BC I34
1s0 矩形光栅界面 \4fuC6d2 •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 i8*(J-M •所选界面在视图中以红色突出显示。 s,|v,,<+
eG dFupfz •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 r. rzU •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 +QSH*(, (@*%moo •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 Psf{~ (Ii •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 iDsY5l •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 {"N:2 3r?T|>| {uqP+Cs %Go/\g
G}]'}FUp R3#| *)q 矩形光栅界面参数 {yxLL-5c •矩形光栅界面由以下参数定义 "SC]G22 - 狭缝宽度(绝对或相对) Nk$|nn9#' - 光栅周期 xaq/L:I< - 调制深度 bc& 5*? •可以选择设置横向移位和旋转。 >v1.Gm 4dI`
W$z^U)|t wj Kc!iB 高级选项和信息 +.u
HY`A •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 B+c,3@)x •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 sr<\fW •可以设置总级次数或衰逝波级次数 \MAv's4b@ (evanescent orders)。 5m>f1`4JS •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 +Q :)zE •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 sei%QE]!/ H.tfn>N| R@IwmJxX oRmA\R* •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 [a#*%H{OC •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 |A=~aQot •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 5VGZ5,+<< •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 |Fx~M,Pzg AG Gxx?I \`*]}48Z 4Ub7T=LG 过渡点列表界面 ~KxK+6[ : •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 F]RZP/D` •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 8b25D|8l •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 FlbM(ofY 0.U-
tg0 $A98h-*x 过渡点列表参数 8(!?y[ •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 &i*e&{L7 •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 @|d`n\%x kr44@!s+' ]];LA!n }e>OmfxDBt •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 Jg6@)<n •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 ]1q`N7 •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 Ed#Hilk' ~#=70
X09i+/ICK Se!B,'C% 高级选项及信息 Z..s /K{ •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 V$ "]f6 aM\Ph&c7e'
OXV9D:bIa ;jmT5XzL 正弦光栅界面 VE^IA\J x •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 FMl_I26] •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 2KNs,4X@ •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: \"+}-!wr - 脊的材料:基板的材料 z'Ut9u - 凹槽材料:光栅前面的材料 G;J!3A;TE af=lzKt* jf=90eJc VB=jKMi 正弦光栅界面参数 g:&PjKA - 正弦光栅界面也由以下参数定义: 58PL@H~@0 •光栅周期 M"ZeK4qh •调制深度 uAV-wc - 可以选择设置横向移位和旋转。 Ro#O{ - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 p<Vj<6.=? @-O%u*%J t<SCrLbz z+j3j2 高级选项和信息 2&2t8.< •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 2))pB/ is{H >#+"
bG]?AiWr !Ic~_7" 高级选项及信息 LP}'upv •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 jjg[v""3| Nkk+*(Z &hIr@Gi@ch 锯齿光栅界面 S|_"~Nd= •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 Jwbb>mB! •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 lkb,UL;V •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: )fbYP@9>a - 脊的材料:基板的材料 X>eFGCz}I - 凹槽材料:光栅前面的材料 o_.`&Q6n >2#F5c67
h:r:qk 35~1$uRA 锯齿光栅界面参数 #$u7:p
[t •锯齿光栅界面也由以下参数定义: Wtp;se@# - 光栅周期 f<Yg_ TG - 调制深度 E7@m& R •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 1j!{?t? •可以选择设置横向移位和旋转。 4R9y~~+ •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 77%I%<# !4T7@V`G e^-CxHwA- TL: 6Pe 高级选项和信息 G]gc*\4 •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 OsgjSJrf {0\9HI@ 探测器位置的注释 ZY8:7Q@P> 关于探测器位置的注释 _O`s;oc •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 yzyK$WN\[3 •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 Z':w
X •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 {A{sRT=% •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 MJy(B>< •可以避免这些干涉效应的不良影响。 m 8P`n Z
\;{e'#o XM:\N$tg 文件信息 h&:XO9dY T!t9`I0Zz
x+W,P :+meaxbu ed$w5dv QQ:2987619807 =$\9t $A
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