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摘要 @tVl8]y 'da$i 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 GN=-dLN \(`,z}Ht _
U!i @XA%P sHm:G_ 本用例展示了...... m=qyPY •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: o!sHK9hvJ) - 矩形光栅界面 JTdcLmL - 过渡点列表界面 f,:2\b?. - 锯齿光栅界面 r`A|2(h5B - 正弦光栅界面 Igb%bO_ •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 fk'DJf[M .Dt.7 G 光栅工具箱初始化 Cg&:+ •初始化 [5wU0~>' - 开始 sV-UY!
光栅 TykY> cl
通用光栅光路图 <~P([5 •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, ,Lr}P 可直接选择特定的光路图。 <59G bw*D!mm,
n$E'+kox T~)zgu%q_ 光栅结构设置 ]:Sb#=,!&! •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 0wZAsG"Bg
L]3gHq •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 ]6;oS-4gu? •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 x_OZdI g#r,u5<*?
^k4 n /A>1TPb09" •例如,选择第一个界面上的堆栈。 MURHv3 }080=E 堆栈编辑器 B5MEE •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 "xp>Vj •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 b_GAK \5R>+[n!
K?H(jP2mpM Rkh
^|_<! 矩形光栅界面 p0@l581 RxXiSc`^z •一种可能的界面是矩形光栅界面。 0w ;#4X:m •此类界面适用于简单二元结构的配置。 fp'%lbk= •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 7^n{BsN •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 )d7U3i •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 W=zp:6Z~ ^_XV }&7Q
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qv R\:t
73 矩形光栅界面 ge!Asm K •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 Fu"@)xw/-q •所选界面在视图中以红色突出显示。 `fUPq
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8e}8@[h •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 :B1a2Y^" •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 q a}=p g33Y]\ •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 Qm2(Z8Gh •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 q-4#)EnW •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 ?J's>q^X 06fs,!Q@ HFTDea +# ;ksxz
X2to](\%X +8|r_z\A5a 矩形光栅界面参数 ^=Egf?|[ •矩形光栅界面由以下参数定义 6I~{~YvB" - 狭缝宽度(绝对或相对) Y"'k $jS- - 光栅周期 uW^ W/S%' - 调制深度 un(fr7NW •可以选择设置横向移位和旋转。 .9KW|(uW vp..>BMJ
9}Qrb@DT .aE%z/@s= 高级选项和信息 jS'hs>Ot •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 =%R|@lz_x •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 Ll'!aar, •可以设置总级次数或衰逝波级次数 (]*!`(_b (evanescent orders)。 \X0wr%I •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 [Se0+\,& •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 2-.%WhE/ Z'|A>4\ <nE |Y@S 7T@"2WYat •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 AAld2"r •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 ,Z p9,nf •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 X^ZUm •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 qr[+^*Ha 4Q
FX Mq2[^l!qu @iD5X.c 过渡点列表界面 7COJ.rA •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 W(&9S[2 •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 B#9T6|2 •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 &yQM8J~ {_5PN^J PmT,*C`/X 过渡点列表参数 Lmw{ `R •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 HRZ3}8Qj •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 d( +E0
,1g*0W^ +i.b&PF'H BdZO$ALXL •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 -(YdK8 •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 a?QDf5Cq •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 C>*]a(5k 4Iou|
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b(McH*_8e "7tEk<x 高级选项及信息
.4-I^W"1 •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 L?(%
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s snCr
^XQr`CqI 8{Id+Q>Vo, 正弦光栅界面 6X.lncE@p •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 W!G2$e6 •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 34P5[j!h •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: Z2dy|e(c - 脊的材料:基板的材料 !.ot&EbE - 凹槽材料:光栅前面的材料 HN*w(bROr 'of5v6:8 4x
JOPu ;qF#!Kb5 正弦光栅界面参数 4f?Y'+>Z, - 正弦光栅界面也由以下参数定义: `kP
(2b •光栅周期 _,2P4 •调制深度 .h8%zB#|i - 可以选择设置横向移位和旋转。
ToHCS/J59 - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 ,~_)Cf#CB t $+46** K$..#]\TM buhn~ c 高级选项和信息 >cPB:kD' •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 &)p/cOiV K"sfN~@rT[
> Rbgg1^]5 0Up@+R2 高级选项及信息 bTn7$EG •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 t;@VsQ8 i7[CqObzc 3 9Ql|l$ 锯齿光栅界面 MKdBqnM(F •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 .FnO •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 Odr@9MJ •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: !(hP{k ^g - 脊的材料:基板的材料 !t["pr\
? - 凹槽材料:光栅前面的材料 !j)H!|R "b!QE2bRO
Qj? G KO \"qXlTQ1_9 锯齿光栅界面参数 WRJ+l_81 •锯齿光栅界面也由以下参数定义: *a@pZI0' - 光栅周期 TIV1?S - 调制深度 8E /]k\ •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 ]rDf3_!m( •可以选择设置横向移位和旋转。 WG;1[o& •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 FG~p_[K m%$z&<! ;C%D+"l1g Lrr^obc 高级选项和信息 #(jozl_8 •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 < |