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摘要 aI(7nJ=R acP+3u?r 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 4/ kv3rv kE8>dmH23
s>k Uh *[ #;j$m 本用例展示了...... 3f" %G\ •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: n79QJl/ - 矩形光栅界面 VErv;GyV - 过渡点列表界面 n\Fp[9+Z\ - 锯齿光栅界面 %W,D;?lEo> - 正弦光栅界面 tWTKgbj( •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 FLg*R/ =deMd`=J 光栅工具箱初始化 8.'#?]a •初始化 '7wd$rl - 开始 LE5.b]tv2 光栅 WwH+E]^e+ 通用光栅光路图 NNhL*C[_7 •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, $aHAv/&(5 可直接选择特定的光路图。 v_e9}yI Mb3}7 @/[
/@AEJ][$ xtPLR/Z 光栅结构设置 oH0X<' •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 M8H5K
JN^&S •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 :m86
hBE. •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 !D!~^\ (-]r~Ol^
+("7ZK? p!]6ll^ •例如,选择第一个界面上的堆栈。 hcVJBK i)#:qAtP* 堆栈编辑器 %WqNiF0- •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 {t};-q!v$j •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 A:(*y
2 85EQ5yY
6wco&7 zF5uN:-s 矩形光栅界面 7t,t` 1c JF/"v •一种可能的界面是矩形光栅界面。 0]D0{6x8 •此类界面适用于简单二元结构的配置。 UhIDRR •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 qV5DW0. •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 s1|/S\ •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 \{Q?^E Y#!h9F
Y+K|1r L4uFNM] 矩形光栅界面 Sq:0w •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 uKgZ$-' •所选界面在视图中以红色突出显示。 :xKcpY[{
jx Jv. •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 7ugZE93! •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 :eo ;n|^1S<[ •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 ]%Zz \Q •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 -W,}rcj*| •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 j~j\\Y *T0q|P~o% E( us'9c @
49nJi
npRSE v E^U0f/5
m 矩形光栅界面参数 ?5kHa_^ •矩形光栅界面由以下参数定义 5>AX*]c - 狭缝宽度(绝对或相对) "`6n6r42 - 光栅周期 ~
ihI_q" - 调制深度 K'#E3={tt •可以选择设置横向移位和旋转。 {BHI1Uw 3>
/K0N|$
$=?@*p d
GP*O 高级选项和信息 m Z1)wH , •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 vM_:&j_?`` •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 d#2$!z# •可以设置总级次数或衰逝波级次数 Fs[aa#v4B (evanescent orders)。 m|OO,gR •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 %'0TXr$ •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 VY)s+Bx tE7[Smzuf :x_'i_w E c s,$\ •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 $['Bv •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 Z4IgBn(Z_} •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 BC'llD •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 FZ8b7nJ)4m [
Bl c^C{f Xy%p "b< ,]b~t0|B 过渡点列表界面 3P;>XGCxZ •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 sUPz/Z.h •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 C!7>1I~5 •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 ]r_;dY a Hr$QLtr XV^1tX>f{ 过渡点列表参数 Mfv1Os:ST •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 } (!EuLL •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 n@ G[ 9uWY@zu 0?>dCu\ `O'`eY1f •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 @O[5M2|r •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 wb~@7,D •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 T9s2bC.z55 }-
Wa`t7U
S]E.KLR?[; In[Cr/&/Y 高级选项及信息 (e"iO`H •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 IIyI=WlpG DfKr[cqLM
36am-G u_rdmyq$x/ 正弦光栅界面 qpXWi
&g •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 -1J[n0O. •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 MMj9{ou •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: H8"@iE, - 脊的材料:基板的材料 /JT#^Y - 凹槽材料:光栅前面的材料 @/k@WhFZ c*@G_rb GH[wv< r7',3V 正弦光栅界面参数 2+X\}s1vN - 正弦光栅界面也由以下参数定义: MR}Agu#LG •光栅周期 FHV-BuH5 •调制深度 P
3'O/! - 可以选择设置横向移位和旋转。 3d|9t9v - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 L5,NP5RC KIWe@e o*J3C> Xn{1 FJX/ 高级选项和信息 F8apH{&t •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 ooQQ-?"m ,{c?ym w?
~*wk6&| x7$}8LZ"B 高级选项及信息 =%/)m:f!^ •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 /i77 ]9@F~) w4gg@aO 锯齿光栅界面 !/wtYI-` •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 & \f{E\A# •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 Hhh0T>gi •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: e2A-;4?_ - 脊的材料:基板的材料 ow]053:i - 凹槽材料:光栅前面的材料 6H7],aMg$A 5;HH4?]p
v\{!THCSh ^f(@gS}? 锯齿光栅界面参数 ->V<DZK •锯齿光栅界面也由以下参数定义: 1@-Ns - 光栅周期 [W7CXZDd - 调制深度 rh^mJUh •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 j*vYBGD •可以选择设置横向移位和旋转。 )>Yu!8i •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 o !U
6? ^N)R=tl t^G"f;Ra+ 2Tp1n8FV 高级选项和信息 HOJs[mqB% •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 .7avpOfz 9 %I?).5 探测器位置的注释 n|R J;d30Q 关于探测器位置的注释 U`NjPZe5^ •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 VoWNW •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 +b3RkkC •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 AW!?"xdZ •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 MS
81sN\d •可以避免这些干涉效应的不良影响。 2Ay*kmW gf
&Pn pUQ/03dp 文件信息 eoG$.M" BMG3|N^
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