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摘要 hq&9S{Ep ZBH^0 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 6B
b+f" |g!$TUS.
0=9$k IQ$ 6}. 本用例展示了...... ]XX>h~0 •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: ^mut-@ N9 - 矩形光栅界面 C0^r]^$Z - 过渡点列表界面
w%oa={x - 锯齿光栅界面 +T,0,^* - 正弦光栅界面 3<1x>e2nT •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 05jjLM'e QM~~b=P,\ 光栅工具箱初始化 #7YJ87<E •初始化 o>]z~^c - 开始 M D&7k,! 光栅 L@?3E`4/v 通用光栅光路图 T}"[f/:N/ •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, 4~;M\h 可直接选择特定的光路图。 ]T.+(\I >oi?aD%
\IqCC h nYBa+>3BDf 光栅结构设置 $:A80(#+ •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 C/9]TkX}q
3m & •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 CHCT
e •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 +A$>F@u 6 =G=4{q
r'o378]= H%}/O;C •例如,选择第一个界面上的堆栈。
rrphOG vbG&F.P 堆栈编辑器 fILvEf4b •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 B;piO-hH •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 p|BoEITL AYp~;@
zW)Wt.svP @Q;s[Kg{! 矩形光栅界面 @tJic|)x 8f65;lyN •一种可能的界面是矩形光栅界面。 G68@(<<Z •此类界面适用于简单二元结构的配置。 ,^DP •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 D`KaIqLz •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 f=S2O_Ee •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 t-<BRnxhE [%~yY&
q[/pE7FL }u{gQlV 矩形光栅界面 E\p"% •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 o)R<sT •所选界面在视图中以红色突出显示。 H/={RuU
h@y>QhYU0 •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 VYt<j<ba •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 TZ!@IBu o/n4M]G •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 -8<vW e •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 m
-hZ5i •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 nb6Y/`G aUA)p}/: &
d$X: }d;6.~Gw
Gzg3{fXl i$<")q 矩形光栅界面参数 Nd{U|k3pL •矩形光栅界面由以下参数定义 S kB*w'k - 狭缝宽度(绝对或相对) 0r8Wv,7Bo - 光栅周期 tV>qV\> - 调制深度 e0otr_)3F •可以选择设置横向移位和旋转。 m7u`r(& n=AcN
D!.1R!(Z U%[ye0@: 高级选项和信息 nAAv42j[ •在传播菜单中,有几个高级选项可用。
*
1xs/$` •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 <gfRAeXA •可以设置总级次数或衰逝波级次数 !6@ 'H4cb= (evanescent orders)。 L[,19;( •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 r@bh,U$ •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 22U`1AD3U kfT*G
+l] FF!PmfF' <c:H u{D •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 o)^Wz •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 UxzF5V5 •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 Hbd>sS •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 AX<f$%iqD +@?'dw .kn2M&P>= |5O>7~Tp 过渡点列表界面 2zW IB[ •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 .9PT)^2 •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 |iUC\F=- •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 M*kE |q/K IDFzyg_ i/1$uQ 过渡点列表参数 yNP4Ey •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 vZ"gCf3#?3 •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 \AKP ea= bvB',yBZ G[yzi t^FE]$, •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 FpA t •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 -OlrA{=c_ •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 vk48&8 3mo4;F,h9
7Y(Dg`8G jTIG#J) 高级选项及信息 "8ellKh •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 o
/[7Vo Vb\g49\o/
3WGE T[3 :VZS7$5 正弦光栅界面 8X"4RyNSn •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 pF-_yyQ •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 t:fz%IOe •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: O8A1200 - 脊的材料:基板的材料 ,#3Aaw - 凹槽材料:光栅前面的材料 e,_Sj(R8 4J_HcatOB xsj,l@Ey &AJkYh 正弦光栅界面参数 Qr$
7 U6p - 正弦光栅界面也由以下参数定义: _Fa\y ZX •光栅周期 ~^Cx->l •调制深度 i~]60M> - 可以选择设置横向移位和旋转。 >*ls}
q^ - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 jsE8=zZs B]G2P`sN 0j!3\=P$ qm!oJL 高级选项和信息 Sc>mw
•同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 IeYNTk&< zl:by?
>:6iFPP z.-yL,Rc`- 高级选项及信息 !?JZ^/u •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 aj;x:UqpJ ?YL JXq SED52$zA 锯齿光栅界面 c8X;4
My •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 uK" T~ •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 % akW43cE •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: PzSLE>Q - 脊的材料:基板的材料 _`?cBu` - 凹槽材料:光栅前面的材料 _dd! nU\A| 8)9-*Bzj
,M3hE/rb/ )mm0PJF~q 锯齿光栅界面参数 <jV,VKL# •锯齿光栅界面也由以下参数定义: ]Wkgpfd56 - 光栅周期 yR>P - 调制深度 g]vB\5uA: •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 5HOl~E •可以选择设置横向移位和旋转。 c<|y/n •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 {FvFah m*_X PY #E!^oZm<Z GO"|^W 高级选项和信息 ,1mL=|na
•同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 uG7]s]Wdz; <K^a2 D 探测器位置的注释 >(a35 b$ 关于探测器位置的注释 ; H ;h[ •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 3!p`5hJd •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 3F|p8zPS •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 pL{oVk#, •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 vGv<WEE •可以避免这些干涉效应的不良影响。 _|M8xI c_vGr55 F0_w9"3E~ 文件信息 .S|7$_9;b M99ku'
XF(D%ygeC D?_K5a&v, eB#I-eD QQ:2987619807 UnK7&Uo
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