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摘要 D3Mce|t^ ^?A+`1- 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 ;~K($_#H '-x%?Ll
-lp_~)j^ }_;nln?t( 本用例展示了...... zPXd]jIwV •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: ks;%f34 - 矩形光栅界面 =_86{wlk - 过渡点列表界面 #i,O
"`4 - 锯齿光栅界面 A1_x^s - 正弦光栅界面 e`oc#Od&x] •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 Ju\"l8[f -1o1k-8d 光栅工具箱初始化 HT]ubw]rJ •初始化 bc ZonS - 开始 &qC>*X. 光栅 s6egd%r 通用光栅光路图
,i|f8pZ •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, ]]7T5'. 可直接选择特定的光路图。 4EK[gM8 3)ip@29F
Nt'5} XVfQscZe 光栅结构设置 fP|\1Y?CS •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 usA!MMH4
Dmw,Bi* •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 x:x QXjJ •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 7jPmI 9+:Trc\%N
phdN9<Z /[s$A? •例如,选择第一个界面上的堆栈。 :uEp7Y4 (07d0 <<[ 堆栈编辑器 kr?|>6? •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 ^#o.WL%4/B •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 r$7rYxFR [>0r'-kI
q
mB@kbt hD*?\bBs0 矩形光栅界面 PjHm#a3zg% }FXRp=s •一种可能的界面是矩形光栅界面。 ~I<y^]2{ •此类界面适用于简单二元结构的配置。 *.RVH<W=8 •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 q~3&f •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 yiOF& •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 `FwAlYJK G!\xc
PG!vn@b6 `g=~u{0 矩形光栅界面 F0\ry "(t •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 hG^23FiN •所选界面在视图中以红色突出显示。 H[r0jREK
S6mmk&n •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 >U)O@W) •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 )B_h"5X4\y N[-)c,O •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 zYL^e @ •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 4Z] 35* •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 zCrcCr {@A2jk\ O^#u%/ UL%ihWq
@-}]~|< yKJ^hv"# 矩形光栅界面参数 wk#QQDV3|0 •矩形光栅界面由以下参数定义 u W T[6R - 狭缝宽度(绝对或相对) ;j=1 oW - 光栅周期 BpT&vbY - 调制深度 9x!y.gx •可以选择设置横向移位和旋转。 keOW{:^i gL`SZr9
`vw.~OBl V*}zwms6 高级选项和信息 7%"7Rb^@ •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 BP$#a
# •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 R{_IrYk •可以设置总级次数或衰逝波级次数 K}BX6dA (evanescent orders)。 ([~`{,sv •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 }^7V^W •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 SO/]d70HG 4&D="GA 1tW:(~=a; IJ;*N •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 3;:V1_JA •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 S)yV51^B •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 ub5hX{uT •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 '9@R=#nd ?C35 =L%3q <]p 8BDL{?Mu 过渡点列表界面 !$Z"\v'b •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 9DX3]Z\7X •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 n bk(FD6 •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 CN(4;-so) /&7Yi_]r g/p
}r. 过渡点列表参数 ~py0Vx,F •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 %<yM=1~> •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 ,np`:fBMy 0h4}RmS
+;;%Atgn 6/ipdi[
_ •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 oE1]vX •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 KTt$Pt/. •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 z D<9A6AB ^~ $&
nD\os[ 3 u^%')Ncp 高级选项及信息 q}Z
T?Xk? •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 Y{RB\}f( !#1A7[WN
tY'QQN|| =hIT?Z6A 正弦光栅界面 y51D-vj •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 yMl'1W •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 DAHf&/JK •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: 'hw@l>1\9 - 脊的材料:基板的材料 H^;S}<pxW - 凹槽材料:光栅前面的材料 k^c=y<I k=2l9C3Z ok%!o+nk. Q0Qm0B5eY 正弦光栅界面参数 ?^ezEpW - 正弦光栅界面也由以下参数定义: {))S<_yN •光栅周期 3}{5
X' •调制深度 /(ju - 可以选择设置横向移位和旋转。 EZQ+HECpK - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 2%C5P0;QX oV>AFs6 |!5T+H{Sj N 3p 7 0 高级选项和信息 I7z/GA\x •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 Fi%W\Y' *jw$d8q2
DPQGh`J Bye@5D 高级选项及信息 8t:h •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 oEoJa:h m:fouMS K6*UFO4}i 锯齿光栅界面 ?En|
_E_C •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 <` j[;>O •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 [2 w<F[ •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: m4U+,|Fa - 脊的材料:基板的材料 7h9[-d6 - 凹槽材料:光栅前面的材料 9'#.>Q>0=j ;AGs1j
<&s)k xT?} wF 锯齿光栅界面参数 |;u%JW$4 •锯齿光栅界面也由以下参数定义: j /dE6d - 光栅周期 ^Z4q1i)JO - 调制深度 k-cIb@+" •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 4Re@ QOZ •可以选择设置横向移位和旋转。 pebx#}]p- •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 Y:!/4GF T~~[a|bLa 1;:t~Y N!Wq}#&l 高级选项和信息 j)tCr Py •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 "K+N f h9BD
^j 探测器位置的注释 Hl2f`GZ
关于探测器位置的注释 Z:lB:U'o •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 ]AZ\5C-J •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 2u*h*/ •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 {I9N6BQ& •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 N~S[xS? •可以避免这些干涉效应的不良影响。 3pTS@ c."bTq4tJ K[LVT]3 n 文件信息 a j@C0 ;;w6b:}-c
@Tfwh/UN bg1"v a#2 <qq'h QQ:2987619807 n:*_uc^C
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