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摘要 &-FG}|*4M 1c QF(j_ 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 BPv+gx(>k {HY3E}YJL ]h1.1@ >xc ! (lF#MG} 本用例展示了...... 6p
}a! •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: cZ)JvU9] - 矩形光栅界面 w_>\Yd [ - 过渡点列表界面 W8QP6^lY - 锯齿光栅界面 !S&/Zp - 正弦光栅界面 423%K$710 •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 [2xu`HT02 |BM#r fQ 光栅工具箱初始化 00D.Jn •初始化 u(3 uZ: - 开始 k waZn~ 光栅 p>pN?53S 通用光栅光路图 G~C-tAB •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, |WS@q' 可直接选择特定的光路图。 Q?T+^J [Y!HQ9^LEp u9Adu` VF11eZ" 光栅结构设置 ;]xc}4@=mg •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 pHb,*C</ p=UW ^95 •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 m$W2E.-$'# •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 _,0.h*c ,7cw%mQA qF^P\cD O7IYg; •例如,选择第一个界面上的堆栈。 >QJDO ]~V k(tB+k!vH\ 堆栈编辑器 hd9~Zw]V •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 3/usgw1 •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 6d8)] y`$qcEw {q$U\y%Rq j<)$ [v6 矩形光栅界面 #tUhul/O :RIqA/ •一种可能的界面是矩形光栅界面。 "LDNkw' •此类界面适用于简单二元结构的配置。 .<%q9Jy# •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 $X:,Q,? •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 |O)ZjLx •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 FZU1WBNL%t ~)$R'= Ff0V6j)ji X ]&`"Z] 矩形光栅界面 p`&{NR3+ •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 dHOH]x •所选界面在视图中以红色突出显示。 A #SO}c .$d:c61X •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 D`Vb3aNB=L •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 J
R~s`>2 aBQ --Sz •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 ^"4?Q •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 w=-{njMz6& •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 @|<nDd{2 NE`;=26c hx%UZ <a ZR3sz/ulLd ~FI} [6Dd s$9ow<oi] 矩形光栅界面参数 -KbO[b\V •矩形光栅界面由以下参数定义 S]T71W<i - 狭缝宽度(绝对或相对) }Dcpe M? - 光栅周期 /^{Q(R(X< - 调制深度 GRL42xp'*D •可以选择设置横向移位和旋转。 /L$q8 + 2.j0pg . cbou1Ei
lr)MySsu#H 高级选项和信息 h\)ual_r[j •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 j;Lp@~M •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 &SZAe/3+ •可以设置总级次数或衰逝波级次数 PMQ31f/zf (evanescent orders)。 ,-$%>Uv •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 {az
LtTh •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 wN0?~ YE"MtL { W^:g_ A}pe>ja •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 9<!??'@f •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 7S&O{Q7) •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。
`i!-@WN" •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 J{EK}' \FO
4A uWXxK"J. kmfz.:j{ 过渡点列表界面 L<<v
•另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 eBECY(QMQ •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 K}S=f\Q] •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 TSL/zTLDJ M@.?l=1X 5oD%~Fk l 过渡点列表参数 -Xgup,}? •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 kP~ ;dJD •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 #zd}xla0] E&W4`{6K4 %%O_:@9x, Mr K?,7*Xi •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 Me,AE^pgL' •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 #0qMYe>Y •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 oB}rd9 v}z{OB f V/ s.}:!fBk 高级选项及信息 ~Oj-W6-+&, •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 *UG=dl#F# a<D]Gz^h @)@hzXQ <J1$s_^` 正弦光栅界面 Y2p~chx9 •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 MdNV3:[ \ •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 j\@|oW0 •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: p@xK`=Urb - 脊的材料:基板的材料 {[B` q - 凹槽材料:光栅前面的材料 K*
0]*am|v ?K?v64[ }"chm=b G Q+g.{c 正弦光栅界面参数 &4l>_ - 正弦光栅界面也由以下参数定义: =:'a)o •光栅周期 gI~jf- w •调制深度 D8_-Dvp7H - 可以选择设置横向移位和旋转。 8[z& g%u - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 ?r6uEZ Y{#m=-h F_Mi/pB^`9 ]O;Rzq{D( 高级选项和信息 xSHeP`P^X •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 QI2T G, IC7S
+v YVLaO*(f .!J,9PE 高级选项及信息 |2~fOyA+ •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 KEj-y+ ((%g\&D [P_1a`b 锯齿光栅界面 7[ra#>e8' •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 2L_ts= •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 W|kKH5E& •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: 4 p(KdYc
- 脊的材料:基板的材料 Ea*Jl< - 凹槽材料:光栅前面的材料 LA^H213N| k/#& ]8( 0zAj.iG 0TI+6u 锯齿光栅界面参数 P1
`-OM •锯齿光栅界面也由以下参数定义: VFMg$qv|_ - 光栅周期 =r:-CRq( - 调制深度 7L:$Amb_F •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 pJ#R :#P •可以选择设置横向移位和旋转。 d98ZC+q •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 93d ht Q04iuhDO: 1vQj` F `jb?6;15 高级选项和信息 |3MqAvPJ •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 K G~fDb
:RW0< 探测器位置的注释 @`ttyI^1f 关于探测器位置的注释 %G$Kahx V> •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 "+ji`{ •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 vxo iPqo •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 q*<Df=+B •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 T(^<sjOs •可以避免这些干涉效应的不良影响。 s3G3_& bd2"k;H<o k]"Rg2>% 文件信息 f,Sybf/uHh zRJopcE< }IGr%C(3% SL/ FMYdd P~:W+!@5v QQ:2987619807 dHnId2@#
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