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在完成教程1、2和3后，你已熟悉利用OptiBPM创建项目的基本程序： se(_ `a/4Q • 生成材料 )8e_<^M • 插入波导和输入平面 C\EV $U, • 编辑波导和输入平面的参数 w3yI ;P • 运行仿真 <4( rY9 • 选择输出数据文件 bh_i*DJ] • 运行仿真 oYqlN6n,=6 • 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果和各种数值工具 j7uiZU;3Rx odj|" ZK 教程4和之后的教程在你已掌握的操作的基础上，对仿真过程进行了简化描述。如果需要更多细节信息，可参阅之前课程中提供的操作。 zFv>'1$ ?b2%\p`" 本课程描述了如何创建一个MMI星型耦合器。该星型耦合器是对简单MMI耦合器(教程2：创建一个简单多模干涉星型（下文简称为MMI）耦合器)的进一步改进。它是由一个输入波导、一个MMI耦合器以及四个输出波导组成。步骤如下： m:
w/[|_ • 定义MMI星型耦合器的材料 8tPq5i • 定义布局设置 }vc C4 =t/ • 创建MMI星形耦合器 = u73AM} • 运行模拟 t
ZF G`'/ • 查看最大值 WXXLD:gxI • 绘制输出波导 J^1w& 40 • 为输出波导分配路径 mDj:w#q • 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 w{Dk,9 >w) • 添加输出波导并查看新的仿真结果 Z mYp!B_~ • 在OptiBPM_Analyzer中查看新的仿真结果 [l'~> 1. 定义MMI星型耦合器的材料 :IS]|3wD 要定义单向弯曲器件的材料，请执行以下步骤。 VN;Sz,1Z 步骤 操作 .cle^P 1) 创建一个介电材料： #9p{Y}2# 名称：guide xB
4A"| 相对折射率(Re)：3.3 HiVF<tN 2) 创建第二个介电材料 Ks!.$y:x 名称： cladding qb
"H&)aHw 相对折射率(Re)：3.27 0y|}}92: 3) 点击保存来存储材料 tjO||]I 4) 创建以下通道： .qF@
}dO 名称：channel f@>27&'WV 二维剖面定义材料: guide H
VG'v>s@ 5 点击保存来存储材料。 ,?i#NN5p
{w{|y[[d~ 2. 定义布局设置 hC5iv J 要定义布局设置，请执行以下步骤。 8a e]tX5$ 步骤 操作 L suc*Ps 1) 键入以下设置。 R-hqaEB a. Waveguide属性： J&Le*R' 宽度：2.8 7c <2oTN' 配置文件：channel jskAT A
/ b. Wafer尺寸： UZ&bT'>;9g 长度：1420 q4(&.Al\@ 宽度：60 a<c % Xy/ c. 2D晶圆属性： qFf'RgUtP 材质：cladding j}S 2) 点击OK，将此设置应用到布局中。 C6O1ype
RR^I*kRH 3. 创建一个MMI星型耦合器 E}\^GNT 由于MMI星形耦合器中有四个输出通道，因此需要找到在教程2(教程2：创建一个简单的MMI耦合器)中的简单MMI耦合器所产生的四个最大强度的位置。 如教程2中所述，这个位置在MMI耦合器中的第二个波导大约1180-1210μm的地方。 Wu:vO2aw8 要创建MMI星型耦合器并找到所需耦合的相关耦合器长度，请执行以下步骤。 #). om*Xh 步骤 操作 bIe>j*VPh@ 1) 绘制和编辑第一个波导 g "xLS}A l a. 起始偏移量： c?b?x
6 2 水平：0 K'n^,
t 垂直：0
0qZ{:}`3 b. 终止偏移： 7P:0XML} 水平：100 QoI@/
jLj 垂直：0 j:$2 ,?|5 2) 绘制和编辑第二个波导 Q Q1+u Y a. 起始偏移量： 56&s' 水平：100 _W tSZmW? 垂直：0 p;Bd zV> b. 终止偏移： 1OE^pxfi> 水平：1420 $U"/.Mh\ 垂直：0 6"eGd" c. 宽：48 ? nj _gL 3) 单击OK，应用这些设置。 u.8vXc H>-,1/IY
*sB=Ys?
4. 插入输入平面 tkV:kh< L~
要插入输入平面，请执行以下步骤。 9v<BO$
,a
步骤 操作 a5z.c_7r
1) 从绘制菜单中选择输入平面。 Hfm4
2) 要插入输入平面，请单击布局窗口的左侧。 g|e^}voRM
输入平面出现。 B,|M
3) 要编辑输入平面，请从编辑菜单中选择属性。 aztP`S$h
出现“输入平面属性”对话框（参见图1）。 m->
chOu~|
4) 确保在“全局数据”选项卡中，Z位置：偏移量，值为2.000。图1.输入平面属性对话框 ;^ O^&<
bo\|mvB~
5. 运行仿真 "op1x to
要运行仿真，请执行以下步骤。 9 v 0 . ]
步骤 操作 X#1So .}c
1) 从“模拟”菜单中，选择“计算2D各向同性仿真”。 24 1YJ
将显示“模拟参数”对话框。 ,t61IU3"
2) 在“全局数据”选项卡上，在“显示数量”中键入250。 4
lJ@qhV
3) 单击2D选项卡，确保选择了以下设置（参见图3）。 9%kY8#%SV
tNmH*"wR<
偏振：TE c{rX7+bN
网格-点数= 600 = ?vk n
BPM求解器：Padé（1,1） Z]uN9c
引擎：有限差分 xgsD<3
方案参数：0.5 ~}z p}Pt
传播步长：1.55 B58H7NH ;G
边界条件：TBC SECL(@0(^
注意：有关仿真参数的更多信息，请参阅OptiBPM用户指南。 RZm 5[n
=@ gH$Q_1
...... p^ 9QYR
:]=Y1*L\)
QQ：2987619807 ^X"G~#v=q
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