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在完成教程1、2和3后，你已熟悉利用OptiBPM创建项目的基本程序： '1lr "}"Q+ • 生成材料 E$-u:Z<- • 插入波导和输入平面 #Y3:~dmJ- • 编辑波导和输入平面的参数 'E2\e!U/ • 运行仿真 ,O@ x v • 选择输出数据文件 g0m6D:f • 运行仿真 1n v#Ehorg • 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果和各种数值工具 V0Cz!YM_3 =qY!<DB[L 教程4和之后的教程在你已掌握的操作的基础上，对仿真过程进行了简化描述。如果需要更多细节信息，可参阅之前课程中提供的操作。 !c`K zqP sN^3bfi!i 本课程描述了如何创建一个MMI星型耦合器。该星型耦合器是对简单MMI耦合器(教程2：创建一个简单多模干涉星型（下文简称为MMI）耦合器)的进一步改进。它是由一个输入波导、一个MMI耦合器以及四个输出波导组成。步骤如下： VZ?"yUZ Id • 定义MMI星型耦合器的材料 gO*:< B g • 定义布局设置 fUh7PF% • 创建MMI星形耦合器 UXz0HRRS0 • 运行模拟 (nk)' ur. • 查看最大值 1]HEwTT/1_ • 绘制输出波导 2\flTO2Ny • 为输出波导分配路径
>:whNp • 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 m_Owe/BC#m • 添加输出波导并查看新的仿真结果 ), >jBYMJ • 在OptiBPM_Analyzer中查看新的仿真结果 Ih* }1D)7 1. 定义MMI星型耦合器的材料 gU7@}P 要定义单向弯曲器件的材料，请执行以下步骤。 (U"Ub;[7 步骤 操作 -c-#1_X5 1) 创建一个介电材料： EG<YxN X, 名称：guide \atztC{-L> 相对折射率(Re)：3.3 Vy;f 4;I{ 2) 创建第二个介电材料 &uwj&-u? 名称： cladding Ys@M1o 相对折射率(Re)：3.27 P"dWh;I_ 3) 点击保存来存储材料 \{F{yq( 4) 创建以下通道： *u$MqN 名称：channel R;9H`L/> 二维剖面定义材料: guide ?@U7tNI 5 点击保存来存储材料。 xjHOrr
OQ
Byf5~OC 2. 定义布局设置 u<x2"0f 要定义布局设置，请执行以下步骤。 oVPtA@ 步骤 操作 S/}6AX#F4 1) 键入以下设置。 wYtL1D( a. Waveguide属性： , f `435R 宽度：2.8 ~]HeoQK 配置文件：channel 0MK|spc b. Wafer尺寸： `8Y& KVhu 长度：1420 AtRu)v6r 宽度：60 dmHpF\P5f c. 2D晶圆属性： s; 'XX}Y 材质：cladding #%CbZw@hJ9 2) 点击OK，将此设置应用到布局中。 ^dB~#A1
I^iJ^Z]vx 3. 创建一个MMI星型耦合器 yc.Vm[! 由于MMI星形耦合器中有四个输出通道，因此需要找到在教程2(教程2：创建一个简单的MMI耦合器)中的简单MMI耦合器所产生的四个最大强度的位置。 如教程2中所述，这个位置在MMI耦合器中的第二个波导大约1180-1210μm的地方。 t+'|&b][Qi 要创建MMI星型耦合器并找到所需耦合的相关耦合器长度，请执行以下步骤。 G%
wVQ|1 步骤 操作 *')g}2iB 1) 绘制和编辑第一个波导 i6R2R8 a. 起始偏移量： i"=6n>\ 水平：0 mQmn &:R 垂直：0 J /3qJst b. 终止偏移： D}| PBR 水平：100
zzsQfI# 垂直：0 0-H! \IB 2) 绘制和编辑第二个波导 IUco
8 a. 起始偏移量： yT Pi/=G 水平：100 ^06f\7A 垂直：0 8d9&LP v b. 终止偏移： H`/Q hE 水平：1420 rrK&XP& 垂直：0 BIf E+L( c. 宽：48 /\L|F?+@ 3) 单击OK，应用这些设置。 fY@Y$S`Fh ;SAur G$
5~T`R~Uqb
4. 插入输入平面 5t] }(.0+
要插入输入平面，请执行以下步骤。 S pxkB!
步骤 操作 av> c
1) 从绘制菜单中选择输入平面。 ea3;1-b:
2) 要插入输入平面，请单击布局窗口的左侧。 uGm~ Oo
输入平面出现。 y:Xs/RS
3) 要编辑输入平面，请从编辑菜单中选择属性。 RXa&*Jtr -
出现“输入平面属性”对话框（参见图1）。 |cp BoU
4) 确保在“全局数据”选项卡中，Z位置：偏移量，值为2.000。图1.输入平面属性对话框 sS 5 ]d8
{@Y|"qIN
5. 运行仿真 WPVur{?<
要运行仿真，请执行以下步骤。 V{17iRflf
步骤 操作 F&US-ce:M
1) 从“模拟”菜单中，选择“计算2D各向同性仿真”。 :TU;% @7
将显示“模拟参数”对话框。 ,]?Xf >
2) 在“全局数据”选项卡上，在“显示数量”中键入250。 \\F^uM7,
3) 单击2D选项卡，确保选择了以下设置（参见图3）。 c"BFkw
3V:{_~~
偏振：TE ~_WsjD0O
网格-点数= 600 GOJ*>GpS
BPM求解器：Padé（1,1） [r'PGx
引擎：有限差分 sg"J00
方案参数：0.5 F Q dz":5
传播步长：1.55 7Q,9j.
边界条件：TBC 8hWB T UN
注意：有关仿真参数的更多信息，请参阅OptiBPM用户指南。 !mNXPqnN
V4cCu~(3;~
...... {~.~ b+v
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QQ：2987619807 V@gwe ci
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