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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 Sci4EGc sh(kRrdY3 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） Sm$j:xw < '"w}gx 所需工具：Grating Toolbox Basic L;S*.Ol> ;eW'}&|LV 相关Tutorials：G.001; G.014 KT];SF ^Y 建模任务 :-u-hO5*8 60,-\h 理想平面波照射 P,/13tZ#3 e-i YJ? i6F:C
&.  dT]L-uRZgy +t>*l>[ <,@H;|mZ 镀膜倾斜光栅 目标平面 'EL || YO(:32S 周期：10um 'l'
X^LMD 厚度：10um +#*&XX5A#? 倾斜角度：20度 'G l;Ir^ /1 US, 光栅的参数 Q)G!Y
(g\ B 9LSxB —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 E#<7\ p> —填充因子 2—后面的介质 i<#h]o
C} —膜层厚度 3—膜层材料 gp$EXJ= —光栅厚度 ApG'jN XhE$&Ff ?-8y4
Ex  Sf'i{xye
6;
5)/ q ,b6kTQq 设置层数和转折点 [_
M6/ n5egKAgA gb=80 s0  2 设置层数和转折点以确定膜层 AZx rJ2G 5; F P.{+ Y _[g_ 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 k;;nE o~6 >`hSye{ 3Vc T7y*{P 实现可编程光栅 *CeQY M j6tP)f^tD 1Q&cVxA"\  0 NQ7#A
H\)gE> <#xrrRhm} 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） c8#T:HM|`  Zk]k1]u*5 *>e~ _{F 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） jOBY&W0r s.^c..e75C 7<EJo$-j uQ :Qb|  :v#k&Uh3y s8t f@H4r 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） "?i>p z  99F>n [5 M0O>Ljo4RN 2 双击Data Series Diagram `GvA24 1 x 8 f6, 采样结果 3AvVU]@&Z@  L3B8IDq
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. @<vF]\Ce "0|BoG
QQ：2284816954 备注：光学
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