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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 @ ?bY, T9uOOI 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） DC0O N` k\IdKiOj!D 所需工具：Grating Toolbox Basic se*k56, uo bQ S! 相关Tutorials：G.001; G.014 "iUh.c=0F, 建模任务 hp@F\9j fp J%{z2 理想平面波照射 -FW^fGS+ eu'~(_2 z=Xh  $.4N@=s,?c dtig_s,)D 3 6t^iV*3 镀膜倾斜光栅 目标平面 @T J 0bOT&Z^ 周期：10um P3v4! tR 厚度：10um H'Jz:6 倾斜角度：20度 25<qo{ "^wIixOH5 光栅的参数 h=^UMat- 8Yo;oH k7 —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 /#zs —填充因子 2—后面的介质 yQf(/Uxk*x —膜层厚度 3—膜层材料 H3( @Q^9 —光栅厚度 )>@%;\qV #Y'ewu;qJ i`= %X{9  HubK
(L:Mdo |Qn>K 设置层数和转折点 Z+=-)& L AuZISb%6 .yD5 >iBh
 2 设置层数和转折点以确定膜层 @^ GI :z 4/OmgBo ' g! OcWy)7 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 "Y@q?ey[1 J"$U$.W= z m]R76 实现可编程光栅 ]dgi]R|` #qv!1$}2 Uyxn+j 5  ?Ezy0>j
8U}+9 rV} 5&N*c 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） I hv@2{*(b  QL*RzFAD 3 /IF?|71,m 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） DuLl"w\_@ { f t |* }$g"|;<ha #g ' j0N  `gyk e2n p,!IPWo 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转）
A[F_x*S  Fk9]u^j Zr =B8wu T 2 双击Data Series Diagram HTMg{ _r(% *9 aI\#} 采样结果 Y#6 LNI  &Pc.[k
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. m/,80J8L+f hT `& Xb
QQ：2284816954 备注：光学
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