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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 frQ=BV5%6 ,ueA'GZ 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） m*e8j[w# )DW".c 所需工具：Grating Toolbox Basic w(M i? .(Z^[C} 相关Tutorials：G.001; G.014 z`J-J*R>d 建模任务 tnX W7ej ^ hR>`I0|p& 理想平面波照射 DfOig LG* #)T'a }6__E;h#J  -S@ ys d)%l-jj9, grd
fR`3 镀膜倾斜光栅 目标平面 nwDW<J{f|U !$-QWKD4 周期：10um NUi&x + 厚度：10um Ac>G F 倾斜角度：20度 3\B~`=*q/ @a]`C
$ 6 光栅的参数 )qWO}]F r_ V^sX —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 {X\FS —填充因子 2—后面的介质
:bP <H —膜层厚度 3—膜层材料 ?I.bC —光栅厚度 h 9%.tGx iqTmgE- 5) 4?i p  U<yKC8
NC x )zJ\S %8"Aq 设置层数和转折点 ,v*\2oG3^ Kk u@!lv 7ws[Rp8  2 设置层数和转折点以确定膜层 ;Ac!"_N?7 ns[h_g!j; Nu}Zsb|{ 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 i:^
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$rXQ ( 2KopL 实现可编程光栅 Ed"p|5~ =co6.Il )|U+<r <  <*4r6UFR
6)3pnhG9 qEPC]es|T 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） = NL(L  KlR IJOS rdm&Y M`J 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） F)tcQO"G k?Iq 6 VSm{]Z!x (M t-2+"+  /3 ;t
&] xNxSgvco , 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） :AC( \  safI`b w1 T C._kAm 2 双击Data Series Diagram <~.1>CI9D3 , *Z!Bd8 采样结果 nA#dXckoc  $C&E3 'O
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. zO)3MC7l* k!wEPi]
QQ：2284816954 备注：光学
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