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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 wP':B
AQ4U KdpJ[[Ug/ 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） 9qy 9 1sLfjH hv 所需工具：Grating Toolbox Basic ~wg^>!E g):jZU]b 相关Tutorials：G.001; G.014 QGj5\{E_ 建模任务 , :4 w$!; /0B ?3&H 理想平面波照射 CPeK0(7Zh H
7F~+ Q-} ,T~5iLKY  B[|/wHMsT} F ^G`Jf <d`Uifq D 镀膜倾斜光栅 目标平面 |3@Pt>Ikl [
=2In; 周期：10um Df3v"iCq } 厚度：10um 4:PP[2? 倾斜角度：20度 '|?r&-5 h I_* >EA 光栅的参数 =~m"TQv 13kb~'+&r —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 X(z-?6N4 —填充因子 2—后面的介质 [te7 uZv- —膜层厚度 3—膜层材料 :uDB3jN[ —光栅厚度 V= MZOj6 +r P<m G.e\#_RR?  deY<+!
$ *- L8An? ClZyQ=UAD 设置层数和转折点 [E7@W[ xr }PL {D q51  2 设置层数和转折点以确定膜层 P`"DepeD I|;#VejX ^v|!(h\Z C 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 5c7a\J9> n7uD(cL GTNTx5H 实现可编程光栅 e"/X*xA :C6r N}_k #8OqX*/  L-$g & -
Nq6CvDXi i=QhX CM 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） y-# tU>P  IpmREl $j 1dsxqN(: 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） !:{_< C"D "iGc'?/+ 2]ljm] \l ?%ntO]  O8o18m8UH 0O4mA&&!oK 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） Y|n Tc .A  g Mn)<u > p~ItHwiT 2 双击Data Series Diagram +JG"eh&J"H @CDR bXoFk 采样结果 i`L66uV  _*I6O$/>
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. B=|sLs`I mJ7kOQ-.$
QQ：2284816954 备注：光学
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