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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 l .YE@EL
'g v0;L 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） G5ATR<0m vEv kC 所需工具：Grating Toolbox Basic =j7Du[?Vu Spm 0` 相关Tutorials：G.001; G.014 5#Er& 6s 建模任务 K;K0D@>]HR ;Iu _*U9) 理想平面波照射 1v@#b@NXM7 q8 v iC| ]ua3I}_B6v  ]HKt7 %, 2a d|v] 0B6!$) *-i 镀膜倾斜光栅 目标平面 .jrNi=BP* )&Ii! tm3 周期：10um 72HA.!ry 厚度：10um R >x d*A 倾斜角度：20度 U%3N=M m^ X51,+< 光栅的参数 *&U~Io"U 5K vp% —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 $b8[/], —填充因子 2—后面的介质 R 'BB- —膜层厚度 3—膜层材料
Y@,iDQ —光栅厚度 E'iE#He 0 R
x#Fm vPkLG*d 8  8ud12^s$
$] 7f1U_e AXyXK?? 设置层数和转折点 =m.Nm -g l 9K`+c+t mhbczVw  2 设置层数和转折点以确定膜层 |}zW H=6 xoZ m,Pxd .?}M(mL 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 +C~h( EJ:O 1 M/ S~"iD 实现可编程光栅 }'[>~&/" `_/bg(E NuZ2,<~9  *'@O o
3Z*r#d$nh: JCWTB`EB> 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 7q0_lEh  m* ^) # s -p)^B 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） vQWmHv\P ]545:)Q1 91OxUVd PV68d; $:8  4m*)( "H )uqzu%T 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） i>M%)HN  c5]Xqq, ?Y"%BS+pt 2 双击Data Series Diagram B{Q}^Mcxy e5_Hmuk| 采样结果 #GM^ :rF  s`yzeo
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. qu B[S)2} 7F<{ Qn
QQ：2284816954 备注：光学
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