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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 " 6Hka{ ++W_4 B! 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） ^,]'Ut \A zl6`Em 所需工具：Grating Toolbox Basic r Z/,^[T Vv~rgN h 相关Tutorials：G.001; G.014 <.s=)}'`P 建模任务 RMMx6L|-: 4&~ft 理想平面波照射 }#Z Q\[ gk >-h,>" $?YRy_SI  lpQsmd# ^a4 y+! j(HC^\Hi 镀膜倾斜光栅 目标平面 I2hX; pk, (Hb
i+IHV 周期：10um j(F&*aH78 厚度：10um /-TJtR4> 倾斜角度：20度 $`W .9 vE0Ty9OH"] 光栅的参数 x_CB'Rr6
#"&h'V —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 D *R F._ —填充因子 2—后面的介质 dVmI.A'nbp —膜层厚度 3—膜层材料 J)vP<.3: —光栅厚度 55 )!cw4 Va /LMw <"Z]S^>$
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+/y 3]} (" <3w2Vlh 设置层数和转折点 ]#]|]>&
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[mp%Q "z)dz ,&T  2 设置层数和转折点以确定膜层 -H5n>j0!{ 2qLRcA=R fEf ",{I 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 ^UHt1[ 9 =7),`$ ;
>Tk o< 实现可编程光栅 t<mT=(zt* -fFM-gt^t Q]9H9?}N?  i$gm/ZO
&;S.1tg xZZW*d_b 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 0Aw.aQ~E8i  Vui5Z K , TPNsz|Q 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） R`q*a_ ":EfR`A# 2mN>7Tj: Cg<:C?>!p  Cy-q9uTm Y+ 75}]B 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 0 1<~~6A  L/dG 0a@1X L"6qS3 [= 2 双击Data Series Diagram >Vz Gx(7q ZnSDq_Uk 采样结果 |3`Sd;^;  Fw? ;Y%
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. rt)70= [u\E*8
QQ：2284816954 备注：光学
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