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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 <?6|.\& r'r%w#=`t 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) h 8S. x) 6 7.+
.2 所需工具:Grating Toolbox Basic 8 +/rlHp 6r0krbN 相关Tutorials:G.001; G.014 K(rWNO 建模任务 VBGuC c/ HYZ5EV 理想平面波照射 CS5?Ti6 BwGfTua qvsd5P eCO 81F/G5 X1|njJGO1 drP=A~?&: 镀膜倾斜光栅 目标平面 \)N9aV Qh3YJ=X& 周期:10um gQg"j) 厚度:10um K~{$oD7! 倾斜角度:20度 `Bp.RXsd* e7Z32P0ls 光栅的参数 |Q6.29 9 jDfC=a]) —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 &*,#5. —填充因子 2—后面的介质 cWaSn7p !X —膜层厚度 3—膜层材料 u#$]?($}d —光栅厚度 W=><)miQ@ ay
;S4c/_ gMmaK0uhS ?
7n`A >T SI-q C 5h-SCB>P 设置层数和转折点 mbxZL<ua ci.+pF xp)sBM7A 2 设置层数和转折点以确定膜层 D 6Ui! 9igiZmM m)t;9J5 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 +>{2*\cZ5} !qh]6%l z6=Z\P+ 实现可编程光栅 gnOt+W8 nbD*x| { ]{/t-= Lv;^My :'-/NtV)o? v5#jZ$<F 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) /sx&=[
D wr/"yQA] HZC"nb}r4 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) {yHCXFWlS P6-s0]-g ghG**3xr rNWw?_H-H( zm5]J u<tbbKM 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) WUe{vV#S'0 +US!YU
!Y0Vid 2 双击Data Series Diagram 30#s aGV #uG%j 采样结果 XH 4 nLZTK&7} 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. _~l5u8{^ 6 JxdDC^> 0 QQ:2284816954 备注:光学
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