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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 9-y<= ) VgMuX3= 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） B X O, iGNZC{ 所需工具：Grating Toolbox Basic /.(F\2+A *7),v+ET 相关Tutorials：G.001; G.014 +>:[irf 建模任务 ~jJ e|zg> 0VIR =Pbp 理想平面波照射 3H%bbFy TtgsM}Fm ;>Z0e`=  ZsGJ[ \$,8aRT>#U ~2Q D .( 镀膜倾斜光栅 目标平面 rC6EgWt<V la`f@~Bbr1 周期：10um XKvH^Z4h{l 厚度：10um 3 *eS<n[uG 倾斜角度：20度 3 *oZol/ K pmq C$ 光栅的参数 o1[[!~8e LKst
QP!I —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 [\=1|t5n~ —填充因子 2—后面的介质 !Za yN —膜层厚度 3—膜层材料 | 43Oc:Ah+ —光栅厚度 GsIqUM#R \sS0@gnDI 'w_Qs~6~{  O66b^*=N}x
,6x>gcR ;;Jx1Q 设置层数和转折点 :%IB34e 5PE}3he: aX.//T:':?  2 设置层数和转折点以确定膜层 {Bb:\N 8X |^gnT`+ Oki{)Ssy 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 U q.hCb` : VhU ,("&pm _BG7 JvI 实现可编程光栅 seZb;0 "MyMByomQ ME*A6/ h  B\+uRiD8w
E opb##o zEw~t&:e 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 0+KSD{  5`q#~fJ2 Rp6q) 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） vHb^@z= -a7BVEFts [x
-<O:r=P STz@^A  ? )7UqVyq ~Sx\>wBlc 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ix5 <h }  c9+yU~( 3]kN 9n{ 2 双击Data Series Diagram j)#GoU=w i_av_ I- 采样结果 \9]- (j6[H  54oJ MW9
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. 6+:;M b_S -cP1,>Ahv
QQ：2284816954 备注：光学
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