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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 Sci4EGc sh(kRrdY3 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) Sm$j:xw< '"w}gx 所需工具:Grating Toolbox Basic L;S*.Ol> ;eW'}&|LV 相关Tutorials:G.001; G.014 KT];SF^Y 建模任务 :-u-hO5*8 60,-\h 理想平面波照射 P,/13tZ#3 e-iYJ? i6F:C
&. dT]L-uRZgy +t>*l>[ <,@H;|mZ 镀膜倾斜光栅 目标平面 'EL || YO(:32S 周期:10um 'l'
X^LMD 厚度:10um +#*&XX5A#? 倾斜角度:20度 'Gl;Ir^ /1 US, 光栅的参数 Q)G!Y
(g\ B 9LSxB —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 E#<7\p> —填充因子 2—后面的介质 i<#h]o
C} —膜层厚度 3—膜层材料 gp$EXJ= —光栅厚度 ApG'jN XhE$&Ff ?-8y4
Ex Sf'i{xye 6;
5)/ q ,b6kTQq 设置层数和转折点 [_
M6/ n5egKAgA gb=80s0 2 设置层数和转折点以确定膜层 AZxrJ2G 5;FP.{+ Y_[g_ 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 k;;nE o~6 >`hSye{ 3VcT7y*{P 实现可编程光栅 *CeQY M j6tP)f^tD 1Q&cVxA"\ 0 NQ7#A H\)gE> <#xrrRhm} 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) c8#T:HM|` Zk]k1]u*5 *>e~_{F 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) jOBY&W0r s.^c..e75C 7<EJo$-j uQ:Qb| :v#k&Uh3y s8t f@H4r 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) "?i>p z 99F>n[5 M0O>Ljo4RN 2 双击Data Series Diagram `GvA241 x8 f6, 采样结果 3AvVU]@&Z@ L3B8IDq 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. @<vF]\Ce "0|BoG QQ:2284816954 备注:光学
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