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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 Od_xH ;Z^\$v9? 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） C.qN Bl* UMtnb:ek 所需工具：Grating Toolbox Basic !\|_,pSB kNq>{dNR x 相关Tutorials：G.001; G.014 wW &q)WOi 建模任务 m1bkY#\ U| s kr dL.5 理想平面波照射 S 7pf
QF slUnB6@Q ^UU@7cSi|G  kU :ge ` 1Ui atr 0hmQ 镀膜倾斜光栅 目标平面 6g*?(Y][ 2<$pai"yl 周期：10um rhf f8C//' 厚度：10um lw+54lZX| 倾斜角度：20度 an q1zH ^mH: 8_=(. 光栅的参数 e= { ?d6 -g n!8G1 —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 R+sv? 4k —填充因子 2—后面的介质
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L —膜层厚度 3—膜层材料 S\76`Ot —光栅厚度 _oz1'}= K;8{qQ* [0bp1 S~  Z.}Z2K
_tlr8vL )7c/i+F sC 设置层数和转折点 @`mr|-Rp@ a``/x_EZMn xs
1V?0  2 设置层数和转折点以确定膜层 *""iXi[ Xr."C(`w &3Y "Zd! 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 cqYMzS
t vRkVPkZ6| _ <Ip0?N 实现可编程光栅 n +v(t n\GN}?4 ECsb ?n7e  '}l7=r
7Y?59
[ j'x@P+A 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 5Lm-KohT'  g& ou[_A 63`5A3rii 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） w-];! ;% -G[TlH06 :FUxe kz BN&eU'Dl]  fBb:J + (fYYcpd,k 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） (]Q0L{~K  18^K!:Of 1@t8i?:h 2 双击Data Series Diagram 6W< I g; }S"qU]>8a 采样结果 naiQ$uq0  00LL&ot
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. c8N pk< >u\'k +=
QQ：2284816954 备注：光学
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