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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 FEz-+X<q2 w !-gJmX> 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） JV^=v@Z3 qFCOUl 所需工具：Grating Toolbox Basic B$fP gW- DFB@O|JL 相关Tutorials：G.001; G.014 df4A RP+ 建模任务 ooj,/IEQ x_N'TjS^{ 理想平面波照射 30#s a GV mZS
>O_E Eex~xiiV  %+W{iu[| pk$l+sNZ= ICx#{q@f, 镀膜倾斜光栅 目标平面 eCU:Q ifMRryN4 周期：10um S"bg9o 厚度：10um o4F2%0 gJ 倾斜角度：20度 a
od-3"7[ 3</_c1~ 光栅的参数 NqazpB* u^ +7hkk —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 X"|['t
—填充因子 2—后面的介质 #C74z$ —膜层厚度 3—膜层材料 Z*]9E^ —光栅厚度 O~#!l"0 L+ Q^9_' t}X ]b:Lo  H7&8\ FNa
)np:lL$$ c \J:![x 设置层数和转折点 #?U}&Bd sQHv%]s 0 q.^;!f1  2 设置层数和转折点以确定膜层 hB]Np1(' 2+ N]PW\V ky,(xT4 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 KI iO a8e6H30Sm ~]IOK$1F% 实现可编程光栅 r ,8 [O T?CdZc. .,|G7DGH]  6RU~"C
t: x \kp Hh3X
\ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） :gv{F} ##  \$~|ZwV{ :S{BbQ){] 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） lwxaMjaL4K vFzRg5lH h ohfE3rd T*/rySs  8+Lm's=W* !3c\NbU 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） xf\ C|@i  I YE~t )Yh+c=6
? 2 双击Data Series Diagram Jc& {`s^Nu &T?RZ2 采样结果 TPQ%L@^ L+  \"w"$9 o6
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. Gt8M&S-; >NGj
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QQ：2284816954 备注：光学
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