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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 rx^pGVyg 9`09.`U9[ 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) -,5g cD *]Vx=7D 所需工具:Grating Toolbox Basic _0vXujz E176O[(V= 相关Tutorials:G.001; G.014 =BGc@:2 建模任务 '`3-X];p %FF
S&vd 理想平面波照射 ]pB~&0jg MGmtA( +Z{4OJK y>~KeUC ff:&MsA|, I=3q#^}[ 镀膜倾斜光栅 目标平面 8-SVgo( m9PcDhv 周期:10um H!45w;,I 厚度:10um aMz%H|/$ 倾斜角度:20度 !J:DBtGT w=^*)jZ8 光栅的参数 &Vonu* YDQV,`S7 —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 9r8{9h: —填充因子 2—后面的介质 (U7%Z< —膜层厚度 3—膜层材料 jR/X}XQtY —光栅厚度 7q67_u?@ 1":{$A?OB <MfB;M >ueJ+sgH -Xd/-,zPY qKSM*k~ 设置层数和转折点 x b _C1n 2"i<--Y F_I! + 2 设置层数和转折点以确定膜层 #lB[]2]N ;^
/9sLW?# K=B[MT#V{2 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 O~t5qnu/} wCI.jGSBW <R!qOQI 实现可编程光栅 b(XhwkGVq #Xn#e 'wQ=b h 1Q7(8=Eg >ZNL
pJQ }7C{:H2d 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) Ot,sMRk' T+~~w'v0 J#X 7Ss 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) ]XP[tLYY $9l3DJ <~Y4JMr" MWB uMF ]#*@<T*[ Z]Qm64^I 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) ]T*{M i3Ffk+ |b {QhvHV 2 双击Data Series Diagram Qe4 }`h}h<B( 采样结果 lv\2vRYw- Z
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A9bB 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. d-?~O~qD|! N.&K"J QQ:2284816954 备注:光学
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