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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 'n7Ld6%1 ^r^) &] 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） |BE`ASW; Q|nGY:98 所需工具：Grating Toolbox Basic )C#b83 _iZ9Ch\ 相关Tutorials：G.001; G.014 j%Z%_{6Ds* 建模任务 ck#MpQ!An aF:|MTC(~ 理想平面波照射 W< :7z 52z{ p7]V1w :  Q1u/QA:z7 f
_*F &-L 6 9EdMuf 镀膜倾斜光栅 目标平面 nrRP1`!]T 76 RFu@k 周期：10um //- ;uEO 厚度：10um OVU+V 0w1a 倾斜角度：20度 K|sx"u|? %j2ZQ/z 光栅的参数 4xzoA'Mb@ |E9i G —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 VgcLG ]tE[ —填充因子 2—后面的介质 U|)C ZcM —膜层厚度 3—膜层材料 6@geakq —光栅厚度 rCgoU
xW` NT<vs"<B /nVGr]t_pj  b&E9xD/;r
xPorlX)zW - DE?L,9X9 设置层数和转折点 PuGc{kt F4
:#okt @_C?M5v  2 设置层数和转折点以确定膜层 ^Qa!{9o[ xjg(}w !t!\b 9= 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 &u~#bDh ? Y\hC0a60 %<[U\TL` 实现可编程光栅 <t"|wYAa_ M5 T4 {^i @;ob 4s U  ~mK|~x01@
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E! 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） "=3bL>\ <  yZw5?{g@ 6z ,nt 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） WHKe\8zWq x{#W84 Ue2%w/Yo fH*1.0f]6  6Dz N.fz !pAb+6~T 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） Y;[+ ^J *a  Xjs`iK=w (hFyp}jkk 2 双击Data Series Diagram +X|^
~)tMJ \ICc?8oL 采样结果 1?,1EYT"  Hh{pp ^
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. FoB^iA6 e nX|]JW
QQ：2284816954 备注：光学
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