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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 MP.ye|i4Q x ~}SQLYy7Z = )4bf"~8 wUfPnAD.' 镀膜倾斜光栅 目标平面 c(Fo-4K ]\]mwvLT 周期：10um R/ x-$VJ 厚度：10um P ?96; 倾斜角度：20度 #a'CoJs
) q/brCq 光栅的参数 aC<fzUD;
vV*/"'> —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 uKB V`I —填充因子 2—后面的介质 W)Y:2P<. —膜层厚度 3—膜层材料 )b pdj, —光栅厚度 J7~Kjl 1F+nWc2 b #qJ6iA6{  }uO2 x@
75A60Uw dEo r+5} 设置层数和转折点 ZmI# -[/ ,4}s 1J# Ct:c%D(L  2 设置层数和转折点以确定膜层 LmUR@
/V Q ! \5)!B ZS@R ? 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 vkW;qt}yO z5sKV7&\[n f917F.1 I 实现可编程光栅 a t=;}}X =,08D^ xY 1KJ[&jS ]  Hl8\*#;C&>
5"+;}E|q
Bm a.Uln 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） z P/SDW  U;gy4rj 9Z3Vf[n5\ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） SL<EZn0F9 r Kl Hq,N OP 'o7V6KG  N I C.c3 %*Yb
J_j7 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） P_gai7Xg  59?$9}ob Yof ]
2 双击Data Series Diagram lO}I>yo}\ RVpo,;: 采样结果 b'RBel;W  R]o2_r7N"}
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. P+ 0 - h e C&!yY2g
QQ：2284816954 备注：光学
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