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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 ~@DdN5 M!aJKpf 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run）
C TKeY 6Yl+IP];i 所需工具：Grating Toolbox Basic \ CX 6~ Y? $ 相关Tutorials：G.001; G.014 &->ngzg 建模任务 k{H7+;_ 1|m%xX,[ 理想平面波照射 }3_ > 3m| C8: ] GO=8$Z  mV^~ BOW BD@y VVDW= G 镀膜倾斜光栅 目标平面 B77`a zwF d^f rKPB 周期：10um t3h ){jZ 厚度：10um Nv^b yWqu 倾斜角度：20度 `?O 0 ) ^qzH( ~g{M 光栅的参数 u- _1)' w2 r —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 }'*6 A —填充因子 2—后面的介质 }m'n1tm;
—膜层厚度 3—膜层材料 Z&79: 9=#> —光栅厚度 QIg'js$W S+#|j
lF_"{dS_6(  ?(n v_O
R1*4 3)O QgeKU 设置层数和转折点 <u xLG;R Lx tgf2r C}(@cn `L  2 设置层数和转折点以确定膜层 6oKdw|(Q # rOz1tY)l0d i(_A;TT6 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 -i1 f
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1 %~ y>9K 实现可编程光栅 Ij$C@hH \ H~zN]3^
zg H(/@P  ;1s+1G}_z
bK.*v4 RG 1Qu@pb ^ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 7}g4ePYag  6JDaZh" =K R|v'+ bv
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） DzQ DY9]$h*y ]8}51 y8
?C#E_  x M(H4.< B\v+C!/f | 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） NcP/W >lN  4(|yl^w :8!RGtn 2 双击Data Series Diagram m3TR}=n NC#F:M;b 采样结果 i' 7+
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可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. W*t]
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QQ：2284816954 备注：光学
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