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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 'x= y:0A !e0/1 j= 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） m
A|" leEzfbb{'. 所需工具：Grating Toolbox Basic =e]Wt/AQ 3M{b:|3/q 相关Tutorials：G.001; G.014 q?oJ=]m" 建模任务 |9
4xRC N-GQ\& 理想平面波照射 mW U*}-M (ZEDDV2 Zx,a j  +,}CuF ~ {s7(^ P ]TKM.[[ 镀膜倾斜光栅 目标平面 ++0xa%: s}":lXkrw 周期：10um /J'dG% 厚度：10um <*&2 b 倾斜角度：20度 0N3S@l#,\A +luW=j0V 光栅的参数 bq` 0$c%hN ctL,Mqr\Z —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 z/7"! —填充因子 2—后面的介质 ?ik6kWI —膜层厚度 3—膜层材料 |h%fi-a: —光栅厚度 s)|l -I # FV `*G
tL@m5M%:N2  x^ ] 1m%
dDla?)F W>]= 0u4 设置层数和转折点 &:*|K xX [Kj L` Oo 95\Yf$N  2 设置层数和转折点以确定膜层 4U1 "F 7' j*;/Cah]k '|N9xL m 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 Xa32p_|5~ ' 5"`H>[ z"lRfOWI 实现可编程光栅 18U
CZ;)> OQh( qa (s.S
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D>Ph))QI yasKU6^R' 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） />9?/&N6"  g:nU&-x#R (eA h8^) 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） *Q pKeI +EBoFeeIG f<0n j? xN#. Pm~  ~V4&l3o 2 9=L7 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 8" g.Z*  ]%5DuE\M8\ Zj8aD-1]U^ 2 双击Data Series Diagram U ]6 Hml;l O{9h'JU 采样结果 i
XI:yE;  glppb$oB\
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. cHMS[.=; &~7b-foCq
QQ：2284816954 备注：光学
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