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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 UKX9C"-5v 6a6;]lsG 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) 4efIw<1_ W%&t[_21 所需工具:Grating Toolbox Basic a,mG5bQ! x-27rGN 相关Tutorials:G.001; G.014 z ntvKOIh 建模任务 dpG l ! |4fww 理想平面波照射 _G3L+St X 4L"M%i [0c7fH`8V XBx&& cdd6*+E W5i{W' 镀膜倾斜光栅 目标平面 9;2{=, s Zn@y e^ 周期:10um Z4ekBdmCL 厚度:10um &<nj~BL 倾斜角度:20度 j(aok5:e D[jPz0 光栅的参数 Y @(izC&h Sb QM!Q —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 |)KOy~" —填充因子 2—后面的介质 K&"ZZFd_ —膜层厚度 3—膜层材料 FTgqE@ —光栅厚度 xg(*j[ff3 E+Eug{+ DhVO}g)2# R6m6bsZ` 6Pp3*O`/V U{C&R&z 设置层数和转折点 D[p_uDIz #i;y[dQ 99GK6}~TGm 2 设置层数和转折点以确定膜层 61SbBJ6[ *-eDUT|O a&z$4!wQB 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 2F&VG|" > I>=/i^ jvQpfd 实现可编程光栅 P.
Kfoos Mp`!zwR s&d!+-\6_ ^aI$97Li eWGaGRem &gdhq~4# 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) ,a34=, ?s5/ U|~IJU3- 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) WRqpQEY v*JXrB&x je;|zfe] jaL# x/L(0z -Oplk* 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) c[+uwO~ Z8I0v$LjR RjxFlKs8 2 双击Data Series Diagram H;N6X y*~ ~o27~R ] 采样结果 b *Ca*! wBz5_ OFVw 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. (mgv:<c;BA 8SN4E QQ:2284816954 备注:光学
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