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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 MNV Olo A $i.)1.x 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） 9vw0box qJq2Z.>hy 所需工具：Grating Toolbox Basic Bv(c`JE~; D/Hob 相关Tutorials：G.001; G.014 "?(N 建模任务 MrFi0G7u ;=F]{w]$+ 理想平面波照射 4.qW
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w`gLl # 25%17 镀膜倾斜光栅 目标平面 6%t>T~x iU9> qJ] 周期：10um ZI NqIfc 厚度：10um HL34pmc 倾斜角度：20度 _7Rp.)[& 3| 9
U`@ 光栅的参数 |Y|g T*v ?R8wm E[ w —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 J-)9>~[E< —填充因子 2—后面的介质 \\9$1yg —膜层厚度 3—膜层材料 \aB>Q"pS —光栅厚度 D0HLU
~o d/!R;,^ nc Cgc5uP  ~.L\f%<
p`}'-A|@ 3r]N\c 设置层数和转折点 b%"Lwqd r7 xv:VW< ,sln 0  2 设置层数和转折点以确定膜层 P_8z'pYd> "l .1 UB& Mz#<Vm4 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 ]v,>!~8r i1 k#WgvZR q #!]5 实现可编程光栅 ;Uv/#"r /2#1Oi)o [d}AlG! 
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K>x+*UPL ~L7@,d : 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） :d ,]BB  4A@77#:J5 oo{3-+ ? 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 9/_ F eg$y,Tx d9kN @W cTQ]0<9:e  ;R
x Rap kvo V?<! 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） r#;GVJR6  @#C Z7~Hn rjLPX 2 双击Data Series Diagram QqU>V0y"w( CW9vC 采样结果 a/v!W@Zz}  SV}C]<
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. U81--'@y ;"N4Yflz
QQ：2284816954 备注：光学
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