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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 3+ @<lVew6 9 D7+[`r(- 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） \'|> p/5I d4?Mi2/jF 所需工具：Grating Toolbox Basic _i20|v eD*A ) 相关Tutorials：G.001; G.014 k}
| 建模任务 maXG:l| q U]gj@R 理想平面波照射 SV2M+5#; #6 +@M vT J}8  cVv;Jn YgUvOyaQXf g7O qX \ 镀膜倾斜光栅 目标平面 px}|Mu7z~ UFp,a0| 周期：10um \lZf< f 厚度：10um i 7x7xtq 倾斜角度：20度 (] Y 5eM NhaI<J 光栅的参数 xwJH(_- [Pq}p0cD —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 F W/ W%^ —填充因子 2—后面的介质 `C$:Yf]%nG —膜层厚度 3—膜层材料 L$ IQuy —光栅厚度 f"qg a/ aC%m- m y 0'Rmk,  N4L|;?
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,|xJjh dIRm q+d^ 设置层数和转折点 hvDNz"ec{ XT@-$%u _ Jme!Oaa  2 设置层数和转折点以确定膜层 } ^/9G17 n&-qaoNl Q 4f/Z 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 ;9#Z@]p 5A
sP5 &Ncz v"TM 实现可编程光栅 V- Cv,8 ;uw Ryd ]y ,==1To  ;)!Sp:mHX
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Fiyc m<0&~rg 采样结果 }w1~K'ck}>  sK7+Q
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. gMaN)ESqd4 p\JfFfC
QQ：2284816954 备注：光学
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