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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 J )oa:Q 5O#CdN-S 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） XG@_Lcv* -8 HIsRh 所需工具：Grating Toolbox Basic S)C =Q~& MIub^ $<C 相关Tutorials：G.001; G.014 Y
6K<e:Y 建模任务 gs_"H D0 6'" 理想平面波照射 8|.( Y u sZmf=p-r Y\(Q  c|X. &<lX 8 iB1a6TlL z2i?7)(?;A 镀膜倾斜光栅 目标平面 y)t< r O _yJR 周期：10um I;qeDCM 厚度：10um kpsus \T 倾斜角度：20度 i*:lZ eU61 p ~J`}>yo 光栅的参数 Sir7 TQ4B ?5K. #>{ —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 =O?<WJoK —填充因子 2—后面的介质 9` f]Rf" —膜层厚度 3—膜层材料 Bcg\p} —光栅厚度 +_|M*% IVzJ| BT: =  ^:5 ;H=.
3Ew-Ia%A .t.H(Q9 设置层数和转折点 (=}U2GD* 'uGn1|Pvy s 4Lqam!  2 设置层数和转折点以确定膜层 J
[J, )TnxsFC JBtcl# | 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 o/@.*Rj>Bg Tm-Nz7U^^ _Ft4F`pM 实现可编程光栅 fLA!oeq{&} MLtfi{;LH 4.$ <o/M  hC4##pAa
F-k3 'eyY 8`Q8Mct$< 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） u7ZSs-LuHw  B f~ `YVdIDl] 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ;Xk-hhR &?f{. sDTCV8"w @Iia>G @Rz  Z@>hN%{d+g r&@#,g 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） C=2  5, R\tJCK coT|t
T 2 双击Data Series Diagram }dX[u`zQ +[:"$?J 采样结果 xQ\/6|  TCYjj:/
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. + ObP[F .0k ltnB
QQ：2284816954 备注：光学
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