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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 eDT Ey;^o QM;L>e-ZY 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） ^f3F~XhY3 Q
v{q:=k 所需工具：Grating Toolbox Basic <=19KSGFt }\l5|Ft[! 相关Tutorials：G.001; G.014 N'2u`br4KP 建模任务 `"-)ObOj} k}jH 理想平面波照射 3~Ipcr
B b?HW6Kfc ;O{AYF?,N  q;B-np?U gDAA>U3|$ UN,@K9 镀膜倾斜光栅 目标平面 2psLX V=E9*$b] 周期：10um z,DEBRT+ 厚度：10um /H!I90 倾斜角度：20度 3(FJ<,"D} ,h> 0k`J:a 光栅的参数 CE*@CkC0z vK2L"e —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 ,gkxZ{Eh —填充因子 2—后面的介质 R<k4LHDy —膜层厚度 3—膜层材料 $ i~DUT( —光栅厚度 =b9?r PlBT
H <VgnrqF6: 
WnHf)(J`"
P8;|>OLZ) C/
;f)k< 设置层数和转折点 3G5i+9Nt.L (* "R"Y H!oP!rzEo  2 设置层数和转折点以确定膜层 vco:6Ab $ Fwho.R-. B6=8cf"i 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 {!6! z, u49/LtB\ &t%ICz&3 实现可编程光栅 Mx$VAV^\ 6 !b9 6bV c%i/ '<Afr  ogjm6;
52-^HV bl}$x/
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 1 ht4LRFi  g-')|0py l+YpRx/T\ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ~u}[VP rj<%_d'Z` ^qV*W1|0 ~Bj-n6 QDE  pm<<!`w" m6'YFpf)V 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） VbA#D 4;  @c7 On)sy p?8> 9 2 双击Data Series Diagram ^HC!
my .;*0odxv 采样结果 o+6Y/6Xp@  #4d 0/28b
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. ^B]M- XG WY<ip<
QQ：2284816954 备注：光学
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