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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 J a7yq{j u|+ Dqe` 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） FyhLMW3 7~qyz]KkE 所需工具：Grating Toolbox Basic ^Q#g-"b f
q&(&(| 相关Tutorials：G.001; G.014
@hF$qevX 建模任务 >^~W'etX| )i ^ S:2 理想平面波照射 D~zk2 +zg3/C4 S 0: Nw8J  ROr|n]aJj Kgw, ]E&7 %BwvA_T'Q 镀膜倾斜光栅 目标平面 AsfmH-4) _[pbf ua 周期：10um o_sb+Vn| 厚度：10um B%I<6E[D 倾斜角度：20度 'j9x(T1M1 !!<H*9]+W; 光栅的参数 [{q])P; IMSLHwZ —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 PVi0| —填充因子 2—后面的介质 {Rz(0oD\ —膜层厚度 3—膜层材料 V` 4/oM` —光栅厚度 &9ERl Z( A 2AXf'IOqE blKF78  `PtfPt<{
ATF>"Ux (&1 56 5 设置层数和转折点 J(5#fo{Q.g Sg<
B+u\\ &S=xSs:q.  2 设置层数和转折点以确定膜层 f_z]kA
+H }2''}-Nc KjK-#F,@ 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 3~\,VO'' 'd]t@[# ! JauMR 实现可编程光栅 /], 9 N y`Zn{mQ@[ mq +x=  -#Jp@6'k%
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Q8y]9O  LaYd7Oyf] $"g'C8 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） +ZR>ul-c YJ}9VY<}1K A3.*d:A ;NF:98  bb} Fu/S K$wxiGg8P 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） i,mZg+;w  !
u9LZ y\=^pla 2 双击Data Series Diagram SNC)cq+{ ~!P&LZ 采样结果 K.Y.K$NjP{  S;tvt/\! Z
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. eMtQa;Lc9o v}. ~m)
QQ：2284816954 备注：光学
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