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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 "0+_P{w+  
     eHi|_3A&*  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 *f$mSI=  
     =- ~82%  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 .t4IR =Z  
     tX cc#!'4C  
    所需工具箱子：光栅工具箱 *Eu ca~%=  
     3/>McZ@OH  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 &4sUi K"  
     `UMv#-Y8  
    建模任务 (EIdw\  
    c~b[_J)  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 Lg[*P8wE  
    ]y@9 z b  
    p@/!+$^{  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 pMYEL  
     7m{ 'V`F  
    nM34zVy  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 +|).dm  
     Xz4!#,z/  
    m.EI("n"J  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     u^|XQWR$:  
    4~hd{8  
    k/=J<?h0  
    1Z6<W~,1OM  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 *L%HH@] %_  
    Kjc"K36{L  
    ]8*g%  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 $`.7XD}  
    'W3>lAPx!  
    *4Y1((1k  
    X线偏振光模拟结果：
    N\l\ M  
    Zk"'x,]#  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 6E{HNPMb>  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 c<wsWs 4V  
    AcyiP   
    %RG kXOgp  
    Y线偏光模拟结果 %N7b XKDP  
    h^D? G2O  
    fAm^-uq[  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 SGre[+m~m  
    结论： /jaTH_Q),:  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 oS0l Tf\  
    QQ：2284816954 备注：光学     EeG7 %S 5(  
     
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