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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 pLMt 2 G  
     0-2|(9 Kc  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 DaQ"Df_X  
     @6u/)>rI  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 &C 9hT  
     mU'<:gL+  
    所需工具箱子：光栅工具箱 20:F$d  
     60D36b(  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 rfXxg^  
     Fq9YhR  
    建模任务 H4/wO  
    {#,<)wFV\  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 PEMkx"h +  
    i"{O~[  
    uuzV,q  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。   f XD+  
     Q*ITs!~Z  
    )6|L]'dsZ  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。  q+P@2FL  
     f/Gx}x=  
     Rr) 5 [  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     ]#!uke Q  
    #Z&/w.D2  
    '&>"`q  
    O zAIz+`  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 kZ]H[\Fs  
    %mI0*YRma  
    'Zx5+rM${}  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 `Sod]bO +U  
    t],a1I.gk  
    FD=% 4#|  
    X线偏振光模拟结果：
    b R\7j+*&  
    Hv,|XE@Y  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 Qg>NJ\*Q  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 2e48L677-  
    A5l Cc b  
    {X{R]  
    Y线偏光模拟结果 st'T._  
    $l.*;h*  
    $8EEtr,!  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 3m1g"  
    结论： 0G%9 @^B  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 C@M-_Ud>Q  
    QQ：2284816954 备注：光学     V&Y`?Edc  
     
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