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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 ]#q$i[Y  
     |BGzdBm^x:  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 c]z^(:_>  
      wJvk  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 o(t`XE['<  
     K+yi_n L  
    所需工具箱子：光栅工具箱 [ei5QSL |  
     6+PP(>em  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 {c&9}u$e  
     #SD2b,f  
    建模任务 =umF C[. W  
    6e}T zc\@(  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 (ueH@A"9;  
    L9whgXD  
    l|9'l[}&  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 _F8-4  
     Rob: W|  
    :X*uE^bH  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 1'B=JyR~K  
     =3,Sjme  
    d{C8}U  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     o i~,}E_  
    $ WWi2cI;  
    ' 94HVag  
    pcm1IwR`  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 91#n Aj%  
    UB% ;P-RD  
    8R;E+B{  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 vha@YPC=  
    |txzIc.#  
    q93V'[)F  
    X线偏振光模拟结果：
    i'#%t/ u  
    x6=tS  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 i\MW'b  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 %g4)f9>  
    6|%HCxWO  
    YeF'r.Y  
    Y线偏光模拟结果 HlX7A 1i/  
    hDEZq>&  
    $5>x)jr:w+  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 \z2d=E  
    结论： :/NP8$~@j  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 6M8(KN^  
    QQ：2284816954 备注：光学     c;R .rV<  
     
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