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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 3G[|4v?[<_  
     )m#Y^  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 Y7zs)W8xTT  
    LZb<-vK"y  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 :c|Om{;  
    h w ^ V  
    所需工具箱子:光栅工具箱 vV xw*\`<6  
    oI!"F=?&6  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 :%z#s  
    ; Xf1BG r  
    建模任务 Oi'y0S~ g  
    }L(ZLt8Q  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 Zs]n0iwM'@  
    _9]vlxgtG(  
    :tbgX;tCs5  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 u]Q}jqiq"  
    o l41%q*  
    MhR`  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 b*(K;`9)B  
    PZQAlO,  
    c~4Cpy^  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    Qu1&$oO  
    O_qwD6s-_  
    /@|iI<|  
    }S8aR:'  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 \gA<yz-;N  
    L}CU"  
    8 R%<~fq r  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 0TaI"/ai  
    %g:'6%26  
    dOKp:|9G  
    X线偏振光模拟结果:
    n?nzm "g  
    =^GPQ_"  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 kc0MQ TJU  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 xxyc^\$  
    PDPK|FU  
    m5iCvOP  
    Y线偏光模拟结果 U#c Gd\b  
    &9^4- 5]  
    ">.tPn  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 D{s87h  
    结论: ^utOVi  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 _]33Ht9  
    QQ:2284816954 备注:光学
    ;&n iZKoe  
     
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