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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 tkKiuh?m  
     *32hIiCm  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 j )b[7%  
     g.T:72"  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 `0Bk@B[>  
     D $3Mg  
    所需工具箱子：光栅工具箱 eNX!EN(^  
     h@yn0CU3.  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 /V$U%0  
     9B?-&t  
    建模任务 :SvgXMY@  
    HGlQZwf  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 VQwF9Iq]`  
    i-gN< 8\v  
    ?]PE!7H  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 S>V+IKW;(  
     kBg8:bo~  
    0Tq=nYZA  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 P:&X1MC  
     \2!1fN  
    +Fa!<txn  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     z^^)n  
    Z]qbLxJV  
    iqr/MB,W  
    u.dYDi  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 6&`hf >  
    1U6 z2i+y  
    chA7R'+LA  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 =bJ7!&  
    liU8OXBl  
    ble[@VW|  
    X线偏振光模拟结果：
    Ra/Pk G-7  
    w?:tce   
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 TQ5*z,CkS  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 b|oT!s  
    aI;-NnC  
    wl7 (|\-  
    Y线偏光模拟结果 qV7 9bK  
    `Vl9/IEk  
    O+OUcMa,  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 j9xu21'!%  
    结论： <NWq0 3:&  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 A~}5T%qb  
    QQ：2284816954 备注：光学     'e/wjV  
     
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