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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 `Hu2a]e9  
     \lwLVe  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 M[u6+`  
     =<K6gC27  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 3m&  
     B)P]C5KRD  
    所需工具箱子：光栅工具箱 sfy}J1xIL  
     nuA 0%K  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 *l%&/\  
     r{*BJi.b  
    建模任务 >V\^oh)t]t  
    p3T:Y_  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 Pj!f^MN  
    R. vVl+  
    xm=$D6O:  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 f'M([gn^_  
     z'"Y+EWN  
    EiZa,}A  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 *!dA/sid  
     #]gmM  
    Zzb?Nbf  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     NnU`u.$D  
    DhsvN&yNM  
    Z B!~@Vf  
    Fw}|c  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 @:>gRD  
    dI!/H&`B]  
    <jM { <8-  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 G68@(<<Z  
    MY}K.^ 4^  
    uotW[L9  
    X线偏振光模拟结果：
    3Y&4yIx  
    Cbm^: _LR  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 6)20%*[  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 T{yJL<  
    Zp9kxm'  
    2. {/ls  
    Y线偏光模拟结果 64>CfU(  
    Sn' +~6i  
    j"VDqDDz  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 33&\E- Q>  
    结论： i` ay9J8N  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 [8 H:5 Ho  
    QQ：2284816954 备注：光学     Z a S29}  
     
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