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案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 }: #dV
B+ q Z\L 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 YOw?'+8 %x2b0L\g 关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 {e9Y
!oFg `jW4H$D 所需工具箱子:光栅工具箱 HF4Lqh'oco 7*'@qjTos 相关案例:G.001a,Scenario 104.01 nPf'ee fv==Gu%{ 建模任务 ~%P3Pp M_&4]\PkCy 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 BI/y<6#rR 1ih* gJPpj BJIQ
zn3 双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 IK?]PmN4} Zz")`hUG
|Ylg$?,9* 为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 $c9=mjwH l\aUresm FfXZ|o$; 选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 oc;VIK)g]c [Yvsa,2 u+DX$#-n!] ,wTg$g-$ 选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 9HKf^+';n 3Uo]>BG ,i![QXZ 堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 ]wf|PU~nr 5mIXyg 0: Oxj(g;} X线偏振光模拟结果: wT%"5: R-C5*$ 探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 g< )72-h 在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 %yhI;M^ u\w 2S4c #S*pD?VZ Y线偏光模拟结果 ^Y<M~K972 Mk "vvk w`-$-4i 对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 }{=8&gA0 结论: \CwtX(6. 严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 nrbazyKm QQ:2284816954 备注:光学 x/_dW
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