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案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 3G[|4v?[<_ )m#Y^ 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 Y7zs)W8xTT LZb<-vK"y 关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 :c|Om{; h
w^
V 所需工具箱子:光栅工具箱 vV xw*\`<6 oI!"F=?&6 相关案例:G.001a,Scenario 104.01 :%z#s ;Xf1BG r 建模任务 Oi'y0S~g }L(ZLt8Q 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 Zs]n0iwM'@ _9]vlxgtG( :tbgX;tCs5 双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 u]Q}jqiq" ol41%q* MhR` 为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 b*(K;`9)B PZQAlO, c~4Cpy^ 选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 Qu1&$oO O_qwD6s-_ /@|iI<| }S8aR:' 选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 \gA<yz-;N L}CU" 8R%<~fq r 堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 0TaI"/ai %g:'6%26 dOKp:|9G X线偏振光模拟结果: n?nzm "g =^GPQ_" 探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 kc0MQ TJU 在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 xxyc^\$ PDPK|FU m5iCvOP Y线偏光模拟结果 U#cGd\b &9^4-5] " >.tPn 对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 D{s87h 结论: ^utOVi 严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 _]33Ht9 QQ:2284816954 备注:光学 ;&n iZKoe
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