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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 KJFQ)#SW!  
     -}m  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 W,~*pyLdO  
     I0Do%  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 L~ax`i1:"  
     "dCIg{j   
    所需工具箱子：光栅工具箱 4AhF E@  
     $MasYi  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 q<\r}1Dm  
     @Xoh@:j\  
    建模任务 .U(6])%;@  
    xd3mAf  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 5tv*uz|fv  
    f #h0O3  
    u0R[TA3  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 6No.2Oo  
     Vc'p+e|(  
    "|i1A R:I  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 Rb<| <D+  
     Yy 4Was#  
    nxN("$'cq  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     ;2h"YU-b  
    =pe O %  
    mV]~}7*Y;  
    IO #)r[JZ  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 3Dc^lfn  
    {;bec%pq0  
    r;f\^hVy  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 E2 'Al6^C  
    ? Zv5iI  
    yzpa\[^  
    X线偏振光模拟结果：
    Rt%Dps%  
    %|@?)[;  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 Q9y|1Wg1W  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 Q3lVx5G>4  
    ?_pd#W=!  
    XF{2'x_R  
    Y线偏光模拟结果 $_ $%L0)5  
    .*k!Zl*  
    FIn)O-<  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 >VjtKSN  
    结论： \^F6)COy  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 )P1NX"A  
    QQ：2284816954 备注：光学     D622:Y886  
     
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