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案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 993f6 _'LZf=V0 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 !
5NuFLOf :nQlS 关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 i'7+
?YL Qr9;CVW 所需工具箱子:光栅工具箱 t*=[RS* ](A2,F
9(U 相关案例:G.001a,Scenario 104.01 xC,x_:R` @phVfP"M 建模任务 G[A3H>
> e=WjFnK[x7 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 %/"n(?$W }:Gs , D%abBE1 双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 b7Jxv7$e
v6s,lC5qR !R"W2 Z4h 为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 BtZ]~S}v 1^4:l!0D EU %,tp 选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 )63
$,y-;$ {d'-1z"q "FWx;65CR V}Y*Yv 选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 a:fP mK[Z#obc= ?: yz/9( 堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 %bAQ>E2;m n4/Wd?#` qcS.=Cj?) X线偏振光模拟结果: d_,5;M^k t$18h2yOL 探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 ZpV]X(Px(o 在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 S^eem_C (Jk&U8y AJ bCC Y线偏光模拟结果 sD:o
2(G* nt#9j',6Rn ]>t~Bcnm 对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。
u]P| 结论: 9{*{Ba 严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 wlT8| QQ:2284816954 备注:光学 RpQeQM=
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