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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 wCn W]<+  
     E(TL+o  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 a7OD%yQ  
     pjHUlQ   
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 Et`z7Q*e  
     (B,CL222x  
    所需工具箱子：光栅工具箱 ":eHR}Hzx  
     uN6TV*]:  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 FS`{3d2K +  
     d;;]+%  
    建模任务 ]hv4EL(zi  
    ,Qj7wFZ  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 #/5jWH7U  
    >KM<P[BRd  
    mpXc o *!_  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 1 ljgq]($  
     Ojie.+'SB  
    $S=lm {  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 !*+~R2&b  
     DghX(rs_  
    Ou8@7S  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。      ] |~],\  
    EiIbp4*e  
    y\r8_rBo  
    /e#_Yg  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 J/R=O>  
    2-]gHAw%  
    UiaY0 .D  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 3D;\V&([  
    IqcPml{\  
    }|{yd03 +  
    X线偏振光模拟结果：
    rv:,Os_  
    RK"dPr  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 ZZzf+F)T  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 e!G I<  
    ##1[/D(  
    ?<xGO@b .  
    Y线偏光模拟结果 D|`[ [  
    v[35C]gS  
    ]}~*uT}>  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 5NBc8h7 V  
    结论： l|U=(aA]h  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 X:@nROL^7  
    QQ：2284816954 备注：光学     XvZg!<*OH  
     
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