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案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 "$6 .L^9W vk>EFm8l 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 <GRplkf` Lo-\;%y 关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 \:[J-ySJ W, YYL(L 所需工具箱子:光栅工具箱 F&[MyX U4 -z6{! 相关案例:G.001a,Scenario 104.01 873'=m& LF?MO1!M 建模任务 y'#i'0eeL M"l<::z 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 >M-ZjT> 48p< ~#<W\ 8Vf]K}d 双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 Qi?xx') +ia N[F$ ?K>=>bS^h 为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 ,2*x4Gycb M
s5L7S AhauNS^"{R 选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 x+;"(]# '|~L9t /tqQAvj ?$Tp|<tx# 选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 66jL2XU< PYPDK*Ie Fmo^ ?~b 堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 `k.Nphx~% DI,8y"!5 Z7:TPY$b X线偏振光模拟结果: *\4u :1Cu g]a5%8*{ 探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 Pi&8!e< 在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 VHlo}Ek<# XaH%i~}3 _`LQnRp( Y线偏光模拟结果 S(MVL!Lm (Ymj
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Ss 对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 Uc>$w?oA 结论: @Q#<-/ 严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 jJU9~5i? QQ:2284816954 备注:光学 !y 7SCz
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