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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 cI O7RD$8  
     ~8-Z=-  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 @Ee'nP   
     L.[ H   
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 ,4-)  e  
     yB7=8 Pcx  
    所需工具箱子：光栅工具箱 ^fLePsmd  
     IQS:tL/  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 }/yhwijg  
     oXc!JZ^  
    建模任务 d (Fb_  
    NY'sZTM&  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 L>Y>b4oy3  
    D-/K'|b  
    XF{ g~M  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 ;R E|9GR  
     9ZL3p!  
    1}C|Javkn  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 af61!?K  
     ?=B$-)/  
    :t6 w+h  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     2NLD7A  
    m ?a&XZ  
    ]w/`02w"$  
    /#z5bo  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 y#:_K(A" k  
    vr|9NP]v  
    ;^}gC}tq  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 6uCa iPV  
    ,%#FK|  
    9pKN^FX,76  
    X线偏振光模拟结果：
    J~6+zBF  
    $ZD1_sJ.  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 )z/+!y  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 bb# F2r4  
    A@BYd'}]  
    J#7\R':}zl  
    Y线偏光模拟结果 bwG2=  
    sv0) sL  
    N<1u,[+  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 2r2qZ#I}  
    结论： VLuhURI)  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 nc#}-}`5  
    QQ：2284816954 备注：光学     V,<3uQD9a  
     
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