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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 zo1 fUsK?  
     #eKH'fE  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 |[$ TT$Fb  
     SjvSnb_3  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 H4W!@"e  
     a *nCvZ  
    所需工具箱子：光栅工具箱 3O|2Z~>3  
     <4-g2.\  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 `F_R J.g*p  
     5GURfG3{  
    建模任务 3E!3kSh|  
    WA#y&  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 w$jSlgUHy)  
    q( %)^C  
    4UMOC_  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 $Q=S`z=  
     B3E}fQm )  
    jT4 m(j  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 <ti,Wn.  
      4Gj  
    :,.HJ[Vg&  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     FMT_X  
    yL23 Nqe  
    EU'P U  
    =Nr?F '<  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 oW6b3Q /B  
    !^Q4ZL,-  
    2|${2u`$&y  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 cvjZ$Fcc%(  
    VwT&A9&{8  
    ^$y`Q@-9  
    X线偏振光模拟结果：
    5dL!e<<  
    n m.5!.  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 U[hokwZ  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 gj4ONmY  
    J$S*QCo  
    _RWH$L9  
    Y线偏光模拟结果 {z@a{L:SC  
    MTn}]blH  
    %U9f`qE  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 *~d<]U5h  
    结论： %Ybr5$_  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 27Vx<W  
    QQ：2284816954 备注：光学     zG<>-?q~'  
     
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