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案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 zo1fUsK? #eKH'fE 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 |[$TT$Fb SjvSnb_3 关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 H4W!@"e a*nCvZ
所需工具箱子:光栅工具箱 3O|2Z~>3 <4-g2.\ 相关案例:G.001a,Scenario 104.01 `F_R J.g*p 5GURfG3{ 建模任务 3E!3kSh| W A#y& 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 w$jSlgUHy) q( %)^C 4UMOC_ 双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 $Q= S`z= B3E}fQm ) jT4
m(j 为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 <ti,Wn.
4G j :,.HJ[Vg& 选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 FMT_X yL23Nqe E U'P
U =Nr?F'< 选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 oW6b3Q/B !^Q4ZL,- 2|${2u`$&y 堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 cvjZ$Fcc%( VwT&A9&{8 ^$y`Q@-9 X线偏振光模拟结果: 5dL! e<< n
m.5!. 探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 U[hokwZ 在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 gj4ONmY J$S*QCo _RWH$L9 Y线偏光模拟结果 {z@a{L:SC MTn}]blH %U9f`qE 对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 *~d<]U5h 结论: %Ybr5 $_ 严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 27Vx<W QQ:2284816954 备注:光学 zG<>-?q~'
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