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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 ^;YD3EZw  
     \]J" e%  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 4(JxZ49  
     r/Pg,si  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 LFSOHJj  
     ^ d"tymDd  
    所需工具箱子：光栅工具箱 CRWO R pP  
     /]xd[^  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 cQPH le2  
     cf@#a@7m9  
    建模任务 UsQv!Cwu^  
    No[xf9>t  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 V!KtF  
    ]?)zH:2)  
    S0=BfkHi.  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 t9pPG{1  
     `T9<}&=!  
    ^:-%tpB#!  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 '~ ]b;nA  
     Iz{AA-  
    /gFyow1W  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     lQ+-g#`  
    9 I RE@c  
    1shvHmrV  
    1*-58N*  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 g dC=SFb b  
    TU. h  
    Eun%uah6c  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 SwP h-6  
    5 ?vIkf  
    &P {%C5?{  
    X线偏振光模拟结果：
    8'cDK[L  
    ZRxB"a'  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 ;5=pBP.  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 <I|ryPU9{X  
    +vbNZqwz  
    n6uobo-  
    Y线偏光模拟结果 $9J"r9@@  
    2dI:],7  
     b'Uaj`Sn  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 N]=.I   
    结论： i([A8C_A  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 krl yEAK=  
    QQ：2284816954 备注：光学     =q"3a9 pb7  
     
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