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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 z=rSb4"W  
     <@n3vO6  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 lj *=bK  
     ?*QL;[n1  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 b^P\Kky  
     @_#]7  
    所需工具箱子：光栅工具箱 d=HD! e  
     fzjtaH?  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 5S7ATr(*  
     Fdx4jc13w  
    建模任务 _#<7s`i  
    *>lXCx  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 soB_j  
    [&p/7  
    %W2 o`W$  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 BDi+ *8  
     [Z]CBEE  
    c8o2* C$  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 3HndE~_C&  
     <+<,$jGC-  
    #<w2xR]:  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     G|UeR=/  
    pf&SIG  
    *W4~.peoE  
    ~ #P` 7G  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 &:=[\Ws R  
    )EsFy6K:  
    PW*[(VX  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 #4& <d.aw'  
    g`H;~ w  
    O]9PYv=^  
    X线偏振光模拟结果：
    RXhT{Ho(>  
    C7MCMM|S  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 :1!k*5  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 ENZYrWl  
    HhUk9 >7  
    JZ"XrS0?  
    Y线偏光模拟结果 1KI5tf>>p  
    3hR3)(+1  
    3TT?GgQ  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 ]Mgxv>zRbs  
    结论： | Fk9ME  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 l`EKL2n  
    QQ：2284816954 备注：光学     k NUNh[  
     
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