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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 }:#dV B+  
    qZ\ L  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 YOw?'+8  
    %x2b0L\g  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 {e9Y !oFg  
    `jW 4H$D  
    所需工具箱子:光栅工具箱 HF4Lqh'oco  
    7*'@qjTos  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 nPf'ee  
    fv==Gu%{  
    建模任务 ~%P3Pp  
    M_&4]\PkCy  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 BI/y<6#rR  
    1ih*gJPpj  
    BJIQ zn3  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 IK?]PmN4}  
    Zz")`hUG  
    |Ylg$?,9*  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 $c9=mjwH  
    l\aUresm  
    FfXZ|o$;  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    oc;VIK)g]c  
    [Yvsa,2  
    u+DX$#-n!]  
    ,wT g$ g-$  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 9HKf^+';n  
    3U o]> BG  
    ,i![QXZ  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 ]wf |PU~nr  
    5mIXyg 0:  
    Oxj(g;}  
    X线偏振光模拟结果:
    wT% "5:  
    R-C5*$  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 g< )72-h  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 %yhI;M^  
    u\w2S4c  
    #S *pD?VZ  
    Y线偏光模拟结果 ^Y<M~K972  
    Mk "vv k  
    w`-$-4i  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 }{=8&gA0  
    结论: \CwtX(6.  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 nrbazyKm  
    QQ:2284816954 备注:光学
    x/_dW  
     
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