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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 .E8p-R5)V>  
     !OVEA^6  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 xi^e =:;`  
     4'[ V'c\  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 BiCa "  
     #]/T9:  
    所需工具箱子：光栅工具箱 )P+GklI{4  
     0!\q  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 AFJY!ou~6  
     \ OINzfbr  
    建模任务 (SVr>|Db  
    V xs`w  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 j;'Wf[V  
    y%l#lz=6  
    eyjUNHeh#  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 [t) i\ }V  
     ryLNMh  
    %Z0S"B 3  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 9yAu<a  
     (,y/nc=GN  
    7f,W zvV  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     qyfxTQ5  
    l<%~w U  
    R*C+Yk)Tkt  
    " CoR?[,x  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 5FKd{V'  
    g}KZL-p4\m  
    xmx;tq  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 g$LwXfg  
    @ &yj7-]  
    ' uw&f;/E  
    X线偏振光模拟结果：
    TBT*j&!L  
    QLg9aG|  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 ^ w1R"qE"m  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 Pk_{{Z(1o  
    N,$o' \l  
    gP%!  
    Y线偏光模拟结果 MX\-)e#  
    X0TGJ,yW(  
    H2cc).8"  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 >AFpO*q"  
    结论： 'A2"&6m)28  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 4=:eGlU93U  
    QQ：2284816954 备注：光学     X#<Sv>c^  
     
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