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案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 lkOugjI zaa>]~g . 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 9tWu>keu a//<S?d$: 关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜
R Mrh@9g Z_Hc":4i 所需工具箱子:光栅工具箱 |I6\_K.=L N
=)9O 相关案例:G.001a,Scenario 104.01 P;{f+I|` `q".P]wtKN 建模任务 g&) XaF[! c&J,O1){\ 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 NvQN +.:- : 8 YsDE_ 双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 ;i@,TU ilHZx2k txw:m*(% 为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 ]^$3S p~6/ *xI0hFJIM 选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 s,)Z8H Qk*`9 :'|%~&J -J[*fv@ 选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 FIDV5Y/f tI ~.3+F N^jQ\|A< 堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 DKp+ nq$ pqmtN*zV &Rdg07e;> X线偏振光模拟结果: .Cwgl +`>Tuz~ 探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 j}ywdP`a 在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。
hRHqG ?A+-k4l Btp 9v<" Y线偏光模拟结果 6 GqR]KD B>hf|.GI B+:/!_ 对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 p#go<Y# 结论: 4i|yEf 严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 ?S9? ?y/ QQ:2284816954 备注:光学 :[YHJaK
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