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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 !&y8@MD15  
     -8ywO"6  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 ar!R|zmf  
     EPI4!3]  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 /!yU !`bY  
     Cx@);4arj  
    所需工具箱子：光栅工具箱 ,F8Yn5h  
     )Pa'UGY  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 abmYA#  
     r"3=44St  
    建模任务 FF`T\&u  
    GbY7_N  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 z1 | TC  
    urs,34h  
    wY{-BuXv  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 +aCv&sg  
     TTX5EDCrC  
    W fN2bsx>  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。  j|DsG,  
     E1aHKjLQ  
    *MFIV02[N  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     FBe;1OU  
    ]KKS"0a  
    5K1)1E/Fu  
    &v/dj@   
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 %ufN8w!p  
    }#RakV4  
    ~|D Ut   
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 ~~/|dh5  
    kYP#SH/  
    e{'BAj  
    X线偏振光模拟结果：
    \g`\`e53?  
    vFzRg5lH  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 h ohfE3rd  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 Zgp4`)}:  
    GE:vp>>}`  
    !3c\NbU  
    Y线偏光模拟结果 xf\C|@i  
    }1L4 "}L.  
    i(rL|d+'  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 &T?RZ2  
    结论： ehGLk7@7&  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 c)6m$5]  
    QQ：2284816954 备注：光学     Gt8M&S-;  
     
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