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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 S.?\>iH[  
     }-k_?2"A  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 Q7OnhGA  
     QqT6P`0u  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 3:z4M9f  
     k1@  A'n  
    所需工具箱子：光栅工具箱 QmDhZ04f  
     Q*oA{eZY  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 D:S6Mu  
     Es ZnGuY  
    建模任务 >"m@qkh  
    UGezo3}  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 xOX*=Wv  
    '/n%}=a=  
    9|?(GG  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 $TH'"XK  
     HCn ]#  
    Z1qATX Xf  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 7o 83|s.Bm  
     )e <! =S  
    HnYFE@Nl:U  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     &d &oP  
    ]CtoK%k  
    bl+@}+A  
    0'`8HP  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 Ot8S'cB1,$  
    }tS6Z:fOY  
    ""U?#<}GD  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 DFZ:.6p  
    Q,`2DHhK  
    olQ8s *  
    X线偏振光模拟结果：
    `!>dbR&1  
    S<bz7 k9  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 GwIfGixqH  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 ^|hRu{Q W  
    zi DlJ3]^  
    o\:f9JL  
    Y线偏光模拟结果 yADN_  
    ,VcD vZ7  
    VTgbJ {?  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 "3>*i!i  
    结论： 0qV*d  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 o- e,  
    QQ：2284816954 备注：光学     H2pXJ/XF  
     
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