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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 I8 {2cM;  
     9*}?0J8  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 KCkA4`IeM  
     ?Y#0Je  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 nzHsyL  
     zy9# *gGq  
    所需工具箱子：光栅工具箱 VZ8HnNAbX  
     d`;_~{sleR  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 "b"Q0"w  
     SD^6ib/]b  
    建模任务 OQON~&~  
    "!6 Ax-'  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 dF%sD|<)  
    +<P%v k  
    3N,!y  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 T7=~l)I  
     z`D;8x2b  
    ',yY  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 NK+iLXC  
     8j} CP  
    9+\3E4K  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     ;Qc_Tf=,  
    Q1Sf7)  
    ?B2 T'}~  
    vH+QI  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 }pa@qZXh  
    "$tP>PO{<  
    fr%}|7  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 %K_[Bx{B  
    hYW<4{Gjr  
    F$FCfP7  
    X线偏振光模拟结果：
    Z`5v6"Na  
    i# 1:DiF  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 E,nC}f  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 3cNF^?\=  
    47xJ(yO  
    ruLi "d  
    Y线偏光模拟结果 x62 b=k}  
    Z4/rqU  
    j|&?BBa9  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 UJ_E&7,L  
    结论： 2c.~cNx`q[  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 $g55wGF  
    QQ：2284816954 备注：光学     p-zWfXn!P  
     
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