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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 Dat',5  
     P#XV_2  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 x(eX.>o\  
     c-Yd> 4+ 1  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 IVxZ.5:L$  
     u Z-ZZE C  
    所需工具箱子：光栅工具箱 ;`:YZ+2 Z  
      fCJjFL:  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 m}=E$zPbO  
     7dACbqba  
    建模任务  fPPP|  
    0*rD'?)K+  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 fC*cqc~{@  
    `V\?YS}  
    <EN9s  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 (4A'$O2  
     DR:$urU$  
    zB`woI28  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 lNa+NtQu  
     +?m.uY(  
    OVe0{} j  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     u YT$$'S  
    bG@2f"  
    T:Klr=&V  
    /YF:WKr2  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 e}d(.H%l0  
    G`>]ng  
    .\^0RyJE  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 uu,F5<y[  
    TxP +?1t  
    Xzf,S;XV~  
    X线偏振光模拟结果：
    jj2\;b:a0  
    RK|*yt"f"  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 5j1d=h  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 AO|9H`6U6F  
    6xJffl  
    4.jRTL5-oj  
    Y线偏光模拟结果 Ls9NQy  
    @3O)#r}\  
    TI< x;p  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 #[lhem]IC  
    结论： D @*<O=_D(  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 p#ar`-vQ  
    QQ：2284816954 备注：光学     gK[;"R)4o@  
     
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