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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 D#(L@ {vC  
    R5~m"bE  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 nsn,8a38  
    J8[Xl.  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 e q.aN3KB"  
    sMo%Ayes  
    所需工具箱子:光栅工具箱 RLr-xg$K-t  
    r!=VV!XZ  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 je0 ?iovY  
    v<4X;4p^  
    建模任务 ^E8Hv  
    Fsdn2{g8U  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 !S<~(Ujyw  
    !SNtJi$;v  
    XBBRB<l)  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 p#I1l2nE  
    hYx^D>}]  
    {=Y&q~:8v  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 ;<Q_4 V  
    G]4+ Qr?  
    U%olH >1K  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    uSbg*OA  
    g9Ll>d)tE3  
    {RO=4ba{J  
    jV8><5C  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 z[Qv}pv  
    ;bbEd'  
    rJxT)bR  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 m]vr|:{6/  
    r +fzmb  
    Ke!O^zP92  
    X线偏振光模拟结果:
    \/G Y0s  
    N:zSJW`1  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 I!bZ-16X  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 /otgFQ_  
    U3QnWPt}>  
    lD XH<W?  
    Y线偏光模拟结果 NoIdO/vy"  
    G)`MoVH1  
    1jb@n xRjO  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 b /ySt<  
    结论: cke[SUH,  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 i vk|-C'\  
    QQ:2284816954 备注:光学
    S] a$w5ZP  
     
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