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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 r1ws1 rr=  
     Q^p|Ldj  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 ZcuA6#3B  
     th6+2&B6  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 kc7lc|'z  
     =#mTfJ   
    所需工具箱子：光栅工具箱 ]zO/A4  
     .nYUL>  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 s5RjIa0$7  
     g8!wb{8?s  
    建模任务 f84:hXo6  
    )}TLC 2%  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 ^Qu iH'  
    | ohL]7b<  
    =%zLh<3v  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 >5R <;#8  
     "<}&GcJbz  
    &a/__c/l  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 [-&L8Un  
     Y(\T- bI  
    !*2%"H*  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     LZ@|9!KDw  
    iHf-{[[Z  
    SuZ&vqS  
    ;['[?wk  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 6t/`:OZC:  
    `h}q Eo`  
    \rykBxs  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 !v]b(z`Y  
    FWH}j0Gj|  
    ^m_yf|D$  
    X线偏振光模拟结果：
    X=8Y&#%  
    = 8gHS[  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 i{D=l7j|w  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 kE TT4U  
    56 l@a{  
    v(OBXa9  
    Y线偏光模拟结果 y7KzW*>g :  
    |[9?ma  
    9w9jpe#  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 (M =Y&M'f  
    结论： UD~p'^.m_  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 fw oQ' &  
    QQ：2284816954 备注：光学     :';L/x>  
     
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