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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 SvC|"-[mJ  
     Q# xeu  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 M"[s5=:Lo  
     OQ"%(w>Hb  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 :Z(?Ct&8  
     d!/@+i  
    所需工具箱子：光栅工具箱 ?Z%Ja_}8ma  
     s mub> V  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 [o8a(oC  
     jq(3y|6,  
    建模任务 {Pm^G^EP  
    ^c{}G<U^  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 6ae  
    '8>h4s4  
    Ti`<,TA54  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 > kOca  
     q:sDNj)R\  
    e'aKI]>a  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 |sz`w^#  
     b $x<7l5C  
    G?12?2  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     *9e T#dH  
    UN_f2  
    =BJ/ZM  
    vc o/h  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 8}h ^Frh  
    ;SkC[;`J  
    )%%RI_J T  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 ;`g\Tu  
    Rt~Aud[  
    a%f{mP$m  
    X线偏振光模拟结果：
    >R3~P~@30  
    Qfo'w%px  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 d_#\^!9  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 ERQ a,h/  
    d$)'?Sf]h  
    {"8\~r&b  
    Y线偏光模拟结果 Z:aDKAboU  
    Mh'QD)28c  
    r:K)Q@  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 b6_*ljM  
    结论： C3-l(N1O{  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 ]3hz{zqV^  
    QQ：2284816954 备注：光学     [YP8z~  
     
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