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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 az5 $.  
     &W'X3!Te  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 -+#QZ7b  
     :E$<!q  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 Sdk:-Zuv  
     w_O3];  
    所需工具箱子：光栅工具箱 u0Nag=cU  
     v5aHe_?lp  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 $)V_oQSqn  
     G)vq+L5%  
    建模任务 6*!R'  
    m^6& !`CD  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 3,x|w  
    H)eecH$K  
    #n9:8BKf  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 38I.1p9  
     /FP;Hsw%  
    dIQxU  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 Q Pel n)  
     &mG1V  
    XOk0_[  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     =.*+c\  
    ~M>EB6  
    W.B;Dy,Y  
    }"V$li  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 L<GF1I)  
    .V4w+:i  
    o~ v   
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 (W=J3 ?hn  
    2;82*0Y%  
    'dkKBLsx  
    X线偏振光模拟结果：
    ,wyfMOGLt  
    1c$<z~  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 \.@fAgv  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 ;q8tOvQ  
    M9 _G  
    X^2Txm d  
    Y线偏光模拟结果 `oDs]90  
    T7wy{;  
    ~^6[SbVb  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 R<5GG|(B  
    结论： 7wO0d/l_  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 U',.'"m  
    QQ：2284816954 备注：光学     u$3wdZ2&m  
     
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