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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 MxyN\Mq'  
     c/_ +o;Bc  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 9f\/\L  
     &$`yo`  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 %0? M?Jf  
     p7:{^  
    所需工具箱子：光栅工具箱 rDm'Z>nTf  
     #Rg|BfV-  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 w.& 1%X(k  
     nFe%vu8a  
    建模任务 )sho*;_o  
    }(egMx;"3J  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 }K8/-d6  
    K |DWu8  
    g;ZxvR)ZJk  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 1SrJ6W @j[  
     CgzD$`~  
    c1%H4j4/  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 0\2\*I}?  
     : Sq?a0!S  
    E~LT b) !  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     U%h);!<  
    Z3!f^vAi&  
    O5H9Y}i]  
    N{-]F|XX  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 191&_*Xb  
    PvGDTYcKp  
    T97]P-}  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 |Yq$s U  
    &K/FyY5  
    `# sTmC)  
    X线偏振光模拟结果：
    a,78l@d(  
    *m2=/Sh  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 3pmWDG6L  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 w,R[C\#J  
    \;rYo.+  
    ?YeWH WM  
    Y线偏光模拟结果 =TqQbadp  
    ?8W( "W   
    9:I6( Zv0  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。  ^xPmlS;X  
    结论： "QvmqI>  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 7OjR._@  
    QQ：2284816954 备注：光学     =}PdH`S  
     
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