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案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 #m. AN g9tu%cIkR 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 M.%shrJ/ >mu)/kl 关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 _"f :` <dR,' 所需工具箱子:光栅工具箱 R|,7d:k $`Nd?\$ 相关案例:G.001a,Scenario 104.01 =Z0t :{ /"AvOh* 建模任务 #Fd W/y5 Rc$h{0K8 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 _."E%|5 I=dGq;Jaz _+QwREP 双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 E{^^^"z P IhonnLLW hq_~^/v\ 为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 /lD?VE )*1.eObhL =G>(~+EA 选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 )q^ Bj$ 9BON.` |_ /)#8)"`nT is#8R:7.: 选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 xxX/y2\ %]4-{%v 3{J.xWB@: 堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 ai ftlY r'aY2n^O Vu]h4S : X线偏振光模拟结果: +$pJ5+v YB!!/ SX4 探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 Wc'Ehyi; 在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 :$H!@n*/R `F1dyf!p< " ~$$ Y线偏光模拟结果 QlzQ]:dWC uEd,rEB> "E PD2,%S 对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 "DckwtG:% 结论: y4F^|kS) [ 严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 j7/(sf QQ:2284816954 备注:光学 TbNGgjT
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