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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 vX@T Zet0  
    f@@7?5fW  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 yJK:4af;.  
    5,\-;  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 %lk^(@+ T  
    9])Id;+91  
    所需工具箱子:光栅工具箱 S,Z~-j  
    B[ .$<$}G  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 Qz"+M+~%&  
    R-Ys<;  
    建模任务 GaCRo7  
    s\zY^(v4  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 t`1M}}.  
    Oq^t[X'  
    htT9Hrx  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 E~@&&d U8  
    enx+,[  
    5X>K#N  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 BG6.,'~7o  
    AGl#f\_^  
    ;hPVe _/  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    CNe(]HIOH  
    Q45gC28x  
    v#lrF\G5  
    d"yJ0F  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 u6 QW*8b4  
    >V?W_oM)  
    blLl1Ak  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 <&^[?FdAa  
    &pf"35ll  
    Egz6rRCvg  
    X线偏振光模拟结果:
    Q<NQ9lX  
    #zv&h`gY  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 <:!E'WT#f  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 Vm?#~}T  
    : t9sAD  
    qnHjwMi  
    Y线偏光模拟结果 cTz@ga;!mI  
    T6b~uE  
    lN&+<>a  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 ,PoG=W  
    结论: EKO~\d  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 $EHF f$M  
    QQ:2284816954 备注:光学
     ?H!jKX  
     
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