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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 W1&"dT@  
     IuY4R0Go  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 <Gna}ALkg  
     |=:<[FU  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 w! PguP  
     ?IG[W+M8  
    所需工具箱子：光栅工具箱 ,u=+%6b)A  
     q?qH7={,eu  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 =gB8(1g8  
     ffMk.SqI  
    建模任务 P  Ij  
    r=/$}l4  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 ?=im  ~  
    w6h*dh$w  
    #||D,[ _=+  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 3lTnfc&  
     J$U_/b.mk  
    D\| U_>  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 Q-7L,2TL  
     fDRG+/q(+  
    8#w%qij  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     BV6B:=E0  
    CQPq5/@Y4  
    pL . 0_  
    e{H(  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 8F&Y;  
    Z]w?RL  
    fB 0X9iV6j  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 DYoGtks(  
    l.P;85/+  
    kA> e*6  
    X线偏振光模拟结果：
    ,M~> t7+  
    v o4U%  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 ,pY:kQ  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 kE:{#>[Uz  
    B}"V.Msv/  
    wD:2sri  
    Y线偏光模拟结果 6 FN#Xg  
    ^]D+H9Tl  
    Bg] %  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 o7 0] F  
    结论： l"7#(a  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 LpL$=9  
    QQ：2284816954 备注：光学     5,4m_fBoW  
     
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