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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 sq?js#C5  
     ~]SCf@pRk  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 HYl~)O>  
     8 &3KVd`  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 afE)yu`  
     Sm;@MI<@/  
    所需工具箱子：光栅工具箱 slAR<8  
     1@n'6!]6O  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 y% O^Zm1  
      C=qL0  
    建模任务 wlgR = l  
    @D>qo=KPM  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 RoNE7|gF:  
    DMlr%)@ {  
    oSIP{lfp2Q  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 /  QT>"  
     7[I +1  
    JJ9R, 8n6  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 )YW"Zo8~!1  
     a[p$e?gka  
    #n]K$k>  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     Q" r y@ (I  
    3!{Tw6A8(  
    oX7_v_:J\R  
    xxA^A  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 rE]Nr ;Ys  
    !*S,S{T8  
    WtO@Kf:3GH  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 FmSE ]et  
    z_Hkw3?  
    WyRSy-{U(}  
    X线偏振光模拟结果：
    ae" o|Q  
    29cx(  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 L7R!,  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 r+k&W  
    ubRhJ~XB  
    ) ]DqK<-  
    Y线偏光模拟结果 TbLU[(m-n  
    `@ny!S|1/  
    QAAuFZs  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 +s^nT{B@\  
    结论： ;e.8EL  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 &XCP@@T  
    QQ：2284816954 备注：光学     8 Vf #t!t  
     
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