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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 ~n[xtWO0  
     Y|8:;u'  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 j'%$XvI  
     [|P!{?A43|  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 9so6WIWc  
     w4W_iaU  
    所需工具箱子：光栅工具箱 (S xR`QP?,  
     I4i2+ *l}  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 Gp4A.\7  
     58%#DX34M  
    建模任务 >=UF-xk;  
    si&S%4(  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 ##@$|6  
    COTp  
    y]J89  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 {Zh>mHW3  
     K$M^gh0  
    kqce[hgs<  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 qHNE8\9  
     w"OP8KA:^T  
    jV? }9L^;  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     e*bH0';q  
    Kw8u`$Ad7  
    Vs%|pIV  
    fO0(Z  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 Q3|T':l4  
    ]Ar\c["  
    ([-|}  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 pGf@z:^{*-  
    .k 3 '  
    " R-!(9k^`  
    X线偏振光模拟结果：
    uiJS8(Cb  
    YnxRg  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 ZQ_xDKqRV  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 ZO4*sIw%  
    GN!qyT  
    a@\D$#2r  
    Y线偏光模拟结果 <Q ?a=4  
    &^}6 9  
    vG;zJ#c  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 ]8T |f  
    结论： Zs}5Smjl;%  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 +hE(Ra#  
    QQ：2284816954 备注：光学     NzU,va N  
     
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