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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 PL%_V ?z  
    z/6eP`jj  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 W@#)8];>  
    3QU<vdtr  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 vezX/xD?  
    F|%[s|s  
    所需工具箱子:光栅工具箱 oT%~)g  
    NR^z!+oSR  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 nOp\43no  
    qZCA16  
    建模任务 ?IGT!'  
    !NjC+ps]  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 ZU7,=B=  
    I>b!4?h  
    MXSPD# gN  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 5Y_)%u  
    :hCp@{  
    cZ%weQa#N)  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 W@JmG`Sy  
    W32bBzhL  
    W?5^cEF  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    ;r"YZs&Xd  
    / ~w\Npf0  
    YPFjAQ  
    @/E5$mX`  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 \C~Y  
    NuLQkf)  
    ORyFE:p$  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 _;L9&>!p6  
    W6 f*>  
    wh[XJ_xY  
    X线偏振光模拟结果:
    mp+ %@n.;  
    uiPfAPZ  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 jf~/x>Q  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 ^ejU=0+cN  
    _<yJQ|[z~i  
    ^CDQ75tR  
    Y线偏光模拟结果 |Q?IV5%$  
    {ajaM'x  
    gle_~es'K  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 {: T'2+OH>  
    结论: y4w{8;Mh  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 Wg3y y8vIW  
    QQ:2284816954 备注:光学
     (/-2bO  
     
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