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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 *u>2"!+Ob  
    _E)xR  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 -2v|d]3qG  
    [4kx59J3b  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 wC!(STu  
    3Aaj+=]W  
    所需工具箱子:光栅工具箱 HGWwGd  
    u):z1b3*?  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 dLD"Cx  
    4dMwJ"V  
    建模任务 @MtF^y  
    H b]    
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 dulW!&*No  
    (z2)<_bXJ  
    b$PNZC8f  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 dT/Cn v=  
    q*DR~Ov  
    wa<@bub  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 @WhcY*R2  
    7Yk6C5C  
    &lBfW$PZjk  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    RK'3b/T  
    ;TmwIZ  
    Zx}=c4I(y  
    'QeqWn  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 IZJV6clM  
    4ms hB  
    kt[#@M!}  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 F!pUfF,&  
    b44H2A .  
    l3-Ksw U  
    X线偏振光模拟结果:
    8C,?Ai<ro  
    L2{tof  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 Mk@_uPm  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 eqeVz`  
    EoQ.d|:g  
    oVl:./(IB  
    Y线偏光模拟结果 bGK&W;Myk  
    &\0LR?Nh  
    r+m8#uR  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 K/MIDH  
    结论: S_?}H  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 He#+zE ;  
    QQ:2284816954 备注:光学
    zXcSE"   
     
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