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案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 Ty3CBR{6 Y:%m;b$] 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 U.RW4df%E C[xJU6z 关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 3zB|!pC6s 9K ;k% 所需工具箱子:光栅工具箱 uZ\wwYY#M ]D LZ&5pv 相关案例:G.001a,Scenario 104.01 PNbcy!\U rToaGQh 建模任务 SbS$(Gt#Bv & =73D1A 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 ?aFr8i:)M dUoWo3r= 4[TS4p 双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 (@)2PO/ n .f4z< 894r;UA7 为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 =6cyE _BG8/"h32
#%?FM> 选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 (;0$i?3\ R2}kz. `]`=]*d EI1W
.V>@ 选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 D:wnO|: \G$QNUU FZe:co8Mu 堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 vG ]GQ# #K=b%;> bz{^ h' X线偏振光模拟结果: LH=d[3Y
h6u2j p(+ 探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 }#yU'#|d 在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 |',M_
e] iH-bo@ fyM3UA\U Y线偏光模拟结果 x3Nkp4=Xd ;>NP.pnA) ,~(|p` 对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 tT;8r8@ 结论: h&lyxYZ+T$ 严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 A LXUaE. QQ:2284816954 备注:光学 !|:RcH[
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