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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 ?(XX  
     #onfac-3  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 Tu T=  
     >?Y3WPB<F  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 @x\gk5  
     vcUM]m8k   
    所需工具箱子：光栅工具箱 "Mu $3 w  
     k@X As  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 "q#g/T  
     'G By^hj?  
    建模任务 p RfHbPV?  
    (5\d[||9g  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 dXr !_)i  
    gj(l&F *@  
    7B>cmi  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 I5 7<0  
     [;\< 2=H  
    >Sl:Z ,g;  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 W!Os ci  
     D_`)T;<Sp  
    "B{xC}Tw  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     ( ]uoN4  
    z j0pP{y  
    F_ lj>;}a5  
    J*kzJ{vwy*  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 OTbjZ(  
    "MKsSty  
    AZm)$@e)  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 `E%d$  
    _ -FQ78C  
    t@mw f3,  
    X线偏振光模拟结果：
    <UHf7:0V  
    o]k]pNO  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 rAi!'vIE  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 K>E!W!-PJ  
    %.  }  
    p~ VW3u]  
    Y线偏光模拟结果 Q? |MBTo  
    5s2}nIe  
    Y  .X-8  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 vG=$UUh@~  
    结论： P=hf/jOv9  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 \%Ih 6  
    QQ：2284816954 备注：光学     8c' -eT"  
     
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