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案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 vX@TZet0
f@@7?5fW 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 yJK:4af;. 5,\-; 关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 %lk^(@+ T 9])Id;+91 所需工具箱子:光栅工具箱 S,Z~-j B[.$<$}G 相关案例:G.001a,Scenario 104.01 Qz"+M+~%& R-Ys<; 建模任务 GaCRo7 s\zY^(v4 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 t`1M}}. Oq^t[X' htT9Hrx 双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 E~@&&dU8 enx+,[ 5X>K#N 为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 BG6.,'~7o AGl#f\_^ ;hPVe_/ 选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 CNe(]HIOH Q45gC28x v#lrF\G5 d"yJ0F 选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 u6 QW*8b4 >V?W_oM) blLl1Ak 堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 <&^[?FdAa &pf"35ll Egz6rRCvg X线偏振光模拟结果: Q<NQ9lX #zv&h`gY 探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 <:!E'WT#f 在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 Vm?# ~}T :t9sAD qnHjw Mi Y线偏光模拟结果 cTz@ga;!mI T6b~uE lN&+<>a 对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 ,PoG=W
结论: EKO~\d 严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 $EHFf$M QQ:2284816954 备注:光学 ?H!jKX
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