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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 jK ?  
     m _t(rn~f6  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 "uV0Oj9:  
     f)&`mqeE  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 }e&KO?x+  
     9`nP(~  
    所需工具箱子：光栅工具箱 J ,Qy`Y B  
     Sa?~t3*H  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 7?kXgR[#d  
     {GGO')p  
    建模任务 sqq/b9 uL/  
    B`RW-14g  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 ^L*VW gi9  
    j8D$/  
    73! x@Duh  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 fzGZ:L  
     L<[,7V  
    0C9QAJa  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 D{&+7C:8.  
     0ER6cTo-t  
    uK"$=v6|  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     Sgjr4axu  
    h0y\,iWXb  
    9M-NItFos  
    e+]YCp[(  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 !0d9<SVC  
    >mGGJvTx  
    z- {"pI  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 O*+w_fox  
    I'6 ed`|  
    K|Ij71  
    X线偏振光模拟结果：
    Poylq] F  
    8WLh]MD`  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 34O+#0<y~  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 N2S!.H!Wz  
    r*  
    }E)8soQR  
    Y线偏光模拟结果 'nmYB:&!  
    $[^ KCNB  
    q4IjCu+  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 LcQ\?]w`]  
    结论： &bOodkOb  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 o^.s!C%j  
    QQ：2284816954 备注：光学     TF ([yZO'  
     
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