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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 Ow^%n(Ezh  
    fglZjT  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 PRah?|*0s  
    =p7W^/c  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 sN?:9J8  
    G/ ^|oJ/G  
    所需工具箱子:光栅工具箱 & {/ u>,  
    :<(<tz7dj  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 /6.b>|zF  
    v*^2[pf  
    建模任务 rFK *  
    ut,"[+ J  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 U92hv~\  
    v4.V%tg!  
    QA9vH'  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 ;yXnPAtJ  
    ^}[ N4  
    He*L"VpWv  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 uJ y@  
    Z)&HqqT3p  
    R 1b`(  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    2M1mdkP3  
    k %rP*b*  
    1M{#"t{6  
    `&6]P:_qp  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 _ o(h]G1].  
    N}h%8\  
    v;8XRR:  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 n%0vQ;Z1  
    SYwNx">Bq  
    $3Ia+O   
    X线偏振光模拟结果:
    w#$k$T)  
    M*H G4(n0  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 4%7*tVG  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 %G SSy_c  
    Lgfr"{C  
    tSYnc7  
    Y线偏光模拟结果 Og npzN  
    # 0 (\s@r.  
    Z}C%%2Iz  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 2fk   
    结论: b#U%aPH  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 fpi6pcof  
    QQ:2284816954 备注:光学
    *~L]n4-  
     
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