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案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 PWh^[Rd) 2"|2a@ 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 S(S# P71 ( 关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 bfB\h*XO $vHU$lZ/W 所需工具箱子:光栅工具箱 ?88[|;b3 rg0ma 相关案例:G.001a,Scenario 104.01 Fc~'TBf,,` &PkLp4mQ 建模任务 /? r?it 4h5g'!9-g 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 Z3>N<u8) gu #-O?B .s#;s'>g 双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 jV.g}F+1m {x'GJtpb Fk(JSiU 为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 `cPywn@uGZ RoCfJ65 hN['7:bQ 选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 fLV"T_rk uOa26kE4 QO"oEgB`+Z R[49(>7H4 选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 W@yJAQ 2H.654 bSVlk` 堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 8G5Da|\ K3\#E/Ox 3 ?Y| X线偏振光模拟结果: i)#s.6.D> I^oE4o 探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 |_omr&[_ 在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 \~LQ%OM ix#epuN
#gm)dRKm% Y线偏光模拟结果 5{n*"88 e/->_T(I `%09xMPu 对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 Ou{v/'9z, 结论: \rVQQ|l 严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 )lJao QQ:2284816954 备注:光学 odg<q$34
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