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案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 ydFD!mO pN!}UqfI- 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 cU
R kP` bmJ5MF]_fG 关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 ;QWIsVz MPCBT!o4Z 所需工具箱子:光栅工具箱 3Iua*#<m, (g EBOol 相关案例:G.001a,Scenario 104.01 c(J!~7 MV<^!W 建模任务 5G::wuxk *Y,x|F 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 wy yWyf ?u-|>N> yQU_>_!n 双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 ~{d$!`|a ks"|}9\%< 34z"Pm 为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 YHkn2]^#A \Npxv V\{clJ\U 选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 e7@ojOQ% H+1-] 'g` OSlvwH%(EE <L`KzaA 选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 `q?8A3A K$>%e36Cc _XG/Pp) 堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 _
<WJ7 oT^{b\XN )+l\w3^6 X线偏振光模拟结果: lU@]@_< mZk]l5Lc 探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 l H#u 在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 d_CKP"TA |*:'TKzNS $@"l#vJPfc Y线偏光模拟结果 MJOz.=CbhR kB3H="3[[ $8;R[SU6Y 对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 '3_]Gu-D 结论: U[SaY0Z 严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 p=;=w_^y QQ:2284816954 备注:光学 cJN7bA{
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