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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 5Yx 7Q:D  
     y~rtYI  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 ^:o^g'Yab  
     PE2O$:b\  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 K1-y[pS]E  
     <{k8 K6  
    所需工具箱子：光栅工具箱 >jm^MS=  
     $_ k:{?  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 JE[J}-2  
     ,<=_t{^  
    建模任务 PkDh[i9Z|  
    3x E^EXV  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 ??g = `yH  
    ":01M},RA  
    uSNlI78D  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 DbH'Qs?z  
     Hr=?_Un"  
    -K iI&Q  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 !]!J"!xg*  
     lAPPn g`  
    }j|YX&`p  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     p~Mw^SN'  
    4tFnZ2x  
    (l:LG"sy\  
    wZ~eE'zx+  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 qUG)+~g`  
    wL" 2Cm  
    QZ_8r#2x  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 |=sjG f  
    + :k"{I   
    -! :h]  
    X线偏振光模拟结果：
    ]0myoWpi3  
    r$;u4FR  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 DV jsz  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 Yj>ezFo  
    wy# 5p]!u  
    r_M5:Rz  
    Y线偏光模拟结果 v^(J+d_>   
    5s1XO*s)>X  
    P<IZ%eS3B  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 "o$)z'q  
    结论： B3V+/o6  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 H@ .1cO  
    QQ：2284816954 备注：光学     ~DUOL ~E  
     
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