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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 #m. AN  
    g9tu %cIkR  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 M.%shrJ/  
    >mu)/kl  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 _"f  :`  
     <dR,'  
    所需工具箱子:光栅工具箱 R|,7d:k  
    $`Nd?\$  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 =Z0t :{  
    /"AvOh*  
    建模任务 #Fd W/y5  
    Rc$h{0K8  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 _."E%|5  
    I=dGq;Jaz  
    _+QwREP  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 E{^^^"z P  
    IhonnLLW  
    hq_~^/v\  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 /lD?VE  
    )*1.eObhL  
    =G>(~+EA  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    )q^ Bj$  
    9BON.` |_  
    /)#8)"`nT  
    is#8R:7.:  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 xxX/y2\  
    %]4-{%v  
    3{J.xWB@:  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 aiftlY  
    r'aY2n^O  
    Vu]h4S:  
    X线偏振光模拟结果:
    +$pJ5+v  
    YB!!/ SX4  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 Wc'Ehyi;  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 :$H!@n*/R  
    `F1dyf!p<  
    "~$$  
    Y线偏光模拟结果 Qlz Q]:dWC  
    uEd,rEB>  
    "EPD2,%S  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 "DckwtG:%  
    结论: y4F^|kS) [  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 j7/(sf  
    QQ:2284816954 备注:光学
    TbNGgjT  
     
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