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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 5zfPh`U>1  
     '0z@Jevd?  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 ytr~} M%  
     6d`6=D:  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 ;%hlh)k$  
     ^BSMlKyB  
    所需工具箱子：光栅工具箱 L@9"6&  
     Mt<TEr}7Z=  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 W/xb[w9v  
     Fp|x,-  
    建模任务 qzsS"=5  
    /k(0}g=\  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 cMI QbBM  
    E.4`aJ@>d  
    [u=b[(  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 a4O!q;tu7  
     9Jaek_A`  
    !2$O^ }6"  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 Y M/^-[k3  
     5(tOQ%AQ  
    ci6j"nKci  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     "{ AS5jw  
    ES<"YF  
    2y v'DS  
    HmAA?J}  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 dGTAZ(1W  
    n"-cX)  
    ~g~z"!K  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 aZ@Ke$jD  
    dEJ>8e8  
    -D`*$rp,  
    X线偏振光模拟结果：
    bxK1v7  
    +^{yJp.H#  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 n\ZDI+X  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 owJPEx  
    @$4(!80-  
    y!)Z ^u  
    Y线偏光模拟结果 iw12x:  
    km4::'(6  
    ` ` 6?;Y  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 Nq"/:3@4  
    结论： zgJ%Zr!~  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 P<km?\Xp(  
    QQ：2284816954 备注：光学     8 U B?X  
     
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