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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 \"(?k>]E  
    uQ-GJI^t  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 ^%,{R},s  
    ={;pg(  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 I;NW!"pU  
    U\Vg&"P  
    所需工具箱子:光栅工具箱 A9b(P[!]T:  
    SM8N*WdiU  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 v|(]u3=1_  
    :41Y  
    建模任务 w@^J.7h^  
    +]cf/_8+s  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 :W0p3 6"  
    pgES)  
    .4^+q9M  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 DWOf\[  
    f;^ +q-Q  
    nDdY~f.B  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 ,Suk_aX>  
    ?pZU'5le`  
    < 8' b  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    T" {~mQ*  
    Ck )W=  
    i'li;xUhZ  
    _y[C52,  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 9SsVJ<9,R  
    ;/$pxD  
    -+@N/d5  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 T;(,9>Qsu  
    ((A@VcX  
    #aL.E(%  
    X线偏振光模拟结果:
    y\^zxG*]'  
    "b`#RohCi  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 e2 c'Wab  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 ]|g2V a~-  
    6d]4 %QT  
    k_]'?f7Z  
    Y线偏光模拟结果 Pg T3E  
    %cn 1d>M+I  
    +h"i6`g  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 E7/UsUV.  
    结论: h@R n)D  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 ]7_>l>  
    QQ:2284816954 备注:光学
    :G 5p`;hGo  
     
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