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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 &a0%7ea`.S  
     Re2kD/S3  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 M$GD8|*e  
     :eO]65N  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 MT*b+&1e  
     Ax\Fg 5  
    所需工具箱子：光栅工具箱 7#&s G  
     jzV#%O{`  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 H(X~=r  
     V *] !N  
    建模任务 +]{X-R  
    6y0C  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 L{=z}QO  
    qdm!]w.G5  
    )dV.A IQ+  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 h"'f~KM9a>  
     *dTw$T#  
    O+yR+aXr'8  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 MhsG9q_%  
     e p^0Cd/  
    rfZA21y{?  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     -(2-zznZ  
    nYe}d!  
    jlB3BwG{w  
    f8j^a?d|  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 0TNzVsu7  
    &><`?  
    &a:aW;^A7  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 Fc]#\d6  
    :Y'nye3:  
    D9Z5g3s7R  
    X线偏振光模拟结果：
    qvscf_%FM  
    w.3R1}R  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 V+8+ 17^  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 ?BRL;(x  
    }dxdxnVt  
    hi=U  
    Y线偏光模拟结果 k9,"`dk@  
    ?{2-,M0  
    KYQ6U.%W  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 ) ad-s  
    结论： n5 i}J/Sa2  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 $@x kKe"  
    QQ：2284816954 备注：光学     pxF!<nN1,  
     
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