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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 gu/Yc`S[  
     `MD/C Fl4  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 pg<>Ow5,~l  
     +u#x[xO  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 okv7@8U#p  
     Nh))U  
    所需工具箱子：光栅工具箱 rQqtejcfx  
     &-zI7@!  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 "&%Hb's  
     7^L&YV W  
    建模任务 Wama>dy%  
    p .HA `R>  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 G$j8I~E@  
    tFwlx3  
    w&{J9'~  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 )&9RoW()?  
     +M*a.ra0OF  
    :wZZ 1qa  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 cG?266{g  
     E;sltl  
    8n)Q^z+ K  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     NO$Nl/XM  
    RBXoU'.  
    kD>vQ?  
    KkY22_{ac  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 pr"flRQr#  
    d(!N$B\[5T  
    $W]bw#NH  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 CmTJa5:  
    dUZ&Ty^{  
    Ba6xkEd  
    X线偏振光模拟结果：
    >U)O@W)  
     AMdS+(J  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 3(%,2  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 }>w4!  
    <c#[.{A}s  
    w(D9'  
    Y线偏光模拟结果 J^:~#`8  
    c'2ra/?k  
    V'.|IuN  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 AqkK`iJ#  
    结论： Ei-OuDM;)  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 q4{tH  
    QQ：2284816954 备注：光学     A3_9MO   
     
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