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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 r {R879  
     | >X5@  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 " iAwD8-  
     Q"rQVO  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 j]Y`L?!Q  
     2%o@?Rp  
    所需工具箱子：光栅工具箱 ;7=pNK  
     c~ x  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 jNV)=s^ed[  
     Vcjmj  
    建模任务 Ns ezUk8'  
    '&v.h#<  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 %+gK5aVab  
    G)5R iRcs  
    2aj9:S  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 w1>uD]  
     Dfz3\|LJ  
    \MhSIlM#  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 &}}UdJ`  
     PiQs Vk  
    8);G'7O  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     GS_+KR\  
    [ {@0/5i  
    jgpSFb<9F  
    <cig^B{nX  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 -]hk2Q0  
    ' tyblj C  
    f%ThS42  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 gs/ i%O  
    4gKu8G  
    ZhvZe/  
    X线偏振光模拟结果：
    '\g-z  
    4zo^ b0v  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 IZ2(F,{o  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 ' v)@K0P  
    ,/%@:Fh4  
    z:gp\  
    Y线偏光模拟结果 HgY [Q}7s  
    @*>kOZ(3  
    $tm%=g^  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 YmwUl>@{  
    结论： "/ 9EUbca  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 [}ayaXXQ5  
    QQ：2284816954 备注：光学     2wX4e0cOI4  
     
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