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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 Owv}lJ  
     pIKfTkSqH  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 L[U?{  
     B3I0H6O  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 $yUPua/-  
     nj-LG!"a  
    所需工具箱子：光栅工具箱 jLw|F-v-l<  
     @ 0/EKWF  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 lg{M\ +  
     -a'D~EGB^  
    建模任务 NL'(/|)  
    tqL2' (=  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 +,)Iv_Xl$  
    D4?cnwU  
    " BU4\QF-  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 &y-z[GR[{  
     V|/N-3M  
    WE+Szg(4x  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 $^YHyfh  
     *o<|^,R  
    N,*'")k9  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     8:Dkf v  
    iT+t  
    #E#@6ZomT  
    &<cP{aBa  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 =p dLh  
    y!|4]/G]?t  
    u]]mbER*t#  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 QoMa+QTuc  
    R''2o_F6  
    shiw;.vR{B  
    X线偏振光模拟结果：
    biU ?>R  
    8k_hX^  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 /74)c~.W  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 |`+ (O  
    cmY `$=  
    lQ4$d{m`  
    Y线偏光模拟结果 *g4Uo{  
    Bm6t f}8  
    XG5"u  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 om6`>I*  
    结论： *r|1 3|k  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 ;Q[E>j?w=  
    QQ：2284816954 备注：光学     +Q"XwxL<6  
     
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