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案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 xyV]?~7 IQ{?_' 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 2v^lD(' (t74a E pi 关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 uX0
Bp8P [:pl-_.C 所需工具箱子:光栅工具箱 A}4t9|/K6 QN #)F 相关案例:G.001a,Scenario 104.01 w b+<a |uQ[W17^N 建模任务 uHrb:X!q I=b'j5c 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 QZ0R :TY $B ?? Ip?P 3Q$c'C 双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 `(T!>QVW+g [D9 :A |$Xf;N37t 为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 P' FKk< x~(y "^ph @Y NGxg~*g 选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 kpT>G$s~gy <[5#c*A 4g'}h`kh ]j1
vbk 选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 TPqvp|~2 s?+fPOF Q
%y,;N"ro 堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 KT%{G8Y@M /sH0x,V ul$omKI$} X线偏振光模拟结果: F#^L9 777rE[\@b 探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 X=#It&m%s 在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 x {vIT- f f:FpyCo=9 5"e+& zU~f Y线偏光模拟结果 Wa{%0inZ tKX}Ok:V% s!i:0} U 对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 ]
EV`dIk 结论: u:eW0Ows" 严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 -Fa98nV.WB QQ:2284816954 备注:光学 ,-!2 5G
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