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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 F'Fc)9qFa<  
     >ofS'mp  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 M6!kn~  
     +*g[hRw[  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 J=TbZL4y}4  
     L.15EXAB  
    所需工具箱子：光栅工具箱 4aAr|!8|h!  
     T}P| uP  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 SV]M]CAe  
     C^r3r6  
    建模任务 #l-,2C~  
    E]_lYYkA  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 mCtuyGY  
    i,ku91T  
    f+s'.z%  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 )G ,LG0"-  
     G4s!q1H  
    AY0o0\6cw  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 X8bo?0  
     ;oC85I  
    {Y'DUt5j  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     itD1r?O{pV  
    8&ZUkDGkJ  
    |82V` CV  
    *ARro Ndr  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 d"5:/Mo  
    d[rxmEXht  
    xzMa[D4(  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 "=| yM~V  
    WLNkO^zb  
    Ec0Ee0%A]  
    X线偏振光模拟结果：
    -.g5|B  
    2Pi}<pG~  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 Dw[w%uz  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 >g93Bj*  
    H:9( XW  
    |fTQ\q]W  
    Y线偏光模拟结果 &.<{c `-  
    AGCqJ8`|T  
    G~4^`[elB  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 :n'QN Gj  
    结论： Cj5M  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 sNX$ =<E  
    QQ：2284816954 备注：光学     pPh_p @3I  
     
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