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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟  Ez1*}  
     .y[K =p3  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 Mw5!9@Fc7  
     !%M-w0vC9  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 =v5(*$"pd"  
     $v oyXi`*  
    所需工具箱子：光栅工具箱 s9GPDfZ  
     o_*|`E  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 ~O 6~',KD  
     u]MF r2  
    建模任务 ^9b `;}).  
    y<.!TULa_  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 >%3c1  
    S@"=,Xj M  
    !<6wrOMaO  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 )L hO}zQ  
     # nYGKZ  
    OB^2NL~Q~  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 @ Q1jH~t  
     a&ByV!%%+_  
    &s;%(c04A  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     dO//  
    tx1jBh:e=  
    tr/dd&(Y1  
    -5 W0K}  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 x[^A9  
    \j;uN#)28  
    v_@_J!s  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 h{xER IV1u  
    dS&8R1\>1  
    qtH&]Suu,  
    X线偏振光模拟结果：
    1=a}{)0h  
    C;) xjZiR  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 .M{[J]H`t  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 1DcarF  
    l=]vC +mU  
    7h0'R k  
    Y线偏光模拟结果 -9*WQU9R  
    2!otVz! Mh  
    $B?7u@>,  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 >C}RZdO~  
    结论： >oNk(. %  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。  ck~xj0  
    QQ：2284816954 备注：光学     ` j<tI6[e  
     
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