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案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 Ow^%n(Ezh fglZjT 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 PRah?|*0s =p7W^/c 关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 sN?:9J8
G/ ^|oJ/G 所需工具箱子:光栅工具箱 & {/u>, :<(<tz7dj 相关案例:G.001a,Scenario 104.01 /6.b>|zF v*^2[pf 建模任务 rFK
* ut,"[+J 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 U92hv~\ v4.V%tg! QA 9vH' 双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 ;yXnPAtJ ^}[
N4 He*L"VpWv 为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 uJ y@ Z)&HqqT3p R 1 b`( 选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 2M1mdkP3 k %rP*b* 1M{#"t{6 `&6]P :_qp 选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 _
o(h]G1]. N} h%8\ v;8XRR: 堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 n%0vQ;Z1 SYwNx">Bq $3Ia+O X线偏振光模拟结果: w#$k$T) M*HG4(n0 探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 4%7*tVG 在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 %G
SSy_c Lgfr"{C tSYnc7 Y线偏光模拟结果 O gnpzN # 0(\s@r. Z}C%%2Iz 对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 2fk 结论: b#U%aPH 严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 fpi6pcof QQ:2284816954 备注:光学 *~L]n4-
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