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案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 pTXF^:8 u1=K#5^ 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 X0R EC% 9Vo*AK'&U 关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 YoBe!-E eze%RjO} 所需工具箱子:光栅工具箱 m xqY :2K@{~8r 相关案例:G.001a,Scenario 104.01 Q<gUu^rq p4
=/rkq 建模任务 )]s<Czm% D:/q<<| 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 L#zD4L /(.:l +[w[ iaLZ|\`3a 双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 6|~^P!& ?)186dp 2`TV(U@ 为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 =4l @A> hzRKv6 ;S '?l0 选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 .6xMLo,R {_/ o' 6 6uT*Fg-G {/H<_ 选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 ft$RF CH&{x7$he
a[ayr$Hk? 堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 uYWD.]X;[ Fx|`0LI+C IWq#W(yM X线偏振光模拟结果: 40pz <-B rQyjNh 探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 @OkoT: 在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 L!lmy&1 =$fz</S=J \~"Ub"~I Y线偏光模拟结果 {:|3V 7X M/dgW`c doOuc4 对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 1P*hC< 结论: R$8{f:Pj 严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 cw{TS QQ:2284816954 备注:光学 7HBf^N.
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