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案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 D#(L@{vC R5~m"bE 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 nsn,8a38 J8[Xl. 关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 e
q.aN3KB" sMo%Ayes 所需工具箱子:光栅工具箱 RLr-xg$K-t r!=VV!XZ 相关案例:G.001a,Scenario 104.01 je0 ?iovY v<4X;4p^ 建模任务 ^E8Hv Fsdn2{g8U 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 !S<~(Ujyw !SNtJi$;v XBBRB<l) 双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 p#I1l2nE hYx^D>}]
{=Y&q~:8v 为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 ;<Q_4
V G]4+Qr? U%olH >1K 选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 uSbg*OA g9Ll>d)tE3 {RO=4ba{J jV8><5C 选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 z[Qv}pv ;bbEd' r JxT)bR 堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 m]vr|:{6/ r
+fzmb Ke!O^zP92 X线偏振光模拟结果: \/G Y0s N:zSJW`1 探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 I!bZ-16X 在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 /otgFQ_ U3QnWPt}> lDXH<W? Y线偏光模拟结果 NoIdO/vy" G)`MoVH1 1jb@nxRjO 对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 b
/ySt< 结论: cke[SUH, 严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 ivk|-C'\ QQ:2284816954 备注:光学 S]a$w5ZP
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