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案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 hF`Qs n7VQi+i' 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 ,%d?gi"& Aq;WQyZ2 关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 RH~I/4e R
q9(<'F 所需工具箱子:光栅工具箱 Ng|c13A= J. $U_k 相关案例:G.001a,Scenario 104.01 @XQItc< ,~*pPhQ8m 建模任务 X[J? 0 HPqoen$ 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 U#g,XJ @FaK/lKK <`")Zxf+ 双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 [m0G;%KR/ ;!pSYcT, Btyp=wfN[ 为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 $SfYO!n7Q dM)x|b3z BI6]{ ZC" 选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 ^SWV!rrg @TvDxY1)6Z )R6-]TkA_ =-E%vnU 选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 m8<.TCIQ iyTKy+3A FO{?Z%& ; 堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 "U|u-ka8B
]/[$3rPwZ c"oJcp X线偏振光模拟结果: Kr%w"$< nO
`R++ 探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 ]o($No 在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 =^mBj?(V7 8;$zD]{D1 1 Szv4 Y线偏光模拟结果 @ n^2UJ 1T0s
UIY dhV6r 对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 y`a]##1j$M 结论: *?YMoN 严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 _<u>?
Qt QQ:2284816954 备注:光学
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