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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 U/9i'D[|{  
     BYh F?  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 2h_XfY'3pX  
     \w;d4r8x  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 25:[VH$:4  
     UaW,#P  
    所需工具箱子：光栅工具箱 >v sy P  
      j<BW/  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 >h!>Ll  
     tWT ,U[  
    建模任务 G=1&:nW'  
    *y6zwe !M  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 [:vH_(|  
    8ClOd<I  
    df85g  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 H K]-QTEn  
     CtEpS<*c  
    C'Gj\  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 .dbZ;`s  
     D'F j"&LK  
    pZVT:qFF  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     ( o(,;  
    :NHP,"  
    1" k_l.\,0  
    YI877T9>  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 C i?BJ,  
    -VC k k  
    ?h$ =]  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 [Dzd39aKr  
    /-{C,+cB  
    H}ie D"T_  
    X线偏振光模拟结果：
    '<$!?="  
    h?8I`Z)h  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 Lm!/ iseGv  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 x>C_O\  
    `rWT^E@p5m  
    iJ-z&=dOe  
    Y线偏光模拟结果 ekR/X  
    tPQjjoh  
    X&bz%I>v  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 3 |se]~  
    结论： SV?^i`  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 , z-#B]  
    QQ：2284816954 备注：光学     ep,"@,,  
     
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