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案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 \"(?k>]E uQ-GJI^t 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 ^%,{R},s ={;pg( 关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 I;NW!"pU U\Vg &"P 所需工具箱子:光栅工具箱 A9b(P[!]T: SM8N*WdiU 相关案例:G.001a,Scenario 104.01 v|(]u3=1_ :41Y 建模任务 w@^J.7h^ +]cf/_8+s 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 :W0p36" pgES) .4^+q9M 双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 DWOf\[
f;^ +q-Q nDdY~f.B 为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 ,Suk_aX> ?pZU'5le` < 8'
b 选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 T"{~mQ* Ck
)W= i'li;xUhZ _y[C52, 选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 9SsVJ<9,R ;/$pxD -+@N/d5 堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 T;(,9>Qsu ((A@VcX #aL.E(% X线偏振光模拟结果: y\^zxG*]' "b`#RohCi 探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 e2c'Wab 在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 ]|g2V
a~- 6d]4
%Q T k_]'?f7Z Y线偏光模拟结果 Pg T3E %cn1d>M+I +h"i6`g 对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 E7/UsUV. 结论: h@R n)D 严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 ]7_>l> QQ:2284816954 备注:光学 :G 5p`;hGo
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