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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 Q>\y%&df  
     DNsDEU  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 7X3<8:%  
     }-3| v<d  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 %9z N U  
      &!I^m  
    所需工具箱子：光栅工具箱 Evd>s  
     wGd4:W  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 SHw%u~[hu  
     VGbuEC[Y  
    建模任务 19)fN-0Z  
    EleK*l  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 D]+0X8@kH7  
    %B^nQbNDM  
    F$ kLft[:  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 zk+&5d 4(  
     (mq 7{ ;7y  
    =}S*]Me5  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。  3nfw:.  
     f =H,BQ  
    NTRw:'  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     &KfRZ`9H  
    $y !k)"k  
    JTcK\t8  
    zV)Ob0M7U  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 ?!H <V@a  
    S>~QuCMY  
    7 4rmxjiN  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 8Z;wF  
    8i!~w 7z  
    L@*0wx`fU  
    X线偏振光模拟结果：
    yteJHaq  
    Hu$]V*rAG  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 9moenkL  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 Xrnxpp!#^D  
    iqecm]Z0  
    |]7z  
    Y线偏光模拟结果 hw`+,_ g  
    1Yt;1k'  
    uHdrHP  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 Wx}+Vq<q  
    结论： Zmf\A  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 O@U[S.IK  
    QQ：2284816954 备注：光学     lhm=(7Y  
     
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