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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 X"QIH|qx-  
     `CCuwe<v  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 ];BGJ5^j  
     VxD_:USIF  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 !9GJ9ZEXM  
     @j +8M  
    所需工具箱子：光栅工具箱 {z)&=v@  
     p<>x qU  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 l|#WQXs*c{  
     4.]xK2sW  
    建模任务 (eX9O4  
    1 o<l;:  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 CNwYQe-i  
    x1:#rb'  
    a^yBtb~,P  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 aq-`Bar  
     #hinb[fQ  
    @**@W[EM  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 [$; \1P/  
     Nxk3uF^  
    QmQsNcF~z  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     3w&fN3 1  
    $Pa7B]A,Ae  
    I5RV:e5b  
    :1%z;  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 .Q'/e>0  
    Y|ONCc  
    3{e7j6u\  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 ]RYk Y7>`  
    5#jna9Xc  
    om3$=  
    X线偏振光模拟结果：
    (hywT)#+  
    p^^Ai  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 s|3@\9\  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 c&zZsJ"~  
    *2MM   
    cY/!z  
    Y线偏光模拟结果 EJqzh i5  
    qGndh  
    |12Cg>;j*n  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 >z0~!!YZ  
    结论： _ED,DM  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 C N9lK29F)  
    QQ：2284816954 备注：光学     V>#iR>w_4,  
     
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