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案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 ]}U*_rM: k Mu8"Az 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 vg3=8># +)y^'Qs 关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 Ag&0wN+jTM a4XU?-sUh 所需工具箱子:光栅工具箱 U@-^C"R i%/Jp[e\W> 相关案例:G.001a,Scenario 104.01 f>W- _(h&7P9 建模任务 # a<Gxj c2&q*]?l; 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 >N]7IU[- \~fONBY Pb?$t 双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 KO]T<R
h< m|{3),#V pL{U `5S 为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 kdl:Wt*4o hS)'a^FV $4/yZaVb 选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 my}-s Qk,I^1w?7 VxVE f6p-s
y> 选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 hnDBFQ{ <$X3Hye j!]YNH@ 堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 NdzSz]q} }[4r4 1[ QKr,g X线偏振光模拟结果: ^R# E:3e !"\80LP 探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 CE/Xfh'44 在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 =zKhz8B( .
koYHq MBqt&_?K Y线偏光模拟结果 C!fMW+C@ ^-,xE>3o Bs O+NP 对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 6f\Lf?vF 结论: wS%Q<uK 严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 ;xzUE`uUfJ QQ:2284816954 备注:光学 f'
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