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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 xyV]?~7  
    IQ{?_'  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 2v^lD('  
    (t74a E pi  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 uX0 Bp8P  
    [:pl-_.C  
    所需工具箱子:光栅工具箱 A}4t9|/K6  
    QN #)F  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 wb+<a  
    |uQ[W17^N  
    建模任务 uHrb:X!q  
    I =b'j5c  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 QZ0R:TY  
    $B ?? Ip?P  
    3Q$c'C  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 `(T!>QVW+g  
    [D9:A  
    |$Xf;N37t  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 P'FKk<  
    x~(y "^ph  
    @YNGxg~*g  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    kpT>G$s~gy  
    <[5#c*A  
    4g'}h`kh  
    ] j1 vbk  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 TPqvp|~2  
    s?+fPOF  
    Q %y,;N"ro  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 KT%{G8Y@M  
    /sH0x,V  
    ul$omKI$}  
    X线偏振光模拟结果:
    F#^L9  
    777rE[\@b  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 X=#It&m%s  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 x {vIT- f  
    f:FpyCo=9  
    5"e+& zU~f  
    Y线偏光模拟结果 Wa{%0inZ  
    tKX}Ok:V%  
    s!i:0}U  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 ] EV`dIk  
    结论: u:eW0Ows"  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 -Fa98nV.WB  
    QQ:2284816954 备注:光学
    ,-!2 5G  
     
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