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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 ,bxz]S1W  
     4>l0V<  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 0"hiCGm'  
     ~'(9?81d  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 -H4PRCDH  
     5qGGu.$Ihi  
    所需工具箱子：光栅工具箱 +5#x6[  
     )ukF3;Gt  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 #0(fOHPQ  
     f;R>Pr;rD  
    建模任务 >)4.$#H  
    W.IH#`-9E  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 ,b$z!dvhl  
    f KHse$?_  
    L,6MF,vx  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 r-*l1([eW  
     ekrBNDs9  
    3<+z46`?  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 _g65pxt =Z  
     'bl%Y).9w  
    W|0My0y  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     C]M7GHe1q  
    E3bwyK!s  
    M= atls  
    pG~'shD~Dn  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 b22LT52  
    9?$RO[vo  
    BK*z 4m  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 ;KL9oV!<f  
    U[bgu#P;  
    q P'[&h5Y  
    X线偏振光模拟结果：
    ZOC#i i`:  
    T30Zk*V  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 h^Qh9G0dn  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 "U*5Z:8?9  
    .N!{ U  
    [1Uz_HY["3  
    Y线偏光模拟结果 fQP,=  
    gd_ ^  
    ?|lIXz  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 oE6|Zw  
    结论： }s(C^0x  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 k8 u%$G  
    QQ：2284816954 备注：光学     CIEJql?`  
     
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