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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 pTXF^:8  
    u1=K#5^  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 X0REC%  
    9Vo*AK'&U  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 YoBe!-E  
    eze%RjO}  
    所需工具箱子:光栅工具箱 m xqY  
    :2K@{~8r  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 Q<gUu^rq  
    p4 =/rkq  
    建模任务 )]s<Czm%  
    D:/q<<|  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 L#zD4L  
    /(.:l +[w[  
    iaLZ|\`3a  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 6|~^P!&  
    ?)186dp  
    2`TV(U@  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 =4l @A>  
    hzRKv6  
    ;S '?l0  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    .6xMLo,R  
    {_/o' 6  
    6uT*Fg-G  
    {/H<_  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 ft$RF  
    CH&{x7$he  
    a[ayr$Hk?  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 uYWD.]X;[  
    Fx|`0 LI+C  
    IWq#W(yM  
    X线偏振光模拟结果:
    40pz<-B  
    rQyjNh  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。  @O koT:  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 L!lmy&1  
    =$fz</S=J  
    \~"Ub"~I  
    Y线偏光模拟结果 {:|3V 7X  
    M/dgW` c  
    doOuc4  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 1P*hC<  
    结论: R$8{f:Pj  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 cw{TS  
    QQ:2284816954 备注:光学
    7HBf^N.  
     
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