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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 {,uSDI Oj$  
     ::{\O\w  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 Jc?zX8>Ae:  
     d)U(XiK'  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 U}:+Hz9  
     Q?T+^J   
    所需工具箱子：光栅工具箱 jA{B G_  
     l"JM%LV  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 e.L&A|  
     b]?5r)GK  
    建模任务 {hN\=_6*EW  
    HaL'/V~  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 SVwxK/Fci  
    ZzBaYoNy[0  
    ,7cw%mQA  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 Z] r9lC  
     $X;OK  
    KsTGae;ds  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 o=94H7@  
     Has}oe[  
    a0]GQyIG  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     L"vk ^>E6  
    rD$5]%Y  
    cXt&k  
    !nL94:8U  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 &k|EG![  
    %"c;kvw  
    Uu+ibVM$  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 X} V]3  
    q1YNp`]0i8  
    < ~CY?  
    X线偏振光模拟结果：
    gktlwiCZ  
    L-U4 8 i  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 % +  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 K!(WcoA&2i  
    h*KDZ+{)  
    c]VK%zl  
    Y线偏光模拟结果 27[e0 j  
    B QUYT/$(  
    Pl|I{l*o(`  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 `lm'_~=`&  
    结论： X`&Us  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 SkipPEhA  
    QQ：2284816954 备注：光学     G+sB/l"  
     
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