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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 Ty3CBR{6  
    Y:%m;b$]  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 U.RW4df%E  
    C[xJU6z  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 3zB|!p C6s  
    9K;k%  
    所需工具箱子:光栅工具箱 uZ\wwYY#M  
    ]D LZ&5pv  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 PNbcy!\U  
    rToaGQh  
    建模任务 SbS$(Gt#Bv  
    & =73D1A  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 ?aFr8i:)M  
    dU oWo3r=  
    4[TS4p  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 (@)2PO /  
    n .f4z<  
    894r;UA7  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 =6cyE  
    _BG8/"h32  
    #%? FM>  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    (;0$i?3\  
    R2}kz.  
    `]`=]*d  
    EI1W .V>@  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 D:wnO|:  
    \G$QNUU  
    FZe:co8Mu  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 vG]GQ#  
    #K=b%;>  
    bz{^h'  
    X线偏振光模拟结果:
    LH=d[3Y  
    h6u2j p(+  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 }#yU'#|d  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 |',M_ e]  
    iH-bo@  
    fy&#M3UA\U  
    Y线偏光模拟结果 x3Nkp4=Xd  
    ;>NP.pnA)  
    ,~(|p`  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 tT;8r8@  
    结论: h&lyxYZ+T$  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 A LXUaE.  
    QQ:2284816954 备注:光学
    !|:RcH[  
     
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