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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 )jm!bR`  
     POB6#x  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 yzWVUqtXm  
     @` 5P^H7  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 B:oE&Ahh{  
     Cs9o_Z~  
    所需工具箱子：光栅工具箱 <aSjK#  
     \3q Z0  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 = Zi'L48  
     VY G o;  
    建模任务 Smg z}  
    1{1 5#W  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 l_$ le  
    0Sx$6:-~  
    JIL(\d  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 .:r l<.  
     ;T hn C>U  
    vLI'Z)\  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 pmfL}Dn  
     ;x,yGb`  
    BMi5F?Q'G  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     d RIuA)0s  
    y?OK#,j  
    D4Z7j\3a  
    ?LSwJ @#  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 F,}7rhY(U^  
    ~`yO@f;D  
    XmJ?oPr7  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 Xx,Rah)X3  
    `}.jH1Fx/m  
    #u"$\[G  
    X线偏振光模拟结果：
    &[b(Lx|i  
    1$_|h@  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 yU|=)p5  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 T3bYj|rh=  
    z"\<GmvB  
    dt5`UBvUg  
    Y线偏光模拟结果 ROi_k4Fj  
    +k;][VC[O  
    y/Ui6D  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 `|p8zV  
    结论： *E|#g  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 gY {/)"  
    QQ：2284816954 备注：光学     BN1,R] *;  
     
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