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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 xeTgV&$@  
     "zZI S6j  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 ?HHzQ4w%{  
     o!&W sD  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 ;Pb8YvG1$  
     Ey&aB YR  
    所需工具箱子：光栅工具箱 }{],GHCjQ  
     YT yX`Y#  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 PQj<[rY  
     _`a&9i &  
    建模任务 `EMi0hm&H  
    +3^NaY`Y  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 I+,SZ]n  
    =7ydk"xM*  
    d$;/T('  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 s'_,:R\VM>  
     PCfo  
    G{c#\?12C  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 +2T! z=  
     oO=o|w|T  
    BgRZ<B`  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     RazBc.o<  
    YL^Z4: p  
    u.6P-yh  
    Q~ 0Dfo w?  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 bsO@2NP'  
    5()Fvae{k  
     ^Omfe  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 +8^_D?*\n  
    5}a"?5J^  
    |< N frz  
    X线偏振光模拟结果：
    _+zVpZ  
    l \}25 e  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 fI11dE9&?[  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 f9'] jJ+  
    dt ~iw  
    -2lRia  
    Y线偏光模拟结果 G?[-cNdk  
    t:9 ZCu ay  
    37K U~9-A  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 p\+6"28{_~  
    结论： ^K*-G@B  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 [.U^Wrd  
    QQ：2284816954 备注：光学     ]<X2AO1  
     
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