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摘要 `QF|>
N u5_fM*Ka 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 19t*THgq Sx"I]N u2Obb`p S q}i87a;m 设计任务 4\3t5n 7KIQ)E'kG|
}+J@;: :JIPF=]fc n}?G!ySg 光栅特性与参数的严格分析 H%N+Vr3O, '
^^K#f8 不同光栅周期的衍射效率 -`UlntEdZ: mK-:laIL" h_L '_* U;@jl?jnG 考虑光栅周期的选择 z-G (!]: PgAfR:Y! 9iCud6H,h 偏振相关衍射特性 #O+]ydvT mNel3J3
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Nk4_! |plo65 偏振相关衍射特性 I+t38un% ,?6m"ov4( "n,ZP@M;
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F@bCm+z- \#,#_ 制造公差分析 - 设计#2 6CRPdLTDf >8O=^7
2{I z N|2 不同光栅周期的三维参数优化 '|N4fbZd !bQ
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