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摘要 \z>Re$: m>dZ n 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 R'bmE:nL za{z2#aJ BZAeg">3 nd)Z0%xo 设计任务 A$*#n8, P2J{Ml# h_Ky2IB$ 0].x8{~o `CCuwe<v 光栅特性与参数的严格分析 ];BGJ5^j 4u}"ng
不同光栅周期的衍射效率 VA4>!t) 2uonT,W x:'M\c7 /7W N,a 考虑光栅周期的选择 s|iph~W!L V=yRE m\a_0!K 偏振相关衍射特性 WT(inf[ +B^(,qKMN
!e~Yp0gX# ~" \qX+ 偏振相关衍射特性 ?v-Y1j /Mk85C79
HSq.0vYl6 8#% Sq=/+M 偏振相关衍射特性 >~O36q^w :eaqUW!Y >7@kwj-f) $@m)8T 基于参数优化的光栅设计 T3po.Km\{ 3L2@C% 具有固定周期的二维参数优化 G9?6qb: Be"Swz(n
z;Pr] *F 二维参数优化 - 设计#1 /8!s
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j.C)KwelBS 9G8n'jWyY 制造公差分析 - 设计#2 8o' a GKPC 9;{W
x+~IXi>Ig ]W,K}~! 不同光栅周期的三维参数优化 _n9+(X3 P3[+c4
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