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摘要 ROhhd. .vnQZ*6 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 !kxJ&VmeF |NdWx1 56?RFnZ&j eF"k"Ckt' 设计任务 BHu%x|d B"Ma<"HU rD;R9b"J drQI@sPp `nCVO;B 光栅特性与参数的严格分析 #b
eLo J d iWi0@ 不同光栅周期的衍射效率 aizJ&7(> aGAeRF e?7Oom 7>V*gV?v 考虑光栅周期的选择 oLS/ `%/w0,0 TCR|wi]
kW 偏振相关衍射特性 5{xK&[wR* Q_)$Ha{>H,
DJZ$M FEO/RMh 偏振相关衍射特性 S}P rgw/ f+lPQIB
hCb2<_3CR af'gk&% 偏振相关衍射特性 90 >V he :6qt[(<" *zwo="WA\t W1&"dT@ 基于参数优化的光栅设计 1+#E|YWJ qg2Vmj<H 具有固定周期的二维参数优化 v?YxF} +!K*FU=).
20]p< 二维参数优化 - 设计#1 f@ILC=c< z?@N+||,.
P]O=K vSy[lB|)24 二维参数优化 - 设计#2 g`w46X c,:nWf
uO)vGzt3^x }]Nt:_UCX 制造公差分析 - 设计#2 H*P[tyz$ +{#L,0t
7GvMKtuSK *c>B-Fo/D 不同光栅周期的三维参数优化 ]v]tBVO$ c#f@v45
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