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摘要 94*MRn1E =bvLMpa 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 $}YN`:{ ?=kH}'igq ?G&J_L=@Y fG.6S"|M 设计任务 es+ZPX>Y _qt v Oo^H 4m~p(r 2U+Fat@ 光栅特性与参数的严格分析 %/s+-j@s: =G'J@[d{d 不同光栅周期的衍射效率 0PUSCka'6 $Nj'_G\} 8N#.@\'kz. Gh%dVP9B@P 考虑光栅周期的选择 f=4q]y#& X gG(9&}@( kCoEdQ_ 偏振相关衍射特性
2&o3OKt F22]4DLHO
"#%9dWy WO+>W+|N 偏振相关衍射特性 }~<9*M-P +6<g N[
nC9xN UX?S#:h 偏振相关衍射特性 vFgnbWxG 6a{b%e` (xBWxeL~ P[Id[}5Pw 基于参数优化的光栅设计 If@%^'^ON= %i.;~> 具有固定周期的二维参数优化 G\r>3Ys c 9zMI
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