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摘要 W1=H8 O $'hEz/ 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 n#OB%@]<V '(L7;+E  kq,ucU%>p = {wcfhUl+ 设计任务 )f<z% :I+Z fDU !~/#  exUu7& *: X*@dj_, EA]U50L( 光栅特性与参数的严格分析 <3C*Z"aQ>| Ge-vWf-RbB 不同光栅周期的衍射效率 *6DB0X_-} >e [i 5  VZmLS 4E +s DV~\Vu 考虑光栅周期的选择 JHTSU q )C] g ld;8  Y^EcQzLw 偏振相关衍射特性 U0N 60 }oGA-Qc }B
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