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摘要 DW;.R<8 ohG43&g~ 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 boHm1hPKS Vt 5XC~jK  (4/ `@;[ pz z`4VS: 设计任务 Ql!6I ( )I1V 2k$n  'Y/V9;`)s E9NGdp&-Ah E!]rh,mYK 光栅特性与参数的严格分析 jZgnt{ E?W!.hbA 不同光栅周期的衍射效率 SX<>6vH& {`SGB;ho
 7UnO/K7oB. EwJn1Mvq 考虑光栅周期的选择 ZtZV:re= dJgOfg^  rAi!'vIE 偏振相关衍射特性 J} ;,%q _ st^N QL
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*fyEw\`a 偏振相关衍射特性 fpC@3 itI
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 x6mq['_ {@`Uf;hPAX 偏振相关衍射特性 (4gQe6tA 246!\zf  h1d 0{
X " r$,~ 基于参数优化的光栅设计 o*S $j Cf? Z4tq&^ :c= 具有固定周期的二维参数优化 jtJ8r5j 1
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 "+C\f) 二维参数优化 - 设计＃1 / 1@m#ZxA: V&n JT~k
 SQ.Wj?W) WM7/|.HQ 二维参数优化 - 设计＃2 tA n6 pGp s: .XF|e{
 YR`rg;n# M?CMN.Dw 制造公差分析 - 设计＃2 _
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