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摘要 d/S w.=vq ;\g0* b( 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 i 558&: < k?pnBI_  1*GL;W~ix* 6gs0Vm 设计任务 5,R4:y ?cK ${)oi:K@:  5 ) q_Aro xx@[ecW u v=a}U; 光栅特性与参数的严格分析 VUi> ]v/e boq=@Qh 不同光栅周期的衍射效率 S6g_$ Q7 B:Y F|k}T  e9R H [: jp;]dyU 考虑光栅周期的选择 "Zfm4Nx " HLkI?mW<  A$M8 w9 偏振相关衍射特性 9=q& SG >4#: qIU
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G?v!Uv8O 偏振相关衍射特性 7gcR/HNeF
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 7YxVt N YkFAu8b> 偏振相关衍射特性 RF LfvD< BRy3D\}  eEBo:Rc9
n2 can 基于参数优化的光栅设计 jOU 99X\0 riL|B 3 具有固定周期的二维参数优化 's.e"F#
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 O/ U? Wq 二维参数优化 - 设计＃1 tI@aRF=p]2 1eywnOjrj
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 t7xJ$^p[|K c4u/tt.) 不同光栅周期的三维参数优化 <(@Z#%O9)
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