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摘要 k_sg
?(-!o /I1h2E 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 G}:w@}h/ +1uF !G&l
8cU}I4| dYG,_ji 设计任务 ?%O(mC]u& C9~52+S Ir
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B]]d 光栅特性与参数的严格分析 $CY~5A `l9 c#|raXGT 不同光栅周期的衍射效率 x.f]1S7h[ ZG>PQA {1IfU ,24p%KJ*X 考虑光栅周期的选择 kddZZA3` !zkZQ2{Wn 01}C^iD 偏振相关衍射特性 VRI0W` 8 7BHq) v16JgycM 6%t1b M
a 偏振相关衍射特性 A;*d}Xe&J b:Wm8pp? G+%zn| ]!I7Y.w6 偏振相关衍射特性 pnjXf.g"O eZSNNgD<: +_; l|uhT; v-#Q7T 基于参数优化的光栅设计 SSPHhAeH8 ^5H >pat 具有固定周期的二维参数优化 )\eI;8 |2RC# ]/-Y 1`(tf6op 二维参数优化 - 设计#1 lwrCpD. =<{np <J`0mVOX
{zn!vJX 二维参数优化 - 设计#2 Jth[DUH8H kS_(wpA N>XS=2tzN P!H_1RwXKC 制造公差分析 - 设计#2 x[$z({Yf bmfI~8 hEBY8=gK KVT-P};jy* 不同光栅周期的三维参数优化 *:Vq:IU[D cki81bOT PcA2/!a ^Pbk#|$rU 制造公差分析 `8AR_7i X$ s:>[H }s(N6 a&( 0w)^) 走进VirtualLab Fusion ;$smH=I ^>i63Yc U.DDaT1 l038%U~U! VirtualLab Fusion 工作流程 `%+Wz0(K 8,C*4y~ RloK,bg ,1 [q^-9 VirtualLab Fusion技术 $,,op( 3BtaH#ZY {ys=Ndo8 文件信息 nm6h%}xND< d-k%{eBV $npT[~U5
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