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摘要 L2UsqVU p@
NaD=9 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 L%"LlSg YJV% a sD;M!K_ &@FhR#pUQ 设计任务 6%G-Vs]*2 <y.]ImO p'_%aVm7 I:cg}JZ>| VqSc;w 光栅特性与参数的严格分析 X{xBYZv4 fWnD\mx?0 不同光栅周期的衍射效率 \3f&7wU "R>FqX6FB 4GdX/6C. ').}N z 考虑光栅周期的选择 {i0SS *cuuzi& %QmxA
7fW 偏振相关衍射特性 w8S!%abl1 kR CQv-*
XRx+Dddt; fxaJZz$o 偏振相关衍射特性 \NZIEu)5? Fb`a~c~s
G2bDf-1ew *iBTI+"] 偏振相关衍射特性 )SF}2?7e d\{>TdyF .IBp\7W!?E Ysq'2 基于参数优化的光栅设计 `]Fx.)C# EP'h@zdz 具有固定周期的二维参数优化 S{pXs&4O 58\&/lYW
W&*f#E 二维参数优化 - 设计#1 g9D^) V 6tHO!`}1
B~]5$- kft#R#m 二维参数优化 - 设计#2 xsd_Uu* d@`M
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0R{dNyh{ )'17r82a 制造公差分析 - 设计#2 [[PEa-992 gVQjL+_W
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