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摘要 J%O[@jX1 8H$@Xts 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 [xp~@5r' [|m>vY! *;ZW=%M ||"":K 设计任务 l72ie qx#ghcU ,i$(yx? !pFKC) HC<BGIgL 光栅特性与参数的严格分析 JXZ:Wg |tolgdj 不同光栅周期的衍射效率 4,R\3`b :Z7"c`6L!~ K_w0+oY a JVIcNK) 考虑光栅周期的选择 zN729wK Hi4@!] SjNwT[.nr7 偏振相关衍射特性 <|>:UGAR [K|>s(Sf*
M%Kx{*aw& G3^n_]Jb 偏振相关衍射特性 .ON$vn7 *Tlws
MlcoOi! a_#eGe> 偏振相关衍射特性 jW+VUF-t v'2OHb# 2Y g[8Tm# $4ZDT]n 基于参数优化的光栅设计 ]aMa*fF *z;N 具有固定周期的二维参数优化 t9-\x ss M9t
nbkky.e 二维参数优化 - 设计#1 Aaw:B?4) N4GIb 6
IB]VPj5 .AQ3zpy5B 二维参数优化 - 设计#2 kI1{>vYD
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kod_ 1LD JcALFKLB 制造公差分析 - 设计#2 m#}{"d&J {TN@KB
.qU%SmQ^ pa> 2JF* 不同光栅周期的三维参数优化 4>ce,*B1 !E.lyz
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