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摘要 sBu- \P# @{UtS2L 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 62%=%XD FFqqA T5  q:ZF6o`Z83 Q68q76 设计任务 N[ AX]gOJ _kT$/k  (y!< ^ Q 8!{F6DG }*I:0" WH 光栅特性与参数的严格分析 z>X<Di&x) bjEm=4F I; 不同光栅周期的衍射效率 [1{uK&$e ACcxQK}  @e_<OU h"{Z%XPX# 考虑光栅周期的选择 ( },TZ+u xr*hmp1  .. xg4V/ 偏振相关衍射特性 WS?"OTH.^\ >F~]r$G
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