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摘要 Ao K9=F} ?_eLrz4>L^ 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ChiIQWFE wB)y@w4k IdmP!(u g QBS#NY 设计任务 EQyX! mP)bOAU KI9Pw]]{- |4+'YgO 7Z>vQ f B 光栅特性与参数的严格分析
VY6G{f 7$*E0 不同光栅周期的衍射效率 ?`RlYu xp|1yud )Jt. Z^J< A@?0( 考虑光栅周期的选择 3@~a)E}T $%EX~$=m]-
q0ktABB 偏振相关衍射特性 pA8bFtt ]!ai?z%cK#
4Sh8w%s 4)iP%%JH 偏振相关衍射特性 aen% H9WYt#
c/$].VG0 lf"w/pb' 偏振相关衍射特性 Do4hg $:40 QGN+f) 7;Ze>"W> .>W [ 基于参数优化的光栅设计 vjX,7NY? .=:f]fs 具有固定周期的二维参数优化 i ;B^I8 oG)T>L[&
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4Pv\YO 二维参数优化 - 设计#1 2)IM<rf'^ l~$)>?ZD
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W*8 二维参数优化 - 设计#2 %ddH4Q/p h[dJNawL
M4Cb(QAVP QtfL'su: 制造公差分析 - 设计#2 4A+g-{d h] ho? K
L9) gN.# gw)z*3]~s 不同光栅周期的三维参数优化 =mLp g4 8(`e\)%l0
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