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摘要 i6N',&jFU L0]_X#s># 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 jh$='G n azU"G(6y?+  -']56o_sQ/ 0BsYavCR 设计任务 S[QrS 7 cj@koA'  (i GTACoF $ulOp;~A% y?!"6t7& 光栅特性与参数的严格分析 |'2d_vR :H[6Lg\* 不同光栅周期的衍射效率 },[}$m % t:c.LFrF  mcok/,/ " h ^Z 考虑光栅周期的选择 `,0}Zz aV& l+0P  3N:D6w-R 偏振相关衍射特性 iR0y"Cii Qei" '~1a
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