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摘要 N# }w1] 2O=$[b3 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 SF:98#pg Ww-x+U\l g9pKoi|\E d*^JO4' 设计任务 J=3{<Xl b\(f>g[ U7g`R@ x *I'Ar F+H]{ss> 光栅特性与参数的严格分析 gGVt( ^ !.j{vvQ/ 不同光栅周期的衍射效率 %]LoR$|Y W/2y;@ 2.Vrh@FNRo =T[P 考虑光栅周期的选择 Wa^Wn +r G!I++M" [}4zqY{ 偏振相关衍射特性 &s`)_P[ 6-wpR
oT{9P?K8 t08U9`w 偏振相关衍射特性 ompr})c oYw?kxRZ
N9/k`ZGC %6cr4}Zm} 偏振相关衍射特性 h~#F2#. bW
W!,-|R w]gLd B1}i0pV,, 基于参数优化的光栅设计 >V(C>^%-> 4xW~@meNB 具有固定周期的二维参数优化 66?`7j X q<E7qY+
7%"|6dw 二维参数优化 - 设计#1 hFA |(l6 Zl3l=x h
L8D=F7 VDnrm* 二维参数优化 - 设计#2 J0IKI,X. \5}PF+)|
1^$hbRq c_qox 制造公差分析 - 设计#2 ^IiA(?8 Mt4]\pMUb
h{mzYy}b l)$mpMgAD 不同光栅周期的三维参数优化 my sXgS& |