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摘要 .rl Lt5b% = ^%*: iT 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 8>I4e5Ym q1rD>n&d
B,ao%3t %w/vKB"nO 设计任务 v++&% 1V,DcolRY ' Yy+^iCus 9!dG Xq bq}`jP~# 光栅特性与参数的严格分析 ' XOWSx;Y "_+8z_ 不同光栅周期的衍射效率 E$v!Z; A d-H03F@N >YcaFnY ahN8IV=+Gm 考虑光栅周期的选择 X'/'r.b6 4S* X=1 8 9maN 偏振相关衍射特性 ]r\!Z
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yQN^F+. 'sa>G 偏振相关衍射特性 YQR[0Y&e= Ia[<;":U
nIfp0U* @J'tPW<$ 偏振相关衍射特性 !-JvVdM;( 2~yj
=D27Z DjvPeX ^SIA%S3 基于参数优化的光栅设计 sH%Ts@Pl wVF
qkJ 具有固定周期的二维参数优化 FA%V>&;` P!XO8X 1F
~,x4cOdR# 二维参数优化 - 设计#1 KppYe9? 5?f!hB|6
9&Z+K'$= z0|-OCmL 二维参数优化 - 设计#2 " z -tL O;0VKNn['
D&OskM60 y-~_ W 6\ 制造公差分析 - 设计#2 V \/Qik{h 3XDuo|(
7zowvE?# I[n|#N 不同光栅周期的三维参数优化 ^AoX|R[1% mRxeob
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