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摘要 Wra*lQb/B e<YC=67n) 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Y1+4ppZ m7z/@b[ ,W5pe#n Crh5^? 设计任务 F*>:~'% 26>e0hBh& `r'q(M 7!hL(k[ c)#b*k,lw< 光栅特性与参数的严格分析 5H:NY| yfiRMN"2 不同光栅周期的衍射效率 +cheLc _a8^AG WW0N"m' X}0NeG^'O 考虑光栅周期的选择 o DPs xw =r3Yt9 Thn-8DT 偏振相关衍射特性 p*_g0_^ a3 6n}R4Q
,~X^8oY B{H;3{0 偏振相关衍射特性 fW!~*Q y&t&'l/m
\r^=W= P9:7_Vc 偏振相关衍射特性 hUSr1jlA #p&iH9c_ %bZ3^ ub}t l6Ze6X I 基于参数优化的光栅设计 })T}e7>T ($7>\"+Tl 具有固定周期的二维参数优化 5oGnPF ipjl[
[esjR`u 二维参数优化 - 设计#1 <5@+:7Dv H&[ CSc
(NOAHV0H %FT F 二维参数优化 - 设计#2 -0YS$v%au> p+snBaAo}
uZz^>*b !9356) cV 制造公差分析 - 设计#2 8UwL%"?YB LDBxw
yrR<F5xge j +@1frp 不同光栅周期的三维参数优化 ?CA P8 _ ppR~e*rv-
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