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摘要 K>Dn#"{Y
[O>}% 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 D.9qxM"Z> j]#q q]c  Cb5;l~}L 9aFu 51 设计任务 t23uQR#>b_ lO! Yl:;m%  F~2bCy[Z I{U7BZy A}v! vVg 光栅特性与参数的严格分析 GuPxN}n
5 $8vZiB!" 不同光栅周期的衍射效率 eW, {E)x: SK t&]H  iqm]sC` bfcQ(m5 考虑光栅周期的选择 7v3'JG1r- :jlKj} 4A  ul$k xc=N 偏振相关衍射特性 5gYv CW&~ }W^%5o87{
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\9j +ejGf 偏振相关衍射特性 q#B=PZ'NA
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 5]pvHc Z;Q2tT /F 偏振相关衍射特性 vq O d`_) LK\L}<;1V  |LhVANz
V>D8l @ 基于参数优化的光栅设计 g2 7 i E hOZ:r =% 具有固定周期的二维参数优化 } 7?_>
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 *\Z9=8yK 二维参数优化 - 设计＃1 $eHYy,, 2%4u/
 Buc{dcL/ FM $$0}X 二维参数优化 - 设计＃2 m1bkY#\ U| NxY B)`~
 W]Bc7JM]T+ 0V;9v 制造公差分析 - 设计＃2 [$\KS_,Mn )
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 X83,f CCl5 Uh[MB w K 不同光栅周期的三维参数优化 wwh1aV *
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文件信息 Jb/VITqN4
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