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摘要 doI cO,Q 6` ZHFem 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 tp6-j`7u YA";&|V  J6WyFtlyLc r#% e$
设计任务 p~n62( zlUXp0W  )L)jvCw,e {Qe 7/ln! *8ZaG ]L 光栅特性与参数的严格分析 j }uVT2ZE% 9Y6Ear .W 不同光栅周期的衍射效率 _{eH"
,( F5h OKUjv  Dd 3GdG@*~ {Q% "{h'] 考虑光栅周期的选择 _iJ8*v 8 A $.7 Ov|  sQ4~oZZ 偏振相关衍射特性 B
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