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摘要 /Ba/gq0j OGG9f?? 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ;<nJBZB9u
,R-aO= % vF/wV'Kk o8NRu7@? 设计任务 H5o=nWQ6e tk>J
mcTw a>Zp?*9 X}g3[ #&%>kfeJ)< 光栅特性与参数的严格分析 l kyK tf[)| /M 不同光栅周期的衍射效率 q>5j (,6F aM(x--UR= _rmKvSD% 6RDy2JAOP 考虑光栅周期的选择 :\y' ?d- Q P+QL||>L ''3I0X*! 偏振相关衍射特性 l[rK)PM !SIk9~rJ
.8T0OQ4 ml /S|`Drk 偏振相关衍射特性 ^)(tO$S 3rjKwh7
1Kd6tnX _ElG&hyp 偏振相关衍射特性 b};o: ZY@ntV? #<EYO euVj,m 基于参数优化的光栅设计 d ez4g P{yb%@I~J 具有固定周期的二维参数优化 RBBmGZ -'SA&[7dP
;_2+Y^Qb 二维参数优化 - 设计#1 >P&1or)e% ]5Dh<QY&.
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`?(N 二维参数优化 - 设计#2 v(!:HK0oeT /
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l;L_A@B< /zoy,t-i 制造公差分析 - 设计#2 OZnKJ< i7e6l C
D79:L: ~!!|#A)W 不同光栅周期的三维参数优化 n|LpM . $Ery&rX.
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