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摘要 ZoqE,ucH >bw q 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 5G#2#Al(F
%x^ U3"7  6I5LZ^/ G9 @Rqn&tA8 设计任务 0n?^I>j ^
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iF ^7`gf T' ) l 光栅特性与参数的严格分析 FbD9G6h5 :RX zq C 不同光栅周期的衍射效率 O
0P4uq thh0~g0/  0*/[z~Z-1 5 q}7#{A 考虑光栅周期的选择 Ch&2{ ng $)j f  q+ 9c81b 偏振相关衍射特性 Xf|I=XK 0{47 TX*YX
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1 偏振相关衍射特性 E*UE?4FSw| H' )8p;~{}  Cl!qd h6
6"c(5#H 基于参数优化的光栅设计 6L&_(/{Uw 5o Y^; )\/ 具有固定周期的二维参数优化 Wtj* Z.=:
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