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摘要 LK~aLa5wG Ze eV- 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 jRg
gj`o JEp)8{.bW8  TXmS$q
q\?s<l63 设计任务 z{
:; Rb 3W%6n-*u  p> `rTaeZg gCb+hQq\ 5'I+%66?h$ 光栅特性与参数的严格分析 7;fC%Fq G XVx/) H 不同光栅周期的衍射效率 *y?HaU 4SJ aAeIZ  QDg5B6>$ P3&s<mh 考虑光栅周期的选择 6M*z` B{hV 6iyl8uL0J  -[L\:'Gp5 偏振相关衍射特性 @%Ld\8vdfJ iY,C0=n5Y
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 9j>2C &-yRa45? 偏振相关衍射特性 J[ Gpd Fvl\.  mrP48#Y+l
_Sr7b#)o 基于参数优化的光栅设计 X3:z=X&Zd 1_] X 具有固定周期的二维参数优化 9&eY<'MgP
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 4H-eFs%5 二维参数优化 - 设计＃1 .*-8rOcc T UcFx_
 Y\]ZIvTSb ?s^qWA 二维参数优化 - 设计＃2 :2? g_ V ke<; k-
 Z@0tZ^V{ M*zpl} 制造公差分析 - 设计＃2 `q*[fd1u. k<< x}=
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