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摘要 B\R AX# 3&^hf^yg 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 V &nB*U&s" I 0 ~'z f  W-s 6+ DY X+XDfEt:Q 设计任务 rzAf {2 M=liG+d  v}j5G,
[- ,^?g\&f( j9 >[^t3U 光栅特性与参数的严格分析 3)EJws! }S u j=oFp 不同光栅周期的衍射效率 eav n.I8J H_RfIX)X  \s*UUODWK #kM|!U= 考虑光栅周期的选择 {k3ItGQ_ mBErU6?X,A  f-|?He4O] 偏振相关衍射特性 4)w,gp 3O2G+G2
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q!:dZES 偏振相关衍射特性 PG63 {
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9g 偏振相关衍射特性 D0jV}oz Q0R05*  W 94:%
#4bT8k q 基于参数优化的光栅设计 9- T<gYl 2X\P w 具有固定周期的二维参数优化 <(jk}wa<
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 {OEjITm 二维参数优化 - 设计＃1 N4+Cg t( gvR ]"h
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sNrx F9o7=5WAb 二维参数优化 - 设计＃2 C~pas~ bIiun a\
 Q[#}Oh6$ cOV9g)7^O 制造公差分析 - 设计＃2 [=(8yUV' G P$U" y/
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