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摘要 /W0E(8:C) /sV?JV[t 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ?$16A+ itHM7d hk.yR1Y| /4-}k 设计任务 yXrd2?Rq@ B5
&YL C/y(E|zC$ -_HRqw,Z0 :Dj#VN 光栅特性与参数的严格分析 }U
i_ynZ! D>Ua#<52q 不同光栅周期的衍射效率 @ge
LW! `{<JC{yc? i3d y PK}vh% 考虑光栅周期的选择 N;g$)zCV1 9 R ?lyltAxs' 偏振相关衍射特性 ^ `je I5Q~T5Ar
ZBC@xM&- ([tG y 偏振相关衍射特性 ~ttKI4 Wxc^_iqA1
]xYa yN!n xRB7lV* 偏振相关衍射特性 1EuK,:x RJLFj W.p66IQwL& lU&Q^Zj` 基于参数优化的光栅设计 w_GLC%|7 `^zQ$au'u 具有固定周期的二维参数优化 5)8. W%WC(/hor
6$DG.p 二维参数优化 - 设计#1 aTX]+tBoe G_0)oC@Jl:
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YY\Rua/nG 9[Y*k^.! 制造公差分析 - 设计#2 cT I,1U (]}XLMi,|!
=:;YTie *n,UOHlO 不同光栅周期的三维参数优化 &%}bRPUl \DaLHC~
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