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摘要 .=)[S5.BVq e^<'H 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 m-6&-G# p+pu_T;~ c1q; d
A'0'M 设计任务 (q0vql E/hT/BOPK %Z+**>1J L PS,\+ *;(^)Sj4Q 光栅特性与参数的严格分析 ]%ewxF F [Lg,} 不同光栅周期的衍射效率 52 *ii ^9`|QF gAh#H ?MM &"?99E> 考虑光栅周期的选择 yM}3u4FG P:_bF>r ? M}j[{wW3 偏振相关衍射特性 Yi]`"\ obGhO
1 +s;a]-C Go!{@xx> 偏振相关衍射特性 '7pzw>E=: c5| sda{
x#5vdBf oY5`r)C7 偏振相关衍射特性 C(9"59>{]y mlCBstt{ %Oo
f/q @ze2'56F} 基于参数优化的光栅设计 6uv~.-T<l IBvn
q8\ 具有固定周期的二维参数优化 3;FV^V' SuB8mPn
ZPY&q&R 二维参数优化 - 设计#1 ]kXWeY < 1hlU
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k$ T 2y \ogF 二维参数优化 - 设计#2 |AacV p!~1~q6
@e& 0Wk 0)cSm"s 制造公差分析 - 设计#2 dC8}Ttc} /D1Lh_,2
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