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摘要 jG)fM? oRFHq>-.g 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 *i|O!h1St N(q%|h<Z/= <^6|ZgR = q9>~E{} 设计任务 eyBLgJt8P jv<BGr=4; w]X~I/6g w G[X*/v =Y#)c]` 光栅特性与参数的严格分析 -twV?~f `=0}+ 不同光栅周期的衍射效率 gd^1c}UZX |_/q0#" Zy _A3m{ }eb}oK 考虑光栅周期的选择 DcaVT]" Ic/D!J{Y ;W,XP#{W 偏振相关衍射特性 1.U5gW/3L ^_
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z[Xs=S!]I =UYZ){rt9E 偏振相关衍射特性 fa9c!xDt Fl<|/DCg
0*S]m5#; *>,8+S33r{ 偏振相关衍射特性 ;4p_lw@ }wRHNBaEB !]=[h z}&w7O#
基于参数优化的光栅设计 'D(| NYY !4TM gM 具有固定周期的二维参数优化 '1{co/Y xU+c?OLi
4%>iIPXi.( 二维参数优化 - 设计#1 (4=NKtA^G ua[ d
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N@Pf \D xD+n2:I{ 制造公差分析 - 设计#2 Bc3(xI'>J sT:$:=
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