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摘要 EpPKo '{C=vW 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 i5:fn@& V}Oxz04 sdrE4-zd ?_ p3^kl 设计任务 ]V}";cm;2 $ABW|r zi<C5E` EXo"F*gW k}JjSt1_A; 光栅特性与参数的严格分析 &Tl3\T0D _jP]ifu` 不同光栅周期的衍射效率 esFBWJ ]BX|G`CCc ^Z;5e@S 2}hEBw68 考虑光栅周期的选择 f`vB$r> ,@(lYeD" -R|v&h%T 偏振相关衍射特性 i?||R|>;"' @#;~_?$?C
{QJJw}!# 1[mX_ }K 偏振相关衍射特性 ~
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yA=#Ji F d *p3a 偏振相关衍射特性 /_>S0 a$"3T ,D;d#fJ @2Z{en? 基于参数优化的光栅设计 8,=,'gFO -PoW56 具有固定周期的二维参数优化 ~xkcQ{ r
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D8G5,s-. 二维参数优化 - 设计#1 RQ!kVM@ <Zn]L:
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<D%.'=%pZ 4ba[*R2 制造公差分析 - 设计#2 0EKi?vP@y7 #8i DM5:EQ
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