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摘要 }G8gk"st KVQ^-^ 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 6/u]r S#km`N`
Ht >5R bYsK|n 设计任务 / =]h@m-` kD_Ac{{<
']Q4SB"q H&$L1CrdL 纯相位传输的设计 +qN}oyL
b)+nNqY| 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 awYnlE/Z1 rw:z|-r
ylFoYROO l(&3s:Ud 结构设计 (2 nSZRB S*"uXTS 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 HpbSf1VvAf W4MU^``
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:+H_L 使用TEA进行性能评估 EKQ\MC1 Ez()W,6]g 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 .DX tVI6GXH
:%&|5Ytb nZ tMF%j' 使用傅里叶模态法进行性能评估 &TgS$c5k d_7v 1)j 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 %:/@1r7o> $<NrJgQ
`kE ;V!n? Mz59ac 进一步优化–零阶调整 8Pb~`E/ 1>~bzXY# 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 /)+V(Jlu rXh*nC
\&!qw[;O d76nyQKK 进一步优化–零阶调整 RIm8PV;N ` x|=vu- 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 zf4\V F 1]&FB{l
?hC,49 ax)>rP,V VirtualLab Fusion一瞥 mJU1n
0<3->uK o=zr]vv Q[n*ce7L0 VirtualLab Fusion中的工作流程 Y5fz_ [(" 6 2*p*t • 使用IFTA设计纯相位传输 R:+cumHr
•在多运行模式下执行IFTA I4"(4u@P •设计源于传输的DOE结构 |KMwK
png −结构设计[用例] [r#m +R"N •使用采样表面定义光栅 Tr@|QNu −使用接口配置光栅结构[用例] dug^o c1
•参数运行的配置 /:Q −参数运行文档的使用[用例] S+ 3lX7 d1qvS@
ljP<WD 1IPRI<1U VirtualLab Fusion技术 xqQLri} >vPv4e7&3
yM2}JsC #3knKBH 文件信息 Nsf>b 8O jct|}U
gyz_$T@x y*#YIS56I 更多阅读 ,;@vVm'} - Grating Order Analyzer V(5*Dn84 - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces -=WQed} - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern jO0"`|(]s - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark cj\?vX\V oTN:Q"oK7? k>)Uyw$! QQ:2987619807 8l l}"
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