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摘要 R CnN+b:c tk2B\}6 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 zZGPA j Hk(w\
vNHMe{,u WSKG8JT^| 设计任务 ok2$ p DTsc&.29^
wlmi&kq No!P? 纯相位传输的设计 a| .0r5= 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 l&^9<th u7<B*d:
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]Y}faW(&Y 结构设计 &(IL`% O=G2bdY{, 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 t-3wjS1v 7f~DD8 R
-|:7<$2#I (+q?xwl!N 使用TEA进行性能评估 lT DF5.aE b8feo'4Z 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 jrvhTej &l-g3l[
l92#F* w1h07_u;v 使用傅里叶模态法进行性能评估 J<V}g v *(& J^ 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 HRC5z<k% +g@@|&B
VABrw t XK{`x< 进一步优化–零阶调整 !c\s)&U7B KAO}*? 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 Qf$0^$ " sO~N2
s"=e(ob [yf2_{*0T 进一步优化–零阶调整 WIQt5=- -~p@o1k0 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 `[C8iF*Y" Z:&"Ax
h,\^Sb5AP }$Q+x' VirtualLab Fusion一瞥 axxdW)+K D-8%lGS DOw<
XlvC _C)u#]t VirtualLab Fusion中的工作流程
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[ • 使用IFTA设计纯相位传输 Z8}Zhe. •在多运行模式下执行IFTA 1x V~EX •设计源于传输的DOE结构 Mw\/gm_3 −结构设计[用例] (b GiBsb •使用采样表面定义光栅 C;OU2,c,T −使用接口配置光栅结构[用例] '.#KkvE## •参数运行的配置 EJNj.c-# −参数运行文档的使用[用例] X.o[=E |U8;25Y
X6N^<Z$ %Jq(,u VirtualLab Fusion技术 KJ.ra\F AA^3P?iD
q@8Rlc& %$:js4 文件信息 ~g;(`g b,#cc>76\
H*A)U'` s<sqO,! 更多阅读 <T+Pw7X - Grating Order Analyzer 0d9rJv}~ - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces +VAfT\G2 - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern Y\%R6/Gj|u - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark 66[yL(*+ n'ZlIh }u5 Mexs QQ:2987619807 +7sdQCO(Co
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