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摘要 AQNx% _TcQ12H 5< 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 N{ z(|2{A# OsSiBb,W79
\,#4+&4b wm`"yNbD 设计任务 8JO\%DFJ 1#_j6Q2
{kO:HhUg M,U=zNPnk 纯相位传输的设计 2+Y`pz47W tZBE& :l 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 Glc4g pO+wJ|f
a|{<#<6n( eS%6hUb 结构设计 O*Pe[T5x' pQ`L=#WM 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 EBE>&{%$^ QS?9&+JM |
&MLhCekY (eIxU&o' 使用TEA进行性能评估 E1Aa2 Jj!tRZT 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 >oYwzK0& MP&4}De
U5%]nT"[] h pes 使用傅里叶模态法进行性能评估 zw:b7B] 4~MUc! 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 KFG^vmrn EGO@`<"h
1,D
^, _^$b$4) 进一步优化–零阶调整 g
{wPw ! r\ktX 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 APm[)vw#f AQGE(%X
(MU7 u<r('IW0 进一步优化–零阶调整 XE%6c3s A^7Zy79 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 l_IX+4(@b| 6j![m+vo%
9cPucKuj 2;7GgO~ VirtualLab Fusion一瞥 :#KURYO< Lh$ac-Ct Rzj!~`&N
v^E2!X VirtualLab Fusion中的工作流程 :dc
J6 OtqLigt&l • 使用IFTA设计纯相位传输 9jBr868 •在多运行模式下执行IFTA @TG~fJSA12 •设计源于传输的DOE结构 <VsZ$ −结构设计[用例] FJ.
:*K[ •使用采样表面定义光栅 #Jb$AA!z −使用接口配置光栅结构[用例] %?wE/LU> •参数运行的配置 skArocs −参数运行文档的使用[用例] GUZi }a|= (~o+pp!
+T;qvx6 CBHWMetJ* VirtualLab Fusion技术 ~<R~Q:T 2l%iXK[
?7s -^N '18: 文件信息 D]_\i[x %uMsXa
#r}c<?>Vw J(L$pIM 更多阅读 2AE|N_v8W - Grating Order Analyzer k{8N@&D - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces v:b%G?o - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern 1 crjRbi - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark |a3b2x, ?!vW&KJZx ?os0JQVB QQ:2987619807 ]kvE+m&p}^
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