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摘要 -eKi}e =*Z=My}3~ 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 S"FIQ&n 1i;-mYGaMn
?`+46U% N 3IF j 设计任务 RhM]OJd' `I$'Lp#5
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N hQ!sl O 纯相位传输的设计 y~)rZ-eSB F.P4c:GD 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 hX#s3)87 ,fS}cpV
iV X 12 r3X|*/ 结构设计 FYIzMp.4 vJ*IUy 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 Z5aU7 -uZ bVd
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"q G{*m] 0Q 使用TEA进行性能评估 "kC uCc *hI 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 ` aTkIo:ms Jd_w:H.
%1Gat6V<' 8>.l4:` 使用傅里叶模态法进行性能评估 4^1B'>I &Mz3CC6 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 /H+br_D9 g0 ec-
6Q]c]cCu +RexQE 进一步优化–零阶调整 xEBiBskd ~2xC.DF_N 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 *0ZL@Kw uG1
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6x KbK1W a' "4:(L 进一步优化–零阶调整 U krqHHpy b9uo6u4s 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 ?qr-t+ 55xv+|k
KE\p|X i |B&KT VirtualLab Fusion一瞥 u9>zC QRO iTgGf ZbTU1Y/'
a~YFJAkg9 VirtualLab Fusion中的工作流程 O/\ L0\T fII;t-(x • 使用IFTA设计纯相位传输 d=%:rLm$ •在多运行模式下执行IFTA Y(IT#x?p •设计源于传输的DOE结构 m7X&"0X −结构设计[用例] eUvIO+av •使用采样表面定义光栅 <VV./W8e9 −使用接口配置光栅结构[用例] Q!/<=95E •参数运行的配置 U,"lOG' −参数运行文档的使用[用例] %zE_Q <{@?c
8cn)ox|J[ WT Pp/Nq' VirtualLab Fusion技术 Ko6tp9G `Z]Tp1U
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wU\xo`C 文件信息 <apsG7(7 HM%n`1ZU
$2E n^ DX.u"&Mm 更多阅读 :kSA^w8 - Grating Order Analyzer Q:Q)-|, - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces ~[XDK`B - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern K[Rl R+j - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark Q&:%U Be+'&+ @O+yxGA QQ:2987619807 _3<J!$]&p
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