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摘要 lKS 2OOYC` f{{J_""?& 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 )6px5Vwz ~/2OK!M
._&SS,I5VZ /?}2OCq 设计任务 Lo=n)cV 1, yFTN/MFt
iaRCV6cl *mW 2vJ/B 纯相位传输的设计 TW1#'G_# l}D /1~d 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 gYmO4/c,
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gq}c Yt=2HJY 结构设计 C)%qs] 0*AXd=)"* 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 |vxmgX) ]q&NO(:kbq
Y6(=cm A5sz[k 使用TEA进行性能评估 ^szi[Cj /.sho\a 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 g3(LDqB'. y-"QY[
,MG`}*N} r5NH*\Q 使用傅里叶模态法进行性能评估 LbR'nG{J x_wWe>0 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 6S0Gjekr <@Y`RqV +
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}F[Y mo&9=TaG 进一步优化–零阶调整 F#.ph?W 8uA!Vrp3 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 T*'WS!z g~76c.u-
z8xBq%97us !w;/ J^ 进一步优化–零阶调整 rCb#E} A>_,tt
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Ns5P,[pBOZ eL{$=Um VirtualLab Fusion一瞥 aS~~*UHW dAy\IfZX= L<6nM
;d Z_[L5B]Gwd VirtualLab Fusion中的工作流程 js%n]$N J5Ti@(G5V • 使用IFTA设计纯相位传输 l\|sHn/ •在多运行模式下执行IFTA dEW= V"W •设计源于传输的DOE结构 M0`1o p1 −结构设计[用例] 5Sb-Bn •使用采样表面定义光栅 ,T;D33XV −使用接口配置光栅结构[用例] =r3g:j/>q •参数运行的配置 F_4Et
−参数运行文档的使用[用例] RF~G{wz 3{wuifS
9mjJC <5}j(jxz} VirtualLab Fusion技术 po.QM/b
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n^*,JL9@ {CNJlr@z 文件信息 O2"V'( [a?bv7Kz
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y9w,Su2 更多阅读 p"j&s - Grating Order Analyzer 14*6+~38m& - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces 5".bM8o - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern a2/Mf
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