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摘要 .17WF\1HC. 6@-VLO))O 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 zV\\T(R) 3_W1)vd{
**V^8'W< [q/=%8qLUA 设计任务 3T$gT dnVl;L8L3
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-D== 纯相位传输的设计 [kx_Izi/T UdmYS3zs 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 (&4aebkZO +A 6xY
?Gc9^bB I >&mlwxqv 结构设计 CwQgA%)!i MR/jM@8 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 R9o3T)9V F#KO!\iA+
;7"}I 4oT1<n`r+ 使用TEA进行性能评估 SF2A?L?}+ 'v.i' 6 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 w#wlZ1f 9WsPBzi"T
@~0kSA7 6LRI~*F=3 使用傅里叶模态法进行性能评估 ~d :Z|8 > $0eRVL 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 [#>ji+%= ^GG6%=g'
Yhl {' (i^3Lw : 进一步优化–零阶调整 hM")DmvB4 6'UtB !gr 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 h4x*C=?A |'WaBy1
"Zd4e2>{M\ J&w%lYiu5 进一步优化–零阶调整 2Q`@lTUv QLYb>8?"C 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 gNJ,Bj Pd :SilQm*Pl
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DD^X@q d:C- VirtualLab Fusion一瞥 mHjds77e S~fQ8t70 w}VS mt$F j?D=Ij"o VirtualLab Fusion中的工作流程 BRF=TL5Z EotZ$O= • 使用IFTA设计纯相位传输 8jW{0&ox) •在多运行模式下执行IFTA }R:e[lKj •设计源于传输的DOE结构 5 7e'a&}e −结构设计[用例] )NJD+yQ% •使用采样表面定义光栅 VyH'7_aU −使用接口配置光栅结构[用例] :IDD(<^9 •参数运行的配置 EzOO6 −参数运行文档的使用[用例] 8MgoAX,p hM^#X,7
&/*XA rmmN2+H VirtualLab Fusion技术 4`5 jq) /v"u4Ipj
=vLeOX 4jefU}e9# 文件信息 %E Jv!u*- n5dFp%k
iLw O4i 2C^/;z 更多阅读 Q{6Bhx *> - Grating Order Analyzer /gT$ d2{ - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces )K.~A&y@ - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern UR6.zE4=_ - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark <wUDcF b=v z/u;afB9q QQ:2987619807 cmF&1o3_
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