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摘要 4ZrRgx2MD V D.T=( 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 xw~3x*{ N2$uw@s
@$!rgLyL[ /=S\v<z 设计任务 UA(&_-C\ Q>
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HAdDr!/` u/(~ewI 纯相位传输的设计 7'idjcR 6QG"~>v7'( 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 4O:y
?D/e bSj-xxB]e
}ISc^W) t ytyB:# J 结构设计 +CXtTasP pra0:oHN 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 a?8boN( (svKq(X
vMeB2r< kKz>]t"A 使用TEA进行性能评估 r74'
_y *dPG[ } 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 J)._&O$ b&2N7%
kB-]SD# 1}ws@hU 使用傅里叶模态法进行性能评估 w5*
Z\t5 ~+CEek 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 F-%Hw |}isSCt
NY"+Qw@$ <N,:w`g# 进一步优化–零阶调整 >.&E-1[+: HJjx!7h 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 @|EWif| sMgRpem;
$nr=4'yZ 8'#L+$O &N 进一步优化–零阶调整 <7_s'UAL! ~'w]%rh! 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 y_LFkZ t_w2J =2
#MUY! 7\[)5j VirtualLab Fusion一瞥 xv~Sk2Z+d U<I]_] W:JR\KKU lx:.9> VirtualLab Fusion中的工作流程 _0"s6D$ c'SjH".[ • 使用IFTA设计纯相位传输 ;e0-FF+ •在多运行模式下执行IFTA d'@i8N["{ •设计源于传输的DOE结构 eL88lV]I −结构设计[用例] uSUog+i •使用采样表面定义光栅 m,V"S(A −使用接口配置光栅结构[用例] Scfe6+\EW •参数运行的配置 5Zn: $?7 −参数运行文档的使用[用例] 5O[\gd- F+)g!NQZ
?D;7ut$~ +h@ZnFp3 VirtualLab Fusion技术 `t3w|%La} & tjL*/
Jk;dtLL}4 W/<Lp+p 文件信息 {LBL8sG 7n]ukqZ
^ddC a ~ DP5Qi 更多阅读 Mh]4K"cs - Grating Order Analyzer m=rMx]k - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces x27$h)R0v - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern T&'LQZM8 - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark '&/~Sh$% hWi2S!*Y E]W
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