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摘要 (k)gZD9~{? w or'=byh\ 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角，元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此，它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中，将迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）用于衍射元结构的初始设计，然后将傅里叶模态法（FMM）应用于严格的性能评估。 ,h(f\h(9
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Xw}Y!;<IEu 设计任务 (a)@<RF`Q}
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 J ] l@ r )hZ}$P1 纯相位传输的设计 _ry En
vdFQf ^l 使用迭代傅立叶变换算法（IFTA）进行纯相位传输设计。 E.Q}
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1r:fxZO\Vd 在近轴假设下使用薄元近似（TEA）进行结构设计。 ADl>~3b
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 =iN_Ug+ fz?Wr: I 使用TEA进行性能评估 Vx4pP$ S
bHH}x"d[x 在近轴假设下使用TEA进行评估，即与设计方法相同 -mYI[AG)
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 4.kkxQR7r K| J#/ 使用傅里叶模态法进行性能评估 !=Vh2UbC3
w!h{P38 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 3SB7)8Id1
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 ; 8x^9Q Hx/Vm`pRyX VirtualLab Fusion一瞥 uRcuy /CY
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E0x$;CG! VirtualLab Fusion中的工作流程 lVBy&f J#;m)5[ a% • 使用IFTA设计纯相位传输 ?#y<^oNM •在多运行模式下执行IFTA u= i^F| •设计源于传输的DOE结构 MZF ;k$R −结构设计[用例] G8c}re
•使用采样表面定义光栅 T`DlOi]Z_ −使用接口配置光栅结构[用例] VrL>0d&d •参数运行的配置 _)H+ ..= −参数运行文档的使用[用例] Xg#([ }b
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 Z #V\[ PbH]K$mj{" VirtualLab Fusion技术 4Lq]yUj
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