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摘要 } =p e;l WaPuJ 5;e 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角，元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此，它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中，将迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）用于衍射元结构的初始设计，然后将傅里叶模态法（FMM）应用于严格的性能评估。 f `s.|99Y
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mz2 v2ma 设计任务 {'-^CoR
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,bxGd!&{Q 使用迭代傅立叶变换算法（IFTA）进行纯相位传输设计。 j0b>n#e7
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 XxY wBc'pc U]]ON6Y&F 结构设计 o(gV;>I
cGSG}m@B` 在近轴假设下使用薄元近似（TEA）进行结构设计。 jK]An;l{Z
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A~( 在近轴假设下使用TEA进行评估，即与设计方法相同 ]&?8l:3-G
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 I vX+yU nh]HEG0CZJ 使用傅里叶模态法进行性能评估 vd [?73:C
)zydD=,bu 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 l[6lXR&|
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 &u4;A[- R >r YkVl v 进一步优化–零阶调整 ;LC?3.
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h2 y<vO VirtualLab Fusion中的工作流程 !E6Q ED" PDS?>Jg( • 使用IFTA设计纯相位传输 '?$ R YU, •在多运行模式下执行IFTA +*IRI/KUD •设计源于传输的DOE结构 &Z(6i}f,Gp −结构设计[用例] 6MpV ,2:> •使用采样表面定义光栅 A*{CT> −使用接口配置光栅结构[用例] 2;x+#D8 •参数运行的配置 Nj.;mr< −参数运行文档的使用[用例] eVzZfB-=4}
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