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摘要
6Cn+e.j@ eImn+_ N3 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 cJ54s} `w]s;G[
6R=W}q4 mdRU^n 设计任务 *zr(Zv N^3N[lD{
P*cNh43U m=YU2!Mb 纯相位传输的设计 `ho1nY$)CE % LJs 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 r/SG 4 OF\rgz
,_Z+8 ;VWAf;U;B 结构设计 }Hn/I,/ vd8{c7g:n 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 )E~79! L'F<ev
U\Z?taXB 8QM(?A 使用TEA进行性能评估 R)c'#St ~Q\3pI. | 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 l8?>>.<P= )kP5u`v
Z,=7Tu bR# -{ H0g] 使用傅里叶模态法进行性能评估 xXM{pd mya_4I
m 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 hNzB4p o_'p3nD
C+TI]{t Y./2Ely 进一步优化–零阶调整 -]QD|w3dp ariLG [:X 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 qTqwPWW* m%76i;uP
dxmE3*b` E160A5BTx 进一步优化–零阶调整 Vv ?-"\Z> 9^j &VmF 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 V>b\[(=s +t?3T-@Ks
~P@Q7T* BW"5Aj VirtualLab Fusion一瞥 Nd;Ku6 % ClHCoyA #Y4=J
6 /K(o]J0F VirtualLab Fusion中的工作流程 G%s2P.cd "T|PS6R~ • 使用IFTA设计纯相位传输 |6$p;Aar •在多运行模式下执行IFTA QnJZr:4b •设计源于传输的DOE结构 T7#W0^tj −结构设计[用例] dUQDOo •使用采样表面定义光栅 8@tPm$ −使用接口配置光栅结构[用例] Ba!J"b] •参数运行的配置 WS`qVL]^& −参数运行文档的使用[用例] q,+yqrt lMBLIB]i
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dpR. VirtualLab Fusion技术 h]TQn)X] H(Z88.OM
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[Ki0b^ eY| 更多阅读 P3=W|81e - Grating Order Analyzer SF>c\eTtx - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces pNKhc#-w - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern < Pky9o; - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark f>N!wgo[ 3 yB!M {\:{[{qF QQ:2987619807 1fZ(l"
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