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摘要 =!~6RwwwY kdam]L:9 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 Rg3cqe#O/ dw"Tv~
H2cY}, 2qN|<S& 设计任务 o)M=; ! 3jJd)C R
i'\7P-a .*x |TPv{ 纯相位传输的设计 pSPVY2qKX N!TC}#}l 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 Mq#sSBE<K b.4H4LV
Q|CLis- $3BH82 结构设计
g%.;ZlK 0C,2gcq 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 `yvH0B - Mqk[+n
NCKhrDd& n{@^ne4m 使用TEA进行性能评估 ,t!K? Y gE}+`w/X 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 MIn6p `\]gNn'Q
($vaj; #K4lnC2qz 使用傅里叶模态法进行性能评估 $7'K]'UJXO d$;1%rRj8 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 u~-,kF@ B S^P&TR!
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tzt $Rd]eC 进一步优化–零阶调整 rmq^P;At {0ozpE*( 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 ?%]?#4bkc p?#%G`dm
P*kKeMl _l$1@ 进一步优化–零阶调整 8#_"WzDw yaw33/iN 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 Aq5@k\[ \qA^3L~;5
_]/&NSk {T=rsPp<@ VirtualLab Fusion一瞥 (e~vrSk+)~ "x"y3v' N =0R6{' MF}}o0P VirtualLab Fusion中的工作流程 pRTdP/(OQ qUuvM • 使用IFTA设计纯相位传输 ~=#jr0IZ •在多运行模式下执行IFTA B+pJWl8u •设计源于传输的DOE结构 n#fc=L1U −结构设计[用例] c8=@s# •使用采样表面定义光栅 }w%W A&"W −使用接口配置光栅结构[用例] E{#Y= •参数运行的配置 (F.vVldBy −参数运行文档的使用[用例] B*,Qw_3dG #ozQF~
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VirtualLab Fusion技术 OBBEsD/bc ;xl_9Ht/
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UZqQ|3 l*0`{R 更多阅读 ==W`qC4n?n - Grating Order Analyzer `& (Fy - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces |AS`MsbI9 - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern (!iGQj(m - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark d J;y>_ VdfV5" Z?o?"|o QQ:2987619807 (qQ|s@O
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