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摘要 lw[e*q{s. Wto;bd 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 ?WpenUWk l-Nly>~
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xG- F[Q!d6 设计任务 >MG(qi XIAeCU
v,OpTu:1 C$9z 纯相位传输的设计 ,=BLnsg bMKL1+y( 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 !bU\zH xHo&[{
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在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 @5VV|Wt= <>Y?vC
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)Azs 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 hBU\'.x E?)656F[
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lb1 o<i,*y88 进一步优化–零阶调整 )C%N]9FvY d3;qsUh$yv 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 \qh*E#j sEc;!L
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*QGm//b zDTv\3rZ4X VirtualLab Fusion一瞥 @A<PkpNL .L6Zm U bM,1 f/^ M]]pTU(( VirtualLab Fusion中的工作流程 gJ$K\[+ (la[KqqCO • 使用IFTA设计纯相位传输 tWeFEVg •在多运行模式下执行IFTA ZraT3 •设计源于传输的DOE结构 LwcIGhy −结构设计[用例] 5N[9
vW •使用采样表面定义光栅 e4>"92hX −使用接口配置光栅结构[用例] p>v U?eF •参数运行的配置 ``VW;l{ −参数运行文档的使用[用例] "es?= _PFnh)o
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f VirtualLab Fusion技术 PxS4,`#~ jnB~sbyA
!TM*o+; q$(5Vd: 文件信息 #|GSQJ$F)` 'G\XXf%J
gD`>Twa&6 $d S@y+ 更多阅读 U6E\AvbRn - Grating Order Analyzer XW{>-PBg: - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces yXI >I - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern 'y]\-T - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark ".^VI2T 8K(Z0 zmj"fN{\ QQ:2987619807 &8.NT~"Gg
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