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摘要 Sa5G.^ XI - Y;3I00( 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角，元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此，它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中，将迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）用于衍射元结构的初始设计，然后将傅里叶模态法（FMM）应用于严格的性能评估。 `y* }lg T
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C"enpc_C/ 设计任务 01o4Th m
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5[l 4 使用傅里叶模态法进行性能评估 eKqk= (
5i{j' {_(8 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 f'3$9x
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 1 I",L&S1 L\z~uo3: VirtualLab Fusion一瞥 %BB%pC
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v1,oilL VirtualLab Fusion中的工作流程 2SR: FUV/ 42ivT_H • 使用IFTA设计纯相位传输 6Sn .I1Wy •在多运行模式下执行IFTA 3|Xyl`i4o •设计源于传输的DOE结构 DrK{}uM −结构设计[用例] liz~7RY4 •使用采样表面定义光栅 2Q:+_v −使用接口配置光栅结构[用例] -!]ZMi9 •参数运行的配置 l0i^uMS −参数运行文档的使用[用例] @> H75
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