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摘要 R|'ybW'Y y#`tgJ: 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 hqD*z6aH P?%s
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ez7A4>/ |NlO7aQ>2H 设计任务 :@yEQ#nFp [|v][Hwv
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g[Uq td$E/h=3 结构设计 <NMEGit 7P} W
* 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 'B|JAi? [+^1.N
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.'6gZKXY _;"il%l=1 使用傅里叶模态法进行性能评估 cZ,b?I"Q% x>K Or,f 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 L;z?aZ7n &C_j\7Dq
3Tcms/n j^*dmX 进一步优化–零阶调整 g&L!1<,
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qz_7%c]K[ )rU VirtualLab Fusion一瞥 >58YjLXb K-)]
1BG 0D.Mke ) uh0VFL*@ VirtualLab Fusion中的工作流程 ,Zx0%#6 l\H=m3Bg • 使用IFTA设计纯相位传输 5vQHhwO50k •在多运行模式下执行IFTA RMV/&85?y •设计源于传输的DOE结构 v4TQX<0s −结构设计[用例] CZwXTHe •使用采样表面定义光栅 B3`5O[6 −使用接口配置光栅结构[用例] P= BZ+6DS •参数运行的配置 4i;{!sT −参数运行文档的使用[用例] &J]K3w1p +.PxzL3?
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D/gw .XYL C==hox7b 更多阅读 hh%-(HaLX3 - Grating Order Analyzer Qy<P463A(l - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces ?zMHP#i - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern 7aRi5 - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark O:R*rJ ys^oG$lq Y] _ruDIW QQ:2987619807
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