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摘要 eE9|F/-L HtUG#sc&`{ 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 !o<ICHHH a[ i>;0
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dw<y 设计任务 doH2R@ Aqu]9M~
h>|u:]I> L;Vq j]_ 纯相位传输的设计 H+R7X71{ [ro t 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 gD1+]am ~v\hIm3=m
48k7/w\ RpAiU 结构设计 1 KB7yG-#6 $`v+4] 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 ^r4|{ CpSK(2j
t\|J&4!Y .HCaXFW 使用TEA进行性能评估 ]4GZ'&m} S\b K+ 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 tIp{},bQ^ ,{+6$h3
%ZuLl( Ge0Lb+<G 使用傅里叶模态法进行性能评估 {wv&t R; f)U6p 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 #!L%J<MX P{Lg{I_w.B
c>rKgx AI~9m-,mE 进一步优化–零阶调整 Ysl9f1>% -)6;0 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 %i3{TL :Dj#VN
7dHIW!OA w#<p^CS 进一步优化–零阶调整 @ge
LW! `{<JC{yc? 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 ]'e AO #EFMgQO
N;g$)zCV1 9 R VirtualLab Fusion一瞥 ?lyltAxs' ^ `je . wmkj S
QSA%B$< VirtualLab Fusion中的工作流程 _{mJ.1)V; ~ttKI4 • 使用IFTA设计纯相位传输 vU{jda$$# •在多运行模式下执行IFTA ]xYa yN!n •设计源于传输的DOE结构 xRB7lV* −结构设计[用例] XR<G}x •使用采样表面定义光栅 e lay
=%) −使用接口配置光栅结构[用例] "\<P$&`HA •参数运行的配置
2n(ItA −参数运行文档的使用[用例] ^1Yo-T(R ;&q]X]bJ
4]]b1^vVj &<@%{h@= VirtualLab Fusion技术 ]Cr]Pvab{ u
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UC(9Dz ,uO?;!t 文件信息 YMK>+y[+4 I X?@~'
,.h$&QFj; {RH*8?7 更多阅读 'cYQ?; - Grating Order Analyzer @| P3 - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces 4[Z1r~t\L - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern xp(mB7;: - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark J(^
>?d' p#z;cjfSt }pt-q[s> QQ:2987619807 y6\ [1nZ
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