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摘要 g"L$}#iTsl [O(8izv 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 =
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1% 设计任务 }W k!):=y + %07J6
2N:|B O> }Qm: g 纯相位传输的设计 P ||:?3IH JA~v:ec 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 r.b!3CoQ 8z
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T#e ;$\ \4OX]{ 结构设计 pT` oC& aM|^t: 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 YCd[s[ rt[w
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qKg*/)sD( qx~-(|s`H 使用TEA进行性能评估 S @MO X]OVc<F 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 {"uLV{d Ma,2_oq+
hln.EAW'Yc {FU,om9 使用傅里叶模态法进行性能评估 =
j,Hxq @Js^=G2 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 RrGFGn{ OF)G2>t
O+^l>+ZGj? E9IU,P6a 进一步优化–零阶调整 Nf<mgOAT1 %cl=n!T 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 M_wj>NXZ (93+b%^[
0//?,'. l$~3_3+ 进一步优化–零阶调整 O:Ixy?b;Z pp#xN/V#a 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 uwcm%N;I" ?B"k9+%5ej
N%k6*FBp~ }9GD'N?4 VirtualLab Fusion一瞥 *?a rEYc8 B8Cic\2 O#g'4 S oK5"RW VirtualLab Fusion中的工作流程 Wz~=JvRHh \L"Vx9xT • 使用IFTA设计纯相位传输 x9s7:F •在多运行模式下执行IFTA .m&JRzzV
•设计源于传输的DOE结构 /7
CF f&4 −结构设计[用例] s^{hdCCl67 •使用采样表面定义光栅 2L<iIBSJwm −使用接口配置光栅结构[用例] 5*ip}wA •参数运行的配置 CHeU?NtFps −参数运行文档的使用[用例]
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avmuI^LLs ?+]prbt) VirtualLab Fusion技术 !y&uK&1 xpWx6
H6Mqy}4W SM;*vkwz~ 文件信息 D`?=]Ysz( R aVOZ=^-
@%7IZg;P6 /A8ua=Kn 更多阅读 v-k~Q$7~ - Grating Order Analyzer g ni=S~u - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces G234UjN% - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern b'!t\m - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark _.9):i2<SF Ry@QJn I< [z2XK4\e1T QQ:2987619807 TN xl?5:
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