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摘要 )u-ns5 CxkMhd8qz 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 ?o8a_9+ 1B(G]o_>! OFp#<o,p i"<ZVw 设计任务 {x|MA(NO :Fc8S9 ^SgN(-QH d0TgqO{ 纯相位传输的设计 |MVV +.X y]w )`}Ax 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 g4i #1V= JOPTc] }&C dsCM>2 ML"_CQlE7 结构设计 eXc[3ceUr PMQb\%iE" 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 {rz>^ lu3Q, W 75<el.'H ~R)1nN| 使用TEA进行性能评估 aE}=^%D w{~" ;[@ 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 DhHtz.6 2UQN*_ X,&`WPA:S a$A2IkD 使用傅里叶模态法进行性能评估 d4Ixuux<3 ]Kof sU_{ 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 aD0Q 0C+ ~0av3G wE)]
ah: Rz)v-Yu 进一步优化–零阶调整 dP?nP(l L(W%~UGN
V 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 B$@1QG \MF3CK@/ !'+\]eA )gL& 进一步优化–零阶调整 m9 ^m j)<;g( 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 ',:3>{9 ^tQPJ K3j_C`Se C3]\$ VirtualLab Fusion一瞥 o7m99( 7ZL,p:f 4
`j,&= Z3OZPxm VirtualLab Fusion中的工作流程 ]r"31.w( .i1jFwOd|G • 使用IFTA设计纯相位传输 lO%MyP •在多运行模式下执行IFTA pK-_R# •设计源于传输的DOE结构 ?ykVf O' −结构设计[用例] (7M^-_q]D •使用采样表面定义光栅 K(%dcUGDK> −使用接口配置光栅结构[用例] ^vYVl{$bT •参数运行的配置 z4 GN8:~x −参数运行文档的使用[用例] 6 Xzk;p :!r9 =N9 7qCJ]%)b6 &*Q|d*CP VirtualLab Fusion技术 WZfk}To1# 9:bh3@r/ sURUQ H } S'I
DHla 文件信息 K0d-MC e[d7UV[Knn n's2/9x jx^|2 更多阅读 .=.yZ - Grating Order Analyzer <~IH` - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces !=8L.^5c - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern G%V=idU*" - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark r[C3u[ U08<V:~ _ Yb
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