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摘要 nn/?fIZN4 W!Hm~9fz 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 H,fZ!8(A_) Q_-_^J
4fk8*{Y eV:9y 设计任务 IJYL s
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6tHO!`}1 fZ04!R 纯相位传输的设计 v\16RD 7w,FX.=;cv 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 9EDfd NN g8qgk:}
wN1niR' &qpr*17T 结构设计 {;toI IG)s^bP 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 `ps)0!L
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B 5;0g!&-t# 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 Gj"7s8(/K| (?_S6HE
];.pK &j(+ /;A 使用傅里叶模态法进行性能评估 Ox#\M0Wn$3 O"Ku1t! 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 zi`b2h ee%fqVQ8P
q0f3=" ST\$= 进一步优化–零阶调整 ,'[<bP'%_ }*.0N;;C 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 JkW9D)6 @u==x*{|
NR;1z f|O{#AC 进一步优化–零阶调整 ]-ZEWt6lsc 3nZo{p:E 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 J7r|atSk X]\ \,
': N51kC $<:E'^SAS VirtualLab Fusion一瞥 Yjx|9_|Xn nstUMr6 =bEda] ?LvCR_D: VirtualLab Fusion中的工作流程 w)Covz'uf y|'SXM • 使用IFTA设计纯相位传输 )M)7"PC •在多运行模式下执行IFTA d&Ef"H •设计源于传输的DOE结构 MEwo}=B −结构设计[用例] #1>X58I^ •使用采样表面定义光栅 Z!ha fhcX −使用接口配置光栅结构[用例] 'fW6
.0fXa •参数运行的配置 5nsq[Q` −参数运行文档的使用[用例] kF/9-[]$g, ,"B+r6}EF
mEG#>Gg$ )/z@vY VirtualLab Fusion技术 G "73=8d OKoan$#sn
&^W|iXi# ">#wOm+ + 文件信息 P*cNh43U 4'0Dr++
o7|eMe?<t % LJs 更多阅读 r/SG 4 - Grating Order Analyzer lV%N - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces ,_Z+8 - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern OoWyPdC+P - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark iezO9` [7[0^ad EVoEszR QQ:2987619807 k1QpKn*
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