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摘要 U =cWmH tg 85: 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角，元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此，它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中，将迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）用于衍射元结构的初始设计，然后将傅里叶模态法（FMM）应用于严格的性能评估。 (Z-l/)Q
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在近轴假设下使用TEA进行评估，即与设计方法相同 n?E}b$6
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 u7=T(4a &5Y_>{, 使用傅里叶模态法进行性能评估 - k`.j
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=] 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 `.^ |]|u
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 &[j]Bp? ?C Y1]d 进一步优化–零阶调整 'fY9a(Xt.
8&E}n(XE 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 CMl~=[foW
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 Gi7RMql6Q eb M{OI VirtualLab Fusion一瞥 =+oZtP-+ o
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G r)-5qh VirtualLab Fusion中的工作流程 x-_vl
9P) o "" ~jc~ • 使用IFTA设计纯相位传输 G]*|H0j •在多运行模式下执行IFTA 6 bO; & •设计源于传输的DOE结构 U5+vN[ K −结构设计[用例] 4JO@BV >t •使用采样表面定义光栅 3 QCVgo
i\ −使用接口配置光栅结构[用例] $YM_G=k •参数运行的配置 ^^}Hs-{ T −参数运行文档的使用[用例] EUcKN1
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 EW(J5/mn Yx%bn?%;& VirtualLab Fusion技术 [m2+9MMl
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