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摘要 Vmtzig3w[ B\/7^{i5 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 1OP"5f dk8y>uLr_
DyIV/ .jaZ|nN8` 设计任务 m/{Y]D{2 SBz/VQ
RAwk7F3qn *l{4lu 纯相位传输的设计 d EIa=e| phmVkV2a;# 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 >Fp&8p`am F3 Y<ZbxT
?yf_Dt zsQF,7/}B 结构设计 kU1 %f
o Yw1Y-M 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 F^]aC98]1 "*t6t4/Q
?uig04@3 H) cQO?B 使用TEA进行性能评估 s.KOBNCFa 0R*}QXph 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 ^Eu_NUFe %UBPoq
77tZp @>hn XHZLWh"gS 使用傅里叶模态法进行性能评估 w a2~C [ ExQ--!AC= 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 O'fc/cvh=' Z@u ;Z[@
`BpCRKTG 8TI#7 进一步优化–零阶调整 [?|5oaK leR"j 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 }-dF+m: }^Z< dbt
ah>Dqb* TtZrttCE6 进一步优化–零阶调整 CM"s9E8y z30= ay1 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 +yvBSpY sY_fq.Z
E tdd\^ ,rXW`7!2 VirtualLab Fusion一瞥 hl}dgp(( u>1v~3,r# aK-N}T P^ by'b+zI VirtualLab Fusion中的工作流程 _4O[[~ >[hrJn[ • 使用IFTA设计纯相位传输 oUCVd}wH •在多运行模式下执行IFTA X+\0%| •设计源于传输的DOE结构 UX?X]ZYVR −结构设计[用例] 1/!nV •使用采样表面定义光栅 WGluZhRuT3 −使用接口配置光栅结构[用例] Kgps_tY% •参数运行的配置 ]D?oQ$q7 −参数运行文档的使用[用例] cz$c)It k#BU7Exij
XNy:0C PVS\, VirtualLab Fusion技术 x>'?IJZ S".owe$\
)_WH#-} Sv~PXi^`H 文件信息 [@jp9D
H U. NeK{
65 NWX8f} ;H`=):U 更多阅读 l[:^TfB - Grating Order Analyzer P^i6MZ? - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces _ak.G= - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern 3~#Z E;># - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark `>$gy/N ikeJDKSG +*WUH513 QQ:2987619807 <#:Ebofsn
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