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摘要 rf?qdd(~cH F ~^Jmp7Y 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 j7jCm: vd[}Gd
,quoRan _I)U%?V+ 设计任务 L\@I*QP eM$s v9?
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"3_ W8ouO+wK 纯相位传输的设计 s$cK(S# $})g?Q 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 !ePr5On qv]}$WU
9;r)#3Q[^ D)j(,vt 结构设计 >Db;yC& #~7ip\Uf[ 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 0s/w,? >4#)r8;dx
*~t6(v? OR%'K2C6S 使用TEA进行性能评估 hp#W9@NR t=Xv;=daB 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 ~\Hc,5G JT3-AAi[Z
M}yDXJx \P.I)n`8 y 使用傅里叶模态法进行性能评估 1guJG_;z ^>jwh 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 \/: {)T~ bYEy<7)x
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qyk^X -I&m:A$4* 进一步优化–零阶调整 %Z):>' L3@82yPo! 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 FFu9&8Y j@SQ~AS
W3MU1gl6k{ >8k_n 进一步优化–零阶调整 gj*+\3KO@a E`?3PA8 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 .^h#_[dp #vti+A~n,4
+VO-oFE | ,.OERw VirtualLab Fusion一瞥 IIn"=g=9 AaWs}M Qa-K$dm% `< xn8h9p VirtualLab Fusion中的工作流程 +RyjF~[e J|~MC7#@q • 使用IFTA设计纯相位传输 7Rd'm'l) •在多运行模式下执行IFTA (O.d> •设计源于传输的DOE结构 FB{KH . −结构设计[用例] mF,Y?ax •使用采样表面定义光栅 &6ZD136 −使用接口配置光栅结构[用例] KG|n •参数运行的配置 mP0yk| −参数运行文档的使用[用例] -uMSe~ ^/\Of{OZ-
-o$QS, /5Oa,NS7 VirtualLab Fusion技术 {<R2UI5m5 r76J
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L?WFmn *>n;SuT_ 文件信息 8 ~J(](QA j g8fU
VGpWg rmHk M%2+y5 更多阅读 CG Y]r.O* - Grating Order Analyzer uRZ ZxZ - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces $a
]_w.@ - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern +l9!Fl{MK\ - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark amOnqH-( 4KIRHnaj SYCEQ5
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