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摘要 s4*,ocyBP nIT=/{oyi 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 > ^}z Vh&KfYY
/vKDlCH* *a4eL [ 设计任务
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iddT. jHzb,& 纯相位传输的设计 G@2M&0' BGS6uV4^> 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 .Dz /MSl bv0 %{u&
x~.U,,1 8V=o%[t 结构设计 N:.bnF( _BV:i:z 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 a6OT2B kzT'
i)ctrdP- ,\ i q'}i 使用TEA进行性能评估 WfVie6 mBF?+/l 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 |iI`p-L9 t+tGN\q
@AFLF X] ;f?bb*1 使用傅里叶模态法进行性能评估 ' wEP:} fi)ypv* 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 kW9STN P:+:Cm<
uQlV zN.? |qD<h 进一步优化–零阶调整 "Q( 8FF P'+*d#*S 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 9UZX+@[F J.*=7zmw
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?w+T_EH bYz:gbs]4| VirtualLab Fusion一瞥 Z,z^[Jz !Kis,e QB7<$Bp >_o_&;=`v VirtualLab Fusion中的工作流程 oUqNA|l
T Ok@5`?08 • 使用IFTA设计纯相位传输 :MpCj<<[ •在多运行模式下执行IFTA [":x •设计源于传输的DOE结构 Gs%kqD{= −结构设计[用例] _Cs.%R!r •使用采样表面定义光栅 A6d+RAx −使用接口配置光栅结构[用例] LakP'P6`E •参数运行的配置 p=zjJ~DVd −参数运行文档的使用[用例] ??F{Gli"C` c09 uCito
q#Bdq8 xc!"?&\* VirtualLab Fusion技术 TM+7>a$ *(rq AB0~
tNjrd}8s {MHr]A}X\ 文件信息 ~9{.!7KPc Dbgw)n*2
30<^0J.1 |Bjb 更多阅读 -6?5|\ - Grating Order Analyzer 7"gy\_M - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces k,?k37%T] - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern )Z62xK2 - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark A9"ho}< "Kqe4$ *ce h
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