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摘要
']__V[ F`eo3z 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 xWuvT, ^ F5s`AjU
d&owS+B{48 ~R*01AnZ 设计任务 xO0}A1t
Wd !M(3[(Ni
d cG)ql4d 1x3>XN]a 纯相位传输的设计 Bgf'Hm%r PZYVLUw
` 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 vo!QJ u+Sj#iZ
QTmMj@R&( ?Hrj}K27 结构设计 jG^f_w F['%?+<3 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 mFx\[S H9Dw#.em
[;LP6n7v QnH;+k
ln 使用TEA进行性能评估 T%TfkQ__d 557%^)v 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 =jD9oMs {osadXdC
\]Y=*+{ %uQOAe55 使用傅里叶模态法进行性能评估 r3mmi5 ]wHXrB8vx 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 3:?QE n h&[e
B.F~/PET hnTk)nq5# 进一步优化–零阶调整 bS&XlgnKi #V U>Z|$@N 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 J}Ji / n^2'O:Vs
,wB)hp 9FcH\2J 进一步优化–零阶调整 W+'f|J= ewOe A| 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 N+CcWs!E /=gU
Gr|IM,5P4 WJBwo%J VirtualLab Fusion一瞥 }_,={<g n<3{QqF x#jJ
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k3IvAXu VirtualLab Fusion中的工作流程 aBT8mK -. }@<Ru • 使用IFTA设计纯相位传输 -oB`v' •在多运行模式下执行IFTA 5$%CRm •设计源于传输的DOE结构 flS_rY5 −结构设计[用例] Ox^VU2K;&. •使用采样表面定义光栅 ofy)}/i −使用接口配置光栅结构[用例] ~M9&SDT/lB •参数运行的配置 -5u. Ix3
−参数运行文档的使用[用例] IiZXIG4H :IRQouTf:,
is6d:p l*]nvd_ VirtualLab Fusion技术 $&KiN82, PmlQW!gfBi
6T-iBJT F,h}HlU 文件信息 J 7]LMw7 a{+;&j[!
?a{>QyL Igb%bO_ 更多阅读 fk'DJf[M - Grating Order Analyzer ^)S<Ha - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces }ZkGH}K_} - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern z18<rj - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark m:5x"o7)ln QR(j7>+J^ oG'
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