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摘要
PHA-9\jC{ #ET/ = 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 ,QzL)W7 +dA ,P\
)X9W y!w0 `(A5f71MfM 设计任务 E9?phD ?(*t@
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>5s6u`\ H$G0`LP0/a 纯相位传输的设计 DvvT?K A)%A!
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Bs?7:kN( /Q~gU< 结构设计 HB
Iip? zIP6\u 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 pv^O"Bs '*\|;l#1
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0b4R It2" x; 使用傅里叶模态法进行性能评估 \:'%9 x +}f9 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 K&8dA0i2u2 3O7!`Nm@
_`64gS}^ }Tf9S<xpq3 进一步优化–零阶调整 wdUBg*X8 L%>n>w 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 [s&$l G! ^pJ!isuqu
*N{emwIq f>aRkTHf 进一步优化–零阶调整 MwmUgN"g [oF|s-"9! 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 sZW^!z $H+VA@_
5uxBK"q =0;^(/1Mc VirtualLab Fusion一瞥 gn3jy^5 meOMq1 4.IU!.Uo ~ o1x;Y6 VirtualLab Fusion中的工作流程 -!c"k}N= -WYAN:s • 使用IFTA设计纯相位传输 ,_"AT!r •在多运行模式下执行IFTA JA)] _H
P •设计源于传输的DOE结构 ei
rzYt −结构设计[用例] Q'%PNrN •使用采样表面定义光栅 F^hBtfz −使用接口配置光栅结构[用例] vap,y $C •参数运行的配置 G#MdfKH −参数运行文档的使用[用例] q7"7U=W0 =+AS/Jq
92^w8Z. B, 9w0 VirtualLab Fusion技术 ATR!7i\| ij?
/PLn+- F$[ U|%* 文件信息 qG<$Ajiin &LbJT$}V
XP@1~$ 4Z/f@ZD 更多阅读 F{UP;"8' - Grating Order Analyzer F4K0); - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces #vry0i - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern u;`U*@ - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark X,LD {#{DH?=^)u -=(!g&0 QQ:2987619807 _r2J7&
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