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摘要 8N j} O['[_1n_u] 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 \jZmu uj%]+Llxv
=kq<J-:#R ]3]B$ 设计任务 &l`_D?{<# V$$9Rh
Xe`$SNM P^q!Pye 纯相位传输的设计 iV@\v0k 75P!`9bE 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 uJ1oo| sn Pu!C,7vUQ
K",Xe> ESIeZhXVH 结构设计 {=!BzNMj 8&+u+@H
在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 .}!.:
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?)Gb= MdkL_YP}. 使用TEA进行性能评估 &'i.W}Ib! a|dgK+[ 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 ~S
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?u{Mz9:?HT PK{FQ3b2{ 使用傅里叶模态法进行性能评估 "K|':3n| HmsXV_B8[Y 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 N /2WUp .[:WMCc\
=b6G' O[ WwKpZ67$R 进一步优化–零阶调整 a9 S&n5 .",BLuce 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 >*l2]3'` fgo3Gy*#
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)Eb pZc`!f" 进一步优化–零阶调整 fo9V&NE g+&wgyq5 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 WdJeh:h 3][
0+_;6 ay{]Vqi9 VirtualLab Fusion一瞥 .lz=MUR _$}@hD*R~ PUd/|Rc/} tM:$H6m/( VirtualLab Fusion中的工作流程 wv%UsfD i MS4<` • 使用IFTA设计纯相位传输 %3K'[2F •在多运行模式下执行IFTA m[N&UM# •设计源于传输的DOE结构 4!M0)Nix −结构设计[用例] K_X(j$2Xc •使用采样表面定义光栅 UrS%t>6k −使用接口配置光栅结构[用例] ]h=y •参数运行的配置 BSEP*#s −参数运行文档的使用[用例] bGj<Dojl tKi^0vE8
; ?,'jI*1 OtT*)8*c VirtualLab Fusion技术 s"wz !{G4 *unJd"<*&@
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wI@i 文件信息 Dx P65wU /w*HxtwFmD
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LA,G>#?H 更多阅读 Fow{-cs_p - Grating Order Analyzer 'EU|w,GL} - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces w*4sT+
P - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern ab_EH}j1\q - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark s*kSl:T@O 0gKSjTqo O;#0Yg QQ:2987619807 Xpmi(~n
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