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摘要 i*-L_!cc: >xJh!w<pB 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 La#otuw+? AEr8^6
dyMj=e l&LrcM 设计任务 !<I3^q `U[s d*C"
Eggdj+ pz]#/Ry? 纯相位传输的设计 {X'D07 q d0MF\yxh 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 FqpUw<]6s 1hnw+T<<W
uy^vQ/ u#uT|a. 结构设计 i`)h~V|G b9gezXAcd 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 }"CX` BqA
E |BE(F;K 6~_TXy/ 使用TEA进行性能评估 pk,]yi,ZF Hp!c\z; 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 r p^Gk //_aIp
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l|F cun&'JOH?U 使用傅里叶模态法进行性能评估 l[D5JnWxt C_~hX G 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 +^\TG>le 1<ic
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e dv&! 4Y#F"+m.] 进一步优化–零阶调整 sS5: 5i ,m)k;co^ 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 Ja@zeD)f" u6#=<FD/}
fI([vI 6~@S,i1 进一步优化–零阶调整 YAoGVey 0~:Eo89 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 WK<:(vu. 3r]:k)J
^UEExjf 2sryhS'(H VirtualLab Fusion一瞥 9AgTrP m\hzQ9 !T#EkMM z*UgRLKZD VirtualLab Fusion中的工作流程 VTa% 2e9.U/9 • 使用IFTA设计纯相位传输 WDi2m" •在多运行模式下执行IFTA PbnAY{J •设计源于传输的DOE结构 7Fx0#cS"\ −结构设计[用例] )|=4H>?% •使用采样表面定义光栅 3yrb7Rn3 −使用接口配置光栅结构[用例] SLW|)Q24 •参数运行的配置 mxE< −参数运行文档的使用[用例] 7^7Jh&b)/ klR\7+lK
~1&WR`U tZG l^mA"g VirtualLab Fusion技术 !z1\#|> n?778Wo}
nTl2F1(sV7 \n`/?\r.z 文件信息 >6R3KJe uBl&{$<
& 'CUc/, N%?R( 更多阅读 la}cGZ; p. - Grating Order Analyzer TlowEh8r - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces G
c\^Kg^# - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern %!r.)Wx|2 - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark wX5q=I Z5p
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