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摘要 5PPPd-'Z_ 9IS1.3 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 KKeb ioW Hrd5p+j
H(5S Kv5 JfZL?D{NM 设计任务 aGq_hP E%wV
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|.H p 纯相位传输的设计 _ 6+,R "4Vi=* 2V 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。
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rE1np^z7 结构设计 "VT{1(]t Z/V`Z* fy 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 .RQ Xxw
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rQd1Ch tMD^$E"C 使用TEA进行性能评估 2- Npw%; p?Z+z 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 ~.PPf/
Z8] vxbH^b
Pqr Ou -)y> c 使用傅里叶模态法进行性能评估 M(.uu`B 5p]urfN-f 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 X <ba|( HobGl0<y
Q>SPV8s *#prSS 进一步优化–零阶调整 YO.`l~ v :|3"H&FWK 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 M\Uc;:) H }2iKi(io*
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{M6mM> 进一步优化–零阶调整 {L-{Y<fke }6uV]V{ 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 323yAF ]Vf8mkDGO
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Z &dZ.+#8r VirtualLab Fusion一瞥 =B/s HN gNEzlx8A 9AVK_ DiGUxnP VirtualLab Fusion中的工作流程 ^V XXq ${TB2q}% • 使用IFTA设计纯相位传输 5fvUv"m •在多运行模式下执行IFTA ;4S
[ba1/ •设计源于传输的DOE结构 EvH(Po h −结构设计[用例] %b-;Rn •使用采样表面定义光栅 %~B)~|h −使用接口配置光栅结构[用例] Q8DQ .C •参数运行的配置 =CG!"&T −参数运行文档的使用[用例] W)$|Hm:H *s<dgFA'
6gg# Z U47k5s(J VirtualLab Fusion技术 % b>y $:-= >
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4s1kZ`e 文件信息 =B o4yN &t.>^7ELF
Be14$7r x%:>Ol 更多阅读 RqX4ep5j - Grating Order Analyzer ?^G$;X7B - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
6>N u=~ - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern [hv3o0". - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark o{-USUGj7 6Ymo%OT qRP8dH QQ:2987619807 !g8.8(/t)
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