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摘要 -M~:lK]n @* jz
o 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 }b"yU#`Q\ }wjw:M
'!cCMTj gA+qC7=p$ 设计任务 `$<.pOm <8i//HOE
S6M}WR^, )?naN 纯相位传输的设计 eIEeb,#i E *6Cw
l 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 H8zK$! IH&|Tcf\
>`mVY=Hi _LUhZlw 结构设计 =^f<v_L gNrjo= 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 ]^'Kd*x GPv1fearl
T|op$ s| x8\?}UnB 使用TEA进行性能评估 S9D<8j^ SC!RbW@3 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 c(E{6g? $q{!5-e
3`|@H-c9 &|ex`nwc0 使用傅里叶模态法进行性能评估 Al^d$FaF o5O#vW2Il& 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 "'.UU$]d 7\[@m3s
;_I8^? d vjCu4+w($Z 进一步优化–零阶调整 <C iSK! SrJGTuXg 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 `pS9_NYZ} Hqx-~hQO
b<ZIWfs I@~QV@U 进一步优化–零阶调整 ~2N"#b&J 1Z2HUzqh. 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 ({)+3]x fk>aqm7D!
.},'~NM] su(1<S} VirtualLab Fusion一瞥 gp?uHKsM EwT"uL*V; [Ek7b* QXFo1m VirtualLab Fusion中的工作流程 $G+@_' vF+7V*< • 使用IFTA设计纯相位传输 ]Sz:|%JP1 •在多运行模式下执行IFTA )[IC?U:5I •设计源于传输的DOE结构 RJ&RTo −结构设计[用例] B{#I:Rs9 •使用采样表面定义光栅 7"x;~X −使用接口配置光栅结构[用例] T2W eE@o •参数运行的配置 j0aXyLNX −参数运行文档的使用[用例] m,w A:o$' {9pZ)tB
5d^sA;c 69NeQ$]( VirtualLab Fusion技术 Lv7(st%` ,PW'#U:
P>D)7V9Hh _8J.fT$${ 文件信息 ((;!<5-`s -f^tE,-
q~o<*W $( kF# 更多阅读 #q$HQ&k - Grating Order Analyzer 8q!]y6 - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces lgy<?LI\ - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern `HSKQ52 - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark %)1?TU G~[x
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