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摘要 ---Ks0\V T3=-UYx] 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 Lr!L}y9T+ %:yHMEG]'
3(oZZz ZE5-i@1 设计任务 m0dFA<5- {s9y@c*15.
"~.8eKRQ D4YT33$tC 纯相位传输的设计 )Mm;9UA S
jC)6mo 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 PM#$H u *#-7
5$(b3] ^sr:N5~z` 结构设计 (h'$3~
75QXkJu 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 8u7K$Q ,"v)vTt
H| eD/6K )'/nS$\E: 使用TEA进行性能评估 -(%ar%~Zd ifgr<QlG 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 y \mutm USHlb#*
YUP%K!k ba1$kU 使用傅里叶模态法进行性能评估 ;r0|_mnf URmAI8fq*M 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 VR5e CJ:i {7ZtOe
U_N5~#9 hPEp0(" 进一步优化–零阶调整 YI? C-, }]Gi@Nh|o 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 <MWXew7b 2f}K#i8
=0!\F~ D:RBq\8 进一步优化–零阶调整 e$FAhwpon ^R8U-V8: 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 O[5_9W
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yccuTQvz 6S&=OK^ VirtualLab Fusion一瞥 K@$L~G #sm_.?P I!soV0VU] + 8K1]'t$ VirtualLab Fusion中的工作流程 fW4cHB9| ^!v} • 使用IFTA设计纯相位传输 HqnKpZ •在多运行模式下执行IFTA NP<F==, •设计源于传输的DOE结构 %M0mwty] −结构设计[用例] x(/@Pt2B •使用采样表面定义光栅 HN~v&, −使用接口配置光栅结构[用例] 3A}nNHpN •参数运行的配置 44fq1<.K −参数运行文档的使用[用例] CL@h!h554_ +~i+k~{`H
mC[U)` ey _WjETyh
[H VirtualLab Fusion技术
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dbq{a >kDdWgRQ 文件信息 :(?hLH.W[ w;SH>Ax:
tMPXvE ~b6<uRnM. 更多阅读 Y+_5"LV - Grating Order Analyzer @BHS5^| - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces v<J;S9u= - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern U)I `:J+A - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark ?:''VM. YaJ{"'} Wru
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