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摘要 /&PKCtm&~ [%@2o< 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 48 W.qzC gi6g"~%@q1
d_Q*$Iz)3 Bo`Tl1K# 设计任务 T@TIzz i2){xg~c
#`W=mN(+k gNShOu 纯相位传输的设计 v*E(/}<v %35L=d[ 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 =p<?Hu 7~_I=-
w8O" =}, pzp,t(%j 结构设计 d/3J' (cq 00ofHZ 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 pO%{'%RA HTmI1
V=pMq?Nr UMV)wy|j 使用TEA进行性能评估
#j;Tb2&w ]' Y|Nl 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 w|IjQ1{ eD%HXGe
5?WYsj"
33Jd!orXU 使用傅里叶模态法进行性能评估 i
AdGgK 6{q;1-8j+j 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 ,CP5~4u 0ZMJ(C
HPg3`Ul AS)UJ/lC 进一步优化–零阶调整 x H-X|N 07V8;A<, 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 \v+u;6cx_ A{# Nwd>
k1)%.pt% NzQ9Z1Mxy 进一步优化–零阶调整 bLzs?eos ^W~p..DF 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 S}(8f!9< ]hA,LY f
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A<5uk04K + WVIZZ8 VirtualLab Fusion一瞥 q2hFOm -w1@!Sdd mpgO s $&{ti.l VirtualLab Fusion中的工作流程 ]mQw,S)/" .%}?b~
• 使用IFTA设计纯相位传输 ~*M$O & •在多运行模式下执行IFTA ?+~cA^-3T •设计源于传输的DOE结构 |?d#eQ9a −结构设计[用例] KzjC/1sd •使用采样表面定义光栅 .Obn&S −使用接口配置光栅结构[用例] Z&Y=`GOI •参数运行的配置 mMSh2B −参数运行文档的使用[用例] Xd<t5{bD! 7Ym(n8
.~>?*} +x=)/; : VirtualLab Fusion技术 qnM|w~G hoM|P8
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0p(L' b0v:12q 更多阅读 T f4tj!t- - Grating Order Analyzer >(r{7Qg - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces JTU#vq:TY - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern *T`-|H*6@ - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark #>[a{<;Kn Es5f*P0 7y^%7U \ QQ:2987619807 GOT1@.Y
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