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摘要 ;f-|rC_" &,Q{l$`X 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 [&*$!M #{0DpSzE5
e>t9\vN#bx 04;y%~,}U/ 设计任务 $EJ*x$ 4C/8hsn
e#^|NQ<'A l@*/1O)v 纯相位传输的设计 #|XEBOmsQ V8&/O)} o 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 K23_1-mbe Kc udWW]
gE=~.P[ZX )C2d)(baEJ 结构设计 _3p:q. +$>ut
r 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 ID+'$u& M{kPEl&Z
w#mnGD _ga!TQ: 使用TEA进行性能评估 GIVs)~/Eq ,P"R.A 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 r-YQsu& TjI NxP-O
0HD1Ob^@ <vt^=QA' 使用傅里叶模态法进行性能评估 E2*"~gL^, SbnVU[ 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 P'9aZd J#V`W&\,6
IVNNiNN*5 ?XOeMI 进一步优化–零阶调整 h/TPd] ^}1RDdQ"U 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 a3c4#'c|D aJ)5 DlfLR
"(efd~.] NuO>zAu 进一步优化–零阶调整 MZjiJZaO:L ,IJ Nuu\ 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 6vaxp|D c?R.SBr,'
8e\v5K9 pV("NJj! VirtualLab Fusion一瞥 DpS6>$v8t \[oHt:$do l.)N dY-a,ch"8p VirtualLab Fusion中的工作流程 zRJy3/> hE6tu' • 使用IFTA设计纯相位传输 |(P;2q4> •在多运行模式下执行IFTA #P9VX5Tg •设计源于传输的DOE结构 fBLd5 −结构设计[用例] 8&UuwZ6i- •使用采样表面定义光栅 ,xh9,EpBk −使用接口配置光栅结构[用例] Ez$5wY^J •参数运行的配置 nIi_4=Z
−参数运行文档的使用[用例] Fp]8f&l8 D1Sl+NOV
654%X(:q C95,!q VirtualLab Fusion技术 3QHZC0AY 1I+5
}[DAk~ ;&!dD6N 文件信息 OXacI~C y*(YZ zF
\fKE~61 5,c` 更多阅读 |@g1|OWd| - Grating Order Analyzer IB6]Wj - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces I coL/7k3 - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern d$TW](Bby - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark /<
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