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摘要 =-uk7uZM 40LAG 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 wGpw+O HX:^:pF}
mhnK{M @56 BjUz"69 设计任务 %X\rP, 75H5{#)
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M 纯相位传输的设计 Dmk~t="Y X@7e7 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 @|o^]-, 9y"\]G77E
/aMeKM[L` 1j^FNg~ 结构设计 N5GQ2V dzc.s8T(0 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 CbRl/ 68HY (AgM7H0
|(1z ?Spbe cd*F;h 使用TEA进行性能评估 ^,Y#_$oR sJ/?R: 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 bX]$S 5c_u yu62$d
WAbt8{$D ?IV3"\5 使用傅里叶模态法进行性能评估 ur`:wR] 2? >sE{c>R% 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 -J*jW
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h3Z0NJ=xM 3YPoObY 进一步优化–零阶调整 G8oOFBQD U ()36 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 sHulaX{ {e8.E<f-
8CKI9 "# mr?h_ 进一步优化–零阶调整 PYz^9Ud 6g {__"Z< 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 '|i<?]U 7*r7Q'
YTpO4bX /A;!g5Y VirtualLab Fusion一瞥 "(rG5z3P "+V.Yue`R 'Nv*ePz %<w)#eV? VirtualLab Fusion中的工作流程 *:3`$`\54 `8%2F}x}qD • 使用IFTA设计纯相位传输 mmG+"g$| •在多运行模式下执行IFTA E=Z.v •设计源于传输的DOE结构 LCRZ<?O[| −结构设计[用例] *w538Vb •使用采样表面定义光栅 cmv&!Egd −使用接口配置光栅结构[用例] F+!K9( `| •参数运行的配置 \j]i"LpWb −参数运行文档的使用[用例] .W<yiB}^ d&QB?yLd
SablF2doa EI*B( VirtualLab Fusion技术 N%\!eHxy dk9'C
>>voL DDd ^F ` 文件信息 |BGQ|7DyG #B3P3\
V3NQij( }Zue?!KQ 更多阅读 )8:Ltn% - Grating Order Analyzer r_f?H@ v - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces Wi
Mi0?$. - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern i5sNCt - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark ) )q4Rh wtCz%!OYB >'^Tp7\ QQ:2987619807 a'zf8id
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