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摘要 ^hIdmTf6 7r:h_r- 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 '75T2Ud ./YR8 #,
PYkhY;* q/i2o[f'n 设计任务 s3>a SVCh!/qe\
y9:4n1fg s)^/3a 纯相位传输的设计 XqTguO' $Z]&3VxxY 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 8x{Owj:Q ula-o)S
P?0X az ]E`<8hRB 结构设计 qN!oN* a|ufm^F 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 Ln+l'&_nb B8@mL-Z-;
&LLU@ | uFkl^2 使用TEA进行性能评估 +:MSY p ":!$Jnj, 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 RZa/la* 1Viz`y)^
~ ld.I4 ,B <\a 使用傅里叶模态法进行性能评估 f{sT*_at -C=0Pg]ga 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 E>~R P^?Uz ) c@gRb~
hkMeUxS c./\sN@ 进一步优化–零阶调整 =*\s`ox` eM7@!CdA9q 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 r.C6`
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3[m~-8 Xoj"rR9| VirtualLab Fusion一瞥 B%F]K<
%|-N{> wKy sx,$W3zI'G %>|FJ VirtualLab Fusion中的工作流程 (J:+'u \:vF FK4a • 使用IFTA设计纯相位传输 [txOh!sxD •在多运行模式下执行IFTA BA;r%?MRL •设计源于传输的DOE结构 ,KY;NbL-Jp −结构设计[用例] T7[@ lMa? •使用采样表面定义光栅 :5YIoC −使用接口配置光栅结构[用例] P\U<,f •参数运行的配置 (:oF\ −参数运行文档的使用[用例] j7I=2xnTWu @6
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V?mP7 v?8WQNy VirtualLab Fusion技术 {oQs*`=l> pbMANZU[
_>gz& 3.&BhLT 文件信息 "x,lL pc`P;Eui
)nm+_U JPI%{@Qc^ 更多阅读 j=sfE qN). - Grating Order Analyzer C5 ~#lNC - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces :V/".K-:J - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern N[{rsUBd - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark iI GK"} HE}0_x. *C*J1JYp+ QQ:2987619807 .f~9IAXP`
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