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摘要 @j46Ig4~b r6DLShP-Ur 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 uwNJM ]&*POri&
fzSkl`K} ZoG@"vr2 设计任务 #I/P9)4 X{-4w([
>ED;_L*_o Y <6|z3 纯相位传输的设计 #dauXUKH wNf:_^|} 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 8Y`Lq$u F]$ Nu
m%HT)`>bg ='7m$,{(Q[ 结构设计 7H7
Xbi@ )@g[aRFa 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 b;i*}4h! 8em'7hR9
+IdM|4$\1 {?qfH>oFA 使用TEA进行性能评估 3q]0gU&?? I,?NYIG"( 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 _H+]G"k/r o0H^J,6gV
-KiPqE%&G &[ })FI 使用傅里叶模态法进行性能评估 -)V0D,r$[ -X.#Y6( 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 2q?/aw ;Z S^QEc tXU
` H'G"V 6#Vl3o(E| 进一步优化–零阶调整 a5a
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</I%VHP,[f UylIxd VirtualLab Fusion一瞥 m$8siF{<q s< tG '(]Wtx%9" m#+0m! VirtualLab Fusion中的工作流程 _/>ktYo: ][
$UN • 使用IFTA设计纯相位传输 [v1$Lp •在多运行模式下执行IFTA @nH3nn •设计源于传输的DOE结构 q;K]NP-_p −结构设计[用例] 1jC85^1Taq •使用采样表面定义光栅 )<x9t@$ −使用接口配置光栅结构[用例] |~9jO/&r •参数运行的配置 2CC"Z −参数运行文档的使用[用例] M+t)#O4 ?q!4 REM
`I7s|9-= '/GB8L VirtualLab Fusion技术 p{E(RsA MTYV~S4/
F}Zg3# U&3!=|j 文件信息 (?Ku-k H{cOkuy
e1[ReZW JuJW]E Q 更多阅读 +Xg:*b9So - Grating Order Analyzer TOiLv.Dor - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces yzEyOz@Q - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern ?y|&Mz'XJ( - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark C:1(<1K ^!tX+`,6^ aZf/WiR2 QQ:2987619807 V lZ+x)E
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