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摘要 $1< ~J =,WW#tD 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 >||=# ; =xX)2h
1 ^q~NYTK aNxq_pRb 设计任务 rh+2
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9X%H$>s 9EI Oa/* 纯相位传输的设计 g2t'u4> +\@}IKWl-? 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 n k@e# 4y$tp18
HAOl&\)7"_ X@cO`P 结构设计 8&2W^f5 v5Qp[O_ 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 rM5{R}+; IP3%'2}-
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xg)Wb# 使用TEA进行性能评估 )e6)~3[^ ER4j=O# 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 b0n " J` QO|roE
hantGw| 0'Y'K6hG` 使用傅里叶模态法进行性能评估 1GA$nFBVC .*_uXQ 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 nJ{vO{N PW)Gd +y
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F Okt0b|=`1* 进一步优化–零阶调整 FvTc{"w / t=B>t S.hO 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 r'5~4'o$ +#Q\;;FNP
&Bfgvws; ;5TQH_g 进一步优化–零阶调整 wx2EMr $~s|%>@ 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 d} {d5-_a ~n<U8cm O
-Nn@c|fz rm"C|T4:V VirtualLab Fusion一瞥 gZ b+m WVa#nU^ P
g{/tMY qY^@^)b[ VirtualLab Fusion中的工作流程 C 7e nz%{hMNYH • 使用IFTA设计纯相位传输 :#I7);ol •在多运行模式下执行IFTA Dx1 w I •设计源于传输的DOE结构 S.Rqu+ −结构设计[用例] byrK``f •使用采样表面定义光栅 ,KO_h{mI< −使用接口配置光栅结构[用例] =}h8Cl{H/ •参数运行的配置 gp`H>Sn.| −参数运行文档的使用[用例] 8:QnxrODP 9]E;en NQ
#Y9'n0 AL dYP-QUM$7 VirtualLab Fusion技术 J#OiY
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Q;EQ8pL?" U!xOJ 更多阅读 ImnN&[Cu - Grating Order Analyzer +2WvGRC - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces oI/jGyY; - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern t^Hte^#S - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark P*M$^p nGvWlx cI
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