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摘要 : %[mc-6. !P8Y(i 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角，元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此，它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中，将迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）用于衍射元结构的初始设计，然后将傅里叶模态法（FMM）应用于严格的性能评估。 jhR`%aH4
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9 1.gE*D 设计任务 #_SsSD=.Sy
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 K PjC<9sby CL3 b+r 纯相位传输的设计 "|Gr3 sD
1 ' B& e) 使用迭代傅立叶变换算法（IFTA）进行纯相位传输设计。 =f?vpKq40
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i&!_ b($9gre>mI 结构设计 H-,p.$3}
dL]wu! wE 在近轴假设下使用薄元近似（TEA）进行结构设计。 7v&>d,
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 QX u[<V M3G ecjR 使用TEA进行性能评估 s^> >]
}Uu#N H 在近轴假设下使用TEA进行评估，即与设计方法相同 yUjkRT&h
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 %p:Z(zU '=0l{hv@ 使用傅里叶模态法进行性能评估 F'-,Ksn
oFb~ |>d 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 5?Ukf$)x
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R`J.vMT 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 )(9[> _+40
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 ;X; (7 OZ33w-X< VirtualLab Fusion一瞥 Y2IMHN tH
w^9< I]  {FX]1:
f/QwXO-U VirtualLab Fusion中的工作流程 -'F 27]) gFd*\Dk • 使用IFTA设计纯相位传输 8|(],NyEJ •在多运行模式下执行IFTA i;atYltEJ2 •设计源于传输的DOE结构 CZE!@1"<{ −结构设计[用例] D |=L)\ •使用采样表面定义光栅 UfIr"bU6 −使用接口配置光栅结构[用例] w PX^P •参数运行的配置 Gr >CdB>~+ −参数运行文档的使用[用例] z9!OzGtIR
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 G`;\"9t 5h ]j !pK4 VirtualLab Fusion技术 l3*GQ~m7
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 5$$# d_Gj artn _ 文件信息 FUf.3@ } 4K\o2p?4
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