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摘要 VnB"0"%w ny:4L{) 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 t_PAXj G92Ya^`
6WEYg 2/K38t'- 设计任务 6ZCSCBW V~>
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A[F tPk{k "r Bb2. 纯相位传输的设计 a.r+>44M k<098F 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 M}]E,[ n9}3>~ll
k/&~8l.$ n -P)X<\ 结构设计 Bg?f}nu7 j~d<n_ 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 Vu3;U kDAPT_Gid
_<`j?$P )c:i'L 使用TEA进行性能评估 =N5~iMorD- #@QZ 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 38Q>x ,,hW|CmN30
pDlU*& 0(2r"Hi 使用傅里叶模态法进行性能评估 Gm0&y G(2(-x"+ 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 $n30[P@p; BM_hW8&G
|#p`mc%f~\ `@$qy&AJ 进一步优化–零阶调整 8{@0p"re@ @j/UDM 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 vR X_}`m8# /1F5khN
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5 *8V4ca AATiI+\S VirtualLab Fusion一瞥 >h?!6L- d #bz#&vt$ O_yk< j06q3N" VirtualLab Fusion中的工作流程 q2o`.f+I lV4|(NQ9 • 使用IFTA设计纯相位传输 @2>A\0U •在多运行模式下执行IFTA [8F1rZ& •设计源于传输的DOE结构 {tq.c9+!d −结构设计[用例] >5rb4 •使用采样表面定义光栅 EDMuQu/D8 −使用接口配置光栅结构[用例] ]kXiT Yg •参数运行的配置 1{TmK9U −参数运行文档的使用[用例] Y[=X b i&%~:K*
T$p!IRPt T*AXS|=ju VirtualLab Fusion技术 T d E.e( 2U;6sn*e
p$mx !'y9/ 文件信息 k/6Qwb# l70a&[W
"iu9r%l94 4 f)B@A- 更多阅读 qL;OE.?oA - Grating Order Analyzer Oz3JMZe - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces 3PmM+}j3 - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern `\}Ck1o - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark >bwB+-l yL |"j{!Ei FX"j8i/N QQ:2987619807 Bri yy
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