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摘要 -J<{NF } qf=5v 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 v3ky;~ke ^-&BGQM
[10y 13 `3C dW 设计任务 -xXz}2S4 ZHWxU
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[s- 纯相位传输的设计 ,R~{$QUl BM,]Wjfdj 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 aA|<W
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-szSA A./VO 结构设计 'kC,pN{-> B,_/'DneQK 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 m);0sb {|E'
'[z529HN Lxg,BZV 使用TEA进行性能评估 ;tZ;C(;< |K(2_Wp 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 1[g -f, U_8 Z&
5x=aJl;G E<~Fi.M;\ 使用傅里叶模态法进行性能评估 8?za&v j^Vr!y 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 T{"[Ih3Mbl 3hi0
:"~SKJm \{8?HjJEM 进一步优化–零阶调整 pXy'S s@y L2,.af6+ 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 <0w"$.K#3 +}.~"
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2I|`j^ XYh)59oM% VirtualLab Fusion一瞥 aob+_9o (^@rr[.o7 I""zg^Rq Pss$[ % VirtualLab Fusion中的工作流程 IW{}l=D/ X7g@.Oy` • 使用IFTA设计纯相位传输 mM $|cge" •在多运行模式下执行IFTA sP'U9l •设计源于传输的DOE结构 AbExJ~JV\g −结构设计[用例] _ g8CvH)?! •使用采样表面定义光栅 9zL(PkC%\ −使用接口配置光栅结构[用例]
@BmI1 •参数运行的配置 li37* −参数运行文档的使用[用例] #aua6V!" N8E
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(k^o[H F N;q)[Dr 更多阅读 ;Zy[2M - Grating Order Analyzer *8I"7'xh - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces *yZ `aKfH - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern Xmm)z - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark SYd6D@^2j =G9I7Y@ kj>!&W57 QQ:2987619807 UasU/Q <
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