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摘要 2,q}Nq 942lSyix 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 ]}|byo dt@P>rel 4<dcB@v >Gml4vGK 设计任务 I#F!N6; 8.AR.o W !w, f; dP?Ge} 纯相位传输的设计 :KJ pk:< l e4?jQQ@L 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 4`m~FNVS V"\0Y0 sUJ%x#u}Fk nfSbM3D]h 结构设计 :}8Z@H!KkY
afBE{ 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 IYn]U4P.
\MC-4Yz g[RI.&? R0ID2:i]F 使用TEA进行性能评估 Z;Ez"t&U V&8VwF^- 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 `*", < M>9-=$7 h,aA w#NE* Qd}m`YW-f$ 使用傅里叶模态法进行性能评估 McH>"` c0B|F 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 voP7"Dl[ X[
q+619 <h%O?mkC j`^$# 进一步优化–零阶调整 Nkxmm/Z ::Ke^dp 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 @k[R/,#'[t FuI73 .+7;)K
- p3Re9 进一步优化–零阶调整 Tc8un. { eCC$&" 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 I2nF-JzD2a H
0+dV3 zi`b2h ee%fqVQ8P VirtualLab Fusion一瞥 q0f3=" ST\$= }|PY!O
}*.0N;;C VirtualLab Fusion中的工作流程 JkW9D)6 @u==x*{| • 使用IFTA设计纯相位传输 fP.F`V_Y •在多运行模式下执行IFTA I%-
" |]$ •设计源于传输的DOE结构 T,|
1g6 −结构设计[用例] i4^o59}8 •使用采样表面定义光栅 *OuStr \o −使用接口配置光栅结构[用例] -S3MH1TZ •参数运行的配置 w"R:\@ F −参数运行文档的使用[用例] aW>6NDq( T&Lb<'f Cvn#=6V3 TMYd47 VirtualLab Fusion技术 C@th O J,Ks0MA @|Rrf*J?% H54R8O$ 文件信息 2W4qBaG$= %-d]X{J: 'fW6
.0fXa 5nsq[Q` 更多阅读 4;2< ^[M - Grating Order Analyzer 0v9rv.Y" - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces ^tXJj:wtS - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern P2bZ65>3y - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark Yo[;W
vu 7b<yVP;{ d/i`l* QQ:2987619807 AhZ8 0!
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