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摘要 nfJ|&'T ^1s!OT Is 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 *;"N kCf ZF"f.aV8)
bW(+Aw=O |R8=yO%( 设计任务 D9zw' RY +c.A|!-
XKp.]c wP %C\Q{_ AS 纯相位传输的设计 l+Dl~o} a*REx_gLG 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 MlgE-Lm k_/hgO
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j&+HC A%>Ir`I 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 j/4N a\S"d
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( 使用TEA进行性能评估 jCDZ$W89 )^7Y^ue 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 X|K"p(N Rq gH,AN
+Mc kR CP_ ?DyWU 使用傅里叶模态法进行性能评估 vDZhoD=VR 9r-]@6; 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 ("0@_05OH xB_F?d40T5
agQzA/Xt W6ZXb_X 进一步优化–零阶调整 aehGT| A"x1MjuqLM 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 Vo}3E] lE:X~RO"~
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hYMIe]kJ RmxgCe(2a VirtualLab Fusion一瞥 }dw`[{cm )k01K,%#) |!{Q4< }c1Vu VirtualLab Fusion中的工作流程 j89|hG)2 Z.Lm[$/edn • 使用IFTA设计纯相位传输 @iK=1\-2 •在多运行模式下执行IFTA n"vl%!B •设计源于传输的DOE结构 s|rlpd4y −结构设计[用例] ,X(P/x{B •使用采样表面定义光栅 -Bbg'=QZa −使用接口配置光栅结构[用例] *6^|i} •参数运行的配置 9 +"D8J7 −参数运行文档的使用[用例] x?Z)q4 U^vQr%ha
;ZXP*M9 ^I3cU'X VirtualLab Fusion技术 8T92;.~( In^MZ)?
Yh_H$uW l%\3'N] 文件信息 Cj%SW <v| GHj1G,L@\
o6sL~*hQ 9C}Ie$\ 更多阅读 \]GO*]CaV - Grating Order Analyzer \kcJF'JFA0 - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces u':-DgK - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern `bu3S}m7 - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark _6" vPN ~R/w~Kc!/A 3Yf%M66t QQ:2987619807 sv\'XarM
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