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摘要 f !s=(H; fb{`` ,nO 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角，元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此，它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中，将迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）用于衍射元结构的初始设计，然后将傅里叶模态法（FMM）应用于严格的性能评估。 JsDpy{q
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-7S g62THS 设计任务 rW+ =,L
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dAB-d:k 纯相位传输的设计 Q V {}K
,=Mt`aN 使用迭代傅立叶变换算法（IFTA）进行纯相位传输设计。 Zy o[(`y
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 \~ fONBY Pb?$t 结构设计 KO]T<R
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G *-b}f 在近轴假设下使用薄元近似（TEA）进行结构设计。 c&Ay gqN
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 p4'G$]# jg.QRny^ 使用TEA进行性能评估 ig/%zA*Bo
<4P4u*/o 在近轴假设下使用TEA进行评估，即与设计方法相同 "J4WzA%i
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 *q()f\ cUA7#1\T= 使用傅里叶模态法进行性能评估 {buo^kgj`]
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mZW{j 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 cUY`97bn
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 F;+|sMrq 4|CtRF<L 进一步优化–零阶调整 E;+ O($bA
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X)7x<?DAy VirtualLab Fusion中的工作流程 'H
\9:7 R}q>O 5O • 使用IFTA设计纯相位传输 Yy)tmq •在多运行模式下执行IFTA .
r[Hu40p •设计源于传输的DOE结构 :9^;Qv* −结构设计[用例] gq u?o&>9 •使用采样表面定义光栅 {T X]\ufG −使用接口配置光栅结构[用例] vTlwRG=5 •参数运行的配置 !V
i@1E −参数运行文档的使用[用例] Si6al78
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