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摘要 kDB iBNdB 6U,fz#<,} 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 ~H[%vdR c-5jYwV
j1$<] f IbWPlbH 设计任务 MFg'YA2/ WwW^[k (X
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Pt qSQ@p\O~ 纯相位传输的设计 djT.
1( |,}E0G. 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 +=8X8<Pu ggou*;'
?An,-N-ezf H2Eb\v`# 结构设计 4w{-'M.B k_3j
' 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 H_X?dj15 [[qwaI
MB*u-N0v Isovwd 使用TEA进行性能评估 D{AFL.r{
F$*3@Y 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 *`KrVu 6s Q[s2}Z!N;
h39e)%x1 -NDi5i\ 使用傅里叶模态法进行性能评估 n9fk,3 {(\(m/!Z 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 KtMbze 3 C"_$?y"
<pOl[5v] <lOaor
c 进一步优化–零阶调整 'XTs
-= iMWW%@U^= 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 m4gU*? 8U^D(jrz
L#j|2H| feCqbWq: 进一步优化–零阶调整 Tiprdvm< VD#!ztcY' 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 z{6YC~ e}Q>\t45
=hcPTU-QU -SJSTO[/J VirtualLab Fusion一瞥 pruWO'b` /p$=Cg[K ?
: md 5w-JPjH VirtualLab Fusion中的工作流程 Ea4
* o n4>cERfa • 使用IFTA设计纯相位传输 A7(M,4`6 •在多运行模式下执行IFTA XTj73 MWY •设计源于传输的DOE结构 j m>U6 −结构设计[用例] vfXJYw+6_ •使用采样表面定义光栅 a*Jn#Mx<M −使用接口配置光栅结构[用例] DVzssPg •参数运行的配置 m %Y(O −参数运行文档的使用[用例] K_##-6> +\U]p_Fo3
v?%3~XoH 7O461$4v VirtualLab Fusion技术 e;;):\p4 \c68n
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n* _vIO!*h0 文件信息 3"vRK5Bf XSl!T/d
/p}{#DLB F8 ?uQP8 更多阅读 +',^((o - Grating Order Analyzer ?C~X@sq - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces nFj-<! - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern mo*'"/ - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark }\4p3RQrz /B=l,:TnJ 5&G
5eA QQ:2987619807 JE9>8+
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