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摘要 %Nvw`H m%apGp'=1 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 )RvX}y- >5:O%zQ@ $7c,<= !|i #g$ 设计任务 ^.\O)K {h d[J_iD{ & n=C"pH# {?IbbT 纯相位传输的设计 Iia.`"S rzn,NFI 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 i!e8-gVMP& 0.0-rd> >h#w~@e:: {vCtp 结构设计 p^k0Rad X(MS!R V 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 y32$b,%Xi, 0]iaNR
% @v2ko5 ?_^{9q%9 使用TEA进行性能评估 <?5|(Q"@: SeDk/}/~e 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同
9Pe$}N y^`JWs, bIyg7X)/ dp'[I:X 使用傅里叶模态法进行性能评估 ?\, ^>4x? ektU,Oo 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 4,c6VCw3+ oq+w2yR v/c]=/ T!KwRxJ23 进一步优化–零阶调整 -|uoxj> ~vt9?(h 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 o!":mJy 79W^;\3 %}VH5s9\ p ZTrh&I] 进一步优化–零阶调整 s) shq3O aYb97}kI 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 X]D,kKasG R8Vf6]s_ pcwYgq#5 %8tE*3iUF VirtualLab Fusion一瞥 3EICdC
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M&C VirtualLab Fusion中的工作流程 ([dd)QU @
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• 使用IFTA设计纯相位传输 U*$xR<8v •在多运行模式下执行IFTA za@/4z •设计源于传输的DOE结构 f(Of+> −结构设计[用例] `{G&i\"n •使用采样表面定义光栅 fyb;*hgu −使用接口配置光栅结构[用例] Pp tuXq%U •参数运行的配置 6_bL<:xtY −参数运行文档的使用[用例] Z%qtAPd ~$g: kygw}|, N zR^Gy" VirtualLab Fusion技术 S*V}1</L |2u=3#Jp j,+]tHC- I'BhN#GhX 文件信息 F`QViZ'n># k_=yb^6[U ~I@lsCh WI/tWj0 更多阅读 Tn#Co$< - Grating Order Analyzer *(F`NJ 3 - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces wwB3m& - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern w>&*-}XX - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark a,c!#iyl3 +y?Ilkk;j :lcq3iFn QQ:2987619807 0- )K_JV
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