[讨论]IBS和IBE设备需求大么？ [复制链接]

最近在接触一家做IBS和IBE设备的日本厂家。他们想调查一下中国市场有没有前途。 aW@J]slg  
我这几天去了上海慕尼黑光电展，看了一些IBS和IBE的产品，基本上产品的领域很窄。 x>*#cOVz;C  
$hE,BeQ  
那家厂家做的IBS的基本情况是这样的： z2Kvp"-}  
使用的是美国产的离子源（考夫曼博士自家的产品，基本和VEECO一样），所以和VEECO一样有美国输出限制。 9w08)2$Na  
实际大概做了十几台，基本上是在日本的一些研究院，台湾的某个客户买了几台做BPF。 PDtLJt$  
大概能做100mm直径的工件一枚，工件厚度最大10mm。 -:
NFF'  
镀膜能做200多层，每层大概几个纳米。 $zYo~5M?i-  
因为是离子溅射镀膜，镀膜速度非常慢，200层左右大概要镀5天左右。 xYl ScM_~  
（高于200层因为应力很大，哪怕10mm的板子也会破裂） $ITh)#Nj  
L"ob))GF  
产品一般运用在5G通讯，激光，高反射镜，重力波镜，EUV镜上面。 .Q$/\E  
不知道论坛里面哪位是在这个范围内的，这种设备（镀膜慢，工件小）是否在国内有前途？

离子溅射和刻蚀终将走集成自动化，毕竟高端质量在这，作者是行业大佬，有机会虚心向您学习

您太客气了。我只是进入这个行业比较早，经验比较多一点。 ._5"FUg  
就镀膜这个行业来讲，镀膜是个系统工程，需要学习的知识实在是太多了。 \qB
:z7I2  
恰巧我在离子源这方面做的比较多一点，所以想扩展出来做些事情。 jZLD^@AP  
9m:G8j'  
蒸发镀膜这个行业已经慢慢的下沉了，所以想往半导体或者溅射，化学镀膜方向走走看。 +(qs{07A$  

很多干扰因素会更多。有机会也会试试954414

ouyuu:您太客气了。我只是进入这个行业比较早，经验比较多一点。 f3u^:6U~  
就镀膜这个行业来讲，镀膜是个系统工程，需要学习的知识实在是太多了。 UNB'Xjp}@  
恰巧我在离子源这方面做的比较多一点，所以想扩展出来做些事情。
蒸发镀膜这个行业已经慢慢的下沉了，所以想往半导体或者溅射，化学镀膜方向走走看 .. (2021-10-16 16:29)  RV2s@<0p  

/v^1/i  
你好啊,有機會交流一下 6)B6c. 5o  
我以前公司有這種機台 IBS的
q\fZ Q  
光譜能鍍的很漂亮,很多高規格產品都要用這種 ;E{k+vkqy  
hb_J.Q  
@! gJOy  

请问leybold 的IBS和VEECO的双离子束溅射哪个性能更好一些呢？我是新人，所以对这不是很了解，查找了很多论文，发现没有用leybold的，用的VEECO 的更多

leybold自己连射频离子源都做不好，IBS应该也做不好吧？ _8f? H#&  
（IBS就是射频离子源的栅网倒装，让离子从发散变成聚焦）

ouyuu:leybold自己连射频离子源都做不好，IBS应该也做不好吧？ . paA0j  
（IBS就是射频离子源的栅网倒装，让离子从发散变成聚焦） (2024-11-21 23:12)  m ll-cp  

bc?\lD$$  
我也不清楚用的哪家的离子源，只能从官网看到是3栅格RF 220毫米， LO IBS 1400款