[讨论]IBS和IBE设备需求大么？ [复制链接]

最近在接触一家做IBS和IBE设备的日本厂家。他们想调查一下中国市场有没有前途。 ">=Ep+ix  
我这几天去了上海慕尼黑光电展，看了一些IBS和IBE的产品，基本上产品的领域很窄。 8Kl&_-l{b  
Dn<3#V  
那家厂家做的IBS的基本情况是这样的： #f(tzPD  
使用的是美国产的离子源（考夫曼博士自家的产品，基本和VEECO一样），所以和VEECO一样有美国输出限制。 FWeUZI+  
实际大概做了十几台，基本上是在日本的一些研究院，台湾的某个客户买了几台做BPF。 \3ydNgl  
大概能做100mm直径的工件一枚，工件厚度最大10mm。 0.+Eo.AX4M  
镀膜能做200多层，每层大概几个纳米。 tH; 6Mp;f  
因为是离子溅射镀膜，镀膜速度非常慢，200层左右大概要镀5天左右。 ,5<AV K-#Q  
（高于200层因为应力很大，哪怕10mm的板子也会破裂） 5q@s6_"{  
q'7.lrKwa>  
产品一般运用在5G通讯，激光，高反射镜，重力波镜，EUV镜上面。 OU` !c[O  
不知道论坛里面哪位是在这个范围内的，这种设备（镀膜慢，工件小）是否在国内有前途？

ouyuu:leybold自己连射频离子源都做不好，IBS应该也做不好吧？ s nNd7v.U6  
（IBS就是射频离子源的栅网倒装，让离子从发散变成聚焦） (2024-11-21 23:12)  a7b1c!  

eAQ-r\h'2  
我也不清楚用的哪家的离子源，只能从官网看到是3栅格RF 220毫米， LO IBS 1400款

leybold自己连射频离子源都做不好，IBS应该也做不好吧？ MQ'=qR  
（IBS就是射频离子源的栅网倒装，让离子从发散变成聚焦）

请问leybold 的IBS和VEECO的双离子束溅射哪个性能更好一些呢？我是新人，所以对这不是很了解，查找了很多论文，发现没有用leybold的，用的VEECO 的更多

ouyuu:您太客气了。我只是进入这个行业比较早，经验比较多一点。 cNy*< Tv  
就镀膜这个行业来讲，镀膜是个系统工程，需要学习的知识实在是太多了。 (|tR>R.Wxg  
恰巧我在离子源这方面做的比较多一点，所以想扩展出来做些事情。
蒸发镀膜这个行业已经慢慢的下沉了，所以想往半导体或者溅射，化学镀膜方向走走看 .. (2021-10-16 16:29)  ,K.W
ni#m  

#1'p?%K.  
你好啊,有機會交流一下 &mba{O  
我以前公司有這種機台 IBS的 AG Gxx?I  
光譜能鍍的很漂亮,很多高規格產品都要用這種 \`*]}48Z  
4Ub7T=LG  
0/~{,  

很多干扰因素会更多。有机会也会试试954414

您太客气了。我只是进入这个行业比较早，经验比较多一点。 ;a(7
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就镀膜这个行业来讲，镀膜是个系统工程，需要学习的知识实在是太多了。 [3v&j_  
恰巧我在离子源这方面做的比较多一点，所以想扩展出来做些事情。 X9YbTN  
WG&WPV/p  
蒸发镀膜这个行业已经慢慢的下沉了，所以想往半导体或者溅射，化学镀膜方向走走看。 NV\{$*j(|J  

离子溅射和刻蚀终将走集成自动化，毕竟高端质量在这，作者是行业大佬，有机会虚心向您学习