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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 q7"7U=W0  
    Vb9',a?#n  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 B, 9w0  
    h[PYP5{L  
    .|/~op4;  
     W^s ;Bi+Nw  
    建模任务 R9B&dvG  
    ^$ t7+g  
    H/Llj.-jg  
    概述 23h% < ,  
    K# Jk _"W  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 _)\c&.p]f  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ;&ASkI  
    }Q";aU0^  
     /tUy3myJ  
    ,mj@sC>  
    光线追迹仿真 JJ%ePgWT  
    *k19LI.5  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 c 9jGq  
    •单击go！ &8z[`JW,T  
    •获得了3D光线追迹结果。 Ps 8%J;  
    uV=Qp1~  
     '7oA< R  
    =KR NvW  
    光线追迹仿真 rta:f800z  
    ]niJG t  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 4T=u`3pD7l  
    •单击go！ Op_RzZP`  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 KG=h&  
    5sb\r,kW  
     IV)<5'v  
    v;0|U:`]  
    场追迹仿真 PTEHP   
    _vZ"4L+Iw+  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 VH[hsj  
    •单击go！ PK"c4>q  
    $_x^lr  
    &SrO)  
     *f?4   
    场追迹仿真（相机探测器） k70|'*Kh  
    zSFDUZ]A3  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 J2^'Xj_V  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 A7n\h-b  
    |M+<m">E  
     )LyojwY_g  
    o";Z$tAJkC  
    场追迹仿真（电磁场探测器） rSJ9 v :  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 WH= EPOR,  
    %wSj%>&-R  
    `+uhy ,  
     $k2*[sn,  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 3#TV5+x*"`  
     AU$Uxwz4  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 D)d~3`=#  
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     V,G|k!!  
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    文件信息 t8dm)s[r8  
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    更多阅读 L*~J%7  
    +*hm-lv?  
    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer f4PIoZ e  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     /, !B2  
    G^` 1]?  
     Iwc{R8BV  
    QQ：2987619807 mzf+Cu:` v  
     
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