切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学设计仿真实验指导 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 京东年货节，领红包！更优惠！
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1362阅读
    • 0回复

    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6589
    光币
    27094
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 =PFR{=F  
    s'aV qB  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 '*N9"C  
    mDF"&.(j  
    (ND5CKCR^  
     Zp(=[n5  
    建模任务 ke9QT#~p!-  
    Go\} A:|s  
    Vv yrty  
    概述 V(2j*2R!  
    -e{)v'C)  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 S}w.#tyEn  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ..]*Ao2  
    VqClM  
     rI<nUy P?  
    5&<d2EG6l'  
    光线追迹仿真 Dpdn%8+Z  
    i,'Ka[6   
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 O[(?.9  
    •单击go！ g>!:U6K  
    •获得了3D光线追迹结果。 EO].qN-8  
    d2A wvP  
     t8A kdSU0  
    %R5Com  
    光线追迹仿真 VqD[G<|9T  
    pG!(6V-x<E  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 &gA6+b'  
    •单击go！ -OrY{^F  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 vr{'FMc  
    N4a`8dS|  
     \m=-8KpU  
    vQK n=  
    场追迹仿真 BEXQTM3])I  
    #ox9&  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 [;?"R-V"z  
    •单击go！ msc 1^2  
    C{UF~  
    ,pyQP^u-  
     1m>^{u  
    场追迹仿真（相机探测器） W&+y(Z-t  
    <H5n>3#pH  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 g>~cs_N@  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 k-WHHoU>o  
    mW~i c  
     h_&4p= SQ  
    Pqy-gWOv  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Yzj%{fkh  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ;RWW+x8IB  
    xdd:yrC   
    9W1;Kb|Z<  
     x7 "z(rKl  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 8^/+wa+G  
     y#S1c)vU  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 |H ^w>mk  
    F+ffl^BQ  
     t a&Q4v&-  
    9?uqQ  
    文件信息 ==]Z \jk  
    'FShNY5  
     ?SC3Vzr  
    ow2M,KU6Z  
    更多阅读 2?GXkPF2;A  
    O6yP qG*j  
    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer Ln ~4mN^  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     .aNO( /kO  
    .Qd}.EG  
     7{n\y l?  
    QQ：2987619807 OuB2 x=B  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表