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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 \o[][R#D  
    )&O2l  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 `(HD'fud3  
    : b`N(]  
    nu\AEFT  
     <CuUwv 'A  
    建模任务 ,VVA^'+  
    C+**!uYIB  
    *MmH{!=  
    概述 (y]Z*p:EW  
    Kc\8GkdB  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 l3Zi]`@r  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 fPD.np}  
    X,w X)9]J  
     W_M#Gi/ AL  
    0V3dc+t)O  
    光线追迹仿真 aH. "| *.  
    9 ~W]D!m,  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ^ l#6Es  
    •单击go！ 4:rwzRDY  
    •获得了3D光线追迹结果。 oH=?1~ e  
    L-`V^{R]  
     sA?8i:]O:  
    j r) M],  
    光线追迹仿真 C1NU6iV^z  
    QtnNc!,n  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 'EIe5O p  
    •单击go！ '/xynk%)xw  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 F62 uDyY  
    Ni>Ns=n  
     nRBS&&V  
    OS#aYER~/  
    场追迹仿真 %}TJr]'F  
    a^l)vh{+  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 FcM)v"bF&]  
    •单击go！ =i  vlS  
    (NFrZ0  
    ;av!fK  
     F3(Sb M-  
    场追迹仿真（相机探测器） &fB=&jc*j  
    `C: 7 N=9  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 YtvDayR>  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 7<WUj K|  
    8:& ! F`o  
     $CMye; yL  
    ;7s^slVzF  
    场追迹仿真（电磁场探测器） c #{|sR5  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Ac U@H0  
    ZS+m}.,whQ  
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     %"r9;^bj&<  
    场追迹仿真（电磁场探测器） -crMO57/  
     v`K%dBa  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 {g nl6+j  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer "=DQ {(L  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     S6M7^_B4F  
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    QQ：2987619807 :"# "{P  
     
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