切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1436阅读
    • 0回复

    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6794
    光币
    28119
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 W RBCNra  
    nQtp4  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 M_OvIU(E  
    3Uy48ue  
    @L9C_a  
     +nz6+{li\  
    建模任务 f"{|c@%  
    JNJ96wnX1  
    K1gZ>FEY|N  
    概述 8JFns-5  
    A"V($:>U  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 "CX@a"  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 InAx;2'A:  
    _s1pif  
     :rBPgrt  
    m\0Xh*  
    光线追迹仿真 5}+&Em":  
    Cwh*AKq(  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 :j)v=qul  
    •单击go！ KkIgyLM  
    •获得了3D光线追迹结果。 =(3Yj[>st  
    H,{WrWA  
     xa=Lu?t%<  
    JZo18^aD"'  
    光线追迹仿真  v<_wf  
    G0izZWc  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ev{;}2~V  
    •单击go！ 4eRV?tE9  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 a(eKb2CX  
    .:b&$~<  
     ;!C~_{/t  
    O-=~Bn _  
    场追迹仿真 Nueb xd  
    }MiEbLduN  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 GBvgVX<  
    •单击go！ l9P=1TL  
    4#D<#!]^  
    sU=7)*$  
     DD?zbN0X  
    场追迹仿真（相机探测器） e!B>M{  
    8E+]yB"  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 nj (\+l5  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ,u<oAI`  
    2LTMt?  
     .,9e~6}  
    0D s W1  
    场追迹仿真（电磁场探测器） =-m"y~{>3  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 S=@bb$4-T  
    yU{Q`6u T  
    gic!yhsS_  
     XH`W(  
    场追迹仿真（电磁场探测器） [Nw%fuB  
     6/=0RTd  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ,8`CsY^1  
    &<>NP?j}  
     }|j \QjH  
    0^m`jD  
    文件信息 ? koIZ  
    6]^~yby P  
     z#|tcHVFT  
    I)AbH<G{  
    更多阅读 K-2oSS56  
    b3M`vJ+{  
    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer }HKt{k&$  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     QE Q/  
    unB`n'L  
     sq45fRAi  
    QQ：2987619807  %ZR<z$  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表