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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 -{J0~1'#-  
    W"pHR sf  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 %K8YZc(&  
    T-GvPl9ZJw  
    2 M\7j  
     $;} @2U   
    建模任务 AS:k&t  
    |+JO]J#bc  
    J7oj@Or9  
    概述 92R,o'#  
    C+ Y;D:  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 4 #KC\C  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 uOKD#   
    ^&y*=6C  
     uHbbPtk  
    $FIJI^Kd7  
    光线追迹仿真 TOgH~R=  
    ]TUoXU2<x  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 3D5adI<aq"  
    •单击go！ N%q{CYF6  
    •获得了3D光线追迹结果。 tn _\E/Q  
    =B'Yx  
     Q%!xw(  
    s!yD%zO  
    光线追迹仿真  5T9[a  
    `mYp?N jR_  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 @"98u$5  
    •单击go！ $Jn.rX0}$  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 sAs`O@  
    <nV3`L&]  
     mI:D  
    =>Z4vWX*  
    场追迹仿真 ){u# (sW  
    FEopNDy@y  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 f*hnzj  
    •单击go！ l ObY  
    cFJZ|Ld  
    =z<sx2#*  
     #a9R3-aP  
    场追迹仿真（相机探测器） eYjF"Aq  
    RLLL=?W@  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 (r'NB  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 $Op:-aW&  
    -cZuP7oA  
     7~P!Z=m^^f  
    [!} uj`e  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ; +Ie<oW  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 &?y|Pn  
    =M4wP3V/  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） j *N^.2  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ;D4 bxz0ou  
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    更多阅读 &mA{_|>  
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    QQ：2987619807 t +CU  
     
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