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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 8>E_bxC  
    an4^(SY  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 JYY:~2  
    pzo9?/-  
    ];-DqK'  
     Y: ~A-_  
    建模任务 o)X(;o  
    D^?jLfW8  
    hnQDm$k  
    概述 J3]W2m2Zw  
    6I$laHx?  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 +h64idM{U  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 V)$y  
    _f~(g1sE  
     $`2rtF  
    +<G |Ru-  
    光线追迹仿真 -+'fn$  
    19Cs 3B\4  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 @R5jUPUVV  
    •单击go！ Bf72 .gx{0  
    •获得了3D光线追迹结果。 pJ` M5pF  
    'IorjR@ 40  
     hi{#HXa  
    yGNZw7^(  
    光线追迹仿真 K3jPTAw=#  
    Ub0hISA  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 iqzl(9o.D  
    •单击go！ jWn!96NhlL  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 4%8}vCs  
    U4DQ+g(A  
     bIFKP  
    TZ`@pDi  
    场追迹仿真 nkKiYr  
    p2c4 <f-M  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 *%G$[=  
    •单击go！ Lx{bR=  
    2Xu?/yd  
    yI&{8DCCw  
     |-WoR u  
    场追迹仿真（相机探测器） ]L'FYOfrpx  
    dQoZh E  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 -S7PnR6  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 -=W"  
    59?@55  
     HT]v S}s  
    f8ap+][  
    场追迹仿真（电磁场探测器） \JJ>y  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 b-/ztZ@u  
    =j)y.x(  
    -mSiZ  
     rAc Yt9M#  
    场追迹仿真（电磁场探测器） _eB?G  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 OH.Re6Rr  
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