切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 1143阅读
    • 0回复

    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线infotek
     
    发帖
    5983
    光币
    24068
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 5HL>2 e[  
    9S'\&mRl  
    高数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 CnY dj~  
    6OPNP0@r  
    Kb5}M/8  
    Y%]g,mG  
    建模任务 c(?OE' "Z  
    UQ^ )t ]  
    p"cY/2w:j  
    概述 V)`Q0}  
    \[+':o`LH  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 G8^b9xoA+.  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 :t+Lu H g  
    )0;O<G] d  
    FEa%wS{  
    lu1T+@t  
    光线追迹仿真 .&^M Z8  
    _A]~`/0;`  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 =5%}CbUU)4  
    •单击go! /~<Przw  
    •获得了3D光线追迹结果。 "6?Y$y/wm  
    nu|odP  
    Xa>c ]j  
    ?f:\&+.&  
    光线追迹仿真 4HXNu,T'  
    &.0wPyw  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 kwt;pxp i  
    •单击go! CFY4PuI"!  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 cetlr  
    J/vcP  
    j z&=8  
    63i&e/pv  
    场追迹仿真 u`*$EP-%  
    z5[Qh<M  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 FEA/}*2F  
    •单击go! e7U9"pk  
    #: ,X^"w3  
    ,(#n8|q4  
    (jE[W:  
    场追迹仿真(相机探测器) xU9^8,6  
    T5 BoOVgO  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 xoE,3Sn  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 +n8,=}  
    LA837%)  
    90$`AMR  
    9>5]y}.{  
    场追迹仿真(电磁场探测器) GlXzH1wZ  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 FC8= ru  
    rk?G[C)2c  
    R&}{_1dj8  
    n 8e}8.Bu  
    场追迹仿真(电磁场探测器) umiD2BRZ  
    |:`gjl_Nf  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 RveMz$Yy  
    jZ69sDhE  
    9n".Q-V;k  
    s8kkf5bu  
    文件信息 H*dQT y,  
    'P-FeN^  
    HmEU;UbO-  
    ( e(<4-&  
    更多阅读 IAn/?3a~  
    K<Y-/t  
    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer af7\2 g3*  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination
    ;,LlOR  
    gCS%J40r  
    tZY(r {  
    QQ:2987619807 PR1%  
     
    分享到