切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1482阅读
    • 0回复

    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6922
    光币
    28760
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 @!=\R^#p  
    #PLEPB  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 nHFrG =o,  
    {xcZ*m!B  
    ]pA(K?Lbg  
     }SyxPXs  
    建模任务 Die-@z|Y  
    ^:, l\Y  
    kW3E =pr  
    概述  2B~wHv  
    Lr;(xw\['  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 =64r:E  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。  84zTCX  
    0:Xxl76v4  
     B=L&bx  
    Q }k.JS~#  
    光线追迹仿真 =Yo1v=wxN  
    =iB,["s  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 YO)$M-]>%J  
    •单击go！ ".*x!l0y7  
    •获得了3D光线追迹结果。 PrQ?PvA<L  
    G%p~m%zIK  
     [t\B6XxT  
    ge3sU5iZ  
    光线追迹仿真 8cx=#Me  
    fpyz'   
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Cm$1$?J  
    •单击go！ f},oj4P\  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 0X2@CPIFf  
    Q~D`cc|]  
     jo +w>  
    ]Hj<IvG  
    场追迹仿真 TjK{9A  
    3q[WHwmm  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 - "*r  
    •单击go！ NIr@R7MKd  
    Z!xVgM{  
    v;#=e$%}MO  
     `?\tUO2_T  
    场追迹仿真（相机探测器） Nb2Qp K  
    ExSe=4q#  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 m%+IPZ2m  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 PALl sGlf  
    kyh_9K1  
     nq} Q  
    EY`H}S!xy  
    场追迹仿真（电磁场探测器） /e\{    
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 5pNY)>]t=  
    O[17";P  
    ~d{.ng 4K  
     (fD ;g9  
    场追迹仿真（电磁场探测器） d &cU*  
     ,[p T4G  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 $h9='0Wi0'  
    qJ!Z~-hS  
     hli|B+:m"  
    @Fv=u  
    文件信息 k?BJdg)xJ  
    WE}kTq  
     sH,kW|D  
    ;wiao(t>4N  
    更多阅读 7x]4`#u  
    o{v&.z  
    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer :vx$vZb  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     z@s5m}  
    >>l`,+y  
     eC DIwB28  
    QQ：2987619807 :_<_[Y]1  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表