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摘要 / Xq |S O mGDy3R90 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 &q&~&j'[
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I6 建模任务 l{*m-u 5&; a ~YrQI- @  |$;4/cKfy 概述 .sc8 0i4 &.(iS •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 a"i(.(9$J •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 RH{+8?0 dt@~8kS
 !?R#e`} k.7!)jL7 光线追迹仿真 ?2_h. ySI}Nm>&= •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 <)pPq+ •单击go！
:f:&B8 •获得了3D光线追迹结果。 H E{UgU:tY rizjH+
 yZ!~m3Q _k : BY 光线追迹仿真 2
FoLJ l-cBN^^ •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 giH# t< )W •单击go！ %y\5L#T!> •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 AFM+`{Cq $tF\7.e@
 !4!qHJISa b)x0;8< 场追迹仿真 *|j4>W\J k]C k%[d •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 RT3(u twO •单击go！ qO38vY){ 1JU j e  oOc-1C
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3Z`"k2k 场追迹仿真（相机探测器） S(U9Dlyarg j'Jb+@W? •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 YD@Z}NE
v" •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 WVs j ~NPhVlT
 CJh,-w{wJ" }ng?Ar [ 场追迹仿真（电磁场探测器） `#w#!@s#@ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 pEz^z9 [E%g3>/mt  VwR ZgL
&SPY'GQ! 场追迹仿真（电磁场探测器） glc<(V
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