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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 >^  E  
    d/Z258  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 %Ny`d49&  
    qhPvU( ,  
    9_6.%qj&  
     S4jt*]w5b  
    建模任务 0F\ e*{gc  
    *FwHZZ~U  
    3>`CZ]ip}  
    概述 AxN.k  
    ,a$ ?KX  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 4rh*&'  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 _uR-Z_z  
    'Gw;@[  
     BE;J/  
    g]z[!&%Ahs  
    光线追迹仿真 `xhiG9mz~  
    >}43xIRRCq  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 tkG0xRH  
    •单击go！ B~_='0Gm[  
    •获得了3D光线追迹结果。 ::xH C4tw  
    2ja@NT  
     u7e g:0Y  
    NdS6j'%B@7  
    光线追迹仿真 Y!kz0([  
    Q/%(&4>'y  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 s{-`y`JP  
    •单击go！ l#FW#`f  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 7I6bZ;}d  
    Vs1j9P|G  
     #L{+V?  
    !*0\Yi,6  
    场追迹仿真 Y=oj0(Q*  
    Sv7_-#SW<(  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 x*~a{M,h  
    •单击go！ 1GnT^u y/  
    m\h/D7zg  
    *ay>MlcV2=  
     )U`"3R  
    场追迹仿真（相机探测器） >+[uV ^2[  
    Ty"OJ  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 !9!kb  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Y2 &N#~l*  
    K)Nbl^6x  
     qzVmsxBNP  
    CjzfU*G  
    场追迹仿真（电磁场探测器） oh '\,zpL  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Tr1#=&N0  
    \8uPHf_  
    :<OInKE>Cx  
     zX-6]j;  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Phsdn`,  
     SWjOJjn  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 !A"`jc~x:  
    ^@ GE1  
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    更多阅读 [_jTy;E  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer BJ3st  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     "`DCXn#mB  
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    QQ：2987619807 ex8mA6g  
     
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