切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1542阅读
    • 0回复

    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    在线infotek
    科学家
     
    发帖
    7040
    光币
    29345
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 .@V>p6MV  
    _%B`Y ?I`  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 [t'"4  
    ]42 l:at  
    s,x]zG"  
     2T9Z{v  
    建模任务 1L7,x @w  
    eo[^ij  
    w (1a{m?ht  
    概述 O/nS,Ux  
    ^e ii 4  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 DAi[3`C  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 x ,W+:l9~s  
    f6)H!SI  
     r MlNp?{_  
    7(Kc9sJC%%  
    光线追迹仿真 WTx;,TNG  
    1\uS~RR  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ,?+yu6eLb  
    •单击go！ =UY@,*q:c  
    •获得了3D光线追迹结果。 dGe  
    ;U&VPIX$  
     X*Zv,Wm  
    +L6d$+  
    光线追迹仿真 AP%h!b5v  
    ;Lu|fQ#u*  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 \ :.p8`  
    •单击go！ b8&9pLl  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 /Y:Zqk3  
    p20Nk$.  
     |1o]d$3m  
    4tjRju?  
    场追迹仿真 m`~ Qr~  
    mf#oa~_  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 rH,N.H#]  
    •单击go！ ~WSC6Bh@9  
    cf9y0  
    _[W=1bGJ  
     Wj&s5;2a  
    场追迹仿真（相机探测器） .PgkHb=l@  
    K9R[ oB]b  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 >\ W" 3.  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 & BkNkb0  
    xlAaIo)T  
     5> UgBA  
    #~b9H05D  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ) =[Tgh  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 S(pfd2^  
    y06 2/$*$  
    C;` fOCz^  
     M%/D:0  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ^^m%[$nw&r  
     DWAU8>c+  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 6x0>E^~  
    j^gF~ Wz^  
     _~!,x.Dbp  
    ?k#% AM  
    文件信息 J0IK =Y  
    hY!G>d{J  
     LBg#KQ @  
    zv41Yv!x}  
    更多阅读 $a G'.0HW  
    WKG=d]5  
    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer ,3wo  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     f] Vz!hM~  
    wP%;9y2B  
     z,)Fvs4U.  
    QQ：2987619807 HwHI$IB  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表