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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 rT7^-B*  
    1dG06<!  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 aXR%;]<Dw  
    VOgi7\  
    w:ULi3  
     O!R"v'  
    建模任务 oXYMoi  
    m J  
    <' m6^]:  
    概述 .p@N:)W6  
    3<(q }  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ;j} yB  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 VcgBLkIF  
    zCe/Kukvy  
     }E&NPp>  
    ^Udv]Wh  
    光线追迹仿真 JWHS nu!  
    :pC;`iQ  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Vb4;-?s_  
    •单击go！ h/ep`-YaH  
    •获得了3D光线追迹结果。 .YcN S%  
    M'5 'O;kn  
     mh` |=M]8E  
    {]/8skov5]  
    光线追迹仿真 yfe'>]7  
    ,E*R,'w   
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 1Ix3i9  
    •单击go！ : d' 5O8  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 5vOCCW  
    <[Oo*:A!7  
     u?0d[mC  
     v[,Src  
    场追迹仿真 wyY*:{lZ  
    i@$*Csj\9*  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 \U@3`  
    •单击go！ %u!XzdG  
    r/r:oXK  
    0!#; j{JQ  
     !{%G0(Dv  
    场追迹仿真（相机探测器） 4<v;1   
    ijYvqZ_  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 vq6%Ey3Gix  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 1:NS}r+>3.  
    shFc[A,r}  
     `/:cfP\  
    D3]BTkMMS;  
    场追迹仿真（电磁场探测器） &O1v,$}'  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 2@i;_3sv  
    +x1/-J8_sg  
    q)I|2~Q c^  
     eBcJm  
    场追迹仿真（电磁场探测器） w]!0<  
     ]((i?{jb(  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 $@uU@fLB  
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    文件信息 bhg}-dto  
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