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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 =b,$jCv<,5  
    ? $pGG  
    高数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 xpFu$2T6P.  
    c R$2`:e  
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    {^9,Dy_D  
    建模任务 KBzEEvx/$  
    yqlkf$?  
    e@p` -;<  
    概述 ?`\<t$M  
    +Qu~UK\   
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 B/E1nBobC  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 N&S :=x:$S  
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    D.qbzJz  
    S~YrXQ{_>-  
    光线追迹仿真  ceVej'  
    &Z=}H0y q  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 :@_CQc*yB  
    •单击go! ]ZO^@sH  
    •获得了3D光线追迹结果。 I=f1kr pR  
    C_O 7  
    lqqY5l6j  
    BEPDyy  
    光线追迹仿真 A &w)@DOe  
    :Iwe>;}  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ]|Vm!Q  
    •单击go! sPkT>q  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 Yl8tjq}iC  
    wi*Ke2YKP  
    `Up<;  
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    场追迹仿真 k>VP<Zm13  
    Gpe h#Q4x  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 X@x: F|/P  
    •单击go! AP3SOT3I  
    3m7$$ N|  
    }}t"^ms  
    .j7|;Ag  
    场追迹仿真(相机探测器) uT]_pKm  
    56?U4wj7{  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 b)@D*plS&  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 {!^HG+  
    * I'O_D  
    ~ D3'-,n[  
    Wf: AMxDm  
    场追迹仿真(电磁场探测器) MB^ b)\X  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 =5dv38  
    * +A!12s@  
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    场追迹仿真(电磁场探测器) n6Q 3X  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Bu!Gy8\  
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    QQ:2987619807 5^* d4[&+  
     
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