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摘要 Axj<e!{D n$#^gzU4 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ``aoLQc`
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mc!3FJ 建模任务 i,;Q Cv;z^8PZJz  Z PZ1
7- 概述 "=4=Q\0PT ^Ud`2 OW;2 •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 8ne 5 B4 •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 @OwU[\6fc} Rg0\Ng4|G
 r)U9u 0 ag|d_; 光线追迹仿真 ->8n.!F} 1(On.Y= •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 6JK;]Ah •单击go！ aL#b8dCy' •获得了3D光线追迹结果。 r10)1`[ G@,qO#5&
 pjjs'A*y hDmVv;M: 光线追迹仿真 aASnk2DFd Y`lC4 * g •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Hb!Q}V+Kb8 •单击go！ $5il]D` •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 "* 'r zd H(?z?2b p
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p|A g K#a C [ 场追迹仿真 )o9CFhFB ~j F5%Gu •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 DrMc E31 •单击go！ T3M 4r| @jwUH8g1  2Ybz`O!
8)R )h/E> 场追迹仿真（相机探测器） @["Vzg!I6" 5%tIAbGW •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 :hxfd b- •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。
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 .lTGFeJqZ4 ?P"ht 场追迹仿真（电磁场探测器） y1 k ""75 •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 WGp81DNS| VZ_ 4B *D  Y*J`W f(w
$9Z8P_^.0( 场追迹仿真（电磁场探测器） ]Iy C
FA4bv9:hi •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 <7^_M*F9 173/A=]
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