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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 y:6&P6`dx  
    3l?D%E]P  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 iGG;  
    cVHv>nd#  
    YzTmXwuA5  
     GfEg][f  
    建模任务 ';g]!XsY)  
    35}{dr  
    mez )G|  
    概述 RQzcsO  
    n9.` 5BH7/  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 b2x8t7%O  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 7_,)"J2^  
    Ok7i^-85  
     >Ux5UD  
    t@K N+ C  
    光线追迹仿真 _wa1R+`_  
    y/!h.[  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 %O$4da"y  
    •单击go！ !}u'%  
    •获得了3D光线追迹结果。 oz!;sj{,D  
    $S~e"ca1  
     m2!y;)F0  
    5ZG-3qj  
    光线追迹仿真 ,j{$SuZ M  
    m"MTw@}SJ;  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 D8u_Z<6IjI  
    •单击go！ _x<CTFTL  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Hu"?wZj  
    X{SD3j=G#  
     AL #w  
    8$ SA"c)  
    场追迹仿真 P4vW.|@  
    /IDfGAE  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 J%ym1A9  
    •单击go！ k_)H$*  
    ]YF[W`2h  
    VGLE5lP X  
     '%&i#Eb  
    场追迹仿真（相机探测器） O=wA/T=w?  
    mT8")J|2  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 %T3L-{s5  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Do3;-yp>`  
    QO;W}c:N  
     A;~u"g'z&  
    )*[3Imq/  
    场追迹仿真（电磁场探测器） @pueM+(L&  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 pgg4<j_mn  
    nK*$P +[R  
    v#EXlpS  
     vO#4$ ,  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 5Qb%g )jZ  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 I2JE@?  
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    更多阅读 bqmOfGM  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer :( A5 ,$  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     I~lX53D  
    ndRy&[f7  
     $Bd{Y"P@6  
    QQ：2987619807 0w?\KHT  
     
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