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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 2o W'B^-  
    zhyf}Ta'  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 P;|63" U  
    blaXAqe  
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     7&L8zl|K  
    建模任务 ?;w\CS^Qu  
    Dr}elR>~G=  
    @]EdUzzKq  
    概述 -:b<~S[  
    N;=J)b|9  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 x'%vL",%  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 : >$v@d  
    /~?[70B}E  
     |;U3pq)  
    +hH7|:JQ  
    光线追迹仿真 V {}TG]  
    RGY#0.Z}  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 a"k,x-EL(  
    •单击go！ *_a jb:  
    •获得了3D光线追迹结果。 ma`sv<f4-!  
    7EL0!:Pp3  
     CdtwR0  
    ye| 2gH  
    光线追迹仿真 Y&i&H=U  
    Cth<xn(Q  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 }UG<_ bE|  
    •单击go！ fRzJiM{  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 s:tWEgZk?  
    vgr 5j  
     u(`7F(R  
    eYv+tjIF  
    场追迹仿真 %r:4'$E7|  
    =[gFaB_H  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 UK[+I]I p  
    •单击go！ +]Z *_?j9{  
    eNm Wul  
    gM6o~ E  
     %XXjQ5p  
    场追迹仿真（相机探测器） |%(qaPA1  
    Ti#x62X{  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 !VvM  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 dmMrZ1u2  
    s-l3_210  
     F@ZB6~T~.  
    _Vr}ipx-k  
    场追迹仿真（电磁场探测器） OoZv\"}!_  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ^j?"0|  
    }</"~Kw!  
    %V-Hy;V  
     #Jfmt~ks '  
    场追迹仿真（电磁场探测器） sWP_fb1  
     ORfMp'uP=  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 YD5mJ[1t"2  
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    文件信息 yJ8_<A  
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    更多阅读 3 gW+|3E  
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    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     BR~+CBH  
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     ~A*$+c(  
    QQ：2987619807 OX.g~M ig|  
     
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