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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 mnw(x#%P  
    e&K7n@  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 h\5~&}Hp  
    [.$/o}  
    nITkgN:s  
     h A '>  
    建模任务 I]cZcx,<q  
    IR&b2FTcU  
    Dc 84^>l  
    概述 =B`=f,,#3  
    :bCswgd[  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 FTzc,6  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 K;`W4:,  
    2_Zn?#G8dl  
     Zrew}0  
    Zeq^dV5y77  
    光线追迹仿真 %WqUZ+yy  
    Fr<tk^~/  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Xi~I<&  
    •单击go！ #%/Jr 52<  
    •获得了3D光线追迹结果。 zFY$^Oz"_  
    i&<@}:,  
     LaL{ ^wP  
    '#yIcV$  
    光线追迹仿真 f1B t6|W%  
    B->oTC`5  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 {@'#|]4y.  
    •单击go！ YpG6p0 nd  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 c0_512  
    [Kb)Q{=)  
     Ax9A-|  
    ?\<Kb|Q  
    场追迹仿真 9U@>&3[v  
    Y~I0\8s-  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 j#l1KO^y  
    •单击go！ Gsy90  
    YWDd[\4  
    l {\k\Q!4  
     [t*-s1cq  
    场追迹仿真（相机探测器） $_|jI ^  
    `:dGPB BO  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 bkm: #K  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 |T*t3}  
    MB6lKLy6~  
     v5FfxDvw  
    UY)Iu|~0b  
    场追迹仿真（电磁场探测器） J6nH|s8  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 m$g{&  
    Zlv`yC*r  
    5X9*K  
     mhNgXp)_56  
    场追迹仿真（电磁场探测器） j,1cb,}=^  
     Vp8!-[R  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 /g!X[rn7Q  
    d:h X3  
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    文件信息 D&6.> wt .  
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     99[v/L>F  
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    更多阅读 %.:]4jhk  
    |jKFk.M  
    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer vtq47i  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     //#]CsFiP  
    ?~;q r  
     \~T&C5  
    QQ：2987619807 8>:u%+ C1c  
     
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