-
UID:317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2025-10-15
- 在线时间1874小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
摘要 / Xq|SO mGDy3R90 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 &q&~&j'[ q*Oj5;
cTW$;Fpc+ {qGXv@
I6 建模任务 l{*m-u 5&; a ~YrQI-@ |$;4/cKfy 概述 .sc80i4 &.(iS •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 a"i(.(9$J •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 RH{+8?0 dt@~8kS
!?R#e`} k.7!)jL7 光线追迹仿真 ?2_h. ySI}Nm>&= •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 <)pPq+ •单击go!
:f:&B8 •获得了3D光线追迹结果。 HE{UgU:tY rizjH+
yZ!~m3Q _k :BY 光线追迹仿真 2
FoLJ l-cBN^^ •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 giH#t< )W •单击go! %y\5L#T!> •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 AFM+`{Cq $tF\7.e@
!4!qHJISa b)x0;8< 场追迹仿真 *|j4>W\J k]C k%[d •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 RT3(utwO •单击go! qO38vY){ 1JUj e oOc-1C
y
3Z`"k2k 场追迹仿真(相机探测器) S(U9Dlyarg j'Jb+@W? •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 YD@Z}NE
v" •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 WVsj ~NPhVlT
CJh,-w{wJ" }ng?Ar[ 场追迹仿真(电磁场探测器) `#w#!@s#@ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 pEz^z9 [E%g3>/mt VwRZgL &SPY'GQ! 场追迹仿真(电磁场探测器) glc<(V 1_Ks*7vuq •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 TDbSK&w :s q5S_B]|
<wb6)U. 6$:Q]zR#'H 文件信息 (]\p'%A) "f<gZsb
>&:}L% ,C"6@/:l 更多阅读 x:4R?!M. }apno|W& -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer Q\}-MiI/ -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination [&4+
<Nl' [0105l5 i].E1},% QQ:2987619807 V_, `?>O
|