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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 Dk>6PBl  
    :o .+<_ &  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 #\ `kg#&  
    A*wf: mW0c  
    GGhk~H4OP  
     "TJ*mN.i{}  
    建模任务 g&85L$   
    A=5Ebu!z  
    ,oh;(|=  
    概述 8I *N  
    $xbW*w  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Z.u 1Dz  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 #CaPj:>[  
    IhBc/.&RL  
     Ei):\,Nv  
    9O:l0 l  
    光线追迹仿真 2jC`'8  
    ~r!(V;k{  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 mHHlm<?]  
    •单击go！ q :TNf\/o  
    •获得了3D光线追迹结果。 *; ]}`r  
    L/r_MtN  
     fO&`A:JY  
    DrkTM<  
    光线追迹仿真 BhzDV  
    *$W&jfW  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 kI)}7e  
    •单击go！ eF22 ~P  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 nAEyL+6U  
    cO*g4VL"[  
     sqtz^K ROM  
    w|-3X  
    场追迹仿真 &.\7='$F  
    +IWH7qRtp  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 %z-*C'j5H  
    •单击go！ )/%5f{+}  
    NeG` D'  
    ;6Yg}L  
     xF8n=Lc  
    场追迹仿真（相机探测器） P .m@|w&.K  
    ~}}<+JEEO  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ^]nLE]M  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Rbf6/C  
    #%\0][Xf  
     5 tQz!M  
    mGj)Zrx>  
    场追迹仿真（电磁场探测器） #mw !_]  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 p@su:B2Rl  
    pWGR #x'  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） gCb+hQq\  
     5'I+%66?h$  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Oh*~+/u}q  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer M?eP1v:<+G  
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    QQ：2987619807 WMf / S"=  
     
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