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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 1Z/(G1  
    hE'-is@7  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 i(rL|d+'  
    <Uk}o8E  
    ehGLk7@7&  
     c)6m$5]  
    建模任务 Gt8M&S-;  
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    jh?H.;**  
    概述 D# 9m\o_  
    -lr vKrt7  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 z}77Eh<  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 0I-9nuw,^;  
    niMsQ  
     + B,}Qr  
    60^`JVGWH  
    光线追迹仿真 6fE7W>la  
     sg^zH8,3  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 6IN e@  
    •单击go！ fh&nu"&  
    •获得了3D光线追迹结果。 \}yc`7T:L0  
    '|6]_   
     >mbHy<<  
    jKz$@gP  
    光线追迹仿真 wyH[x!QX  
    ih-#5M@  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 m+`cS=-.  
    •单击go！ F>SRs=_  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 { T/[cu<  
    OR P\b  
     nmee 'oEw  
    x /(^7#u,  
    场追迹仿真 Y,qI@n<  
    np|Sy;:  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 yt+L0wzzB  
    •单击go！ r5S[-`s;  
    ^)/0yB  
    >>4qJ%bL  
     0Uz"^xO["  
    场追迹仿真（相机探测器） d(ZO6Nr Q  
    :^lI`9'*R  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 etQCzYIhn  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 B9_ X;c  
    i'<[DjMDlm  
     dM.f]-g  
    A7 {\</Z  
    场追迹仿真（电磁场探测器） R3f89  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 B&M%I:i  
    Qab>|eSm  
    \k7"=yx  
     ,C\i^>=  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ^cC,.Fdw  
     @-07F,'W,  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 nQZx= JK  
    1/B>XkCJ  
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    文件信息 AG nxYV"p  
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    更多阅读 3Y4?CM&0v  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer r.=K~A  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     @}u*|P*  
    D(op)]8  
     x3=A:}t8  
    QQ：2987619807 Ys9[5@7  
     
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