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摘要 ;D$)P7k6 <vwk jCA` 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 wg w(YU
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2+X\}s1vN 建模任务 MR}Agu#LG FHV-BuH5  P
3'O/! 概述 3d|9t9 v h9 eMcCU •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 4rrSb* •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 '} $Dgp6e 4^URX >nx8
 r\/+Oa' 50= {%R 光线追迹仿真 ttu&@
= ^_ m9KA •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 \eFR(gO+ •单击go！ @9"J|} •获得了3D光线追迹结果。 ~
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 =kuMWaD )P+7PhE{J 光线追迹仿真 8-O)Xx}cU 4]E3c AJ •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 cb}[S:&| •单击go！ _F`lq_C •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 rvw)-=qR[ Gh}*q|Lz
 !@v7Zu43, |vw"[7_aS 场追迹仿真 Bs?^2T~%{ 4F{70"a •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ^ (F dXGs[ •单击go！
)KAEt.
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LSRk7'0 场追迹仿真（相机探测器） * Em,*! *I0 T{~ •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Ct>GYk$ •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 % oo2 /aF OtNd,U.dE
 _D+J!f^ ;&)-;l7M 场追迹仿真（电磁场探测器） @!1x7%]G •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 J7g8D{ 4 sL$:"=  _/tHD]um
aSnF KB 场追迹仿真（电磁场探测器） i ,/0/?)*_
B]l)++~ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 HK Un`ng sdo [D
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