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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 6XyhOs%/  
    *nUD6(@g  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ql, k5.l  
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    N)Fy#6  
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    建模任务 -r%4,4  
    A:$Qt%c  
    .&O}/B  
    概述 2QwdDKMS_  
     JvFd2@  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 9\9:)q  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 dh r)ra]  
    B"rV-,n{  
     G gmv(!  
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    光线追迹仿真 0k"n;:KM8  
    &2-dZK  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 7x8/Vz@\  
    •单击go！ _U}pdzX?  
    •获得了3D光线追迹结果。 G'b*.\=  
    ,CiN@T \&  
     $10"lM[  
    (]* Ro 8  
    光线追迹仿真 ``*iK  
    0mcZe5RS  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 \.c   
    •单击go！ =7{n 2  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 A1Tk6i<F1  
    y;zp*(}f$h  
     zu8   
    cMxuG'{=.  
    场追迹仿真 ;Fw{p{7<  
    c*o05pMS  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ;a@%FWc  
    •单击go！ T,z 7U2O  
    AE`z~L,  
    , y%!s27  
     _a?c,<A  
    场追迹仿真（相机探测器）  )l 0\TF  
    Ql`N)!  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ~>8yJLZ.7  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 +OSF0#bj  
    \F`%vZrKR  
     ;+:C  
    sfb)iH|sW  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Zb> UY8  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 4%k{vo5i  
    )1#J4  
    tf1iRXf8  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） v6uXik  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 u!$+1fI>  
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