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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 49/1#^T"Q>  
    g\rujxHlH  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Y +HVn0~qz  
    "N4c>2Q  
    8uyVx9C0  
     "9LPq  
    建模任务 & Radpb2p6  
    J#Bz )WmR  
    1?7QS\`)fB  
    概述 `'0opoQRe  
    f,t[`0 va  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Y8\Ms^rz  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 0AR4/5.  
    A javV  
     G`6U t  
    (>WV)  
    光线追迹仿真 vk{4:^6.TV  
    F b`V.  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 eZ}FKg%2[  
    •单击go！ {[r'+=}l\S  
    •获得了3D光线追迹结果。 "q#(}1Zd  
    iW* 0V3  
     C$ZY=UXz!T  
    8f8+3  
    光线追迹仿真 IEC:zmkn  
    (c(?s`;  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 xU@Z<d,k  
    •单击go！ JN|<R%hy  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 27u$VHwb  
    lD/+LyTa  
     #GWQ]r?  
    <9@VY  
    场追迹仿真 .rxc"fR4_  
    jLb3{}0  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 yMo@ka=v  
    •单击go！ fF-V=Zf5  
    )h+JX8K)l  
    n>#h(  
     ) }?dYk  
    场追迹仿真（相机探测器） SG43}  
    U$Ew,v<  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ^e&,<+qY  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 YRC`2)_'  
    &qe:|M  
     {/n$Y|TIQt  
    AiO,zjM=  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 9^c_^-8n<}  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 -09<; U  
    aQRZyE}  
    !knYD}Rxd  
     $f)Y !<bC  
    场追迹仿真（电磁场探测器） aP"i_!\.aa  
     ]0`[L<_r  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Z.h`yRhO  
    F$+_Z~yt3;  
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    文件信息 x6$P(eN  
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    更多阅读 Jwa2Y0  
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    QQ：2987619807 TcGxm7T  
     
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