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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 4/Vy@h"A3  
    Mohy;#8Wk  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 &.\|w  
    ,r,~1oV<"  
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     'm;M+:l 6  
    建模任务 owA0I'|V-A  
    a-`OE"  
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    概述 4E Hb  
    .?TPoqs7Z  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 .CrrjS w  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 2Qoj>Wy{  
    "! yKX(aTX  
     -V'`;zE6  
    A/ eZ!"Y  
    光线追迹仿真 i w,F)O  
    5X7kZ!r  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ^UF]%qqOn  
    •单击go！ M!=WBw8Y]a  
    •获得了3D光线追迹结果。 2C@hjw(  
    cU y,q]PO  
     Y:nF.An3  
    bw@Dc T&,  
    光线追迹仿真 JlR'w]d M,  
    L"i B'=  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 >.D0McQg  
    •单击go！ (1bz.N8z  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ZKG S?z  
    %j].' ;  
     pai>6p  
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    场追迹仿真 eQk ~YA]K  
    Y$^x.^dT,  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 K8dlECy  
    •单击go！ TA47lz q  
    qAH@)}  
    LE_1H >  
     hT&,5zaWdv  
    场追迹仿真（相机探测器） Mk=;UBb$X  
    mm3goIi; Y  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 i^{.Q-  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 1i}Rc:  
    _tfZg /+)  
     ^n@.  
    >4:W:;R  
    场追迹仿真（电磁场探测器） r)|X?   
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 p{j }%) 6n  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） 29"eu#-Qj  
     s,TKC67.%+  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 XA~Rn>7&H  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer \#5t%t  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     8<$6ufvOv  
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    QQ：2987619807 w,NK]<dU@  
     
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