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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 o= N=W  
    UPUO8W)<Z6  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 FZb\VUmnV  
    WE68a!6  
    CzST~*lH  
     RcMW%q$dG  
    建模任务 Z!7#"wO9+V  
    <~vamim#K  
    .6f %"E,  
    概述 )m \}ITf  
    X=mzo\Aos  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Y(W>([59  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 (/tbe@<  
    uFL~^vz  
     * t{A=Wk  
    `A$yF38!  
    光线追迹仿真 kbBX\*{yh  
    tDF6%RG  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 "JKrbgN@;L  
    •单击go！ ld$LG6[PA  
    •获得了3D光线追迹结果。 OGrp {s  
    ={YW*1Xw  
     R0, Q`  
    x]XhWScr '  
    光线追迹仿真 thl{IU  
    2< w/GX.  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 !7P 1%/  
    •单击go！ ]aXCi"fMs  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 U}_l]gNn  
    c+ Ejah+  
     xaAJ>0IM  
    MjQKcL4%7  
    场追迹仿真  #/MUiV  
    6rF[eb  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 >A7),6  
    •单击go！ 9{^:+r  
    (zCas}YAKI  
    W5<1@  
     n,bZj<3t  
    场追迹仿真（相机探测器） !!%vs 6  
    \[% [`m  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 6Z\[{S];  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ~^w;`~L  
    ]SFB_5Gb  
     %j^[%&pT  
    #3f\,4K5  
    场追迹仿真（电磁场探测器） =X2 Ieb  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 dNB56E)5`J  
    sX^m1v~N|  
    QA+qFP  
     w*eO9k  
    场追迹仿真（电磁场探测器） k?o(j/  
     g0 \c  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 XuVbi=pN.2  
    bT@3fuL4  
     EXK~Zf|&Z  
    Ha)eeE$  
    文件信息 aqK<}jy  
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     lGwX.cA!'  
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    更多阅读 LZqx6~]O  
    >t.2!Z_RQ  
    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer ]/XNfb  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     d/k&f5  
    Ie`kzssM  
     J0~Ha u  
    QQ：2987619807 '3 xvQFg  
     
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