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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 ,?I(/jI  
    &eU3(F`.  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 w\p9J0  
    W5 |j1He&  
    (N7O+3+G  
     5 1"8Py  
    建模任务 zqY)dk  
    Q]^Yi1PbS  
    !KAsvF,j  
    概述 3Mur*tj#  
    G#|Hu;C6"  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 RU7!U mf  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 J,9%%S8/C  
    vsc&Ju%k  
     moaodmt]x  
    ~+=E"9Oo  
    光线追迹仿真 *CzCUu:%t  
    tR5tPPw  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 /-><k,mL?  
    •单击go！ >r=6A   
    •获得了3D光线追迹结果。  J+lGh9G  
    z$66\/V']  
     w1c w1xX*  
    ldYeX+J _  
    光线追迹仿真 svqvG7  
    Nkx0CG*  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 I=o'+>az  
    •单击go！ s+'XQs^{aj  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ,&[7u9@  
    i_NJ -K  
     #%4=)M>^  
    ]H>+m 9  
    场追迹仿真 ![).zi+m  
    z|Ap\[GS  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 M}u1qXa  
    •单击go！ 95[wM6?J  
    VjY<\WqbS  
    8ZW?|-i  
     m9woredS,  
    场追迹仿真（相机探测器） GY9y9HNZ  
    GyuV %  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 GZ"&L?ti  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 b[yE~EQxr  
    'bC]M3P  
     s%^o*LQ|9  
    ^EuW( "  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 2uEhOi0I  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 gJKKR]4*  
    \q,s?`+B  
    i%MA"I\9  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） g}m+f] |  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Qm; BUG]  
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    文件信息 Mc:b U  
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    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     -%H%m`wD  
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