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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 /Xq|S O  
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    高数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 &q&~&j'[  
    q*Oj5;  
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    {qGXv@ I6  
    建模任务 l{*m-u5&;  
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    |$;4/cKfy  
    概述 .sc80i4  
     &.(iS  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 a"i(.(9$J  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 RH{+8?0  
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    光线追迹仿真 ?2_h.  
    ySI}Nm>&=  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 <)pPq+  
    •单击go! :f:&B8  
    •获得了3D光线追迹结果。 HE{UgU:tY  
    rizjH+  
    yZ!~m3Q  
    _k : BY  
    光线追迹仿真 2 FoLJ  
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    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 giH#t< )W  
    •单击go! %y\5L#T!>  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 AFM+`{Cq  
    $tF\7.e@  
    !4!qHJISa  
    b)x0;8<  
    场追迹仿真 *|j4>W\J  
    k]C k%[d  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 RT3(utwO  
    •单击go! qO38vY){  
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     3Z`"k2k  
    场追迹仿真(相机探测器) S(U9Dlyarg  
     j'Jb+@W?  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 YD@Z}NE v"  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 WVsj  
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    场追迹仿真(电磁场探测器) `#w#!@s#@  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 pEz^z9  
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    场追迹仿真(电磁场探测器) glc<(V  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 TDbSK&w :s  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer Q\}-MiI/  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination
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