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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 f|b|\/.=  
    >\@6i s  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 8`^I. tD  
    9OTw6  
    )@Bt[mfrVD  
     PHz/^p3F  
    建模任务 KIuYWr7&  
    ETtK%%F0  
    S&R~*  
    概述 qed; UyN  
    S:t7U %  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 778L[wYe  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 t[^}/ S  
    bu$5gGWVf  
     uQ&xoDCB  
    !E$S&zVMQ  
    光线追迹仿真 ['sIR+c%'O  
    -R:1-0I$  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 D6v0n6w  
    •单击go！ .oSKSld  
    •获得了3D光线追迹结果。 CBO8^M<K  
    !'PPj_Hp]  
     |1t30_ /gS  
    %VwB ?  
    光线追迹仿真 N"2@y aN  
    r]8B6iV  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 (zTr/  
    •单击go！ j)J4[j  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 h~F uuL  
    Q <78< #I  
     H:0-.a^ZS  
    <'s1+^LC  
    场追迹仿真 5M*ZZ+YX  
    N\xqy-L9  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 e[{LNM{/#  
    •单击go！ .Sb|+[{  
    xat)9Yb}0  
    i 5-V$Qh  
     wd1*wt  
    场追迹仿真（相机探测器） wV U(Du  
    -/FCd(  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 44S<(Re  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 d)dIIzv  
    [KCh,'&  
     6,oi(RAf  
    kQ4%J, 7e4  
    场追迹仿真（电磁场探测器） fzw6VGTf  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ;/e!!P]jP  
    {;z3$/JB  
    b;S~`PL  
     } |sP;Rpu  
    场追迹仿真（电磁场探测器） PJb_QL!9  
     Z1q '4h=F.  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ?VReKv1\  
    |!&,etu  
     2t[inzn=E  
    A0&~U0*(~  
    文件信息 8xL-j2w  
    GJ?rqmbL  
     '+-R 7#  
    N}s[0s  
    更多阅读 r:YAn^Lg  
    S0"O U0`N  
    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer T@k&YJ  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     ty/jTo}  
    '!En,*'IS  
     m>UJ; F  
    QQ：2987619807 qr6WSBc  
     
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