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摘要 #0Ds'pE- aSutM 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ;2xO`[#
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, X{> 建模任务 } ^kL|qmjR Cb ;WZ3HR  T^.Cc--c 概述 }T_Te?<& {w6/[ -^ •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 K%5" u' •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 5@ ~|*g[ ~FU@wV^
 \;X+ X,M 5 `/< v^ 光线追迹仿真 DGESba\2+ |I;$M;'r& •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 V@-) \RZm •单击go！ =n(3o$r( •获得了3D光线追迹结果。 C#0Qd% s#9Ui#[=h
 , E )|y4 ?/hZb"6W 光线追迹仿真 LPd\-S_rsP c3%@Wj:fo •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 pc]J[ S?P •单击go！ 2/
rt@{V( •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Z ~ t<iEj"5
 tz Nl J~E >o,^b\ 场追迹仿真 R"v 3!P o`S ? •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 rZXrT}Xh{W •单击go！ *jq7X "UFs~ S|e  6?tlU>A2s
I?#85l{> 场追迹仿真（相机探测器） ^"\ s eS t&q N: J •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 {V19Zv"j •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 DE $q+j0P n{0Ld - zH
 CK+d! Eg + avMX&% 场追迹仿真（电磁场探测器） ?4H#G)F •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 f_ ^1J `>(W"^  {@Yb%{+
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[ 场追迹仿真（电磁场探测器） 3\O|ii
^ >x|z. •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Yj| eji7y 3chPY4~A
 lA(Q@yEW }GMbBZ:nKK 文件信息 ^g1f X1 oc bB&
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-Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination Gc]~w D$ KOq;jH{$
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