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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 TAL,(&[s  
    l4Au{%j\  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 3Z0ez?p+5  
    ,9,cN-/a  
    l,fwF ua  
     _uXb 9  
    建模任务 d1jg3{pwA  
    8*zORz  
    ?)NgODU  
    概述 ]S0=&x@,  
    {Jbouj?V!  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。  *.us IH2  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Vh?5  
    oUl0w~Xn  
     g)dKXsy(F  
    g"{`g6(+  
    光线追迹仿真 8|JPQDS7  
    (N"9C+S}  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 / jLb{Ky  
    •单击go！ Ly46S  
    •获得了3D光线追迹结果。 mUan(iJ  
    /07iQcT(  
     xiv8q/  
    q}P UwN6  
    光线追迹仿真 -6W$@,K  
    zK_Q^M`  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 HXm&`  
    •单击go！ (N6=+dNY  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 |zbM$37 ?k  
    x)R1aq  
     Prc (  
    ~%eZQgqA*  
    场追迹仿真 &>n:7  
    5X PoQ^  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 I*z|_}$  
    •单击go！ :]icW ^%  
    / z m+  
    #.<Dq8u  
     :jAsm[  
    场追迹仿真（相机探测器） HQZJK82  
    )Vz=:.D  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 v65]$%F?  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 (fYYcpd,k  
    4`Cgz#v {  
     C%#w1k  
    J``5;%TJp  
    场追迹仿真（电磁场探测器） lSfPOx;*  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 rR4?*90vjj  
    8UzF*gS  
    m2%n:  
     T |&u?  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ZcHd.1fXh  
     (zPsA  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 * V_b/Vt  
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    更多阅读 z5_jx&^Z  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer "yK)9F[9Mo  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     6P T)  
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    QQ：2987619807 _aU :[v*!  
     
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