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摘要 {P]l{ W@li B845BSmh 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 l(`w]=t&
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建模任务 x?%vqg^r W t8 RC  'Hg( N?1" 概述 <wuP*vI "h J+;.t&5R •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 $""[(
d?0 •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 z(m*]kpL " " au"\}
 0 #q_LB lDH0bBmd0 光线追迹仿真 o+n U { | 9 %>R* •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 l5R H~F •单击go！ tSm|U<
•获得了3D光线追迹结果。 ^qDkSoqC" 1"'//0
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zRA 光线追迹仿真 '`RCN k5l +<iw|vr •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 4@bL` L) •单击go！ [$V_qFv{ •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 _
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 \nJr jH A <Ei|:m 场追迹仿真 eg }|%GG :&a|8Wi[W •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 p#?1l/f"
•单击go！ *R&g'y ^d :+ ;F" _  7' 6m;b~F
Y, 0O&' > 场追迹仿真（相机探测器） 2D-*Z=5^ 'rg$%M*( •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 3*; {C|]S •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 n,0}K+} k _^d7yH
 C[pAa 8 pa+ y(!G 场追迹仿真（电磁场探测器） 9]S }m[8k •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 a-Y K * +J^}"dG  >i0 FGmxH
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