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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 N?:S?p9R@  
    roQIP%h!  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 <3OV  
    L1K_|X  
    (avaTUMOqy  
     [r'M_foga*  
    建模任务 Gu=bPQOj  
    _bsfM;u.%  
    x$sQ .aT  
    概述 I`1=VC]^8  
    ](pD<FfS]'  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 )I_I?e  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 cd#TKmh7re  
    SNFz#*  
     Stpho4+/y  
    |R;=P(0it  
    光线追迹仿真 h#9)M  
    H*IoJL6  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Zx0c6d!B  
    •单击go！ 9G9lSj5>  
    •获得了3D光线追迹结果。 aleIy}"  
    Oylw,*%  
     SQK6BEjE8  
    zwS'AN'A  
    光线追迹仿真 2"T&Fp<  
    .X9^A,9  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 52,a5TVG  
    •单击go！ .>e~J+oL  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 0fNBy^(K  
    3 -FNd~%  
     ufOaD7  
    wVTo7o%U  
    场追迹仿真 R_ }(p2  
    U_?RN)>j  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 \I=:,cz*,  
    •单击go！ &0`L;1R  
    `,O^=HBM  
    %/y/,yd  
     K||85l?<  
    场追迹仿真（相机探测器） t30V_`eQ  
    ?{'Q}%  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 1C{~!=6#  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 H#D=vx'  
    O%I'   
     w;"'l]W  
    *V/SI E*8  
    场追迹仿真（电磁场探测器） zob-z=='  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 |(N4x(xl  
    ;L7<mU  
    P\R3/g  
     $H}Q"^rs  
    场追迹仿真（电磁场探测器） li[g =A,  
     o0q{:An_Z  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 8b/yT4f  
    Q1rwTg\  
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    文件信息 6S(3tvUr  
    f &H` h  
     uf6{M_jXZ  
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    更多阅读 S}+n\pyQ  
    Jad'8}0J  
    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer +W}f0@#)<  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     0|cQx VJb  
    Qk6FK]buV  
     vDemY"wz  
    QQ：2987619807 I'!KWpYJT  
     
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