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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 1xL2f&bG  
    9"=:\PE  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 V_Wv(G0-\  
    opte)=]J  
    2[r#y1ro  
     3PpycJ}  
    建模任务 I Zi1N  
    6Nj\N oS  
    :f 1*-y  
    概述 'F5&f9 A  
    Cbx/  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 l yF~E  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 [,8@oM#  
    (pREo/T  
     c,!Ijn\;(  
    3RXq/E  
    光线追迹仿真 HP:ee+n  
    7xMvf<1P  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 (6^v`SZ  
    •单击go！ PUuxKW}  
    •获得了3D光线追迹结果。 :~~}|Eu  
    L1VUfEG-  
     Z Mt9'w;  
    jdK~]eld=  
    光线追迹仿真 A Ns.`S  
    3PIZay  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 <ZSH1~<{6  
    •单击go！ ~-.}]N+([  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 }JeGjpAcV  
    A0m  
     ^vn8s~#  
    B: \\aOEj  
    场追迹仿真 -y5^xR  
    Qj.]I0d  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 %YkJ A:  
    •单击go！ (0/,R  
    'Ybd'|t{}  
    :.e`w#$7  
     I<`K;El'  
    场追迹仿真（相机探测器） DzydS=`w  
    ;R|i@[(J  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 n+QUT   
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 29("gB  
    N: ?UA  
     )h6hN"#V5  
    Yz(k4K L  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 4QC"|<9R  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 *oopdGue  
    ZKy)F-yX  
    @ol=gBU  
     K2$ fKju  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 5$f vI#NO<  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 2;Vss<hR4A  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer mj{B_3b5  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     F1_s%&  
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    QQ：2987619807 I0iTa99K  
     
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