-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2025-11-13
- 在线时间1887小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
摘要 L-\o zp o(_~
s t< 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 &XE eJ
l9up?opq
 K4>nBvZ?v
Y;[#~3CA 建模任务 x%\m/_5w% yC <[ LH  Cvf^3~ q 概述 DeTD.)pS \C(dWs •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 #(KE9h% •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 :P1/ kYg g =)djXW
 7w]NG` 7 Oe^oigcM 光线追迹仿真 WOaj_o NEG&zf •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 n :P 5m9T •单击go！ hy?e?^ •获得了3D光线追迹结果。 v%%;Cp73 f<T"# G$5
 gvx
{;e etHkyF 光线追迹仿真 BDCFToSf| }*ZO D1j •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 oA1d8*i^E •单击go！ 9/nS?>11 •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 cA8"Ft{P) Q|`sYm'.
 ?{Gf'Y}y& Z$'483< 场追迹仿真 PN&;3z Z d].(x)|st •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 )]?" H •单击go！ KW~fW r8 7P2?SW^  :)9 ^T<
(.DX</f/4 场追迹仿真（相机探测器） V9"?}cR/W; Ef2#} %> •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 xN a Dzu" •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 [ sT}hYh+ D\ H) uV`
 V u`O%[Q/ cI Byv I- 场追迹仿真（电磁场探测器） l"-F<^
U •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 < x==T4n/ Qs^ Rh F\d  I>jDM
Gpauy=4f 场追迹仿真（电磁场探测器） J:q:g*Wi
-brn &1oJ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 )Z2 l*fV E2D}F@<]
 {{\
d5CkX y,`SLgBID 文件信息 EZ.|6oug\ F5#P{ zk|
 JlF$|y,gV, t*&O*T+fgy 更多阅读 ]} +
NT
-0{"QhdE%
-Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer $ 4&
)
-Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination -Xw i}/OX lR9~L NK?
T%\f $jh6 QQ：2987619807 ,/qS1W(
|
