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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 f.6~x$:)`E  
    KzO,*M  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 XP3x Jm3  
    "G?Yrh  
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    建模任务 |E3X  
    X+82[Y,mB.  
    $`J_:H%  
    概述 #hw>tA6  
    (gXN%rsY  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 _Z Y\,_  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Um.qRZ?  
    I#rubAl  
     ",Cr,;]  
    iG<Som  
    光线追迹仿真 & ,hr8  
    ~E5z"o6$  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ;zH HIdQ>-  
    •单击go！ %)(Cp-b!  
    •获得了3D光线追迹结果。  Mps5Vv  
    ZH 6\><My  
     1iBP,:>*  
    vbG]mMJ  
    光线追迹仿真 )> a B  
    nH-V{=**  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 kHK0(bYK  
    •单击go！ G }nO@  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 cr;`Tl~}s  
    gm"#:< )  
     ec3<%+0f  
    R.9V,R5  
    场追迹仿真 YN/ }9.  
    5*-3? <)e  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 gABr@>Vv  
    •单击go！ /j2H A^GT  
    2f~($}+*  
    9pKGr@&   
     #]Y>KX2HG  
    场追迹仿真（相机探测器） F>hZ{   
    q(M:QWA q  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 }hpm O-  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 u9qMqeF  
    eD?3"!c!  
     9ooY?J  
    dtt~ Bd  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ?Bi*1V<R  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 muON> ^MbC  
    D<$XyP  
    WYcA8 X/  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） *Mc7f?H  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 8hanzwoJ:  
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    文件信息 @C_KV0i  
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    更多阅读 o`S ?  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer 1Tp/MV/>  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     "UFs~S|e  
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    QQ：2987619807 -_OS%ARa  
     
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