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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 H%etYpD  
    W#E(?M[r  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ~Uey'Xz  
    _RbM'_y+E  
    SM%/pu;  
     {}rnn$HQe  
    建模任务 dpK -  
    ecQ{ePoU  
    .ZV='i()X  
    概述 I$p1^8~L  
    "}#%h&,  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 wy8Q=X:vP  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ;obOr~Jx'5  
    O!^ >YvOh  
     J3~%9MCJ  
    '=%`;?j  
    光线追迹仿真 j*[P\Cm  
    D~BL Txq  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 %P M#gnt@  
    •单击go！ |TP,   
    •获得了3D光线追迹结果。 }mzd23^W>P  
    KO~KaN  
     _x1W\#  
    Z^z{, u;!  
    光线追迹仿真 LMx/0  
    Yh!=mW!OY  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 MmfBFt*  
    •单击go！ 1G"ohosmF  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 OzD\* ,{7  
    *9uNM@7&0  
      <7SE|  
    u$C\#y7  
    场追迹仿真 ~]QQaP  
    X7AxI\h  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 bmK  
    •单击go！ `/`iLso& -  
    </D.}ia  
    |JF,n~n  
     IW&*3I<K  
    场追迹仿真（相机探测器） (,jsZ!sl  
    m;\nMdn  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 !=PH5jTY  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 rks"y&&Nc  
    5>+@.hPX  
     [DDe}D3C  
    -gk2$P-  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 4H%#Sn#L^!  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ej@4jpHQN  
    |>.MH  
    j6RV{Lkr_  
     7)5G 1  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Xwdcy J!  
     >l><d!hw  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 :$k1I-^R  
    )W>$_QxbN  
      nOd;Zw  
    G+Z ,i c  
    文件信息 G4*&9Wo  
    J$42*SY  
     [?|yQ x  
    r7g@(K  
    更多阅读 NK/y,f6  
    LKp;sV  
    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer #n{4f1TZ  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     > ^zNKgSQ  
    6vAZLNG3  
     $Wj{B@k  
    QQ：2987619807 5,##p"O(  
     
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