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摘要 \[+\JWJj
ka&-tGg 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 # :68}f"$
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 B|O/h! H.
XjwTjgL < 建模任务 *X; g
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1Nk}W!v 概述 +G_6Ek4 '}5}wCLA •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 >~$ S! •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 z~oGd, ~::gLm+f
 t@/r1u|iq <][| ,9mw 光线追迹仿真 ,U'Er#U t
MB;GIb # •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 M{7EFTy!y •单击go！ -c=IO(B/ •获得了3D光线追迹结果。 yg2~qa:dZ d~| qx
 xL>0&R |l ~BdP 光线追迹仿真 ?XGZp?6 2 +GF:[$ •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ){>; eky •单击go！ (cYc03" •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ?k_=?m -lMC{~h\(S
 5H 1(C#| ORx, n7- 场追迹仿真
X2 i<2N*@ u 3,b,p •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 HXdPKS4q •单击go！ \lR~!6: 3Ua g[ms  J7QlGm,=
8`VM do9 场追迹仿真（相机探测器） 6w}:w ?=6 8d) F # •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 l.BSZ hO$ •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 EmY4>lr |x<
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yP#:T/z {.,OPR"\ 场追迹仿真（电磁场探测器） Gs?W7}< $ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ( rw bF !Q7  ?$n< vF>
j9u-C/Q\r 场追迹仿真（电磁场探测器） (tq)64XVz
=_yOX=g| •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 \R-u+ci$ZY 7OWiG,
 %okEN != e#'`I^8l 文件信息 *Nt6 Ufq6 i2j)%Gc}
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