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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 ?N<* ATC L  
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    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 #.UooFk+Y  
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    建模任务 YA O, rh  
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    概述 B1 oi]hDy  
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    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 T>e!DOW;  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 PuqT&|wP l  
    :TqvL'9o  
     e)LRD&Q  
    /Y:&307q  
    光线追迹仿真 _?kjIF  
    ;BUJ5  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Ol6jx%Je`  
    •单击go！ ;3OQgKI  
    •获得了3D光线追迹结果。 hC?:XVt  
    W'u6F-$2  
     P7O$*  
    xV[X#.3  
    光线追迹仿真 P?  VGY  
    #\[h.4i  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ~q4KQ&.!  
    •单击go！ @&t ';"AE  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 [ X]yj  
    t=o0 #jo  
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    A94ZG:   
    场追迹仿真 5drc8_fZ  
    56t9h/y  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Md(AqaA  
    •单击go！ .|iMKRq  
    ggtGecKm  
    @^]wT_r  
     AVf'"~?  
    场追迹仿真（相机探测器） QPB@qx#@  
    +?Vj}p;  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 _jg&}HM  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ".A+'pJ  
    L)W1bW}  
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    gcDo o2RE  
    场追迹仿真（电磁场探测器） @TF^6)4f  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 `!WtKqr%B  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） "} =RPc%9  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 uvR9BL2=  
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