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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 Zfn390_  
    *) ?Fo  
    高数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 W_z?t;  
    [Q*aJLG  
    k7ODQ(*v  
    JdW:%,sv  
    建模任务 F Wzf8*^  
    8ncgTCH:  
    B)`^/^7  
    概述 *^5..0du  
    ]VS$ ?wD  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 U?:<clh  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 58 Rmq/6s  
    V`z2F'vT  
    Sk 10"DB/  
    @YfCS8 eH  
    光线追迹仿真 pr(16P  
    $k&}{c8P  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 #Zy-X_r  
    •单击go! RU^lR8;  
    •获得了3D光线追迹结果。 n\Y|0\ B  
    KGI0|Z]n~  
    dQ4K^u  
    K?o}B  
    光线追迹仿真 );.q:"  
    H21\6 GY  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 fC4 D#  
    •单击go! `y!6(xI  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 GL_a`.=@  
    hA81(JWG  
    L('G1J}  
    "jUr[X2J  
    场追迹仿真 fuxBoB  
    uUczD 8y  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 $LF  
    •单击go! 2 S\~  
    7gV"pa  
    NgnHo\)  
    r4~Bn7j2  
    场追迹仿真(相机探测器) .qioEqK8!y  
    wxg`[c$:  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 *eO@<j?  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 kxg]sr"  
    m$xyUv1  
    L/w9dk*uv  
    k]Y#-Q1p~  
    场追迹仿真(电磁场探测器)  |Aw(v6  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 h !~u9  
    !j)H !|R  
    "b!QE2bRO  
    Qj? G KO  
    场追迹仿真(电磁场探测器) pX]*&[X?  
    KsGSs9  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 22|f!la8n  
    OjCT*qyU<  
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    =>hq0F4[;  
    文件信息 D4m2*%M  
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    MO :##C  
    ,XW6W&vR;  
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