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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 Qs8Rb]%|  
    F<Z13]|  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Ev1gzHd!i  
    _>Oc> .MB  
    NPt3#k^bW  
     [}?E,1Q3  
    建模任务 wl%I(Cw{]  
    /k=k rAz.  
    {[r}gS%  
    概述 SM[VHNr,-  
    o65I(`  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 )$QZ",&5  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 X/A(8rvCr  
    qE{L42  
     'F Cmbry  
    !+3nlG4cw  
    光线追迹仿真 _?;74VWA  
    X "Q\MLy  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 2%~+c|TH.)  
    •单击go！ p w=o}-P{  
    •获得了3D光线追迹结果。 .-.b:gdO(  
    /3qKsv#  
     XOPiwrg%p  
    kFQx7m  
    光线追迹仿真 ic?(`6N8  
    !'kr:r}gg  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 -}"nb-RR\  
    •单击go！ He  LW*  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 opon "{  
    a- 7RJ.  
     rVDOco+w  
    +pbP;zu  
    场追迹仿真 ZEG~ek=jM  
    9PJnKzQ4  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 dIk9C|-.  
    •单击go！ jluv}*If  
    256V xn  
    :VlMszy}B3  
     (4FZK7Fm  
    场追迹仿真（相机探测器） gmtS3,  
    M8f[ck  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 "Q;Vy t  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 \r- v]]_<d  
    8,]wOxwqi  
     M~g@y$  
    P B{7u  
    场追迹仿真（电磁场探测器） GCp90  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 >9X+\eg-  
    ZKVM9ofXRi  
    -5,+gakSk  
     .8]=yPm  
    场追迹仿真（电磁场探测器） e J:#vX86  
     8hZc#b;  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 <|VV8r93  
    c"NGE  
     @Qd5a(5WM  
    -z>m]YDH  
    文件信息 r-&* `Jh  
    a0hgF_O1  
     P7;q^jlB  
    s,7 OoLE  
    更多阅读 U DHMNubB  
    f!JSb?#3  
    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer Hh &s.ja  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     z"V`8D  
    \;!g@?CA  
     F& ['w-n%  
    QQ：2987619807 uo7[T*<Q  
     
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