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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 fWCo;4<5?  
    O#n8=B4  
    高数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 Yab%/z2:  
    45=bGf#  
    aFc1|.Nm  
    6 +Sxr  
    建模任务 }^4Xv^dW>g  
    %OtFHhb  
    Eav[/cU  
    概述 d)B@x`  
    bADnW4N`6;  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 aC^\(wp[  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 b IH;  
    ~< P 0]ju  
    )}''L{k-  
     N O2XA\  
    光线追迹仿真 *w$W2I>b7  
    #&cI3i  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Gn22<C/  
    •单击go! B5gj_^  
    •获得了3D光线追迹结果。 S_iMVHe  
    2{M^,=^>  
    PvR6 z0  
    7wWFr  
    光线追迹仿真 yTyj'-4  
    &*sP/z  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 y6@0O%TDN  
    •单击go! iF*:d  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 E^Y#&skXp3  
    ,c$,!.r  
    *EI6dD"  
    MtM%{=&_  
    场追迹仿真 v.\*./-i  
    HPpR.  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 uvgdY  
    •单击go! -1Jg?cPz k  
    gwNq x"  
    TbA}BFT`  
    kM!kD4&  
    场追迹仿真(相机探测器) OL5v).Bb  
    5Y?L>QU"  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 _t:$XJ`bTk  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 w^(<N7B3T  
    H!vax)%-\  
    jnd[6v=C7-  
    eD-#b|  
    场追迹仿真(电磁场探测器) w|3z;-#Q;  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 &9/O!3p)  
    ?m![Pg%  
    z+x\(/  
    :#2Bw]z&z  
    场追迹仿真(电磁场探测器) -\+s#kE:  
    CF&NFSti^  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 YTAmgkF\4  
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    更多阅读 4B=2>k  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer n-5W*zk1  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination
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    QQ:2987619807 `(T,+T4C5k  
     
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