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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 'e{e>>03  
    IXd&$h]Lq  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 i$%;z~#wW  
    $2;YJjz(  
    K;[V`)d'  
     U$0#j  
    建模任务 cC4*4bMm  
    9%\q*  
    .bL{fBTT~  
    概述 &y Vii^  
    .lTGFeJqZ4  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 %o^'(L@z  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Vfc 9 +T+  
    o Q{gh$6*  
     Z(Q?epyT  
    8V~w3ssz  
    光线追迹仿真 #c?\(qjWA  
    wW!*"z  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 rl4daV&,U  
    •单击go！ (qB$I\  
    •获得了3D光线追迹结果。 173/A=]  
    p1X lni%=  
     , JVD ;u  
    >@ge[MuS  
    光线追迹仿真 <V>vDno\  
    n %"s_W'E  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 W P.6ea7k  
    •单击go！ '%K,A-7W  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 }>)"!p;t_  
    ;O{AYF?,N  
     q;B-np?U  
    gDAA>U3|$  
    场追迹仿真 Gi;e Drgj~  
    _Vp9Y:mX2  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 tLV9b %i(  
    •单击go！ x#Hq74H,  
    p|AIz3  
    GHYgSS  
     pN%L3?2  
    场追迹仿真（相机探测器） ,ci tzh  
    hnG'L*HooE  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 wU+ofj; +I  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 DSET!F;PG  
    8$3Tu "+;  
     4y)"IOd#|  
    | L fH,6  
    场追迹仿真（电磁场探测器） t^uX9yvx  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 p^~lQ8t  
    O`|'2x{[O  
    atW;S99#  
     :ykQ[d`:|  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 2ht<"  
     Q[8L='E  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 r7w&p.?  
    JH<q7Y6!y  
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    - n11L  
    文件信息 3haY{CEr  
    HOu<,9?>Q  
     r=qb[4HiV  
    f]o DZO%^  
    更多阅读 y;#p=,r  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer <7)Vj*VxC  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     #sNa}292"  
    `2S%l, >)#  
     yUEUIPL  
    QQ：2987619807 f9OVylm  
     
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