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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 p1KhI;^  
    *E/Bfp1LIe  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 fB$a )~  
    rt+4-WuK>  
    Yqs=jTq`{  
     :TQp,CEa  
    建模任务 =*\.zr  
    ?J:w,,4m  
    ftYJ 3/WH  
    概述 Sb`[+i' `  
    s/"bH3Ob9v  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 +_]Ui| l  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 \L*%?~  
    \jC) ;mk  
     ['mpxtG  
    PF~@@j  
    光线追迹仿真 d1D f`  
    v}$Q   
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 GeR#B;{  
    •单击go！ c]9gf\WW  
    •获得了3D光线追迹结果。 N1'`^ay$  
    (K[{X0T  
     Jh\KVmfXN  
    `yfZ{<  
    光线追迹仿真 #p(gB)o:l  
    {lds?AuK  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Orq/38:4G  
    •单击go！ _5p$#U`  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 WzzA:X  
    TUp\,T^2  
     |=}+%>y_  
    ]K(a32VCH  
    场追迹仿真  :xsZz$  
    lO-DXbgql$  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 N'2?Zb  
    •单击go！ b-& rMML  
    1mmL`M1  
     kORWj<  
     hY4#4A`I  
    场追迹仿真（相机探测器） wiN0|h>,  
    lD0p=`.  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 (@^9oN~}  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 e1Db +QBV  
    a OmG,+o  
     JT 7WZc)  
    ? $B4'wc5  
    场追迹仿真（电磁场探测器） iWt%Boyi  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 pz^S3fy  
    _A,_RM$Y  
    K&[0`sH!  
     ei= 4u'  
    场追迹仿真（电磁场探测器） FF8jW1  
     :BxO6@>Xc  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 IUOf/mM5  
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    文件信息 LW<Lg N"L-  
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    更多阅读 2VV>?s  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer oRbWqN`F.  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     nFni1cCD  
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     Be{@ L  
    QQ：2987619807 U 4d7-&U  
     
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