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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 &'DR`e O)  
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    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 h<'tQGC  
    =D?HL?  
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     .2rpQa/h  
    建模任务 S+eu3nMq  
    dF! B5(  
    p}I\H ^"8+  
    概述 pFu!$.Fr  
    is%ef  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 2.@IfBF6  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Wy1.nn[  
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    &0ymAf5R  
    光线追迹仿真  cFjD*r-  
    ^*y 1Fn0  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 +#UawYLJ  
    •单击go！ lFA-T I&  
    •获得了3D光线追迹结果。 ?mVSc/  
    _\@zq*E  
     PbxQ \.  
    qM Qu!%o  
    光线追迹仿真 nD 4C $  
    6"[,  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 V=>]&95-f  
    •单击go！ NVom6K  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 siV]NI ':|  
    Y>2#9LA  
     Sy*p6DP  
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    场追迹仿真 |Z o36@s  
    B'y)bY'_dS  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 R:^jQ'1  
    •单击go！ x FvK jO)  
    G_k_qP^:  
    NP!LBB)=Y  
     |w>b0aY  
    场追迹仿真（相机探测器） nI73E  
    ~Kt+j  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 2>CR]  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 SFEDR?s   
    80gOh:  
     5VVU%STP  
    uXA}" f2  
    场追迹仿真（电磁场探测器） &I{5f-o*  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 $RC)e 7  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） 79jnYjk  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 BryD?/}P)M  
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    更多阅读 ^%U`|GBZp  
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    QQ：2987619807 DoN]v  
     
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