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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 +bA%  
    =Mj 0:rW  
    高数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 kJ{+M]pW  
    =wVJ%  
    F]EBD8/b  
    fBhoGA{=g  
    建模任务 D+JAK!W  
    yVX8e I  
    iafE5b)  
    概述 8`=v.   
    \?**2{9&)  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 -]srp;=i  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 3Fs5RC~a  
    /mA,F;   
    LzML%J62  
    W/fuKGZi_  
    光线追迹仿真 -F@L}|  
    "ZrOrdlg+A  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 .iG&Lw\,  
    •单击go! @WMA}\Cc  
    •获得了3D光线追迹结果。 ?'s6Xmd  
    K/L;8a  
    Y}s@WJ  
    1yQejw  
    光线追迹仿真 [P~hjmJ(y  
    P 43P]M2  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 }}&#|)Yq  
    •单击go! k(t}^50^j  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 mN |r)4{`  
    :Dt~e|  
    g[H',)A)  
    oGa^/:6L  
    场追迹仿真 :,B7-kBw  
    -=`#fDvBn  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 8NBT|N~N  
    •单击go! 2ZcKK8X;7  
    6$\jAd|  
    T 20&F  
    [F!Y%Zp  
    场追迹仿真(相机探测器) UCW V2Mu  
    Ep9W-n?}  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 `h:34RC;  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 1y#D?R=E  
    $+p?Y)h .  
    Fz#X= gmG  
    f| _u7"OX  
    场追迹仿真(电磁场探测器) t>=fTkB  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 _g%TSumvq<  
    ^9Qy/Er'  
    JjaoOe  
    1#IlWEg  
    场追迹仿真(电磁场探测器) F8-?dpf'  
    ?POUtRN  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 >zAUW[]C:I  
    ?;[w" `"  
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    文件信息 wE+${B03  
    wLK07e(  
    (aOv#Vor]%  
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    更多阅读 8J$|NYv_b  
    1`ayc|9BR  
    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer {|I;YDA  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination
    cufH?Xg<  
    k0Ol*L!p  
    |$?bc3  
    QQ:2987619807 `tP7ncky  
     
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