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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 xl9(ze  
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    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 {(!)P  
    + ~~ Z0.[  
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    建模任务 !-ZP*V3}h  
    #'8)u)!  
    P#v^"}.Wd  
    概述 O{nC^`X  
    {6:& %V  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 E[ 0Sst x  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 PqI![KxZW  
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     @7-D7  
    -F1P2 8<?  
    光线追迹仿真 (rIXbekgB  
    yi|:}K$  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 F^xaz^=`u  
    •单击go！ \6i 9q=  
    •获得了3D光线追迹结果。 {zu/tCq?  
    Kk`<f d  
     jzQ I>u  
    c8q G\\t[  
    光线追迹仿真 ]| z")gOE  
    ~T7\8K+ $  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 /3s@6Ex}E  
    •单击go！ F=: c5z  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ^(J-dK  
    ?`"<DH~:0B  
     &*jixqzvn  
    c[Yq5Bu{y  
    场追迹仿真 PYaOH_X.  
    e_^KI  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 0OEtU5lf`y  
    •单击go！ z30=ay1  
    +yvBSpY  
    so'eZ"A:  
     *50ZinfoG  
    场追迹仿真（相机探测器） ijg,'a~3E  
    [-QK$~[ g  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Sw[=S '(l  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 HaS[.&\S0  
    95VqaR,  
     ~;` fC|)  
    RBPYG u'6B  
    场追迹仿真（电磁场探测器） u"eZa!#  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 xR _DY'z  
    Qve`k<Cj"  
    3EAX]  
     *SWv*sD  
    场追迹仿真（电磁场探测器） j_hjCQ  
     e_\SSH @tw  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 WtMcI>4w  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer >I{4  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     3J23q  
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    QQ：2987619807 }x>}:"P;W  
     
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