切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学设计仿真实验指导 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1397阅读
    • 0回复

    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6633
    光币
    27314
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 '_lyoVP  
    yM}}mypS  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 >XcbNZV  
    2?u>A3^R  
    5|my}.TR  
     J*o :RnB  
    建模任务 cv=nGFx6  
    %0fF_OU  
    lM86 *g 'l  
    概述 [^EU'lewnW  
    )@09Y_9r  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 F l83 Z>  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 L(\sO=t  
    an_qE}P  
     b'Pq [ )  
     Zf68 EB  
    光线追迹仿真 [R+zzl&Zw  
    }S<2({GI  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 'Y IFHn$!  
    •单击go！ (~:k70V5  
    •获得了3D光线追迹结果。 rlT[tOVAY  
    l=8)_z;~D  
     "u~l+aW0  
    F1J Sf&8  
    光线追迹仿真 (# Z2  
    BIEc4k5(  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 M>D 3NY[,  
    •单击go！ IT! a)d  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 )z&0 g2Am  
    +-&N<U  
     :@jhe8'w  
    )SQ*"X4"  
    场追迹仿真 d"<Q}Ay  
    U_v{Vs  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 S+3'C  
    •单击go！ %^n9Z /I  
    C9E l {f  
    0,)B~|+  
     ML'4 2z Y  
    场追迹仿真（相机探测器） zWoPa,  
    YLmzMD>  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 TC[_Ip&  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ,B%M P<Rz1  
    sP$bp Z}  
     }ddwL  
    ;j])h !8X  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ZHUA M59bx  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 4d4le  
    Rn~FCj,-  
    '\\dh  
     RBIf6oxdE  
    场追迹仿真（电磁场探测器） J\<7M8   
     -FytkM^]6  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ^'.=&@i-  
    ^prseO?A  
     "'h?O*V]u{  
    4J0{$Xuu 0  
    文件信息 0-pLCf  
    Z m9 e|J  
     Bzn{~&i?W:  
    x^Tjs<#  
    更多阅读 j89|hG)2  
    Z.Lm[$/edn  
    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer fN~kd m.  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     jK/2n}q&]  
    [H;HrwM s)  
     sY+U$BYB>  
    QQ：2987619807 4)BZ%1+  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表