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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 +6vm4(3?  
    .O\z:GrSZz  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。  /MS*_  
    ]rEFWA  
    'E/vE0nN?  
     ~I0I#_$'P  
    建模任务 :!vDX2o)\  
    (n&Hjz,Fv  
    .uAO k0^z  
    概述 x\ : x`k@  
    i!/V wGg  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 @@U'I^iG  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 {u BpM9KT  
    Hv>C#U  
     #;F1+s<|QJ  
    / jI>=:z  
    光线追迹仿真 S.o@95M   
    [CH%(#>i~  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 =1o_:VOG  
    •单击go！ jW6~^>S  
    •获得了3D光线追迹结果。 PI7M3\z  
    {nH.  _  
     Pnb?NVP!^9  
    f-5vE9G3y7  
    光线追迹仿真 dQ*3s>B[  
    Ez^U1KKOE7  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 aHKv*-z-  
    •单击go！ EP#3+B sH  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 XVi?- /2  
    V@jR8zv|_  
     89F^I"Im(  
    &6/# O  
    场追迹仿真 N|eus3\E  
    M*)}F  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 zJ42%0g  
    •单击go！ 3=!\>0;E-  
    &3VR)Bxn  
    ]}/LNO*L"  
     (o_wv  
    场追迹仿真（相机探测器） }Vw"7  
    oDp!^G2A"  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 =@b/Gl  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。  WpX)[au  
    P@ '<OI  
     |$`LsA.  
    %&bO+$H3  
    场追迹仿真（电磁场探测器） wy&s~lpV,7  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 R9gK>}>Y  
    *]%{ttR~  
     +Io^U  
     x72bufd  
    场追迹仿真（电磁场探测器） p=6Q0r|'  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 wmFI?   
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