切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 京东双十一活动红包购物券领取 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 1231阅读
    • 0回复

    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6253
    光币
    25410
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 0"i QHi  
    9!6u Yf+  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 i1!Y {  
    0bjZwC4J  
    +[pJr-k  
     hfs QAa  
    建模任务 wYh]3  
    Kj:'Ei7  
    4hW:c0  
    概述 . Fm| $x  
    aUKa+"`S  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 )9+H[  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 +B4i,]lCx  
    T^Hq 5Oy  
     0kaMYV?  
    3vEwui-5  
    光线追迹仿真 \4uj!LgTb  
    hO(A_Bw  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 QG09=GQ  
    •单击go！ cpx:4R,  
    •获得了3D光线追迹结果。 zvT8r(<n}  
    /L` +  
     % xBQX  
    4!Lj\.!$  
    光线追迹仿真 ZsGJ[  
    ;z~j%L%b  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ~2QD.(  
    •单击go！ rC6EgWt<V  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 la`f@~Bbr1  
    XKvH^Z4h{l  
     kM3#[#6$!  
    YyC$\HH6  
    场追迹仿真 $Eo-58<q  
    cY.5z:7u~v  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ephvvj~zW4  
    •单击go！ ` bZgw  
    (1%A@ 4  
    4K >z?jd  
      r^,"OM]  
    场追迹仿真（相机探测器） JC7:0A^  
    8B6 -f:  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ?qbq\t  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 *Q;?p hr  
    2QKt.a  
     A#]78lR  
    e,l-}=5* P  
    场追迹仿真（电磁场探测器） @[]#[7  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 _Pn 1n  
    UFyk%#L  
    |^OK@KdL1  
     LVJn2t^  
    场追迹仿真（电磁场探测器） I~,bZA  
     <6C:\{eo  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 <BK?@Xy  
    [!`5kI  
     ;+lsNf  
    /$|-!e<5b\  
    文件信息 ~g*5."-i  
    Nu+DVIM  
     "1rT> ASWI  
    igF<].'V  
    更多阅读 dHtEyF  
    b T** y?2  
    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer ~ F>'+9?Sn  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     2j$~lI  
    WpC9(AX5g  
     2g;Id.i>  
    QQ：2987619807 STz@^A  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表