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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 ?r@euZ&  
    tkdhT8_  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 amf=uysr  
    {+[~;ISL  
    D%LM"p  
     ww"ihUX  
    建模任务 )61CrQiY  
    X|L8s$>  
    {xt<`_R  
    概述 XKp%7;  
    2]NP7Ee8 Z  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 I=hgfo  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ovCk :Vz  
    a<Pi J?  
     7|6tH@4Ub  
    uqZLlP#&#  
    光线追迹仿真 *MkhRLw\,  
    t Zj6=#  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 MAR kTxzi  
    •单击go！ <C6/R]x#  
    •获得了3D光线追迹结果。 xy$FS0u  
    tZ[BfO  
     ~0?p @8  
    ~U8#Iq1  
    光线追迹仿真 c}mJ6Pt  
    `. %;|"xR  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ?w# >Cs(  
    •单击go！ GT%V,OJ  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 *6*#"#D  
    Wnl8XHPn  
     ?9vBn  
    |dD!@K  
    场追迹仿真 oAWk<B(@  
    1s\10 hK1c  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 1:7>Em<s  
    •单击go！ |]A{8BBC  
    fokT)nf~^8  
    $?Aez/  
     $},:z]%D  
    场追迹仿真（相机探测器） K@n.$g  
    h9+ylHW_cp  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 #2ZXYH}  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 C4Z~9fzT  
    6WfyP@ f  
     -xXNzC   
    n{BC m %  
    场追迹仿真（电磁场探测器） (53dl(L?  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 /F;*[JZIb  
    ?xQ lX%&`6  
    JIb<>X,  
     F:pXdU-xf  
    场追迹仿真（电磁场探测器） zp4ru\  
     `r*6P^P  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 g#[9O'H  
    7gVWu"  
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    文件信息 +ZRsa`'^  
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     puqLXDjA/  
    Y ga}8DU  
    更多阅读 IJ4"X#Q/  
    MCh8Q|Yx4  
    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer a+{g~/z;,Q  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     t C6c4j  
    (X!/tw,.  
     eU%5CVH.v  
    QQ：2987619807 i"rMP#7  
     
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