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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 }\pI`;*O|  
    V5|ANt  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 3Ob.OwA  
    s6H'}[E<  
    K %^n.  
     (!j#u)O  
    建模任务 ~j0rORy]  
    v gN!9  
    DE?v'7cmA  
    概述 @KG0QHyiU  
    t6+m` Kq  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 V"FQVtTx7  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 '<Z[e`/  
    @Mk`Tl  
     }5o?7} ?  
    pYO =pL^Q  
    光线追迹仿真 MvVpp;bd  
    R>' %}|v/  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ]@q%dsz  
    •单击go！ <@<rU:o=V  
    •获得了3D光线追迹结果。 =x~I'|%3  
    >rG>Bz^Pu  
     5dBftTv?  
    GW2\YU^{  
    光线追迹仿真 ^l &lwSRVt  
    h8rW"8Th  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 :t?B)  
    •单击go！ HL)!p8UHJ  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 8^mE<  
    &H(yLd[  
     ]`^! ]Ql  
    ^E&PZA\,;  
    场追迹仿真 OLw]BJXYaE  
    e3~MU6  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 7]{g^g.9-  
    •单击go！ 9hp&HL)BOa  
    Uqr>8|t?  
    yzK;  
     p|UL<M9{a]  
    场追迹仿真（相机探测器） OG\i?N  
    8&<:(mAP  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 gesbt  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 .hTqZvDa  
    XN<SKW(H3  
     q*!R4yE;C  
    nD wh  
    场追迹仿真（电磁场探测器） _0H oJ  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Z~'t'.=z  
    5'%I4@Qn+  
    !\4x{Wa]  
     m_NX[>&Y3  
    场追迹仿真（电磁场探测器） hU)t5/h;K  
     ~/OY1~c  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 <O#&D|EMd|  
    1#vy# '  
     1$E(8"l  
    d\z6Ob"t  
    文件信息 ttP7-y  
    /Vlc8G  
     w,{h9f  
    X2w)J?pv  
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    43=v2P0=Tj  
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    z 4u&#.bU  
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    QQ：2987619807 ]uXJjS f  
     
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