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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 #0hX)7(j  
    vEW;~FLd  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 p+#uPY1#  
    #eR*|W7o  
    yngSD`b_P  
     s:i$s")  
    建模任务 kplyZ  
    fW <qp  
    9iUkvnphh  
    概述 mY |$=n5X  
    "<txg%j\J  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 O`rAqO0F  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 0E o*C9FP~  
    (LkGBnXE  
     L#m1!+J  
    0waQw7 E  
    光线追迹仿真 NcB^qv  
    zT0FTAl ^  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Vdh5s292h  
    •单击go！ G'#a&6  
    •获得了3D光线追迹结果。 ft?J|AG  
    ,M5zhp$  
     q: ?6  
    j@&F[r  
    光线追迹仿真 cQA;Y!Q #  
    Ro$l/lXl8t  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 u01x}Ff~6  
    •单击go！ `G@]\)-!  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ?2aglj*"v,  
    _ ?xORzO  
     rB< UOe  
    M(jSv  
    场追迹仿真 C Rw.UC\  
    &3:-(:<U  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 "2o)1G  
    •单击go！ wS hsu_(i  
    |36d<b Io  
    l]uF!']f  
     6Y`eYp5A  
    场追迹仿真（相机探测器） Zb^0EbV  
    xbvZ7g^  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ,1a6u3f,  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 MOJKz!%  
    ~]O~a}]g(  
     L^Fni~  
    ~Yb5F YE  
    场追迹仿真（电磁场探测器）  &)T5V  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 +j%!RS$ko  
    ;vy"i  
    <V5(5gx  
     B#OnooJI  
    场追迹仿真（电磁场探测器） bd5\Rt  
     MRV4D<NQ  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 J4;w9[a$  
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