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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 YXTd^M~@D  
    QCvst*  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 c+]5[6  
    *7!*kq g!u  
    G+jcR; s  
     qISzn04  
    建模任务 `xu/|})KI  
    Ec|5'Kz]  
    ~@EBW3>~5  
    概述 1EA}[x  
    ZbLN:g}  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 "?Xb$V7  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 2ee((vO&  
    ScTeh  
     mX QVL.P\  
    ,2^zX]dgM  
    光线追迹仿真 C-L["O0[  
    (Qz| N  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 I=wA)Bli1p  
    •单击go！ ? Eh)JJt  
    •获得了3D光线追迹结果。 "(SZ;y  
    ~JxAo\2i  
     rTLo6wI  
    ~0XV[$`L  
    光线追迹仿真 FR1se  
    agxR V  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Rac4a@hZ  
    •单击go！ s4Y7x.-  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 99..]  
    nV+]jQ~o  
     nXcOFU  
    9x[|75}l  
    场追迹仿真 5nJmabw3  
    +UC-  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 !JVpR]lWS  
    •单击go！ lhhp6-r  
    U4$CkTe2Y  
    '9#h^.  
     z2.ZxL"*  
    场追迹仿真（相机探测器） Zp*0%x!e  
    [}!obbM  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Sej\Gt  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 )nJh) {4\  
    .f]2%utHB  
     6N.+  
    7e D<(  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ~J,e^$u  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 .|9o`mF7  
    q2KWSh5  
    L;s,xV  
     3"J85V%h]n  
    场追迹仿真（电磁场探测器） QnNddCiu=  
     KF4}cM=.5  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 iH""dtO  
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    文件信息 vD*9b.*  
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     EZvf\s>LT  
    QQ：2987619807 C%y!)v_x  
     
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