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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 rk2j#>l$4  
    OmpND{w  
    高数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 ,+DG2u  
    O7m(o:t x3  
    ^R7lom.  
    QL&ZjSN  
    建模任务 5y [Oj^  
    ^e_hLX\SW  
    feDlH[$  
    概述 H9`)BbR  
    IqaT?+O\?r  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 N=5a54!/  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ]?kZni8j_  
    JV^=v@Z3  
    qFCOUl  
    $aDVG})  
    光线追迹仿真 *=/ { HvJ  
    {9&;Q|D z  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 x_N'TjS^{  
    •单击go! )9{0]u;9  
    •获得了3D光线追迹结果。 2^[ `eg  
    Eex~xiiV  
     NI76U  
    |^"1{7)  
    光线追迹仿真 [I,Z2G,Jb  
    ;>EM[u  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 "Y =;.:qe  
    •单击go! wo;~7K  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 dk#k bG;  
    s^G.]%iU  
    |}s*E_/[  
    [2!w_Iw'  
    场追迹仿真 w7.V6S$Ga  
    VGy<")8D/  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 '6iEMg&3  
    •单击go! #C74z$  
    Z*]9E^  
    PB\(=  
    Q0`wt.}V2  
    场追迹仿真(相机探测器) ;40/yl3r3[  
    D[[|")Fn  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 H7&8\ FNa  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 0y'H~(  
    \R9(x]nZ%  
    Y1W1=Uc uk  
    .nf#c.DI  
    场追迹仿真(电磁场探测器) 1Ti f{i,B  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 G#q@v(_b  
     L2[($l  
    2+ N]PW\V  
    b5dD/-Vj  
    场追迹仿真(电磁场探测器) hP%M?MKC  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 O-0x8O^B  
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