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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 U2seD5I  
    ]F P(,:Yw  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 j8P=8w{  
    ~0eJ6i  
    *Mk5*_  
     s"s^rC  
    建模任务 MqRpG5 .  
    D}OvD |<-  
    %8s$l'Q;  
    概述 q &#f#Ou  
    |bA\>%~  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 r Z%l?(  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 1$H*E~  
    eh`n?C  
     Tc$Jvy-G4A  
    d?)k<!fJk  
    光线追迹仿真 k "7l\;N  
    [f 4Nq \i  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ^z>3+oi  
    •单击go！ jInI%  
    •获得了3D光线追迹结果。 5 o-WA1  
    8`M) r'5  
     k  <SFl  
    .'aW~WR  
    光线追迹仿真 $}+t|`*q8]  
    Z#+lwZD  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 g$+ $@~  
    •单击go！ xvU@,bzz  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 /{il;/Vj  
    ?> )(;Ir9  
     3 vr T`  
    Qu]F<H*Y|  
    场追迹仿真 <a_ytSoG1  
    3HCH-?U5  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 4E:kDl*@  
    •单击go！ cc37(=o KL  
    J%r$jpd'  
    apmZ&Ab  
     =r=?N\7I  
    场追迹仿真（相机探测器） "0Ca;hSLM2  
    q.I  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 (m:ktd=x  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 lfTDpKz3D  
    fRlO.!0(  
     S3fyt]pp  
    cug=k  
    场追迹仿真（电磁场探测器） pT ]:TRPS  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 8p"R4  
    K%i9S;~  
    ~!//|q^ J]  
     -0P(lkylf  
    场追迹仿真（电磁场探测器） wB%N}bi!  
     S1SsJo2\  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 NRIp@PIF:"  
    i?^lEqy[  
     m6wrG`-di  
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    文件信息 $e#V^dph  
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    更多阅读 J)I|Xot  
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