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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 |6sT,/6  
    1#> &p%P!  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 - - i&"  
    'NT#(m%  
    7wiK.99  
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    建模任务 nszpG1U:  
    P1 7>6)a  
    <ELziE~>V  
    概述 :cXIO  
    $ DDSN  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 d s|8lz,  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ~A[YnJYA#  
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     *=$[}!YG  
    j*;*Ka w  
    光线追迹仿真 7y>Tn`V8G  
    CF3E]dt  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 o{{:|%m3Q  
    •单击go！ k Zk .]b  
    •获得了3D光线追迹结果。 ER~T'-YMS  
    wUZQB1$F  
     |u^)RB  
    oF%^QT"R  
    光线追迹仿真 H_% d3 RI  
    Yw~;g: =  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ur/Oc24i1n  
    •单击go！ 6-*~ t8  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 0M#N=%31  
    :kWZSN8.D  
     vQ:x% =]  
    eZ!yPdgy|  
    场追迹仿真 U9<_6Bsd  
    +Fk4{p  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Nl~Z,hT$*  
    •单击go！ Fy 4Tvg  
    { A:LAAf[6  
    "2ZIoa!^  
     f*{M3"$E  
    场追迹仿真（相机探测器） sTd}cP  
    x9xzm5  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 $!3gN%  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 8_"3Yb`f  
    5c<b|  
     @ \!KF*v  
    W:`5nj]H9  
    场追迹仿真（电磁场探测器） i'M^ez)u  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 jmRhAJV  
    gb]h OB7g  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） ow-+>Y[qZ  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 (3AYy0J%  
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