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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 7nPcm;Er  
    NYr)=&)Ke.  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ,zdGY]$  
    yQ$]`hr;  
    .9J}Z^FD  
     YVwpqOE.=  
    建模任务 araXE~Ac  
    zPc"r$'0 U  
    x\U[5d   
    概述 eZ+6U`^t  
    "a= Hr4C*r  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 e MHz/;I  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 E*u*LMm  
    v7SYWO#  
     uDP:kM  
    aopZ-^  
    光线追迹仿真 N[e,%heR  
    D;NL*4zt  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ZMb+sUK  
    •单击go！ lKw-C[  
    •获得了3D光线追迹结果。 PMpq>$6b7  
    $L 8>Ha}  
     y]0O"X-G  
    s*[ I"iE  
    光线追迹仿真 }L)[>  
    4`,7 tj  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ^8;MY5Wbs  
    •单击go！ 5h&sdzfG  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 H7GI`3o  
    ^S 3G%{"  
     Gk{ 'U  
    mmbe.$73  
    场追迹仿真 ~t~[@2?WG  
    |67Jw2  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 NX,m6u  
    •单击go！ Q{|%kU"  
    W06#|8,{v  
    )gEE7Ex?  
     dI ,A;.  
    场追迹仿真（相机探测器） a1~|?PCbY  
    rP3tFvOH  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 1oej<67PdJ  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 -n&&d8G^s  
    2+rT .GFc  
     v*?8:>:}  
    le\-h'D  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 'EiCT l  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 D,}bTwRb-  
    wn5OgXxG<  
    U-9Aq  
     NgDhdOB  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ywAvqT,  
     \jwG*a  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 =|]h-[P'  
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    文件信息 PGJh>[ s  
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    更多阅读 `/PBZnj  
    miaH,hm  
    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer ZOEe-XW  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     3p=Xv%xd  
    |O_ JUl  
     KVa{;zBwl  
    QQ：2987619807 n?fy@R  
     
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