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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 }AA">FF'y4  
    I`(53LCqo  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ImG8v[Q E  
    4D2U,Ds  
    ;:_AOb31N  
     ~&<t++ g  
    建模任务 PJ; WNo8  
    [|ZFei)r  
    xVw@pR;  
    概述 ?_FL 'G  
    Pn^`_  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 _}Qtx/Cg  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 wgIm{;T[u  
    JRi:MWR<r  
     ">.tPn  
    D{s87h  
    光线追迹仿真 ^utOVi  
    VsJ+-IHm  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 xh bN=L  
    •单击go！ nhdZC@~E0  
    •获得了3D光线追迹结果。 O-HS)g$2  
    \#(1IC`as  
     J/jkb3  
    qF4tjza;k  
    光线追迹仿真 (_|*&au J  
    C 2nmSXV  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 C{}PO u  
    •单击go！ |YsR;=6wT  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 s2"`j-iQ  
    iAZ8Y/  
      t1 YB  
    )M.s<Y  
    场追迹仿真 m=sEB8P  
    ~9 .=t'  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ']TWWwj$  
    •单击go！ eJTU'aX*   
    &muBSQ-  
    6`O,mpPu4G  
     8 7(t<3V&  
    场追迹仿真（相机探测器） I)V=$r{  
    0: a2ER|J  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 |dLr #+'az  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 6w7;  
    b"A,q  
     TdgK.g 4  
    ]CF-#q}'  
    场追迹仿真（电磁场探测器） mA{?E9W  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 5aizWz  
    ?VNtT/  
    sJ|pR=g)!  
     ,Q56A#Y\  
    场追迹仿真（电磁场探测器） X#ttDB  
     ,_u7@Ix  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Cu8mNB{H  
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    更多阅读 gLX<> |)*  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer !CUl1L1DSi  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     L]H'$~xx*  
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    QQ：2987619807 D+3?p  
     
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