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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 bDq[j8IT6  
    v62O+{  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Z?"f#  
    |b^+= "  
    Fx6]x$3  
     O4lHR6M2  
    建模任务 (]gd$BgD  
    q"C(`S.@  
    {>rGe#Vu  
    概述 {Z!x]}{M  
    ?=#vp /  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 :Y)jf  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 8DLj?M>N  
    kACgP!~/1  
     S;L=W9=wby  
    *JT,]7>  
    光线追迹仿真 4M,Q{G|e  
    E 8LA+dKN:  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 vj,OX~|  
    •单击go！ {@YY8SKb9  
    •获得了3D光线追迹结果。 OPe3p {]  
    mtd ,m  
     /; {E}`  
    vnr{Ekg  
    光线追迹仿真 YDxEWK<  
    Vz @2_k   
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 $LkTu  
    •单击go！ lC8Z@wkjO  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ~OSgpM#O!T  
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    场追迹仿真 Wb{0UkApJ  
    }p|S3/G?$!  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 bo|3sN+D  
    •单击go！ iKM!>Fi  
    >K;DBy*  
    a2%xW_e  
      @ ^cR  
    场追迹仿真（相机探测器） w Sd|-e  
    A2 9R5  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 SPN5H;{[]K  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 [L ?^+p>  
    n4sO#p)'  
     uEui{_2$  
    J5Ovj,[EZ  
    场追迹仿真（电磁场探测器） DmtCEKa  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Em ;2fh  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） -qqI @+u+  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 /P%OXn$i/  
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    更多阅读 r t0_[i  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer 6^e}^~|  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     `n?Rxhkwp  
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     #IR,KX3]A  
    QQ：2987619807 K1$   
     
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