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摘要 =U%Rvm m< _S_c 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 NS%WeAf
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)M6w5g 建模任务 8V^oP] Y i;LXu%3\  1N7Kv4, 概述 =jB08 A TT =b79k •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 *%{gYpn •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Oo"^%F~% Og,$ sH}`
 BZ zrRC & |f@$ff 光线追迹仿真 H,Z;=N_ 0 stc9_O •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 WI?oSE w •单击go！ s CR67/ •获得了3D光线追迹结果。 X!e[GJ M$Zcn# A
 +L7n< U3 H&:jcgV*P 光线追迹仿真 $2W%2rZ *:ZDd •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 I 'V4D[H5 •单击go！ N5a*7EJv+ •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 :2
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 .zi_[ u(fm@+$^ 场追迹仿真 DRcNdO/1E N<~t3/Nm •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 &l!4mxwr` •单击go！ 3AU;>D ^5 _lamn }(x0  ~`aa5;Ab_
L*YynF 场追迹仿真（相机探测器） Vh_P/C+ < 1uZa •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Zl^\Q=*s •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Wk)OkIFR |S_eDjF
 DGS $Ukz&T IZpP[hov 场追迹仿真（电磁场探测器） 8fl`r~bqZ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 E*]bgD7V
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Tf'hc]`vS 场追迹仿真（电磁场探测器） C{U?0!^
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