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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 Ur!~<4GO  
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    高数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 fu4!t31  
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    建模任务 r N5tI.iC  
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    66\jV6eH7L  
    概述 +,5-qm)Gh>  
    =a$Oecg?  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 }x:f%Z5h  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ~L{l+jK$p  
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    0L#/lDNk  
    光线追迹仿真 VhEka#  
    qP1FJ89H  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 h`Tz5% n  
    •单击go! u0 y 1  
    •获得了3D光线追迹结果。 PsnGXcj  
    +Qj(B@ i  
    [4Q"#[V&9  
    O!&,5Dy  
    光线追迹仿真 )T|L,Lp  
    Eu,`7iQ?(  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ,6,]#R :J  
    •单击go! fex,z%}p  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 Vf $Dnu@}z  
    w>e s  
    MX|H}+\  
    DjLL|jF  
    场追迹仿真 X}A'Cg0y  
    _[h8P9YI4  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 >:1P/U  
    •单击go! v=?2S  
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    j !H^-d}q  
    IV`%V+ f  
    场追迹仿真(相机探测器) HM9fjl[  
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    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 DAO]uh{6  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 'T8W!&$  
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    场追迹仿真(电磁场探测器) "Cz<d w]D  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Hi}RZMr1  
    xTz%nx  
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    quxdG>8  
    场追迹仿真(电磁场探测器) r 2:2,5_  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ec3<%+0f  
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    文件信息 8V/L:h#7  
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    更多阅读  C})'\1O%  
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    QQ:2987619807 {FO$yw=>  
     
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