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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 P!yE{_%  
    BeZr5I"`}  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 s.z(1MB]  
    )G6{JL-I  
    Dp|y&x!  
     5]yQMY\2)  
    建模任务 eqD|3YX  
    z zL@3/<j  
    :f (UZmV$  
    概述 zr%2oFeX,  
    E O^j,x g  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 !mhV$2&r  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Wkw.z  
    F9(*MP|  
     t_1(Ex  
    ?EF[OyE  
    光线追迹仿真 U{(B)dFTH  
    MKIX(r( |  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 @]yd Wd  
    •单击go！ SQ7Ws u>T@  
    •获得了3D光线追迹结果。 -[A4B)  
    qP? V{N  
     csP 5R3  
    vd`;(4i#X  
    光线追迹仿真 ${\iHg[vZ  
    :tclYX  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 @-y.Y}k#$~  
    •单击go！ ^hPREbD+f  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 4DaLt&1  
    >jxo,xz  
     `j+aAxJ=\  
    hh\}WaY  
    场追迹仿真 %5<uQc9  
    $g? ]9}p  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 -0[?6.(s"  
    •单击go！ Y'tPD#|r  
    1FC'DH!  
    |HhqWja  
     ;{mKt%#  
    场追迹仿真（相机探测器） F)dJws7-  
    o%dKi]  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 :l~^un|<2Y  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 "b)Y5[nW  
    4cC  
     TC7&IqT  
    1b*Me'  
    场追迹仿真（电磁场探测器） nT.i|(xd.  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 8Mx+tA  
    D; xRgHn  
    WE;QEA/  
     xZ'-G6O "~  
    场追迹仿真（电磁场探测器） G Y??q8  
     .W4P/P w'  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 XL9smFq  
    h"h3SD~  
     Cu*+E%P9`  
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    文件信息 |C;8GSw>|F  
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     byALM  
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    更多阅读 kg0X2^#b  
    Sg#$ B#g  
    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer ./SDZ:5/  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     4^4<Le-G  
    @E Srj[  
     lG[@s 'j  
    QQ：2987619807 6T*MKu  
     
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