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摘要 w35J.zn &U5{Hm9Ynr 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 AGQ#$fh>7=
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17oa69G 建模任务 rvbLyv;~ |:xYE{*)H  ;*:]*|bw 概述 [z`31F x 7: s]<kE •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 GT }F9F ~ •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 XWS%zLaK ,9}h
 A+"ia1p,} #\.,? A}9 光线追迹仿真 JOR Gj0v Jq &uF*! •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 .TND a& •单击go！ h_:C+)13`x •获得了3D光线追迹结果。 4' g;TI^ >L; eO'D
 ]b7zJU z E*V `":efS 光线追迹仿真 bx{$Y_L+p p?7v$ev_ •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Y^8C) p9r •单击go！ VY;{/.Sa •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 =BSzsH7 - @yh> 8v
 Pe3@d|-,MU 75"f2; 场追迹仿真 _aFl_\3> ko.(pb@+ •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 [S HXJ4P* •单击go！ }=gx# s+,OxRVw(  OGde00
s>;v!^N?u 场追迹仿真（相机探测器） h]+C.Eqnt# }!"A! ~& •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 -8:&>~4` •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 @kpv{`Y )6,de2Pb
 xO^:_8=&: PP;}e 场追迹仿真（电磁场探测器） /^X/ 8 •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 +$C 4\$t 6x h:/j3  }.3nthgz
tZ=E')!\ 场追迹仿真（电磁场探测器） Gn|F`F
D7lK30 •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 k. MUdU^ pk?w\A}
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-Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination ^B(V4-| YP .5fq:
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