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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 N$<R6DU]K  
    $[+)N ~  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 l|K$6>80  
    G)&S%R!i\N  
    WO[O0!X  
     X> U _v  
    建模任务 F<Ig(Wl#az  
    .:B;%*  
    #:tC^7qk  
    概述 &|fWtl;43  
    P$6 Pe>3  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 j-7aJj%  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 aJ J63aJ  
    {Hzj(c~S?  
     pLtK:Z  
    SL?YU(a  
    光线追迹仿真 x,TnYqT^  
    `a9iq>   
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ev1:0P  
    •单击go！ G k:k px  
    •获得了3D光线追迹结果。 %;b]k  
    0t6DD  
     <AU0ir  
    __`6 W1  
    光线追迹仿真 pg{cZ1/  
    "0J;H#Y"#  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 !k!1 h%7q  
    •单击go！ ^CP>|JWD^  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ^#4Ah[:XA  
    _3q}K  
     nRs:^Q~o  
    VUZeC,FfO  
    场追迹仿真 [I}xR(a@n  
    4++pK;I  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 L$v<t/W  
    •单击go！ bRK\Tua 6  
    r\FduyOXv  
    j8;Uny9  
     i'[! 'HY  
    场追迹仿真（相机探测器） n2Ew0-  
    $ J!PSF8PL  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 >LJ<6s[=  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 $.zd,}l@L  
    5. +_'bF|  
     -x-EU#.G  
    z&CBjlh  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ym'!f|9AA  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 XC4wm#R  
    w|61dB  
    '~zi~Q7M  
     _}tPtHPa/  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 0KA@ ]!  
     hP$5>G(3  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 }H|'W[Q.  
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    文件信息 k\IdKiOj!D  
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    更多阅读 8L5O5F'  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer Q;GcV&f;f  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     eu'~(_2  
    8y;gs1d;A  
     G|TnvZ KX  
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