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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 Vhr6bu]  
    O%haaL\  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。  +cKOIMu9  
    *||Q_tlz  
    G6+6u Wvl  
     9%bErMHL  
    建模任务 \A)Pcc}7  
    SpYmgL?wJ  
    MSRk|0Mcr  
    概述 *adznd  
    M?GkHJ%!  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 p#_ 5w  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Zo }^"u  
    @th94tk,  
     drk BW}_  
    upX@8WxR  
    光线追迹仿真 |~PaCw8-ge  
    6As%<g=  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 g/i%XTX>  
    •单击go！ xA`j:zn'j  
    •获得了3D光线追迹结果。 cOZBl;}  
    @#$(Cs*{]  
     e8#83|h  
    \CV HtV  
    光线追迹仿真 W/}_y8q  
    q ]VB}nO  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 #9F>21UU  
    •单击go！ u[oV Jvc  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 E!BzE_|i  
    $EEn]y  
     &flRrJ  
    </1]eDnU  
    场追迹仿真 _zi| GD  
    =8%*Rrj^  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 sriDta?Cz  
    •单击go！ j>uu3ADd2  
    ek]nLN  
    u6Wan*I?  
     >,h{`  
    场追迹仿真（相机探测器） IV1Y+Z )  
    %5DM ew  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 cza_LO(  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 72.Msnn  
    DHv86TvJt  
     #NYHwO<0-  
    }L&LtW{X  
    场追迹仿真（电磁场探测器） $mE3 FJP>  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 *Ms"{+C  
    SMJRoK3  
    k_ywwkG9lU  
     ';My"/ Z-  
    场追迹仿真（电磁场探测器） j"aY\cLr t  
     0fn*;f8{XJ  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 q-ko)]  
    'Cz*p,  
     F&m9G >r  
    &1?6Q_p6c  
    文件信息 dUt4] ar  
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     NQX?&9L`r  
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    更多阅读 LHXR7Fjc  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer f1+  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     R=&-nC5e  
    !{+.)%d'g  
     c@"FV,L>  
    QQ：2987619807 /<IWdy]$3  
     
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