-
UID:317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2025-04-02
- 在线时间1761小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
摘要 p1KhI;^ *E/Bfp1LIe 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 fB$a)~ rt+4-WuK>
Yqs=jTq`{ :TQp,CEa 建模任务 =*\.zr
?J:w,,4m ftYJ 3/ WH 概述 Sb`[+i'` s/"bH3Ob9v •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 +_]Ui| l •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 \L*%?~ \jC) ;mk
['mpxtG PF~@@j 光线追迹仿真 d1D
f` v}$Q •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 GeR#B;{ •单击go! c]9gf\WW •获得了3D光线追迹结果。 N1'`^a y$ (K[{X0T
Jh\KVmfXN `yfZ{< 光线追迹仿真 #p(gB)o:l {lds?AuK •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Orq/38:4G •单击go! _5p$#U` •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 WzzA:X TUp\,T^2
|=}+%>y_ ]K(a32V CH 场追迹仿真 :xsZz$ lO-DXbgql$ •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 N'2?Z b •单击go! b-&rMML 1mmL`M1 kORWj< hY4# 4A`I 场追迹仿真(相机探测器) wiN0|h>, lD0p=`. •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 (@^9oN~} •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 e1Db
+ QBV a OmG, +o
JT
7WZc) ? $B4'wc5 场追迹仿真(电磁场探测器) iWt%Boyi •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 pz^S3fy _A,_RM$Y K&[0`sH! e i=
4u' 场追迹仿真(电磁场探测器) FF8jW1 :BxO6@>Xc •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 IUOf/mM5 2* g2UP
S|=)^$: b~^'P 文件信息 LW<LgN"L- \92M\S
vsI;ooR> |<{SSA 更多阅读 2VV>?s E]#;K-j -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer oRbWqN`F. -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination nFni1cCD hrniZ^ Be{@ L QQ:2987619807 U4d7-&U
|