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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 - "EPU]q  
    hC4 M}(XM  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 t&i4kS^y  
    oB(9{6@N  
    U|<>xe*|%  
     7x]q>Y8T  
    建模任务 1vYa&!  
    G8WPXj(  
    ehLn+tg  
    概述 D!8v$(#hR  
    SmAii}-jf  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 kjDmwa+91T  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 2UIZ<#|D>s  
    =y>CO:^G%  
     6n|][! f  
    }~p%e2<  
    光线追迹仿真 3:)_oHq  
    0+k..l  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 b4f3ef  
    •单击go！ ??P %.  
    •获得了3D光线追迹结果。 IBUFXzl  
    >2F9Tz,3  
     R?y_tho4A  
    \;iOQqv0&  
    光线追迹仿真 j'OXT<n*  
    QX42^]({;c  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 w}s5=>QG%  
    •单击go！ e jR_3K^  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 \}\# fg  
    Dk&(QajL  
     ac6@E4 _  
    +~|Jn_:A f  
    场追迹仿真 <m0=bm{j  
    ; K,5qs  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 mmG]|Cl@  
    •单击go！ Z ;[xaP\S  
    RN}joKV  
    KEdqA/F>  
     i3pOGa<  
    场追迹仿真（相机探测器） VrWQ]L  
    'blMwD{0&\  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 DL d~  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 _~ 'MQ`P  
     8hYl73#  
     %zo 6A1Q;  
    q#1G4l.  
    场追迹仿真（电磁场探测器） !E|R3e X_  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 l5]R*mR  
    WYP\J1sy  
    H/k]u)Gtv  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） /0!.u[t)~  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 m 2/S(f  
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