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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 -5@hU8B'a  
    9jllW[`2F  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 s^/2sjoL  
    SU(J  
    pAyUQe;X#  
     8L*#zaSAf  
    建模任务 DKG; up0  
    -$`q:j  
    Pxgal4{6  
    概述 0<nW nD,z  
    c&"1Z/tR  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Sy^@v%P'A  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 o}yA{<"  
    a4",BDx  
     srH.$Y;~  
    {T3wOi  
    光线追迹仿真 afjEN y1  
    Iz&<rL;s  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 LftzW{>gI"  
    •单击go！ ~$YasFEz  
    •获得了3D光线追迹结果。 9 $zx<O  
    peVzF'F  
     y4Nam87;/?  
    Ee=!bv(%70  
    光线追迹仿真 H:o=gP60]  
    l;h5Y<A%?  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Cm-dos  
    •单击go！ +d3h @gp  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 pMkM@OH  
    _;:B@Z  
     X&!($*/  
    F`o"t]AD-a  
    场追迹仿真 Nb\B*=4AR  
    cgR8+o  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ;z~j%L%b  
    •单击go！ K\5/||gi  
    Q1x=@lXR  
    la`f@~Bbr1  
     XKvH^Z4h{l  
    场追迹仿真（相机探测器） 3*eS<n[uG  
    ;Ehv1{;  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 $Eo-58<q  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 o1[[!~8e  
    svMu85z  
     J n'SGR  
    mEbj  
    场追迹仿真（电磁场探测器） GsIqUM#R  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 \sS0@gnDI  
    U+ V yH4"  
    iL'j9_w,  
     Om2w+yU  
    场追迹仿真（电磁场探测器） _hEr,IX=J  
     j_SUR)5  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 e,l-}=5* P  
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    文件信息 M/YS%1  
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    更多阅读 fj[Kbo 7!h  
    L!~ap  
    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer Ce} m_  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     3lN@1jlh  
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     lO HW9Z  
    QQ：2987619807 lDZ~  
     
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