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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 QO&{Jx.^[  
    v+b#8  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 pSC\[%K  
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    建模任务 :kb2v1{\  
    .%x%b6EI  
    uZ/XI {/  
    概述 }\$CU N  
    (.Th?p%>7  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 r|,_qNrw  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 #PJHwvr  
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     mN&B|KWU  
    N R0"yJV>  
    光线追迹仿真 )nM<qaI{  
    mY 1Gm|  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 :H(wW   
    •单击go！ hzcSKRm  
    •获得了3D光线追迹结果。 MX )mm^A  
     Ww&r  
     oH ] _2[ !  
    mNk@WY_F  
    光线追迹仿真 2P( 6R.8;6  
    5"WI^"6b:  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 uG){0%nX  
    •单击go！ >f*-9  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 LuE0Hb"S8  
    m<liPl uv  
     xMr=tU1C  
    %5yP^BL0  
    场追迹仿真 uy'qIq  
    pt_]&3\e  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 T jrz_o)  
    •单击go！ ;#XF.l,u  
    F(DM$5z[  
    >*]dB|2  
     Tf{lH9ca$  
    场追迹仿真（相机探测器） s/\<;g:u^  
    k((kx:  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 f!K{f[aDa  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 m8,jVR  
    "%rzL.</  
     V M{Sng  
    nJ2910"<  
    场追迹仿真（电磁场探测器） | <bZ*7G  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 x,j%3/J^2  
    9 K~X+N\  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） l[Ko>  
     <El!,UBq<  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 oEJxey]B7  
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    更多阅读 Mt*eC)~ Yx  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer *]>~lO1  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     (gEz<}Av.  
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    QQ：2987619807 1B`JvNtd  
     
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