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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 Pf(z0o&  
    =BNmuAY7  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ?4gYUEM#  
    R},mq&f5  
    >f}rM20Vm  
     *3. ]  
    建模任务 FDpNM\SR1l  
    Fvi<5v  
    9> [ $;>  
    概述 Wp T.25  
    D Q~+\  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ]]9eUw=  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ~Dgui/r9J  
    5RZAs63t  
     ><^A4s  
    ioh_5 5e  
    光线追迹仿真 X~n Kuo  
    $+V{2k4X,  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 l3(k  
    •单击go！ %~$4[,=  
    •获得了3D光线追迹结果。 3$WK%"%T  
    N[r@Y{  
     >(d+E\!A  
    .KK"KO5k  
    光线追迹仿真 &W|'rA'r  
    *>Om3[D  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 N b(se*Y#  
    •单击go！ aD0w82s]J  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 hLJO\=0rJz  
    ilpg()  
     ou96 P<B  
    7r*>?]y+  
    场追迹仿真 sm\/wlbE  
    :i?Z1x1`  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 OJ] {FI  
    •单击go！ dp_J*8  
    5M*q{kX)  
    <}.)kg${O  
     l,sYYU+iY  
    场追迹仿真（相机探测器） -/7[_,  
    .hZ =8y9  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 P,tN;c  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 .{)b^gE  
    `| R8WM  
     LOe!qt\&  
    `M"b L|[R  
    场追迹仿真（电磁场探测器） L'z?M]  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 %3"3OOT7  
    9.PY49|  
    $3"0w   
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    场追迹仿真（电磁场探测器） 7Zr jU {  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 +Y 3_)  
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    更多阅读 b*.)m  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer `qs'={YtU  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     ?55('+{l  
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    QQ：2987619807 => -b?F0(c  
     
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