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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 \S]"nHX  
    i{#5=np H  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 O8&=qZ6T  
    oCl $ 0x  
    3J^"$qfSn  
     3^ct;gz  
    建模任务 r2KfZ>tWg"  
    ?{@UB*  
    \0K3TMl)J  
    概述 RmR-uQU-c  
    m :6.  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 }8H_^G8  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Ts+S>$  
    ;oe j~  
     \ O*8%  
    {_ &*"bK  
    光线追迹仿真 YQ\c0XG  
    !=C74$TH  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 PrA?e{B5m  
    •单击go！ [8-. T4  
    •获得了3D光线追迹结果。 ]Wc:9Zb  
    #FAy ]7/O  
     x WZ87  
    {P/5cw  
    光线追迹仿真 Hr?_`:  
    Dz<"eyB\  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Gr1WBYK  
    •单击go！ K,ccM[hu|  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 =/ b2e\  
    T#HW{3  
     |OgtAI9  
    ,YEwz3$5u  
    场追迹仿真 ,'7 X|z/_>  
    *0EB{T1  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 (%bqeI!ob  
    •单击go！ ~\UH`_83[  
    s{"}!y=]  
    +,"O#`sy<  
     K\bA[5+N  
    场追迹仿真（相机探测器） NCid`a$  
    dX720/R  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 "@P)  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 xI'sprNa_1  
    |a>W9Ym  
     )~u<u:N  
    _4Ciai2Ql  
    场追迹仿真（电磁场探测器） jcC "S qL  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 %%7~<=rk  
    _LYI#D  
    VL[}  
     &jbZL5  
    场追迹仿真（电磁场探测器） h(<2{%j  
     lhp.zl  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ;J]Lzh  
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    bL6, fUS  
    文件信息 E8`AU<  
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    更多阅读 qm!&(8NfK  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer `dGcjLs Iz  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     =IIB~h[TB  
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    QQ：2987619807 D^!x@I~:  
     
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