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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 .qZz 'Eq[  
    Er j{_i?R?  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 r/ g{j  
    u$[8Zmgzz  
    'hBnV xd&  
     AmDOv4  
    建模任务 2!B|w8ar  
    'ZMh<M[  
    [j'!+)>_  
    概述 t7x<=rW7u  
    W5`pQdk  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 )/)u.$pi  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ]9/A=p?J@  
    L{F]uz_[x  
     @U5gxK*  
    %?gG-R  
    光线追迹仿真 Tt~[hC h  
    SIrNZ^I  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 E:**gvfq  
    •单击go！ K\U`gTGc  
    •获得了3D光线追迹结果。 Z@Q*An  
    g&2g>]  
     Y3:HQ0w`|  
    ]9w)0iH  
    光线追迹仿真 _p0Yhju?  
    qX-5/;n  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 hui #<2{  
    •单击go！ Sj(>G;  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ~$T>,^K y  
    ,(x` zpp _  
     <H60rON  
    zMP6hn  
    场追迹仿真 hjg1By(  
    |f$+|9Q?  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 =Vs?=|r  
    •单击go！ V>)/z|[  
    #`|Nm3b  
    }WC[ <AqI  
     *'8q?R?7g  
    场追迹仿真（相机探测器） &57~i=A 3  
    IW<rmP=R&  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 \X*y~)+K`  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 A ~vx,|I  
    Qv ~@  
     U~ a\v8l~  
    #btf|\D  
    场追迹仿真（电磁场探测器） p!:oT1U  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 K(u pz n*a  
    S5>ztK.e  
    PsNrCe%e  
     QEt"T7a[/  
    场追迹仿真（电磁场探测器） q6-o!>dLQ  
     (VM CVZ  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 7 SJ=2  
    AA,/AKikd  
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    文件信息 cb)7$S  
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