切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学设计仿真实验指导 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1409阅读
    • 0回复

    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6655
    光币
    27424
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 !@6P>HzY$  
    q,e{t#t  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 KOQiX?'  
    jCJbmEfo9@  
    d]3c44kkK{  
     "7w~0?}  
    建模任务 [ H~Yg2O  
    tYe+7s  
    $q"/q*ys  
    概述 Lg;b17  
    UxGr+q  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Mz?xvP?z  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 jb~W(8cj  
    O }ES/<an  
     >M}\_c=  
    For`rfR  
    光线追迹仿真 $0-}|u]5U  
    dz3KBiq  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 v jTs[eq>  
    •单击go！ /0S2Om h  
    •获得了3D光线追迹结果。 TT85G&#  
    5} v(Ks>  
     WFGcR9mN?  
    Dw%V.J/&o  
    光线追迹仿真 .J/x@  
    b `W2^/D  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 S.: m$s  
    •单击go！ miWPLnw=L  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 2H,^i,  
    6%j v|\>  
     v?s]up @@h  
    # NoY}*  
    场追迹仿真 3SI~?&HU!/  
    "mbjS(-eg  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 5l(8{,NDt  
    •单击go！ )2nx5 "  
    $uPM.mPFE  
    /~8<;N>,+  
     G{ |0}  
    场追迹仿真（相机探测器） CMcS4X9/}  
    ?g ~w6|U(r  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ?Aq \Gr  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 6w?l I  
    jX9{Ki"  
     (Xak;Xum1  
    Mk3~%`  
    场追迹仿真（电磁场探测器） QbN7sg~~  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 xr;:gz!h  
    K)D5%?D  
    \! *3bR  
     ?k|}\l[X1  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Wzn!BgxRr  
     =&!L&M<<  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ZaNZUVBh  
    %2S+G?$M?  
     0P+B-K>n  
    b}f#[* Z  
    文件信息 `rwzCwA1  
    o4[  
     w[K!m.p,u  
    O<*l"fw3  
    更多阅读 ,k9@%{4 l  
    OBCH%\;g  
    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer B#A .-nb  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     XEUy,>mR  
    i"B q*b@  
     1#Ls4+]5  
    QQ：2987619807 tc|`cB3f  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表