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摘要 rk2j#>l$4 OmpND{ w 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ,+DG2u
O7m(o:t x3
 ^R7lom.
QL&Z jSN 建模任务 5y [Oj^ ^e _hLX\SW  feDlH[ $ 概述 H9`)BbR IqaT?+O\?r •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 N=5a54!/ •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ]?kZni8j_ JV^=v@Z3
 qFCOUl $aDVG}) 光线追迹仿真 *=/ { HvJ {9&;Q|D z •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 x_N'TjS^{ •单击go！ )9{0] u;9 •获得了3D光线追迹结果。 2^[ `e g Eex~xiiV
NI76 U |^"1{7) 光线追迹仿真 [I,Z2G,Jb ;>EM[u •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 "Y
=;.:qe •单击go！ wo;~7K •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 dk#k bG; s^G.]%iU
 |}s* E_/[ [2!w_Iw' 场追迹仿真 w7.V6S$Ga VGy<")8D/ •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 '6iEMg&3 •单击go！ #C74z$ Z*]9E^  PB\(=
Q0`wt.}V2 场追迹仿真（相机探测器） ;40/yl3r3[ D[[|")Fn •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 H7&8\ FNa •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 0y 'H~( \R9(x]nZ%
 Y1W1=Uc uk .nf#c.DI 场追迹仿真（电磁场探测器） 1Ti f{i,B •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 G#q@v (_b L2[($ l  2+ N]PW\V
b5dD/-Vj 场追迹仿真（电磁场探测器） hP%M?M KC
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