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1. 摘要 19(x$=: O^./)#!# 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 , vvfk=- e~)4v _8K8Ai-~.> A0A|c JP 2. 建模任务 2P`./1L _nzq(m1@
L3Y2HZ D?S|]]Y!q 3. 干涉条纹的变化 &,PA+# M^HYkXn[
TBJ?8W( 7=X6_AD 4. 走进VirtualLab Fusion 5M'cOJ @V^.eVM\R
O"TVxP: =Oh$pZRymu 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 P%yL{ Z|UVH
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