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1. 摘要 Ae=JG8Ht~ _1RvK? ;.{ 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 ]["%e9#aX D5xQ f"gYXaVF+ 4<tbZP3/6) 2. 建模任务 EKO'S+~ j=U"t\{
$@kOMT ">!pos`<C 3. 干涉条纹的变化
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ayp5 ZD]{HxGL! 4. 走进VirtualLab Fusion T}z? i U]+I P;YS
E$z- |-{> e}-fGtFx 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 l?IeZisX #-Mr3
OLt0Q.{ "6IZf>N@# 6. VirtualLab Fusion 技术 _\yR/W~ L<oQKe7Q:
m+8:_0x " 7. 文件信息 o"0~ b 1.S21
F5+FO^3E T^MY w 更多阅读 IhK
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