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1. 摘要 $59nu7yr ?;+ ^ 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 >6k}HrS1V s`r-v/3l }D Z)W0RDe lD-V9 2. 建模任务 7|K3WuLL \w3%[+c
>eRZ+|k?N fqN75['n 3. 干涉条纹的变化 PqVW'FYe h)^dB,~
keaj3#O &0JK38( 4. 走进VirtualLab Fusion k)|'JDm HLM;EZ
B( 8mH {v,{x1 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 ' *}^@[& 2+,5p
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