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1. 摘要 Pxlc RF &9yZfp 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 'R7 \ -> cL) C96/ KF.{r 2. 建模任务 _ \D% c[h~=0UtJ
n|i:4D [X(4( 1i 3. 干涉条纹的变化 /LD3Bb)O $^]K611w9
8dczC .GrOdDK$ns 4. 走进VirtualLab Fusion ]5ZXgz '~[8>Q>
n7Ao.b%uk- 51|ky- 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 #Bd]M#J17a QNNURf\[(
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