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摘要 hlKM4JT\ }+]
l_! v* 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 0) N u
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 ]Y; 5U VPi*9(LS 建模任务 z*,J0)<Q 9u0<$UY%  2p|ed=ly% 光栅特性与参数的严格分析 +Z7:(o< i U"2uLgb 不同光栅周期下的衍射效率 v {r,Wy 3 0]k-0#JM
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 ^G C 8^f VRA0p[ VirtualLab Fusion中的工作流程 n-x%<j(Xf
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•构造光栅结构 vv^(c w>A
−通过使用界面来配置光栅结构 [DSD[[
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[用例] JAU:Wqlg1
•分析光栅衍射效率 s5&v~I;>e
−光栅级次分析器[用例] (aX6jdvo
•使用参数运行搜索初始解决方案 ~ L?q.*q
−参数运行文档的使用[用例] RGz NZc
•通过参数优化找到最终设计 JG* Lc@ Q Dl=qss~g+ VirtualLab Fusion技术 =*=qleC3 gaVQ3NqF
 M D,+>kh c=u'#|/eb 文件信息 !A=>B=.|D <?Y.w1 +^<-;/FZue  &k@r23V7r
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