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摘要 st:`y=F _ +b3RkkC 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 l:,'j@%
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 @v)p<r^M"> !C3MFm{ B 建模任务 SVh 7zh Ki$MpA3j  BMG3|N ^ 光栅特性与参数的严格分析 # Oc ]
@ yDegcAn? 不同光栅周期下的衍射效率 q=Sgk>NA OuID%p"O
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 R]c+?4J 591>rh ) VirtualLab Fusion中的工作流程 f HE <(
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 p4. wh|n q0i(i.h •构造光栅结构 Vwg|K|
−通过使用界面来配置光栅结构 l2zFKCGF(
[用例] q >_/u"
•分析光栅衍射效率 'y;EhOwj,
−光栅级次分析器[用例] V)Z}En["1
•使用参数运行搜索初始解决方案 2h|MXI\g
−参数运行文档的使用[用例] 8n#HFJ~
•通过参数优化找到最终设计 Bn=by{i <Swt); VirtualLab Fusion技术 nrL9
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