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摘要 oBmv^=cH eAO@B 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 lL V D`)
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?!G. &7kLSb&|; 建模任务 DaH4 Br.2 dw#pObH|`  "o%okN 光栅特性与参数的严格分析 N]8/l:@ Wv 5= $y 不同光栅周期下的衍射效率 c-zW
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 G{pF! q z xgDaT 通过参数优化进行光栅设计 e}gGl<((g U0|wC,7" 固定周期的2D参数优化 Cjt].XR@ Gf7r!Ur;g
 FBi&M Z` 2D参数优化–设计1 </9c=GoJ
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 o|KmKC n> dpdp0 制造公差分析 NljcHe}Qy
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 xs)SKG* ]o9^?iU] VirtualLab Fusion中的工作流程 _Pw5n
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 Zh:@A Fz:R /KgP<2p •构造光栅结构 Y4Jaw2b
−通过使用界面来配置光栅结构 CTB
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[用例] CrGDo9JdvT
•分析光栅衍射效率 GKXd"8z]
−光栅级次分析器[用例] bhjJH,%_>
•使用参数运行搜索初始解决方案 n7#}i2:
−参数运行文档的使用[用例] HvG~bZN
•通过参数优化找到最终设计 r+k~%5Ff~ |3EKK:RE VirtualLab Fusion技术 X5)].[d t;
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