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摘要 dlU
JYI W o<PmSt9i 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 wC4AVJJ^>
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 "\wDS2M) e3oYy#QNk 建模任务 ;p?42rCIcl JI{O Gr  &Sa_%:*D( 光栅特性与参数的严格分析 *Xf[b)F R WOe{mwhhj 不同光栅周期下的衍射效率 >b/k|?xP o|Yn(xu-
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v#T?YK 关于光栅周期选择的考虑 cP$wI;P
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\ •构造光栅结构 +h\W~muR
−通过使用界面来配置光栅结构 <=GzK:4L
[用例] tV}ajs
•分析光栅衍射效率 V
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−光栅级次分析器[用例] jP7+s.j>
•使用参数运行搜索初始解决方案 "'p +qbT8
−参数运行文档的使用[用例] (Q
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•通过参数优化找到最终设计 1 069 ] %` uRUex VirtualLab Fusion技术 uD* s^ 3lrZ-k+S{
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