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摘要 ^&qK\m_A _%e8GWf 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 bf_
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−通过使用界面来配置光栅结构 b"\lF1Nf&o
[用例] GLIY !BU<C
•分析光栅衍射效率 ^U?Ac=
−光栅级次分析器[用例] i=/hLE8T*
•使用参数运行搜索初始解决方案 ;'Hu75 ymo
−参数运行文档的使用[用例] bj`GGxzOb
•通过参数优化找到最终设计 -0 xo6'mD Jt}`oFQ5l VirtualLab Fusion技术 ktPM6 6`b ~0 +< -T
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