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摘要 }mjJglK!N sW~Z?PFP 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 B)F2SK<@
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 AW8" @ &z-f, `yG 建模任务 GNXQD}L?b? BJ3st  f[n#Eu} 光栅特性与参数的严格分析 (Al.hEs' (9h{7<wD` 不同光栅周期下的衍射效率 A2z%zMlZc A 6'G%of
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4A%O`&eZ 关于光栅周期选择的考虑
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−通过使用界面来配置光栅结构 1Jc-hrN-
[用例] G9:[W"P
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−光栅级次分析器[用例] Xl; u
•使用参数运行搜索初始解决方案 ]zmY] 5
−参数运行文档的使用[用例] Nj*J~&6G
•通过参数优化找到最终设计 qxG @Zd c_x6FoE;L VirtualLab Fusion技术 HGs.v}@& Pb Jn8 o
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