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摘要 oJ#;X R sqRvnCD! 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ^?A>)?Sq
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n`). 55,2eg#{O  Pf hKomt" 光栅特性与参数的严格分析 qzSm]l?z ?/~Q9My 不同光栅周期下的衍射效率 (#qQ;ch vo~ Qo;m
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wARd^Iw 关于光栅周期选择的考虑 d*@K5?O.
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[用例] ezS@`_pR;
•分析光栅衍射效率 9vCCE[9
−光栅级次分析器[用例] w/9%C(w6
•使用参数运行搜索初始解决方案 u7},+E)+B
−参数运行文档的使用[用例] S.?DR3XLc
•通过参数优化找到最终设计 #1WCSLvtV `(E$-m-~jH VirtualLab Fusion技术 gN]\#s@[ /*t H$\6*
 &7r a @]Ac >& 文件信息 z:&/O&? D J7U6{KLq T`GiM%R;g  y<c7 RK]
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