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摘要 T%yGSk Q[9W{l+ 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 w&*oWI$i
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 ,+v>( h>q +o]J0Gu 建模任务 x b! &'cw kBtzJ#j B  ir~4\G! 光栅特性与参数的严格分析 1sq1{|NW~ :464~tHI[` 不同光栅周期下的衍射效率 a&Me#H{ "}b/[U@>
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jx Z_-1 关于光栅周期选择的考虑 mOJ-M@ME
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−光栅级次分析器[用例] S A~oGgk=P
•使用参数运行搜索初始解决方案 C+0BV~7J<<
−参数运行文档的使用[用例] #^w8Y' {?
•通过参数优化找到最终设计 JiGS[tR UC!"1)~mt` VirtualLab Fusion技术 g8]$BhRIfr rR(\fX!dg
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