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摘要 a<k x 95 l`:M/z6" 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 SaH0YxnY+
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?- 建模任务 <Qe30_< K .RxH-]xk  ,P3 nZ 光栅特性与参数的严格分析 ]E .+)> nbj &3z, 不同光栅周期下的衍射效率 f]tc$`vb < S:SIaf0
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[用例] Rg @W0Bc)
•分析光栅衍射效率 Nr 5h%<` I
−光栅级次分析器[用例] X&R ,-^
•使用参数运行搜索初始解决方案 7~(| q2ib
−参数运行文档的使用[用例] <d!_.f}v
•通过参数优化找到最终设计
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