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摘要 o'eI(@{F= ?]W~ qgA 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 )8$:DW;
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 z9M.e. 0 F+ zG)G" 建模任务 mLg{6qm(q B` *f(  {xv?wenE 光栅特性与参数的严格分析 sOl>5:D6 _hy{F%} 不同光栅周期下的衍射效率 ^`rpf\GX( {Z#e{~m#
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 ;7Y[c}V1^ 6v to++ •构造光栅结构 @mf({Q>
−通过使用界面来配置光栅结构 17}$=#SX
[用例] Jf7frzw
•分析光栅衍射效率 AoYaVlKG8
−光栅级次分析器[用例] !@G)$g=<
•使用参数运行搜索初始解决方案 ZK6Hvc0
−参数运行文档的使用[用例] Dkg Uvn/ S
•通过参数优化找到最终设计 1dF a@<5 <l$P&jSF3 VirtualLab Fusion技术 !VwmPAMr#v GWsd| kxU
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