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摘要 0I-9nuw,^; k{R> 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ^lnK$ i
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 :;%2BSgFU y1jCg%'H 建模任务 UP$.+<vm 9d0@wq.  V@.Ior}w 光栅特性与参数的严格分析 H `X UJh >jDDQ@ 不同光栅周期下的衍射效率 ( U D nsF T=
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−通过使用界面来配置光栅结构 Igt#V;kK"2
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−光栅级次分析器[用例] oG?Xk%7&\
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−参数运行文档的使用[用例] r.&Vw|*>
•通过参数优化找到最终设计 # $07:UJ X=&ET)8-Y VirtualLab Fusion技术 9d659i C Xz a(k
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