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摘要 %T \x~) &N0| tn 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 /)TEx}wk
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R  Am4(WXVQ 光栅特性与参数的严格分析 +r_[Tj|Er 7 d)' y 不同光栅周期下的衍射效率 {[ *_HAy7 zK?[ dO
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 HW Os@ !cL uA`PZ| •构造光栅结构 6 <S&~q
−通过使用界面来配置光栅结构 %v:h]TA
[用例] s/H"Ab
•分析光栅衍射效率 }px]
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•使用参数运行搜索初始解决方案 M Py][^s!
−参数运行文档的使用[用例] x]cZm^
•通过参数优化找到最终设计 5?0gC&WfN 9$@ g;?}Ps VirtualLab Fusion技术 cY'To< v _x1[$A,GuB
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