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摘要 zl46E~"]x !1!;}uz t 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 di`Ql._M
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 MuYr?1<q K9}ppgL'$ 建模任务 #b []-L! gm9e-QIHK  mgX0@#wFn 光栅特性与参数的严格分析 ^x %yIS =)"60R7{ 不同光栅周期下的衍射效率 |4pE"6A w H~Q4)#=o
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'Wl) )lB 关于光栅周期选择的考虑 ( }5k"9Z
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−通过使用界面来配置光栅结构 hZVF72D26
[用例] k+'Rh'>
•分析光栅衍射效率 L qMH]W
−光栅级次分析器[用例] `n
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•使用参数运行搜索初始解决方案 }ARWR.7Cc
−参数运行文档的使用[用例] VT? J TW
•通过参数优化找到最终设计 L0qo/6 |C \,!FL)) yC VirtualLab Fusion技术 ~ULuX"n ;yqJEj_m(
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