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摘要 1C/Vwf:@ :>jzL8 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 M(ie1Ju
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 !nQoz^_`P a!&m\+? 建模任务 ,0i72J PpSQf14,  3=0b 光栅特性与参数的严格分析 "ER= c3 t DtZ7UX\P 不同光栅周期下的衍射效率 >QB Dxm N0YJ'.=8,
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!$Arc^7r 关于光栅周期选择的考虑 V9;IH<s:
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 /~g.j1 g w3Dqpo8E 偏振相关的衍射特性 8vj ]S5 g{hbq[>X]
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0 p R1/mzPG 通过参数优化进行光栅设计 G.^^zm sM` ~S0T+4$ 固定周期的2D参数优化 vs*@)'n0 } iUS?xKN$~-
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 LhKUZX,P8 4Gsq)i17j VirtualLab Fusion中的工作流程 ?WrL<?r)}U
[Ib17#74
 sV`XJ9e| 1 <wolTf •构造光栅结构 ^bXCYkx
−通过使用界面来配置光栅结构 o q cu< ]
[用例] > V@,K z1
•分析光栅衍射效率 .u;'eVH)a}
−光栅级次分析器[用例] 6`)Ss5jzk
•使用参数运行搜索初始解决方案 PjU.4aZ
−参数运行文档的使用[用例] w1t0X{
•通过参数优化找到最终设计 lDG.\u BWsD~Ft VirtualLab Fusion技术 5K|s]Y; &fifOF#[ e
 g)iw .M2 }-paGM@'Nd 文件信息 x_x|D|@wM &3Mps[u:h Mm#=d?YUHJ  q<A,S8'm
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