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摘要 [J`%i U 2A5R3x= \ 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 I1 Jo 8s
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 1%R8q=_ B]""%&! O 建模任务 f2abee ."u-5r<O  2^\67@9 光栅特性与参数的严格分析 Z Yi."^l tE~OWjL 不同光栅周期下的衍射效率 R'#1|eWCa a(qij&>
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PU"C(' AP 关于光栅周期选择的考虑 R;6$lO8C&
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 |6 ZH+6[ VX;br1$X 偏振相关的衍射特性 gYtv` O dE`a1H%
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 mn>$K "_k #%=6DHsK 通过参数优化进行光栅设计 Q| gRBu 9HtzBS 固定周期的2D参数优化 =tS1|_ W$I^Ej}>$
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L _N-.=86* 变化光栅周期的3D参数优化 -Tzp;o
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 ^h c&rD )_ ptCF W_UV VirtualLab Fusion中的工作流程 Qh0tU<jG
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 (O v{gj^ L,m '/} $ •构造光栅结构 +5zLQ>]z
−通过使用界面来配置光栅结构 XMR$I&;G8
[用例] "5 /i
•分析光栅衍射效率 ~)Z MGx
−光栅级次分析器[用例] 7jj.maK
•使用参数运行搜索初始解决方案 :Z}d#Rbl
−参数运行文档的使用[用例] [YGPcGw
•通过参数优化找到最终设计 cJ}J4? ir72fSe VirtualLab Fusion技术 pBd_Ba N HFtl4P
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+*O$]Hh 更多阅览 hPb erc2
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