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摘要 ;+(_stxqV9 2L;=wP2?{ 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 m,t{D,
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rVy X<. l(9$ 建模任务 ME0u|_dPjz ? wlRHVZ  3Mm_xYDud 光栅特性与参数的严格分析 7gV9m9 # *xpn-hCp< 不同光栅周期下的衍射效率 CJCxL\ 0&fO)de96
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Yq51+\d 关于光栅周期选择的考虑 +D4m@O
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 C P&u <yX u! 通过参数优化进行光栅设计 E9I08AODS w{dRf!b69 固定周期的2D参数优化 Y DHP-0? EATVce ]T
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 vxk 0@k_ 2bw) , W •构造光栅结构 O%>*=h`P
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[用例] ^ swj!da
•分析光栅衍射效率 f'5
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−光栅级次分析器[用例] ^{=UKf{
•使用参数运行搜索初始解决方案 `W+-0F@Y?@
−参数运行文档的使用[用例] ~/JS_>e#6P
•通过参数优化找到最终设计 W/t,7lPFb D]"W|.6@ VirtualLab Fusion技术
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