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摘要 \;*}zX x]R(twi 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 sV ZZp
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 =)I"wR"v$ H8@8MFz\ •构造光栅结构 e-X HN
−通过使用界面来配置光栅结构 SY-ez 91
[用例] FR
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•分析光栅衍射效率 Vb@ 4( Q
−光栅级次分析器[用例] 0K<x=-cCB
•使用参数运行搜索初始解决方案 v6s\Z\v)Q`
−参数运行文档的使用[用例] UJz#QkAio
•通过参数优化找到最终设计 &<,SV^w ag nPcS3!7B# VirtualLab Fusion技术 . yZm^& fb\DiKsW
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