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摘要 }v@dL3 {f 7P%%p 3 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 _- [''(E
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 #Z}Rf k(~ Ya b%/z2: 建模任务 45=bGf# \6S7T$$ 1m  6 +Sxr 光栅特性与参数的严格分析 mH54j a2 %OtFHhb 不同光栅周期下的衍射效率 Eav[/cU H ;7(}:.
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aC^\( wp[ 关于光栅周期选择的考虑 Av @b! iw+
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 0 62,L~&E Nw:GCf-L 通过参数优化进行光栅设计 anuL1f XO rJd,Rdt. 固定周期的2D参数优化 ZkgV_<M| KMt`XaC9e
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 L9-h;] x! Ok{*fa.PK •构造光栅结构 IOTR/anu
−通过使用界面来配置光栅结构 *?o{9v5}(
[用例] F8hw #!Aq
•分析光栅衍射效率 {- ZFp
−光栅级次分析器[用例] hhb?6]Z/
•使用参数运行搜索初始解决方案 _AYXc] 4%
−参数运行文档的使用[用例] e }mD]O}
•通过参数优化找到最终设计 )_a~}
U]=. >oea{u VirtualLab Fusion技术 `(T,+T4C5k Tfh 2.
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