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摘要 iP@FXJJ {&L^|X 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 P1)87P O*Y ? :
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\<dg *.KVrS<B1 建模任务 f=.!/e70 !b&+2y2i[W 947;6a%$ 光栅特性与参数的严格分析 R_>.O?U4 4S4gK 不同光栅周期下的衍射效率 r^H,H'BohJ q8n@fi6
bZ:xH48MY 1hSV/%v_ 关于光栅周期选择的考虑 TY5R=jh= Z1:<i*6>D
0*+EYnu+ o^Lq8u;i* 偏振相关的衍射特性 Vw.)T/B_D KN"u PW
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=F}qT|K iX<" \pV 通过参数优化进行光栅设计 (h@!_qi9: 9
W|'~r 固定周期的2D参数优化 J*Ie# :J] iOSt=-p
ew~?&= 2D参数优化–设计1 T>7N "C ofw&?Sk0
7a^D[f0V LI&E.(: 2D参数优化–设计2 ^fH)E"qq5 t_*x.{x-
&/-MUKN 'Bxj(LaV- 制造公差分析–设计2 4]$OO' wa{!%qu5.R
R4P&r=? r!O[|h 变化光栅周期的3D参数优化 %NJ0Y(:9( D_[NzCv<-
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BDzAmrO< ,4`Vl<6 VirtualLab Fusion中的工作流程 7R
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B$YoglEW: `LLmdm 6i •构造光栅结构 2+DK:T[ −通过使用界面来配置光栅结构 @$ Nti> [用例] m.
p'LF •分析光栅衍射效率 Eb@**% −光栅级次分析器[用例] 5uahfJk •使用参数运行搜索初始解决方案 2boyBz}=S −参数运行文档的使用[用例] Z 4i5,f •通过参数优化找到最终设计 .VNz(s MRK=\qjD
VirtualLab Fusion技术 !g6=/9 &JKQH
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