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摘要 T-MC|>pv =Jyi9VN=& 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ! 2=m
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 d.e_\]o<@ o|7ztpr 建模任务 M{GT$Q 1&Z#$i D  P~}Yj@2 光栅特性与参数的严格分析 xg(* j[ff3 shk yN 不同光栅周期下的衍射效率 2xxw8_~C +HDfEo T
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 X?aj0# Q w 6 VirtualLab Fusion中的工作流程 cU_:l.b
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 * "d['V3 _ SJ Fuv/ •构造光栅结构 0bfJD'^9RP
−通过使用界面来配置光栅结构 %~I%*=o[
[用例] ` InBhU>
•分析光栅衍射效率 6<o2 0(?
−光栅级次分析器[用例] VmON}bb[zz
•使用参数运行搜索初始解决方案 ,5}")T["u
−参数运行文档的使用[用例] )}to7r7 `
•通过参数优化找到最终设计 ==npFjB U>hpYqf_ VirtualLab Fusion技术 R*O<( |"+UCAU
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