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摘要 \aJ-q?= D0E"YEo\nv 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 7&;jje[
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 z"P,=M6De z7us*8X{ 建模任务 lo]B 5_en 65 e
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 GKDG 5u; xMGd'l? VirtualLab Fusion中的工作流程 7Qztc?XK
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Ot S+p •构造光栅结构 rTiuQdvo
−通过使用界面来配置光栅结构 0<Y&2<v
[用例] tZ 2iSc
•分析光栅衍射效率 }z 2 -|"H
−光栅级次分析器[用例] %;B' >$O
•使用参数运行搜索初始解决方案 C xN@g'
−参数运行文档的使用[用例] T`DlOi]Z_
•通过参数优化找到最终设计 VrL>0d&d +|w~j#j9` VirtualLab Fusion技术 >\Pj(,' uUB%I 8
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