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摘要 vMXn#eR >^f]Lgp 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Nw1 .x
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 fhHTp_u)2 esv<b>`R 建模任务 Pj^Ccd'>= Kna@K$6{w=  (elkk# 光栅特性与参数的严格分析 Vx n- ,y7X>M2 不同光栅周期下的衍射效率 ?I.bC h 9%.tGx
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5e'**tbKH 关于光栅周期选择的考虑 U<yKC8
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 fUS1` 69{q*qCW •构造光栅结构 n ]P,5
−通过使用界面来配置光栅结构 IdWFG?b3
[用例] q{+Pf/M5
•分析光栅衍射效率 #uH% J<U
−光栅级次分析器[用例] 1ihdH1 rg[
•使用参数运行搜索初始解决方案 &\M<>>IB
−参数运行文档的使用[用例] %pImCpMR
•通过参数优化找到最终设计 Z {*<G x 'C<4{agS VirtualLab Fusion技术 xU;;@9X IkJ-*vI6
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