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摘要 ]?p 9)d=%< MZIZ"b 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 `@<>"ff#F wWYo\WH'
t[e`wj+qz }BYs.$7 建模任务 idzc4jR6BT x*'2%3C~ E;1QD/E$ 光栅特性与参数的严格分析 >DM^/EAG{ uKA-<nM._c 不同光栅周期下的衍射效率 D( \c?X" e^=b#!}-5:
6uS;H]nd< R6cd;| fan 关于光栅周期选择的考虑 '_q&~M{ aM5Hp>'nI
m'n<.1;1{j yDapl( 偏振相关的衍射特性 #i;y[dQ f|+aa6hN
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zhZ!!b^6< H |%'$oWp 通过参数优化进行光栅设计 dBm!`;r4 B;64(Vsa8 固定周期的2D参数优化 zI7iZ"2a jR[b7s
[gaB}aLn 2D参数优化–设计1 P=<>H9p:o ()MUyW"S#`
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&gdhq~4# 4+B&/}FDLo 变化光栅周期的3D参数优化 4^GIQEjx #z#`EBXV$6
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-Oplk* 7r{159&= •构造光栅结构 E$C0\O!7 −通过使用界面来配置光栅结构 >@0U B@ [用例] +>QD4z# •分析光栅衍射效率 19;Pjo8 −光栅级次分析器[用例] D[0g0>K •使用参数运行搜索初始解决方案 !BDJU −参数运行文档的使用[用例] =X3Rk)2r •通过参数优化找到最终设计 UT%?3}*u" B-oQjr- VirtualLab Fusion技术 G2yQHTbl M*Ri1
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