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摘要 "\/^/vn? GT'7,+<?N 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 R{)
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 2T@L{ ql sCF40AoY& 建模任务 S~k*r{?H}) cZgMA8
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@GG(7r\/B 关于光栅周期选择的考虑 ?L@@;tt
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 ibvJ Wg /H')~!Yz •构造光栅结构 KiQ(XNx
−通过使用界面来配置光栅结构 tNU-2r
[用例] ?^|QiuU:n
•分析光栅衍射效率 < CDA"
−光栅级次分析器[用例] p ZtgIS(3
•使用参数运行搜索初始解决方案 OCCEL9d
−参数运行文档的使用[用例] '9qn*H`'
•通过参数优化找到最终设计 a\=-D: huz8 6CO VirtualLab Fusion技术 XdpF&B&K7Q o,CBA ;{P
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