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摘要 DbBc Q% 75cW_t,g 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 &=@IzmA
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 T] f ;km ?(' wn< 建模任务 zsEc( E<{ R.r  X:f UI4 光栅特性与参数的严格分析 q~b & Go`vfm"S 不同光栅周期下的衍射效率 )al]*[lY y2Q&s 9$Do
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&n}]w+w 关于光栅周期选择的考虑 e&|'I"
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 dc+>m,3$ }/0X'o 偏振相关的衍射特性 7X`g,b! <prk8jSWV
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 bQzZy5, f&N gS+<K$ 通过参数优化进行光栅设计 B+|Kjlt bWjc'P6rx 固定周期的2D参数优化 AVsDt2A NlA,'`,
 e[{0)y>= 2D参数优化–设计1 S*,17+6dV
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 Q8$}@iA[ "-M p_O] VirtualLab Fusion中的工作流程 ;_XFo&@
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 (Nq=H)cm8 av(6wht8 •构造光栅结构 j\ZXG=j
−通过使用界面来配置光栅结构 JB\UKZXw
[用例] +Z,;,5'5G
•分析光栅衍射效率 x
o;QCOH
−光栅级次分析器[用例] *j|~$e}C
•使用参数运行搜索初始解决方案 9v #CE!
−参数运行文档的使用[用例] Mg+2.
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•通过参数优化找到最终设计 t"sBP LU\ Q1lyj7c#x VirtualLab Fusion技术 J T~4mT .zf~.R;>
 TbMW|0 #w 9FF0%*tGo 文件信息 "BAK !N$9 *nd! )t v<k?Vu  T%+ #xl
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