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摘要 QOUyD;0IW VT4 >6u} 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 F%$ q]J[
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yk, 建模任务 klAlS% qonStIP  Ru#p Jb(R 光栅特性与参数的严格分析 m D% qDKI [Q8Wy/o
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[^}bc-9?i 关于光栅周期选择的考虑
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 Z 1wtOL OJA_OqVp$K VirtualLab Fusion中的工作流程 [r Nd7-j <
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 0:I<TJ~P P'}B5 I~ •构造光栅结构 r: >RH,
−通过使用界面来配置光栅结构 _4 nm h0q4
[用例] aqK+ u.H
•分析光栅衍射效率 k$f2i,7'
−光栅级次分析器[用例] "Lk BN0D
•使用参数运行搜索初始解决方案 [lSQMoi3
−参数运行文档的使用[用例] d)Z&_v<|
•通过参数优化找到最终设计 B1U!*yzG6 `x >6Wk1 VirtualLab Fusion技术 )/Eu=+d Pe\Obd8d
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