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摘要 i}"JCq o2 'Pu;]sC 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 io3'h:+9s
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 tb\pjLB][ rN C3h"i\ 建模任务 )ix E F[Sat;Sll  FQ)Ekss~C 光栅特性与参数的严格分析 dD<kNa}2 r1atyK 不同光栅周期下的衍射效率 9ksrr{tW lGh Ufhk
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;f~'7RKy!G 关于光栅周期选择的考虑 b ;l%1x9r
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 5hMiCod tEj5WEnNE8 走进VirtualLab Fusion L6.R?4B
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 w?q"%F;/ <0m;|Ai'W VirtualLab Fusion中的工作流程 oL;/Qan
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 -(EqBr@_ \Wk$>?+#@ •构造光栅结构 RP9||PFS~~
−通过使用界面来配置光栅结构 8J0tya"z
[用例] =[&Jxy>Y
•分析光栅衍射效率 vI@8DWs
−光栅级次分析器[用例] X1"nq]chGy
•使用参数运行搜索初始解决方案 S0 `*
−参数运行文档的使用[用例] rIb{=';
•通过参数优化找到最终设计 \!3='~2:=o =Sq7U^(> VirtualLab Fusion技术 sBwgl9 n j[6c
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