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摘要 +B1&bOb lH`TF_ 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ZIa,pON
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 _~;%zF X 2b"DkJj' 建模任务 |u?Vl Rt G 3,v'D5  ssx#|InY 光栅特性与参数的严格分析 Sx QA*}N *!$Z5Im 不同光栅周期下的衍射效率 z2t+1 In, Nj3iZD|
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{eI '0== 关于光栅周期选择的考虑 64mEZ_kG,
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 KzO"$+M K&%CeUa 偏振相关的衍射特性 V= *^C+6s <^Vj1s
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 p9?kJKN CA0XcLiFt 通过参数优化进行光栅设计 clV^Xg8D }' AY #g 固定周期的2D参数优化 .>F4s_6l #DFi-o&-
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 > 5~#BrpwG $gBQ5Wd •构造光栅结构 S" Cz.
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−通过使用界面来配置光栅结构 QE(.w
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[用例] :'Qiwf&
•分析光栅衍射效率 A ]A{HEX
−光栅级次分析器[用例] W%g*sc *+
•使用参数运行搜索初始解决方案 ;yt6Yp.6e
−参数运行文档的使用[用例] 13!@L bC
•通过参数优化找到最终设计 ! d zgi: 46 A sD VirtualLab Fusion技术 Zok{ndO@|f J2W-l{`r<
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<oB9J BkB>eE1)Ea 文件信息 Wm}c-GD Q4"\k.
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!uEEuD# 更多阅览 A#"Wk]jX
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- Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings ii )# (b:V hC:' L9Y
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