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摘要 wJC F"e sYbmL`{ 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 l b;P&V
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 DY9]$h*y 'E+"N'M| •构造光栅结构 6pSi-FH
−通过使用界面来配置光栅结构 a&V;^ /
[用例] Dnl<w<}ZU:
•分析光栅衍射效率 NcP/W >lN
−光栅级次分析器[用例] 4(|yl^w
•使用参数运行搜索初始解决方案 :8!RGtn
−参数运行文档的使用[用例] ICvV}%d
•通过参数优化找到最终设计 8AX_y3$ 7/
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