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摘要 ( !m6>m2 }#~E-N3x 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 X%99@ qv
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 lV3k4i RH 67H?xsk@n 建模任务 9;n*u9< Uv?^qe0=  n}9<7e~ / 光栅特性与参数的严格分析 sm?b,T/ aox@- jyr 不同光栅周期下的衍射效率 $AZ=;iP- <tO@dI$~>
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fwx^?/5j 关于光栅周期选择的考虑 r.u\qPT&
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 ~Sf'bj;( jL)Y' 偏振相关的衍射特性 e&A 3=a~\s 4!3<[J;N;
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 ?|`n&HrP wmMn1q0F 通过参数优化进行光栅设计 PktnjdFV U0|bKU 固定周期的2D参数优化 2t0VbAO 1{ T1?9E{bC8A
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 a_D K"8I | llmq 'Q •构造光栅结构 W3X;c*j
−通过使用界面来配置光栅结构 HR
[用例] hPKut x
•分析光栅衍射效率 xo-{N[r
−光栅级次分析器[用例] 0N6 X;M{zh
•使用参数运行搜索初始解决方案 nxm*.&#p?
−参数运行文档的使用[用例] b$*G&d5
•通过参数优化找到最终设计 ^R+CkF4l l K|;L{[[yH VirtualLab Fusion技术 6hFs{P7 t?;=\%^<
 J|z ' <W 6Tq2WZ}<' 文件信息 5mZ 9rLn :X 1Y D{+D.4\  X&i" K'mV
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