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摘要 bD=_44I 9Lv`3J^~ 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 W)o-aX!P GT`:3L CI
~+(+q 6D)
vY 建模任务 :*Sl\:_X) !Il<'+ ^ n&k1'KL&
光栅特性与参数的严格分析 r*y4Vx7 ~u7a50 不同光栅周期下的衍射效率 s!uewS. 1NA>W =p ^Sn,t 0!\pS{$zB 关于光栅周期选择的考虑 yG{'hx6H iw<+rh*C 8q}`4wCD$ yn"8Ma* 偏振相关的衍射特性 Q;Xb-\\ -g_PJ.Hk HtPasFrJ *b~$|H-\ r>A,7{ 7hY~ %E,s*=j ,\xeNUZd 通过参数优化进行光栅设计 Cz8=G;\ Q(>89*b& 固定周期的2D参数优化 gtqgf<mS e\tcP 44]/rP_m 2D参数优化–设计1 u 6$fF= <Hig,(=`. 9!}&&]Q` V1,O7m+F2 2D参数优化–设计2 >a5CW~Z] hZU@35~BN gfR B ZQZ>{K 制造公差分析–设计2 ":tQYo]d "~> # ;x{ XSkx<"U* "O!J6 变化光栅周期的3D参数优化 wRCGfILw uwU;glT "at*G>+ gk1I1)p 制造公差分析 oEGe y8? 2aNCcZw0 .q"`)PT tn>$5}^; 走进VirtualLab Fusion 0 V}knR.l ^0Cr- {|9x*I MDM/~Qpj_ VirtualLab Fusion中的工作流程 oQ{(7.e7) nB[Aw7^|A 8*k#T\ "u@) •构造光栅结构 }uz*6Z(S −通过使用界面来配置光栅结构 \=P+]9 [用例] oj/,vO:QT •分析光栅衍射效率 1O"7%Pvw −光栅级次分析器[用例] MdV-;uf •使用参数运行搜索初始解决方案 &!x!j,nT −参数运行文档的使用[用例] \#?n'qyj •通过参数优化找到最终设计 9TuE. p(g0+.?`~ VirtualLab Fusion技术 87.b7 b. hN=YC\l wi-O}*O
wxYB-Wh< 文件信息 cy%JJ)sf @*`9!K% :FcYjw Q ;V ` EZlcpCS 更多阅览 _BHR ?I[w - Ultra-Sparse Dielectric Nano-Wire Grid Polarizers !$ItBn/_ - Rigorous Analysis of Nanopillar Metasurface Building Block ?BtWM4Id8 - Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings tXDO@YH3S zGjf7VV2a ,<!_MNw[ QQ:2987619807 J{<,V\t)
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