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摘要 kkHK~(>G mpwh= 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 6j {ynt
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 >+i +_^] K9& Q@ 3V 建模任务 +[n#{;]< =m (u=|N3  rf+}J_ 光栅特性与参数的严格分析 E,?IIRg& ^5~x*=_ 不同光栅周期下的衍射效率 PEj d gk8 v{'0Er
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Sn •构造光栅结构 1T,Bd!g
−通过使用界面来配置光栅结构 FS?1O"_
[用例] >E ,/|K*
•分析光栅衍射效率 %2G3+T8*x
−光栅级次分析器[用例] C<^S$
•使用参数运行搜索初始解决方案 &Dp&
−参数运行文档的使用[用例] ]8cD, NS
•通过参数优化找到最终设计 D[YdPg@- ~g~`,:Qc VirtualLab Fusion技术 ;gRPTk$X3 q} g0-Da
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\ 文件信息 qX[C% 73nmDZO| AMK3I`=8WO  hNp.%XnnZ
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