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摘要 8Cx^0 o>]`ac0b}Y 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 0y#Ih {L
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 w42OF7f )KSoq/ •构造光栅结构 = JLh ?Wx
−通过使用界面来配置光栅结构 6aO2:|:yP
[用例] ' _s}o<
•分析光栅衍射效率 /lh z], w
−光栅级次分析器[用例] K-vWa 2
•使用参数运行搜索初始解决方案 gbBy/_b
−参数运行文档的使用[用例] j-@kW'K
•通过参数优化找到最终设计 kK>X rj6 ]:]H:U]p VirtualLab Fusion技术 gApoX0nrv Y&bM CI6U
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