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摘要 y&7YJx 3"5.eZSOW 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 < \h*Zy
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 hO#HvW !d\t: 0; 建模任务 8| w-XR %>i@F =O2<  rqF"QU= l 光栅特性与参数的严格分析 /E)9v$! >&BrCu[u 不同光栅周期下的衍射效率 H \ 3M ~NxEc8Y
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5)mVy?Z 关于光栅周期选择的考虑 9x(}F <L
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 d^tVD`Fm N3Z iGD 偏振相关的衍射特性 t')h{2&&!2 2sUbiDe-
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 #'C/Gy a > =Jsv 通过参数优化进行光栅设计
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M}s0O$ 0 JR)/c6j 制造公差分析 7
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6CKP} VirtualLab Fusion中的工作流程 ]~ 8v^A7u
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 J\{ $ot ;E#\ •构造光栅结构 rrcwtLNb u
−通过使用界面来配置光栅结构 `L\)ahM
[用例] f>z`i\1oO
•分析光栅衍射效率 U` hf vTi
−光栅级次分析器[用例] Fu% X
•使用参数运行搜索初始解决方案 4uUs7T
−参数运行文档的使用[用例] AW/wI6[T
•通过参数优化找到最终设计 Y208b?=9w &K
*X)DAs VirtualLab Fusion技术 [4XC #OgA |1l&@#j!2
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