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摘要 -ik((qx_ rwh 4 /h^S 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 $*P +
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 F6h IG G {!.w} VirtualLab Fusion中的工作流程 KXWz (L!1
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 Ru);wzky :."+&gb •构造光栅结构 :kjs: 6f]
−通过使用界面来配置光栅结构 r.=.,R
[用例] ]{ch]m
•分析光栅衍射效率 2 %H_%Zu9
−光栅级次分析器[用例] ,hT**(W
•使用参数运行搜索初始解决方案 `P*w ZKlW
−参数运行文档的使用[用例] ~1S,[5u|s
•通过参数优化找到最终设计 Dx9k%G)! L,,*8 VirtualLab Fusion技术 7WmY:g#s rQTG- & ,
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