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摘要 N p $ pz yF0\$%H>$ 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 q~48lxDU
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 -1 ;BwlL ^y]CHr 建模任务 @7e h/|Y, P4-`<i]!S  \!Cix}}1 光栅特性与参数的严格分析 NTkGLD1e. F#*vJb) 不同光栅周期下的衍射效率 AK]{^Hvz iC10|0%{
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n,q+ EZd 关于光栅周期选择的考虑
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 k7z;^: sKVN*8ia 偏振相关的衍射特性 ]3u ErnI !o1{. V9q
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 r BQFC 4L OOA %NKV 通过参数优化进行光栅设计 $O9 Nprf osPJ%I`^ 固定周期的2D参数优化 Cp` [0v~0 T[]2]K[&B
 ,K'>s<} 2D参数优化–设计1 N3n FE:`u]
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 S{' /=Px+ q1} HsTnBH 制造公差分析–设计2 (ZH5/VKp
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b1& ;T0F1 变化光栅周期的3D参数优化 D ;VQoO
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 A(zF[\{] Yt*2/jw^ 制造公差分析 K(@QKRZ7[
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 BB@I|)9O( (WZKqt)S"o 走进VirtualLab Fusion ` ]%\Y>(a}
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 :ZG^`H/X1d k]?M^jrm VirtualLab Fusion中的工作流程 GO0Spf_Gh
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 \9k$pC+l DID&fj9m •构造光栅结构 8fA9y Q 8
−通过使用界面来配置光栅结构 &S[tI$
[用例] O92a*)
•分析光栅衍射效率 WvSh i=
−光栅级次分析器[用例] banie{ e
•使用参数运行搜索初始解决方案 \)Jv4U\;
−参数运行文档的使用[用例] =Lx*TbsFYt
•通过参数优化找到最终设计 E) z[@Np mw0#Dhyy1= VirtualLab Fusion技术 / !J1} S N5 ITb0Tv
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