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摘要 _Fkz^B* 0 7b =Zhh 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 |kG j}v3
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 ;S0Kf{DN2 @S9^~W3G3 建模任务 XtCG.3(LY Ui|z#{8 &  QNWGUg4*& 光栅特性与参数的严格分析 :<gC7UW ? `hA :X< 不同光栅周期下的衍射效率 h(C@IIO^;G V$0mcwH
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4Dy|YH$>S 关于光栅周期选择的考虑 x/N jdK
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 +,]_TxL|C 8.HJoos VirtualLab Fusion中的工作流程 k%R(Qga
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 ;b}cn!U] ^EJ]L Nk } •构造光栅结构 3aw-fuuIb
−通过使用界面来配置光栅结构 Q[c:A@oW
[用例] =6a=`3r!I
•分析光栅衍射效率 T 9FGuit9
−光栅级次分析器[用例] 40aD\S>
•使用参数运行搜索初始解决方案 E|3[$ ?=R
−参数运行文档的使用[用例] &r+!rL Kp
•通过参数优化找到最终设计 'w0?- uuQsK. S VirtualLab Fusion技术 RdB,;Um9f z+K Z6h
 O 0 3F@v %?3$~d\n 文件信息 uS JLIb F. I\?b BCO (,k  _yp<#q]
XMzQ8|] 更多阅览 ?rY +,nQP
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