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摘要 ' =r.rW5 Uhf
-}Jdw 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Sb<=ROCg @
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 L6FUC6x" 3wK)vW 建模任务 yF*JzE 7, Uc&0>_Z  FKaY w 光栅特性与参数的严格分析 q>Y_I<;'g kAqk~. 不同光栅周期下的衍射效率 IJ!UKa*o% #2}S83
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sbRg=k&Ns 关于光栅周期选择的考虑 rh+OgK i
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 U_w)*)F 1 @/+ c 通过参数优化进行光栅设计 %o5 GD y&iLhd!p 固定周期的2D参数优化 R^D~ic
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}UX >O 变化光栅周期的3D参数优化 [ 3j]r{0I
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~B/|#o2 E-l>z% VirtualLab Fusion中的工作流程 ^M8\ 3G
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 7HFw*; yh} V u •构造光栅结构 2 4]O0K
−通过使用界面来配置光栅结构 <` HLG2
[用例] $YFn$.70\
•分析光栅衍射效率 TqCzpf&&h/
−光栅级次分析器[用例] !k Hpw2
•使用参数运行搜索初始解决方案 u2o6EU`
−参数运行文档的使用[用例] s}UPe )Vu
•通过参数优化找到最终设计 <^OGJ}G RfFeAg,]/ VirtualLab Fusion技术 Ws'3*HAce R$wo{{KX
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