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摘要 PkQu N ;a "8J$7g@n@ 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Vp\BNq_!s
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 zF.rs NY |Rw 0 $he 建模任务 :^71,An >E ouK&H|'  MftW^7W- 光栅特性与参数的严格分析 ~!&WK,k6 Z,qo
jtw 不同光栅周期下的衍射效率 2BBGJE u }D.yI8
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3 zp)!Q Ji 关于光栅周期选择的考虑 Y<X% 'Wd\
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 Cp&lS= RtGETiA\b 偏振相关的衍射特性 <w(UDZ CtV$lXxup
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4 通过参数优化进行光栅设计 ^q_0(V f r5Jy( ~ 固定周期的2D参数优化 u1/4WYJeJ oU% rP
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−通过使用界面来配置光栅结构 g&!UaJ[#9
[用例] 5,})x]'x
•分析光栅衍射效率 -;20|US) u
−光栅级次分析器[用例] ?OW
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•使用参数运行搜索初始解决方案 7"@^Jx YN
−参数运行文档的使用[用例] O`E r*-O
•通过参数优化找到最终设计 Q [ kbEhv; fz\C$[+u VirtualLab Fusion技术 JS <S?j?*/ $wg5q\Rv
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