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摘要 _EMI%P& s (e7!p=D 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ;73S;IPR
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 9<Pg2#*N0 &nmBsl3Q. 建模任务 $nE{%?n-# wsQnjT>  D :@W*, 光栅特性与参数的严格分析 8T3,56 > [\ao#f0WR 不同光栅周期下的衍射效率 {"wF;*U.V 5eTA]
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:xsZz$ 关于光栅周期选择的考虑 G+c&e:ip<
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 *Dg@fxCQ tb&?BCp 通过参数优化进行光栅设计 d'_q9uf' d8wGXNd7B 固定周期的2D参数优化 Exw d,2> /4r2B. 91O
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r:*p6 URVW5c VirtualLab Fusion中的工作流程 'pA%lc)
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 j"jssbu} />x EpR3_A •构造光栅结构 e,OXn gC
−通过使用界面来配置光栅结构 t3$ cX_
[用例] S*Ea" vBA
•分析光栅衍射效率 OXLB{|hH80
−光栅级次分析器[用例] cs2-jbRn
•使用参数运行搜索初始解决方案 `6rLd>= R
−参数运行文档的使用[用例] *$7^.eHfdd
•通过参数优化找到最终设计 :awa }P2*MrkcHB VirtualLab Fusion技术 yl>^QMmo i<S \x
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