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摘要 !hq*WtIk >"!ScY n 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 &j 1-Ouy
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 v%T'!(0j/ :<zIW j e 建模任务 pTq DPU 5xdeuBEY8  hH5 ~T5?\ 光栅特性与参数的严格分析 #'1dCh
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Sk 7R;A 关于光栅周期选择的考虑 \B~ g5}=
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−通过使用界面来配置光栅结构 7WmLC
[用例] cwvJH&%0
•分析光栅衍射效率 \wz^Z{U
−光栅级次分析器[用例] E va&/o?P|
•使用参数运行搜索初始解决方案 gD)M7`4
−参数运行文档的使用[用例]
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•通过参数优化找到最终设计 5(CInl A g0w8F VirtualLab Fusion技术 #\X) | p2 Awfd0L;9
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