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摘要 y3* IF2G $_
$%L0)5 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 yMNOjs'c {
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 k'$7RjCu m$Tt y[0 建模任务 a[^dK- ?{Xp'D\z  M]\"]H? 光栅特性与参数的严格分析 d{!zJ+n IKp(KlA 不同光栅周期下的衍射效率 ziW[qH { ?fs#K ;w
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Zf u" 8fX 关于光栅周期选择的考虑 VyU!r*
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 7f=9(Z j 8DrKq]& 通过参数优化进行光栅设计 Q~*3Z4)j ]
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 |]\bgh mg,f> ( •构造光栅结构 UZX)1?U
−通过使用界面来配置光栅结构 ;<X3AhF
[用例] qK1V!a2
•分析光栅衍射效率 |~CnELF )
−光栅级次分析器[用例] et ~gO!1:*
•使用参数运行搜索初始解决方案 ?H c A&
−参数运行文档的使用[用例] )L hO}zQ
•通过参数优化找到最终设计 c`}X2u]k o5 $K^2^g VirtualLab Fusion技术 *wF:Q;_<z jh0$:6 `C
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