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摘要 &D#+6M&LK{ h<+|x7u 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 K<v:-TjQZ: /9Ilo\MdD
k:#6^!b1 mh;X~.98 建模任务 >m_v5K D{'#er ^^(<c,NX#M 光栅特性与参数的严格分析 Y~n`~( sygH1|f 不同光栅周期下的衍射效率 WP-jtZ?!" &B!%fd.'
v6e%#= s>z2 k 关于光栅周期选择的考虑 LNQSb4 )qPSD2h
zzvlI66e jnoL2JR[=- 偏振相关的衍射特性 !;>(ie\ # nfI%
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v;C N_C_O$j 固定周期的2D参数优化 >uHS[ _`nM {U
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3t *1;23BiH- 走进VirtualLab Fusion 0|2%# E jA2ofC
ci7~KewJ* ug6r]0] VirtualLab Fusion中的工作流程 ?"@ET9 ;4d.)-<No_
~yN(-I1P * NMQ •构造光栅结构 Am7| / −通过使用界面来配置光栅结构 silp<13HN [用例] 7l}~4dm2J •分析光栅衍射效率 %)IrXz>Zh −光栅级次分析器[用例] |'@[N, •使用参数运行搜索初始解决方案 ry,}F@P& −参数运行文档的使用[用例] z1vni'%J •通过参数优化找到最终设计 L;C|ow^c OQ|,- VirtualLab Fusion技术 zMU68vwM Ak|b0l>^
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