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摘要 ?v@pB>NZ \I+#M-V 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Su*f `~G];
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k5a ^a?g~G •构造光栅结构 wj 15Og?
−通过使用界面来配置光栅结构 6wH:jd 9,
[用例] t`pbEjE0K
•分析光栅衍射效率 L|Bjw3K&D
−光栅级次分析器[用例] d5 #z\E??
•使用参数运行搜索初始解决方案 q]#j,}cN9
−参数运行文档的使用[用例] :uB(PeAv*
•通过参数优化找到最终设计 K96N{"{iI% lQ!( l Ph VirtualLab Fusion技术 O PJ(ub BY>]6SrP
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