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摘要 JZ5 ";*, IEP|j;~* 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ^EkxZ4*g N81M9#,["~
S&XlMu mTUoFXX[ 建模任务 Buh}+n2]5 &.s.g\ r7R.dD/. 光栅特性与参数的严格分析 )s,tBU+N 2cIKph 不同光栅周期下的衍射效率 Kn= EDtg I_Gz~ qk6
/^\E:(RH 6~2upy~e 关于光栅周期选择的考虑 rKFnivGT FPF$~ sX
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0#8, (6 a)=|{QR>W VirtualLab Fusion中的工作流程 m;{HlDez rXMc0SPk
se2Y:v hE`d@ •构造光栅结构 KU
oAxA −通过使用界面来配置光栅结构 PI`Y%! P [用例] '/6f2[%Y" •分析光栅衍射效率 G"-V6CA[ −光栅级次分析器[用例] c_+fA •使用参数运行搜索初始解决方案 4^:dmeMZ` −参数运行文档的使用[用例] e Ru5/y~ •通过参数优化找到最终设计 6Y,& |