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摘要 U
KdCG.E9^ }ABHGr5[ 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 q.PXO3T F6)/Iiv
LzkwgcR 3(La)|k 建模任务 oOK&+r7 _1P8rc"Dx 1 *$-. 光栅特性与参数的严格分析 u/L\e.4 GZ/vUe 不同光栅周期下的衍射效率 h:'wtn@l( ca8.8uHY\
XJi^gT N O.+X,CQG* 关于光栅周期选择的考虑 gNzamorv[ .R{P%r
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& 偏振相关的衍射特性 ~UV$(5&- nD;8)VI'I
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s2I&pQ 通过参数优化进行光栅设计 Tof H=d _ ?Z :m 固定周期的2D参数优化 I%31MU9 ~gvw6e*[
?]u=5gqUU 2D参数优化–设计1 '; Z!(r ]AzDkKj
w@ =U f7 tXnD>H YV 2D参数优化–设计2 \ )n'Ywr xBi``x2eY
xiG_l-2l SV96eYT< 制造公差分析–设计2 |#=4]]>m " )_-L8
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VN ,,[pc 变化光栅周期的3D参数优化 (}LLk+ rb@{ir
w(Hio-l= <v=T31aS 制造公差分析 B7!dp`rPp ;nB.f.e`
j:6VWdgq r*t\\2 走进VirtualLab Fusion !q_fcd^c y6S:[Z{~A
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H`z '7&/ VirtualLab Fusion中的工作流程 Xi!`+N4 '+cPx\4
:F`yAB3 =Wj{J.7mf] •构造光栅结构 rVo?I −通过使用界面来配置光栅结构 z(&~O;;N# [用例] }\Mmp+< •分析光栅衍射效率 v}AVIdR −光栅级次分析器[用例] wO
{-qrN •使用参数运行搜索初始解决方案 V;#bcr=Z<J −参数运行文档的使用[用例] 7D%}(pX •通过参数优化找到最终设计 1v^eXvY u9}k^W)E VirtualLab Fusion技术 Hs~u&c #n8jn#
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