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摘要 yuNfhK/#r wkT;a&_ 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 G:+16XCra !P|5#.eC
i>Iee^_( ]t/f<jKN^ 建模任务 .w'vD/q; O<`R~ @%B4;c 光栅特性与参数的严格分析 R#0{Wg0O) RWE~&w G} 不同光栅周期下的衍射效率 ##~!M(c a>b8-j=J
4;\Y?M}g? nYov>x] 关于光栅周期选择的考虑 ``-k{C#F G]lvHD
]C)|+`XE@ :VFTVmr 偏振相关的衍射特性 #{>uC&jD [2H[5<tH
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6K//1U$ YKq0f=Ij 通过参数优化进行光栅设计 %]GV+!3S ('HxHOh2 固定周期的2D参数优化 ;.0LRWcJ q2Rf@nt
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Xr2 Wa `OLB';D 制造公差分析 fr]Hc+7 `r9^:TMN
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'yeh7oR U-ULQ| 6U VirtualLab Fusion中的工作流程 I2W{tl YZ{;%&rB
R{ 4u|A?9 _UaPwJ •构造光栅结构 iI}nW −通过使用界面来配置光栅结构 _&=9 Ke [用例] ) _#T c •分析光栅衍射效率 H<{*ub4'L* −光栅级次分析器[用例] b2W; |
•使用参数运行搜索初始解决方案 Y& m<lnB −参数运行文档的使用[用例] qWkx:-g] •通过参数优化找到最终设计 CCy. lvG3<ls0K$ VirtualLab Fusion技术 2t.fD@ qm~Kw!kV
R<t&F\> @}Pw0vC 文件信息 }0krSzcn#, sbpu
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