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摘要 SCvVt jB{4\) 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 $6OkIP.
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 &0 >Loja`^ 3RLF p\i"s 建模任务 ;r_F[E2 z P9 g en6  $hivlI-7Ko 光栅特性与参数的严格分析 X/iT)R]b g35DV6 不同光栅周期下的衍射效率 M`rl!Ci# %?e& WLS
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T!Hb{Cg* 关于光栅周期选择的考虑 uwz)($~bp
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 Dfmjw nAv#?1cjz •构造光栅结构 \W~ N
−通过使用界面来配置光栅结构 ?8'* ,bK
[用例] 'uBu6G
•分析光栅衍射效率 h1de[q)
−光栅级次分析器[用例] 45@^L's
•使用参数运行搜索初始解决方案 ]n6# VTz*
−参数运行文档的使用[用例] =l+yA>t|
•通过参数优化找到最终设计 Y3Yz)T}UkS _852H$H\ VirtualLab Fusion技术 .P8&5i)'P, "&Y`+ 0S8
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