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摘要 & "hEKIqL dB0
UZirb 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 DGS,iRLnA
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建模任务 ~<_WYSzS 'U0 W  RU~ku{8? 光栅特性与参数的严格分析 2' ^ 7G@% j F/S2Ty2 不同光栅周期下的衍射效率 0 ]L
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`r~3Pf).4 关于光栅周期选择的考虑 "dvo@n|
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 9q_{_%G% q` IY;"~ VirtualLab Fusion中的工作流程 qIsf!1I?
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 gBcs #5z0~M g-X •构造光栅结构 L~Peerby
−通过使用界面来配置光栅结构 Bdb}4X rL
[用例] f(~N+2}
•分析光栅衍射效率 %< (d %&~
−光栅级次分析器[用例] t&J A1|q
•使用参数运行搜索初始解决方案 M\{\WyeX
−参数运行文档的使用[用例] %]DA4W
•通过参数优化找到最终设计 +,LWyvc' @*Ry` )T VirtualLab Fusion技术 PS+~JwD Uc KU9F HN
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