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摘要 vPTM F.=2u"[*& 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 A Sk|A!
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 rp!oO>F {_ i\f ]L 建模任务 $',K7%y \ b?" b  ECrex>zr% 光栅特性与参数的严格分析 b2OQtSr a /7|V+6jV 不同光栅周期下的衍射效率 3 I@}my1 t>`a sL
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~q •构造光栅结构 :PIF07$xl
−通过使用界面来配置光栅结构 ko.(pb@+
[用例] [S HXJ4P*
•分析光栅衍射效率 }=gx#
−光栅级次分析器[用例] CF zNwgv]z
•使用参数运行搜索初始解决方案 Rot@x r7Hc
−参数运行文档的使用[用例] >}`:Ac
•通过参数优化找到最终设计 ! ;i`PPRwk M dZ&A}S VirtualLab Fusion技术 (l-tvk4Ln N dtB1b
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