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摘要 >a;LBQ0 BJt]k7ku+ 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 7~~suQ{F4
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 t*J?#r VHi'~B#'* 建模任务 ;@ *<M\O q`3HHq  +NJIi@ 光栅特性与参数的严格分析 d`,z4 _
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 &EYoviFp |3~]XN- •构造光栅结构 7SN61)[m
−通过使用界面来配置光栅结构 E^gN]Z"O
[用例] &*E! %57
•分析光栅衍射效率 $BT[fJ'k
−光栅级次分析器[用例] >6[d&SM6
•使用参数运行搜索初始解决方案 :xTm- L
−参数运行文档的使用[用例] o~W,VhCP
•通过参数优化找到最终设计 B'mUDW8\D k
] T VirtualLab Fusion技术 azNv(|eeJL #z70:-`.[M
 H+5+;`; wW8[t8%43 文件信息 v,8Q9<=O rC]k'p2x X&| R\v=}  $pKegK;'z
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