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摘要 nW`] = 03_M+lv 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 -C8LM ls
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 $~\Tl:!#? 0H x'C^m72 建模任务 9m<%+ S5& Ua4P@#cU  E= .clA 光栅特性与参数的严格分析 `6 BQ6)7 |XMWi/p 不同光栅周期下的衍射效率 7I*rtc&Kb 5H, (\Xd
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pD }b $ 关于光栅周期选择的考虑 g?K? Fn.}
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 h,6> ^A F"QJ)F 偏振相关的衍射特性 VV sE]7P ] hLVgP&/ E
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 }uO2 x@ pW>.3pj VirtualLab Fusion中的工作流程 ;!OME*?m<
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 ,4}s 1J# +eop4 |Z •构造光栅结构 \lyHQ-gWhc
−通过使用界面来配置光栅结构 <l>L8{-3
[用例] ?ZkVk =t?
•分析光栅衍射效率 w;J #+ik
−光栅级次分析器[用例] 'C;K Nc
•使用参数运行搜索初始解决方案 -qLNs_
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−参数运行文档的使用[用例] k9c`[M
•通过参数优化找到最终设计 e`)zR'As Tc|+:Us y VirtualLab Fusion技术 G {a;s-OA3 Rn{X+b.
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