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摘要 VPb8dv(a3 4u#TKr. 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 eU8p;ajW!L
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g%v<'K 光栅特性与参数的严格分析 i:1
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.aR9ulS 关于光栅周期选择的考虑 hw=~ %f;
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}sA~ VirtualLab Fusion中的工作流程 M:b#">M
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 j [ .n k dDIR ~ !T •构造光栅结构 .6xMLo,R
−通过使用界面来配置光栅结构 bzxf*b1I
[用例] o]RZd--c<
•分析光栅衍射效率 0Qq<h;8xEc
−光栅级次分析器[用例] kwL|gO1L
•使用参数运行搜索初始解决方案 Od)y 4nr3~
−参数运行文档的使用[用例] E 2d'P
•通过参数优化找到最终设计 x~vNUyEN) (zsv!U VirtualLab Fusion技术 7e AV2. y.c6r> }
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