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摘要 ko~e*31_E 7V"Jfh4_ 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 b^<7@tY
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 xz} =C:s \~T& C5 建模任务 8>:u%+ C1c Enhrkk  `t7GYmw^# 光栅特性与参数的严格分析 Hc\o R(L CSr2\ogT 不同光栅周期下的衍射效率 Emv9l~mIu mvyOw M
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 CIf""gL9 \J^xpR_ 0u VirtualLab Fusion中的工作流程 f8 L3+ u
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 J i:0J} ,m Z/I`XPmk •构造光栅结构 ^s?i&K,!
−通过使用界面来配置光栅结构 c]:@y"W5$
[用例] 3hNb
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•分析光栅衍射效率 (OHd} YQ
−光栅级次分析器[用例] g ?!;04
•使用参数运行搜索初始解决方案 JT 5+d ,
−参数运行文档的使用[用例] 8R.`*
•通过参数优化找到最终设计 0 mR vX}mwK8
VirtualLab Fusion技术 lV2MRxI tqK }KL
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