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摘要 :Vyr8+] D'!
v9} 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ^XIVWf#` H
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 1 ynjDin< zAxscD f' 建模任务 8'Y 7lOXS j.FW*iX1C  *Ou )P9~-L 光栅特性与参数的严格分析 gPu0j4 &- =Bq3O58+ 不同光栅周期下的衍射效率 ]S=AO/' wCwJ#-z.=
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MzY~-74aF 关于光栅周期选择的考虑 cxNb!G
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•构造光栅结构 o)X(;o
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[用例] p)t1] <,Of
•分析光栅衍射效率 ')d& :K*M
−光栅级次分析器[用例] }@6/sg
•使用参数运行搜索初始解决方案 *H"IW0I
−参数运行文档的使用[用例] d},IQ,Az:Z
•通过参数优化找到最终设计 }Htnhom0n }!5x1F! VirtualLab Fusion技术 m15MA.R> uCc.dluU
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