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摘要 >D##94PZ ??#EG{{ 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 |V}tTx1 K'Wv$[~Dc
S+eu3nMq 6v}q @z 建模任务 Q>\DM'{:4 &F;bg 3*7 klu 光栅特性与参数的严格分析 8In~qf [*C~BM 不同光栅周期下的衍射效率 kDR5kDiS K'E)?NW69
wwR}h I( *U\`HUW 关于光栅周期选择的考虑 /-^{$$eu C!v%6[
m>w{vqPwJ _\@zq*E 偏振相关的衍射特性 U? U3?Y-k` Mxd7X<\$
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siV]NI':| <O-R 通过参数优化进行光栅设计 4`V&Yqwl J*%IvRg
固定周期的2D参数优化
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L&|^y8 2D参数优化–设计1 ZRr.kN+F QQ=tiW
j39"iAn 931GJA~g 2D参数优化–设计2 ]}&HvrOld pma=*
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I&&;a. 04Uyr;y 变化光栅周期的3D参数优化 N
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.F _u/"** x'Nc} 制造公差分析 0uGTc[^^M 4z OFu/l6R
$kY ]HI w!52DBOe+ 走进VirtualLab Fusion 1-8G2e =L,7~9
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LDj*~\vsq > |(L3UA9 •构造光栅结构 luCwP −通过使用界面来配置光栅结构 mN1n/LNi [用例] ;r95i1a' •分析光栅衍射效率 A{ . A1 −光栅级次分析器[用例] IkgRZ{Y •使用参数运行搜索初始解决方案 6rN.)dL.#N −参数运行文档的使用[用例] 9+I/bl4 •通过参数优化找到最终设计 S i-Q'*Y= 8]xYE19= VirtualLab Fusion技术 i?'|}tK '_FxxLAO
b}Xh|0`b+ o}y(T07n 文件信息
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