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摘要 &w{:
qBa NU(YllPB 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 d6zfP1lQ J?oEzf;M
!Nx'4N`&l , A;wLI 建模任务 IaYaIEL- 2SJ|$VsLaE `c'R42SA 光栅特性与参数的严格分析 U$EQeb 18AlQ+')?w 不同光栅周期下的衍射效率 ANlzF&K :0vKt 6>Sp
U^d!*9R 68nBc~iAm 关于光栅周期选择的考虑 uTRFeO> "q3W&@
b9"HTQHl xMD]b 偏振相关的衍射特性 U%l<48@8 3$h yV{
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:i/uRR E2( {[J 通过参数优化进行光栅设计 OG{vap) "XWO#,Ue 固定周期的2D参数优化
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变化光栅周期的3D参数优化 N!YjM x)P |!\5nix3A>
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qe_59'K o%V%@q H •构造光栅结构 L"ob))GF −通过使用界面来配置光栅结构 )9?
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~N=$%C •分析光栅衍射效率 -na oM −光栅级次分析器[用例] Q~S3d •使用参数运行搜索初始解决方案 ac< hz0 −参数运行文档的使用[用例] QZ^P2==x •通过参数优化找到最终设计 \o2cztl= /%9CR'%*c VirtualLab Fusion技术 g_2EH sUTh}.[5
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