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摘要 -^CW}IM{ I DPxx9lN_rx 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 !<:Cd(bM KJec/qca
[#uhMn^ s_NY#MPz[ 建模任务 %u66H2 ^7aqe*|vm q&-mbWBj 光栅特性与参数的严格分析 vkTu:3Qe 94#,dA,M 不同光栅周期下的衍射效率 *mp:#' F8-GnTxa
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~=pt&+ 关于光栅周期选择的考虑 >2{Y5__+e zFm`e:td
mc?IM(t GuR^L@+ -. 偏振相关的衍射特性 1!MJ+?Jl -\f7qRW^U
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v3Vve:}+ EO)JMV?6 通过参数优化进行光栅设计 <jV,VKL# Gb`)d 固定周期的2D参数优化 9
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$8eiifj 2D参数优化–设计1 1}wDc$O N=1ue`i
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rk1,LsZVS ,EEAxmf 制造公差分析–设计2 .|[{$&B ]?=87w
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PSq?8. LhLAQ2~ 制造公差分析 gvT}UNqL ]`$yY5 &W0
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}2;P`s 0R)x"4Ww VirtualLab Fusion中的工作流程 \o[][R#D nvrh7l9nX
ZXb|3|D BZW03e8| •构造光栅结构 kMVr[q,MEq −通过使用界面来配置光栅结构 sn:VM HrOT [用例] s*Qyd{"z •分析光栅衍射效率 Py
v> −光栅级次分析器[用例] hb;CpA •使用参数运行搜索初始解决方案 ]F+|C −参数运行文档的使用[用例] =OO4C •通过参数优化找到最终设计 y5eEEG6 o+.L@3RT4 VirtualLab Fusion技术 KuJ9bn{u!C {BJ>x:2
pSlc (M> -O$vJ,* 文件信息 CPy>sV3Ru0 .hx(9 zF`a:dD$d ;:bp?( 1+*sEIC " 更多阅览 phH@{mI - Ultra-Sparse Dielectric Nano-Wire Grid Polarizers 4ekwmw(ox - Rigorous Analysis of Nanopillar Metasurface Building Block nBk&+SN - Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings q~9-A+n E:8*o7 =OFhM7 QQ:2987619807 b_ TI_
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