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摘要 [cTe54n Dq36p${ \W 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 r|PFw6
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@%tRhG 关于光栅周期选择的考虑 txZ?=8j_Y
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 Uz608u zf.- I •构造光栅结构 hKNY+S})g
−通过使用界面来配置光栅结构 O1D6^3w
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•分析光栅衍射效率 `gpQW~*R-;
−光栅级次分析器[用例] hH->%*
•使用参数运行搜索初始解决方案 ?
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−参数运行文档的使用[用例] 1 [E#vdbT
•通过参数优化找到最终设计 ]WUC:6x =39 ?:VoD VirtualLab Fusion技术 1`LXz3uBe nRb^<cZf
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