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摘要 =au!rda z*q+5p@~ 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 O"df5x9@
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z3X @D= %J!!* 建模任务 0!KYi_3 ~e]B[>PT  pwS"BTZ 光栅特性与参数的严格分析 K/*"U*9Kv ^k$B x_{ 不同光栅周期下的衍射效率 ,EVPnH[F~ '
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WiB~sIp 关于光栅周期选择的考虑 /D yeMC Y-
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 g6P^ JW}. QG~6mvD 偏振相关的衍射特性 Fj2z$ H_t0$x(\
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 =3A4.nW ~Dz:n]Vk/ 通过参数优化进行光栅设计 L-rV+?i`6f .boB b< 固定周期的2D参数优化 : 4Nv6X61 2#3`[+g<n
 V_D wHq2 2D参数优化–设计1 g-_=$#&{
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 D.%%D %AdB tc)Md]S 2D参数优化–设计2 i m9EV|;
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 ~TXu 20c p-)@#hE 制造公差分析–设计2 0z T-]0
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 ::iY ydpM =q)+_@24>d 变化光栅周期的3D参数优化 f(eXny@Y
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 5lP 8#O?= }fkdv6mz VirtualLab Fusion中的工作流程 ;r~1TUKb
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 ?u:mscb ~MC 5rOA •构造光栅结构 }vOg9/[{
−通过使用界面来配置光栅结构 50Gu~No6
[用例] oQV3
•分析光栅衍射效率 Xf#;`*5
−光栅级次分析器[用例] 0-{E% k
•使用参数运行搜索初始解决方案 zDtC]y'
−参数运行文档的使用[用例] _z%~ m2SP
•通过参数优化找到最终设计 4guR8 elM N }NKQ]= VirtualLab Fusion技术 MaD| X_g m-tn|m!J
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