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摘要 3dx.%~c \"a~~Koe 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 s7(1|}jh
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 gXj3=N(l `.g'bZ<v/ 建模任务 Q 5&|1m Pb Z817f ]l  d" =)=hm! 光栅特性与参数的严格分析 l(pP*2 (sW$2a 不同光栅周期下的衍射效率 1j ]vJ4R_\ 8]i7 wq#=
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$WiU oS 关于光栅周期选择的考虑 )+Yu7=S
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 J im5Ul a`D`v5G t 通过参数优化进行光栅设计 u"F{cA!B ` Nv1sA#C 固定周期的2D参数优化 3fUiYI|&7 U J uz
 ,b<m],p 2D参数优化–设计1 :<H4hYt2
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 6A4{6B 4 O4}C#6(4 VirtualLab Fusion中的工作流程 EL6<%~,V"I
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 t1p[!53( 2 gW+&5; 4 •构造光栅结构 Bw.?Me)mf|
−通过使用界面来配置光栅结构 @>F`;'_*z
[用例] O` _]n
•分析光栅衍射效率 !,~C
−光栅级次分析器[用例] lr[&*v?h
•使用参数运行搜索初始解决方案 A{wk$`vH
−参数运行文档的使用[用例] Yez
•通过参数优化找到最终设计 &-KQ
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