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摘要 vAcxca">S &xLCq&j1 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 k0@*Up3{7 x2h5,.K
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C3:CuoE X 建模任务 6DT^:LHS []l2
`fS# 9D[Jn}E: 光栅特性与参数的严格分析 A+41JMH \(`8ng]vs 不同光栅周期下的衍射效率 3%L@=q 4GqwY"ja
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)%wNVW 0C 关于光栅周期选择的考虑 >e"vPW*[ ]114\JE
u:w Xj5oHHwn 偏振相关的衍射特性 QWI)Y:<K/ H&SoVi_V
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:^rt8>~ :r4o:@N' 通过参数优化进行光栅设计 de_%#k1:L iHKX#* 固定周期的2D参数优化 6wq>&P5 *!^l
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\b*z<Odv (vFO'jtcB- 变化光栅周期的3D参数优化 v>/_U 4n} a%ocv^
yT-qT_. SS6K7 制造公差分析
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<q&4Y+b IU;a$ VirtualLab Fusion中的工作流程 \Oxyc}& g'AxJ
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8a3EVc •构造光栅结构 &grqRt −通过使用界面来配置光栅结构
]0XlI;ah [用例] MK(~ •分析光栅衍射效率 [\qclW;L −光栅级次分析器[用例] F+ %l=
fs •使用参数运行搜索初始解决方案 bTt1y O −参数运行文档的使用[用例] ;0lY_ii •通过参数优化找到最终设计 IGOEqUw* i1ScXKO VirtualLab Fusion技术 ( 8X^pL !Df>Q5~g
IN75zn*% O(6j:XD 文件信息 x4K A8 [HI$[:[ ?,i}Qr [Q 5^K\<+{~B GvZ[3GT 更多阅览 ~+C)0Yn - Ultra-Sparse Dielectric Nano-Wire Grid Polarizers 2 w6iqLr? - Rigorous Analysis of Nanopillar Metasurface Building Block k{H7+;_ - Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings Cu!]-c{ E\ls- (, y,/i3^y#_ QQ:2987619807 j^%N:BQ&
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