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摘要 vm{ 8x o !> D[ Y 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 /}J_2
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 idGn{f((f nlI3|5 建模任务 )Tp"l"(G 2~l7WW+lx,  [z ]P5 光栅特性与参数的严格分析 U#]J5'i # ACT&J 不同光栅周期下的衍射效率 *S" RU~1_ W h)
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 XPqGv=CN {l!{b1KJ VirtualLab Fusion中的工作流程 2wB *c9~
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 89^g$ ac hZ452W •构造光栅结构 fX 1%I
−通过使用界面来配置光栅结构 O50<h O]l
[用例] , +J)`+pJx
•分析光栅衍射效率 ^p d7nr~Y
−光栅级次分析器[用例] X,aRL6>r
•使用参数运行搜索初始解决方案 gBh X=2%
−参数运行文档的使用[用例] yP# Y:s
•通过参数优化找到最终设计 )Jk$j ; lb VirtualLab Fusion技术 Qt {){uE YR0AI l:L
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