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摘要 RR"#z'zQ I0Vm^\8 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 `]%{0 Rx
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 l6i 2!&8P% D! :Qy@Zw 建模任务 `p!.K9r7 Ss8`;>  \UXQy{Ex 光栅特性与参数的严格分析 y"2c; *7[{ (vQShe\ 不同光栅周期下的衍射效率 (F
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 I9H+ $Wjd c}lUP(Ss VirtualLab Fusion中的工作流程 vWwp'q
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 |6$6Za]: *uNa ( yd •构造光栅结构 `}"*i_0-5'
−通过使用界面来配置光栅结构 <!R~G-D#_T
[用例] 2B5Z0<
•分析光栅衍射效率 e5C560
−光栅级次分析器[用例] N EJxd%-
•使用参数运行搜索初始解决方案 | M4_@P
−参数运行文档的使用[用例] d XrLeoK
•通过参数优化找到最终设计 Wfz&:J# y?;&(Tcbt8 VirtualLab Fusion技术 G-xW&wC- fC52nK&T8
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