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摘要 c\&;Xr iHK.hs; 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 *X ;ch55\ lNtxM"G&
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?s&x 建模任务 Q"GM3? Z @ef2y; (n7{?`Yid 光栅特性与参数的严格分析 |]k,0Y3v $5&~gHc, 不同光栅周期下的衍射效率 I,HtW ), V\opC6*L_e
!H{>c@i O:pg+o& 关于光栅周期选择的考虑 4;r,U{uR "@/pQoLy
CQ^(/B^c 0a#v}w^* 偏振相关的衍射特性 (E&M[hH+ S]~5iO_bst
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C58o="L3S nXoDI1<[ VirtualLab Fusion中的工作流程 /V/NL#(R .74C~{}$
|pWu|M _' HF_8661g •构造光栅结构 hhZ%{lqL −通过使用界面来配置光栅结构 Ng*-Bw)p] [用例] 0'$67pY •分析光栅衍射效率 f+n {9Hz −光栅级次分析器[用例] REK):(i7P •使用参数运行搜索初始解决方案 $ B&ZnZ? −参数运行文档的使用[用例] r~f;g9I •通过参数优化找到最终设计 PQSmBTs. ~M} K]Li VirtualLab Fusion技术 87+fd_G ckY#oRQ1
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