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摘要 qRy<W aLzRbRv 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 VsLlPw {
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 ?&v+-4%4PI v 809/c* 建模任务 p) #7K zg)-RC G  L{XNOf 3 光栅特性与参数的严格分析 /*,hR >UG Buazm3q8H 不同光栅周期下的衍射效率 9a4Xf%!F>z ME'hN->c
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 :>y?B!= SVJL|S 3k •构造光栅结构 ^`BiA'gPPC
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[用例] Z4&,KrV
•分析光栅衍射效率 *9XKkR<r
−光栅级次分析器[用例] Z$a5vu*pg
•使用参数运行搜索初始解决方案 B^;G3+}
−参数运行文档的使用[用例] #o>~@.S#:0
•通过参数优化找到最终设计 [9hslk D90.z"N\i9 VirtualLab Fusion技术 c >8I M D@ O# P^?
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