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摘要 f&`v-kiAn= DS>s_3V 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 mUr@w*kq|p
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 "r cPJX 9b]*R.x:$& 建模任务 g ^)> -$= _' n;rZ +  $$ _ uQf 光栅特性与参数的严格分析 ThWZ>hyJ *sJx0<!M} 不同光栅周期下的衍射效率 pR c(>P3; 6z%3l7#7Yi
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NL&g/4A[a 关于光栅周期选择的考虑 R$,`}@VqZ3
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 3QR-8 aPb!-o{ •构造光栅结构 \Fj4G y?MW
−通过使用界面来配置光栅结构 V&}Z# 9Dx
[用例] 9n%W-R.
•分析光栅衍射效率 }oU&J81
−光栅级次分析器[用例] Sv>aZ
•使用参数运行搜索初始解决方案 Z$hxo )|
−参数运行文档的使用[用例] QB @*/Le
•通过参数优化找到最终设计 C3<3 B " B VirtualLab Fusion技术 1b D c ct hOC,Eo
 ?<}qx`+%Q qzmZ/ z96 文件信息 }}x R?+4A hs*:!&E
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