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摘要 %;"y+YFdv mlS$>O_aX 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 pcI uN
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 RY*U"G0#w maR"t+ 建模任务 y L~W.H O%HHYV%[m  ~.lPEA %% 光栅特性与参数的严格分析 Lq!>kT<]! t <? ,F 不同光栅周期下的衍射效率 @!d{bQd , eGbG w
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−光栅级次分析器[用例] 9j:"J` '
•使用参数运行搜索初始解决方案 C/6V9;U
−参数运行文档的使用[用例] Pce;r*9
•通过参数优化找到最终设计 X1vd'> r#] WI| VirtualLab Fusion技术 6 3,H{ Dy8r 9
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