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摘要 t9u|iTY
f! 8cdsToF(e. 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 L
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 n1J]p#nCa. pP.'wSj 建模任务 Tr .hmG U q rBZvJU  fx?$9(r, 光栅特性与参数的严格分析 )=_ycf^MC LmL Gki$w 不同光栅周期下的衍射效率 ]gP5f @` [Z<Z;=t
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k-jahm4 关于光栅周期选择的考虑 O\Eqr?%L)
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 $a#H,Xv# iRw&49 通过参数优化进行光栅设计 I1=(. *B} j43$]'- 固定周期的2D参数优化 =8 JB8ZFP 5:_hP{ @
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 ^DAu5 |--R /@Y CA}|/ VirtualLab Fusion中的工作流程 )&W**!(C
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 ?J!3j{4e S2^>6/[xM •构造光栅结构 wWjG
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−通过使用界面来配置光栅结构 3S~(:#|
[用例] gNj7@bX~
•分析光栅衍射效率 (K{5f C
−光栅级次分析器[用例] M\oVA=d\0
•使用参数运行搜索初始解决方案 l54
m22pfv
−参数运行文档的使用[用例] -j`LhS~|
•通过参数优化找到最终设计 W`)<vGn=Y Le#spvV3J| VirtualLab Fusion技术 ( [E]_Q 2}WDw>V
 pbBoy+.> $P {K2"Oc 文件信息 ${r[!0| 7 &%^>PU7 ff2d @P,!  9Sg<K)Mc
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