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摘要 _1^'(5f$ MV"=19] 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 pg.%Pdr<$
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 2wn2.\v M 9WHddDA 建模任务 iU-j"&L5 $b\P|#A  b>k y 光栅特性与参数的严格分析 XW9!p.*.U A&{Nh` q 不同光栅周期下的衍射效率 2%1hdA< a*;b^Ze`v
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+\'t E~V 关于光栅周期选择的考虑 ;S{(]K7i
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 $cR{o# _6Ha VirtualLab Fusion中的工作流程 :LTN!jj
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•构造光栅结构 $"&JWT!#
−通过使用界面来配置光栅结构 OTp]Xe/
[用例] FqifriLN
•分析光栅衍射效率 ^(<f/C )i
−光栅级次分析器[用例]
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•使用参数运行搜索初始解决方案 ':}\4j&{E
−参数运行文档的使用[用例] Wf<L R3
•通过参数优化找到最终设计 fatf*}eln Bf:Q2slqI VirtualLab Fusion技术 a> )f=uS i&k7-<
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B;WCTMy} 更多阅览 7Qsgys#/=
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