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摘要 E?f*Z{~, hmd, g>J:< 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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#DyY5 zPoIs@ xZ"kJ'C4} 建模任务 g>R md[!/ w3IU'(|G $VJ=A< 光栅特性与参数的严格分析 )@Yr HS4 D#9W [6 不同光栅周期下的衍射效率 0r\hX6 k WxLILh IF*kLl? tU7eW#"w 关于光栅周期选择的考虑
!*xQPanL <tTn$<b KH&xu,I ,
v6[#NU_Z 偏振相关的衍射特性 PFIL)D
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5B(r[Ni
b !$5U\"M BT+ws@|[ 4d3PF`,H` |5,q54d(K 通过参数优化进行光栅设计 s.I=H^T #6JCm!s 固定周期的2D参数优化 akQtre`5sd 7<?v!vQ}- IV:Knh+
? 2D参数优化–设计1 -OuMC& #H1yjJQ /x TM':G9n B: uW(E
2D参数优化–设计2 uoKC+8GA P>kS$U) R16"lG .|{*.YE 制造公差分析–设计2 rC<m6 rReZ$U
M ~!*PCd5 kF.PLn'iS 变化光栅周期的3D参数优化 Md[nlz bd<zn*HZ* Xf9VW}`*8 3!CI=(^IY 制造公差分析 +]|J \"PlM!0du #,
vN ,)Z^b$H] 走进VirtualLab Fusion E(
*$wD :ZU c#`Z[ o,Ew7~u VirtualLab Fusion中的工作流程 m&|?mTo>m 5'>(|7~%\ 2@ACmh x%x:gkq •构造光栅结构 ~&4,w9b)j −通过使用界面来配置光栅结构 z6FG^ [用例] o *I-~k •分析光栅衍射效率
[?Aq#av −光栅级次分析器[用例] P RX:*0 •使用参数运行搜索初始解决方案 v=SC* −参数运行文档的使用[用例] I%*o7" •通过参数优化找到最终设计 lcIX
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