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摘要 b~jIv:9T gm(De9u 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 %3rTQ:X GKiq0*/M
Z^{+,$H@ 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) IKGTsA; "/Om}*VhD 建模任务 AfUZO^< L+8=P<]
1B6C<cL:sU A%h~Z
a 单次FMM仿真结果 *X~B-a |nJ |O57N'/
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$pjf#P8U {,i=>%X* 参数扫描(2D) 4sb )^3T Y 5Qb4Sa a#^_"GX :G^"e 文件信息 JOJh,8C)6 >~h>#{&
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