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    [分享]使用傅里叶模态法分析闪耀光栅 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-05
    摘要 AYB =iLa  
    ?52{s"N0>  
    可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 ?2#!63[Kg  
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    傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) ) ?AlQA  
    5P?7xRA  
    建模任务 K2= `.  
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    单次FMM仿真结果 gnAM}  
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    参数扫描(1D) mPl2y3m%  
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    参数扫描(2D) M"q]jeaM  
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    文件信息 F4!,8)}  
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