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摘要 &PcyKpyd C@o%J.9"# 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 "s
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`Lyq[zg8 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) Z: 2I/ 89o)M5KQ 建模任务 ,1Qd\8N9 '%v#v 3'
Np)3+!^1" HOt>}x 单次FMM仿真结果 g.% ba@ax3
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E_$z`or 参数扫描(1D) 4{9d#[KW l#3($QV,
[n,?WwC NTs;FX~g[ 参数扫描(2D) ~7q uTp) 9T2xU3UyY 0Flu\w/+P pw>m.=9|y 文件信息 Hr;h4J S_J :&9L
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