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摘要 6Zo}(^Ovz @W<m4fi 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 ("@!>|H ;a/E42eN;
#Z #-Ht 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) #mT"gs A,]h),b 建模任务 hPh-+Hb "Q<MS'a
S/ *E,))m )BE1Q*=
n 单次FMM仿真结果 SM'|+ d wkq 66?
NbobliC= =]t|];c% 参数扫描(1D) 4*L_)z&4; D9df=lv
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_!6jR5&r, siaG'%@*r 参数扫描(2D) ' QG?nu ?[AD=rUC oDR%\VY6T W!X@ 文件信息 x:;kSh 8}[).d160
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