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摘要 c& ;@i$X( PLkS-B 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 >:-e '{ _ X1
^sf,mM~D 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) /
dJz?0 Or? )Nlg6x 建模任务 *6?mZ*GYY >`AK'K8{M
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0$ 单次FMM仿真结果 )95k3xo b=5w>*
AIg4u(j :(A&8<}-6 参数扫描(1D) NA0nF8ek i%FC
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vclc%ws 8{ZTHY- 参数扫描(2D) 86{>X5 + ,'0#q D"pT?\kO 32z4G =l 文件信息 GNJ/|9 Q$U5[TZm
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