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摘要 TQ1WVq
}* EkKnUD 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 |AH@ EI> SLk2X;c]o
*R`MMm 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) z]$j7 dp I8op>^N" 建模任务 Gwd{#7FM` af+}S9To
'3kcD7 ~k4W< 单次FMM仿真结果 76#.F tnW;E\cR
h K}bj _&
4its 参数扫描(1D) +3bfD O
rk
j[S`^2 IB7tAG8 参数扫描(2D) R~B0+ :6 I Ru$oF} .:;fAJPf gf$HuCh| 文件信息 J35l7HH ~Y/z=^
$M]%vG 2Yyb#Ow S[@6Lp3q_ QQ:2987619807 .9\Cy4_qSd
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