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摘要 x7!L{(E3 ( u\._Gwsx 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 (3Two} |@
s,XS
p93r'&Q 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) #*K}IBz 8QLj[" 建模任务 Cz\ew B t\~P:"
/v1Q4mq "4+&-ms 单次FMM仿真结果 Q
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ZGNz1)?V N `5,\TR2f 参数扫描(1D) s%nUaWp~ )U7t
bpJ(XN}E =jOv] / 参数扫描(2D)
-D -Ta9 pxZk :cem,#(= \r^qL^ 文件信息 *'.|9W m? J0i>H
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