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摘要 %_UN<a %AN/>\#p 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 iV fgDo W>b(Om_%
^;c 16 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) +w8R!jdA CU7F5@+ 建模任务 QKE9R-KTE R<x'l=,D(
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FT" Ez{MU@Fk 单次FMM仿真结果 uGs;}<<8 '$ef+@y
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