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摘要 `% 9Y)a/e 2{ F-@}= 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 j1_>>xB q,P.)\0A
J67
thTGFq 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) K*@?BE 1)z'-dQ-5$ 建模任务 ]46h!@~aC n{?Du
sp\6-*F (JbRhcg 单次FMM仿真结果 ,RPb<3
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b `P6Ox3 1uo-?k 参数扫描(1D) 4@{;z4*` {]IY;cL
mS%4 AROHe 参数扫描(2D) Ftyxz&-4$p aj?ZVa6 qsj$u-xhX C6>_wl] 文件信息 >)4~,-;k RPX.?;":
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