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摘要 B(l-}|m_ !ax;5 @J 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 I"xWw/Ec F3ZxhkF
H:a|x#" 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) 'Zk<l#"} |)@N-f:E 建模任务 p-GT`D jnoL2JR[=-
j.3o W l9{#sas 单次FMM仿真结果 {4ptu~8 ykq'g|
w 7tC|^#G wVi%oSfM 参数扫描(1D) 2w?G.pO# Xy#VQ{!
vW' 5` % b"8FlZ$ 参数扫描(2D) Rq7p29w M@?"t_e1 ^{[`=P'/ ZHy><=2 文件信息 ^i<}]c_|f $<e +r$1
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