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摘要 #
i|pi'Ij |HTTTz9R. 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 ]#O~lq 78zwu<ET u3vw[k 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) -[A=\]RfJ Y7@$#/1 建模任务 L8 $+%Gvo Qvhy9Cr; Z-'xJq 'CjcFP 单次FMM仿真结果 !X{>?.@~ )WF*fcx{ vy5SBiK U=KFbL1Q 参数扫描(1D) |("zW7g &n2dL->*# D]5cijO6 `< cn 参数扫描(2D) {#TZFB |D[4G6& sG k'G573 /-C6I: 文件信息 !L55S03 \QMRuR. aL0,=g% +m1y#|08 MN. $a9m QQ:2987619807 t8z=R6zX
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