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摘要 /3aW 0/^o v%qOW)]. 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 Hnt*,C.0 E\!X$
I.3~ctzu 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) '{2]: 8Ij<t{Lps 建模任务 5\pS8<RJ; U/enq,-F^
3l<qcKKc gFp3=s0~ 单次FMM仿真结果 YAc:QVT87 /7D5I\
h]s6)tII @6G)(NGD 参数扫描(1D) AT1cN1:4? {KHI(*r;
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sbI)Z@ 参数扫描(2D) C<J*C0vQO ht2Fie f`Fj-<v Vbv^@Kp 文件信息 ,pD sU @ 0FcDO5ia
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