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摘要 Dp@m"_1`+ SnO,-Rg 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 JvW!w)$pY 8Waic&lX~
xxdxRy9/ 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) dUceZmAl c/3]M>+M 建模任务 1b!5h (%M:=zm
gp{P _ \WVY@eB 单次FMM仿真结果 n^epC>a" b N9f;X{
n6IN I~, :Sk<0VVd7 参数扫描(1D) .7#04_aP 3e^'mT
cC,gd\}M jRjQDK_"ka 参数扫描(2D) dFpP_U {y:+rh& (]<G)+* sWLH"'Z 文件信息 <{1 3Nd'o pC)S9Kl
qSL~A- C1~Ro9si _P]k6z+ QQ:2987619807 =Sn!'@%U]
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