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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 !%c{+]g  
     Y=vVxVI\  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 ?P""KVp o  
    t7w-TJvP  
     'tb(J3ZP  
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    建模任务 gA~20LSt  
    wMb)6YZs  
     O^9CV*]!n  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) :}y9$p  
     $#%U\mI z  
    某一位置的Talbot图样 _wf5%(~b  
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    某一位置的Talbot图样 Bo`Tl1K#  
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    不同位置的Talbot图样 Q6"uK  
    @j O4EEe:  
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    不同位置的Talbot图样 KH7VR^;mk  
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     Kv(z4z  
    L0rip5[;d  
    沿Z轴的强度 +R-h ,$\=7  
    u!Xb?:3uj  
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    qgoJ4Z*  
    走进VirtualLab Fusion xfjd5J7'  
    NJtQx2Sd'H  
     qv[[Q[RK-5  
    A)tP()+)  
    VirtualLab Fusion的工作流程 'Qa5n\HX$  
    @q K]JK  
     构建光栅结构 WRW WskP  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] /~De2mq1   
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    vT|`%~Be  
     通过参数运行计算不同位置的强度 k<a;[_S  
    - 参数运行文件的使用 [用例] ,`k _|//}=  
    RK[D_SmS  
    lVz9k  
    :\XI0E  
    VirtualLab Fusion技术 ui:=  
    x2co>.i  
     WJ |:kuF  
       bLzs?eos  
    文件信息 ^W~p..DF  
    S}(8f!9<  
     Z$ p0&~   
    k.<3HU  
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    +Y}V3(w9X  
     ;}qhc l+  
    有什么问题可以添加微信~ G O{ . 9_2  
    nd ink$  
     O}Hf62"  
     
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