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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 4yy yXj  
     cu|q &  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 s7LX  
    o:ob1G[p%  
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    建模任务 f 2f $aZ  
    13 p0w  
     NPabM(<`  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 36UW oo  
     v>l?d27R  
    某一位置的Talbot图样 =5F49  
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    某一位置的Talbot图样 EatDT*!  
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    不同位置的Talbot图样 1-<Xi-=^{t  
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    不同位置的Talbot图样 !{\c`Z<#  
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    沿Z轴的强度 '(*D3ysU  
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     9!h+LGs(,  
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    走进VirtualLab Fusion bN)?szh&Y  
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     X_2I4Jz]6  
    &*~ WK  
    VirtualLab Fusion的工作流程 Uy=eHwU?J  
    un=)k;oh  
     构建光栅结构 CPG %*E*  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] )vzT\dQ|  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] rKxk?}  
    C:cu1Y9  
     通过参数运行计算不同位置的强度 z /=v@@tj  
    - 参数运行文件的使用 [用例] cj)~7 WF  
    T@.CwV  
    wAYc)u#  
    >LSA?dy!?  
    VirtualLab Fusion技术 -TWo-iu^  
    5`Z#m:+u  
     ;MD{p1w  
       z=sqO'~  
    文件信息 Qzv_|U  
    WMg^W(  
     ~ln,Cm} 4  
    1GxYuTZ{  
    延伸阅读 oR }  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     A{vG@Pwc:  
    - 光栅级次分析器 z?^p(UH  
    - Talbot效应的建模 &r_B\j3  
    =&'j;j  
     t z{]H9  
    有什么问题可以添加微信~ ?{V[bm  
    $) $sApB  
     .O(UK4Mb  
     
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