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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 ]U[X1W+@  
     < `qRA]  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 NRnRMY-  
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    建模任务 S gMrce<;  
    e]ig!G]  
     s/"&9F3  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) R cY>k  
     ;;5Uwd'-  
    某一位置的Talbot图样 JXiZB 8}  
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     Fhq9D{TeY,  
       I~PDaZP  
    某一位置的Talbot图样 ufa41$B'yG  
    c_{z(W"  
     +c:3o*  
    z!=P@b  
    不同位置的Talbot图样 Y**|N8e  
    M_B:{%4  
     ,!G{5FF8:  
    U5Erm6U:  
    不同位置的Talbot图样 B;Nl~Y|\  
    L~{_!Q  
     l>lW]W  
    W#_/ak$uF*  
    沿Z轴的强度 Mr+@c)  
    3zuF{Q2P<  
     Q_*_?yf  
    N;F)jO xsl  
    走进VirtualLab Fusion ,O=a*%0rt  
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     N5|Rmfo1  
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     TDK@)mP  
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