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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 '9laa=H%8  
     Bc(Y(X$PK  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 .8@$\ZRP  
    WYHQ?  
     %P<hW+P!  
    SzAJ2:qhl  
    建模任务 @ju@WY45$^  
    Hkk/xNP  
     vleS2-]|  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ^|/TC!v]M  
     UvJ}b  
    某一位置的Talbot图样 QiQ_bB!\  
    ]_Vx{oT7  
     VyXKZ%\dQ/  
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    某一位置的Talbot图样 |ax3sAg  
    h:W;^\J:-  
     S*==aftl(  
    ?ME6+Z\  
    不同位置的Talbot图样 s6H]J{1F  
    aI%g2 q0f  
     zvvhFN2s  
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    不同位置的Talbot图样 ; ^*}#X d  
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     ? }Z1bH  
    ed]=\Key  
    沿Z轴的强度 Umz KY  
    ls_'')yp  
     'vVQg  
    Z)e/ !~""]  
    走进VirtualLab Fusion >NO[UX%yP  
    c#XXp"7k2  
     cpe+XvBuK  
    &SIq2>QA  
    VirtualLab Fusion的工作流程 g$":D  
    J}*,HT*  
     构建光栅结构 H7?Vybg~  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] i)o2klIkB  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] c%^7!FSg  
    O)C\v F#  
     通过参数运行计算不同位置的强度 bh s5x  
    - 参数运行文件的使用 [用例] 10G}{  
    sz5MH!/PJ  
    >] qc-{>&  
    qPWP&k  
    VirtualLab Fusion技术 FG PB:  
    [8.c8-lZ^  
     {i1| R"ta  
       :<ka3<0%  
    文件信息 a_[Eh fE  
    BIb4h   
     __lM7LFL  
    6~0$Z-);(  
    延伸阅读 ucuSe!IcX  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     Vmc5IPd{\  
    - 光栅级次分析器 >L|;|X!m9\  
    - Talbot效应的建模 @:;)~V  
    d4m=0G`  
     q?,).x nN  
    有什么问题可以添加微信~ W$QcDp]#p}  
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