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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 ?0HPd5=<v  
     %,Fx qw  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 /(-X[[V  
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    建模任务 sG{hUsPa  
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     ~$7fU  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ?rqU&my S  
     48 DC  
    某一位置的Talbot图样 :G?6Hl)~)  
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    某一位置的Talbot图样  w+<`>  
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    不同位置的Talbot图样 bL>J0LWQ  
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    [43:E*\$  
    沿Z轴的强度 >q{E9.~b  
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    走进VirtualLab Fusion 83io@*D  
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     ;E? Z<3{  
    f=%k9Y*)  
    VirtualLab Fusion的工作流程 V@6,\1#`|  
    Y0`=h"g  
     构建光栅结构 R{zAs?j  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] =<nx [J  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] w#EP`aM2$=  
    dq$H^BB+>  
     通过参数运行计算不同位置的强度 oZ% rzLH  
    - 参数运行文件的使用 [用例] CT1)tRN  
    L[4Su;D  
    8sm8L\-  
    ZuV/!9qU  
    VirtualLab Fusion技术 FM\yf ]'  
    {%WQQs  
     04eE\%?  
       $ f`\TKlN  
    文件信息 y^"[^+F3 .  
    n_}=G RR  
     ;{xk[f m=  
    M~ =Bln5  
    延伸阅读 (+Ia:D  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     ")%)e;V3  
    - 光栅级次分析器 iQryX(z  
    - Talbot效应的建模 hq}kAv4B=  
    _=ani9E]uF  
     +S!gS|8P  
    有什么问题可以添加微信~ ESdjDg$[u  
    #3!l6]  
     *aKT&5Ch-  
     
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