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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 KCIya[$*  
     2@N9Zk{{J  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 1}_4C0h\'  
    [ $5u:*  
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     PI.Zd1r  
    建模任务 b:5-0uxjs  
    u69UUkG  
     yJ/YK  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) >4#: qIU  
     jF-:e;-  
    某一位置的Talbot图样 <Umr2Vw-  
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    某一位置的Talbot图样 : *XAQb0  
    g< xE}[gF  
     -2[#1S*  
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    不同位置的Talbot图样 78\j  
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    不同位置的Talbot图样 O/U?Wq  
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    a>6D3n W  
    沿Z轴的强度 &~Y%0&F,&  
    nE +H)%p  
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    b}DC|?~M  
    走进VirtualLab Fusion -u(,*9]cJ*  
    n5%\FFG0M  
     Oi'y0S~ g  
    }L(ZLt8Q  
    VirtualLab Fusion的工作流程 Zs]n0iwM'@  
    _9]vlxgtG(  
     构建光栅结构 Qd~z<U l  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] L2p?] :-  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] ? )h8uf4  
    Z;V(YK(WO.  
     通过参数运行计算不同位置的强度 v)T# iw[  
    - 参数运行文件的使用 [用例] W+GC3W   
    >DUTmJxv  
    %.hJDX\j  
    Z1jxu;O(  
    VirtualLab Fusion技术 PJ; WNo8  
    7)]boW~Q  
     ]E-3/r$_cO  
       PDPK|FU  
    文件信息 {ZrlbDQX  
    `kuu}YUi  
     c+&Kq.~K  
    QmjE\TcK/  
    延伸阅读 |,@D <  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     jhf# gdz%  
    - 光栅级次分析器 hcj]T?  
    - Talbot效应的建模 NuPlrCy;  
    "o+?vx-  
     1$eoW/8.  
    有什么问题可以添加微信~ iMJt8sd  
    ij!d-eM/b  
     Dc@O Mr  
     
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