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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 <.7W:s,f=  
     '.&,.E&{$  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 /`x|-9  
    9.goO|~B~  
     X>jwjRK $  
    CQY/q@7  
    建模任务 $0iN43WSQ  
    NOmSLIgt7  
     _jb"@TY  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ZsPBs4<p  
     T{K+1SPy4  
    某一位置的Talbot图样 OEGAwP?F  
    a( {`<F  
     skP_us~  
       ~KfjT p#  
    某一位置的Talbot图样 ZCJ8I  
    _5YL !v&  
     $X&OGTlw^  
    !%M-w0vC9  
    不同位置的Talbot图样 iii$)4V  
    IA!ixabG  
     i+cGw  
    G7/LYTT)  
    不同位置的Talbot图样 R +JI ?/H  
    `y6l^ep  
     80]TKf>  
    Q#r 0DWo\  
    沿Z轴的强度 o%9>elOju  
    h'fD3Gr&  
     O.}gG6u5  
    uN(~JPAw5  
    走进VirtualLab Fusion aQmL=9  
    C[&&.w8Pm  
     !^fJAtCN]  
    o%QQ7S3 P  
    VirtualLab Fusion的工作流程 TxCQGzqe  
    @ :4Kk 4g1  
     构建光栅结构 t3>r f3v  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] bv4cw#5z$9  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] rWs5s!l,  
    lmcDA,7  
     通过参数运行计算不同位置的强度 ` j<tI6[e  
    - 参数运行文件的使用 [用例] 9h(hx 7]  
    Qd4T?5 vG  
    ncdr/(`  
    ,6S 8s  
    VirtualLab Fusion技术  :Y3?,  
    R,bcE4WR"  
     U}0/V c26  
       cj#q7  
    文件信息 `@D4?8_  
    5w1[KO#K|  
     P[K=']c  
    @ 1A_eF  
    延伸阅读 xlO2jSSAt  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     bVHi3=0{  
    - 光栅级次分析器 $@k w>2  
    - Talbot效应的建模 \W^+vuD8  
    I}IW!K  
     PWu2;JF  
    有什么问题可以添加微信~ T_[\(K`w!  
    ,P@-DDJ  
     ji -1yX  
     
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