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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 xD[Gq%  
     )R  2.  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 }HYjA4o\A  
    % v7[[U{T  
     u(t#Ze~Y1  
    CL}{mEr}  
    建模任务 ZRVT2VfN  
    ;cz|ss=  
     |{ PI102  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) QtqfG{  
     OdY=z!Fls  
    某一位置的Talbot图样 g HbxgeL  
    fpN- o  
     FEW_bP/4  
       D"ehWLj  
    某一位置的Talbot图样 F]t (%{#W  
    ]t*[%4  
     0#*#a13  
    UNi`P9D]3  
    不同位置的Talbot图样 01. &> Duw  
    g{9+O7q  
     b-*3 2Y%  
    4bEf  
    不同位置的Talbot图样 x5WW--YR+  
    9{8GP  
     >ap1"n9k  
    )){9&5,0:  
    沿Z轴的强度 U}l14  
    .rJiyED?!  
     F0UVo  
    Tl|:9_:t  
    走进VirtualLab Fusion LtKI3ou  
    JHJ~X v  
     -tI'3oT1  
    Yl$SW;@  
    VirtualLab Fusion的工作流程 5 `RiS]IO]  
    d{de6 `  
     构建光栅结构 .*JA!B  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] eBO@7F$  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] D'hW|  
    rzI|?QaPi  
     通过参数运行计算不同位置的强度 >xn}N6Rj2~  
    - 参数运行文件的使用 [用例] |s)?cpb  
    a9?y`{%L  
    hw~a:kD  
    ii0Ce}8d~  
    VirtualLab Fusion技术 h}Wdh1.M3  
    @Ehn(}  
     *I0-O*Xr  
       o!r8{L  
    文件信息 X*7\lf2  
    Ep4Hqx $  
     `g1iCF  
    oo$MWN8a>r  
    延伸阅读 [J0 v&{)?  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     '2-oh  
    - 光栅级次分析器 35x 0T/8  
    - Talbot效应的建模 leiW4Fj  
    %&\jOq~  
     @MK"X}3  
    有什么问题可以添加微信~ 5Fm=/o1  
    A;u"<KG?  
     9cv]y#  
     
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