切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 1126阅读
    • 0回复

    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6107
    光币
    24688
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 LtWU"42  
     !!O{ ppM  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 FS+^r\)  
    |&'] ms5J  
     oYErG] ,  
    5GL+j%7  
    建模任务 gO!h<1!  
    LK/V]YG  
     8'Bl=C|0X  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) <OfzE5  
     ?yeC j1X  
    某一位置的Talbot图样 <X&:tZ #/  
    pAmI ](  
     ^O*hs%eO%  
       K"$ky,tU  
    某一位置的Talbot图样 {;M/J  
    iquGLwJ  
     7Q}@L1A9F,  
    j&GKpt  
    不同位置的Talbot图样 j/|qge4  
    .]c:Zt}P  
     cs;Gk:  
    u Aa>6R  
    不同位置的Talbot图样 ofCP>Z-  
    ur7a%NH  
     x:lf=D lA  
    RE$-{i  
    沿Z轴的强度 W78-'c  
    !Sh5o'D28  
     nz l,y,  
    Zotv]P2k  
    走进VirtualLab Fusion ;0q6 bp(<H  
    5] %kWV>  
     0k<%l6Bq  
    &H{>7q#r  
    VirtualLab Fusion的工作流程 kA`qExw%  
    HX*U2<^  
     构建光栅结构 CFxs`C^  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] dUSuhT  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] }cmL{S  
    >z$|O>j  
     通过参数运行计算不同位置的强度 <:-&yDh u  
    - 参数运行文件的使用 [用例] I =pdjD  
    +?tNly`  
    gk%ye&:f  
    =&GV\ju  
    VirtualLab Fusion技术 ABGL9;.8  
    O0RQ}~$'m  
     xw Qkk  
       e~dU "  
    文件信息 e(A&VIp  
    i%w'Cs0y  
     VZR6oia  
    4+:u2&I  
    延伸阅读 c2"OpI  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     ly+7klQ;.  
    - 光栅级次分析器 AWcP OU  
    - Talbot效应的建模 "p\KePc;@  
    J( 60eTwQ  
     dtm@G|Ij  
    有什么问题可以添加微信~ [MG:Ym).2`  
    n2~rrQ \/p  
     /qG?(3  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表