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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 +Kk1[fh-  
     B[Lm}B[  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 M FIb-*wT  
    x)C}  
     yz68g?"  
    kG D_w  
    建模任务 {JfQQP&FV  
    vh\i ^  
     AA5G` LiT  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) c~hH 7/v  
     FW-I|kK.  
    某一位置的Talbot图样 `N\ ^JAGW  
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     ^xHKoOTj[  
       ZxvH1qx8  
    某一位置的Talbot图样 l\Ozy  
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     dgP e H8_  
    'OnfU{Ai  
    不同位置的Talbot图样 ?("O.<  
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     4|PWR_x  
    \dHqCQ  
    不同位置的Talbot图样 :$D*ab^^P  
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     CE3l_[c  
    8C{&i5kj\E  
    沿Z轴的强度 m%L!eR  
    &m3-][ !n  
     \=0;EI-j  
    Wx0i_HFR  
    走进VirtualLab Fusion b d 1^  
    `%Fp'`ZM$8  
     <ww D*t  
    H?"M&mF  
    VirtualLab Fusion的工作流程 ]+:yfDtZd  
    EA~xxKq  
     构建光栅结构 [ K?  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] %gmx47  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] d&^b=d FDu  
    [r`KoHwdm  
     通过参数运行计算不同位置的强度 1]If< <  
    - 参数运行文件的使用 [用例] nZioFE}  
    a*(Zb|g  
    ?d%)R*3IX  
     /!ElAL  
    VirtualLab Fusion技术 nWsRa uY  
    <PSz`)SN  
     Owf!dMA;nF  
       THwM',6  
    文件信息 TFkG"ev  
    w"0$cL3  
     XKGiw 2 C  
    eP2Q2C8g  
    延伸阅读 w9Yx2  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     . Z&5TK4I  
    - 光栅级次分析器 }tt%J[  
    - Talbot效应的建模 IGTO|sT"  
    1t e^dh:Vp  
     $tu   
    有什么问题可以添加微信~ L<V20d9  
    $R}C(k ;?  
     ;Pk"mC  
     
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