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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 UL&>]aQ  
     ;Z"Iv  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 }7{( o-  
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     Y Kp@ n8A  
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    建模任务 +9t{ovF?L  
    rij%l+%@#  
     [ 4IqHe  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) C9k"QPE  
     CV{ZoY  
    某一位置的Talbot图样 uV}GUE%W  
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    某一位置的Talbot图样 9aIv|cS?  
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     8<Yv:8%B6  
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    不同位置的Talbot图样 ~fcC+"7q/  
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    不同位置的Talbot图样 rXTdhw?+  
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     CJ)u#PmkJ  
    l_+q a6C*  
    沿Z轴的强度 ?,hGKSC  
    a #p`l>rx  
     &js$qgY  
    =R9`to|  
    走进VirtualLab Fusion e(DuJ-  
    XJS^{=/  
     juM~X5b  
    Sv>CVp*  
    VirtualLab Fusion的工作流程 !@ AnwV]  
    TDg<&ND3  
     构建光栅结构 +8|Xj!!*}  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] iQCs 8hIR  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] QOJ5  
    Q4N0j' QA  
     通过参数运行计算不同位置的强度 gMZrtK`<  
    - 参数运行文件的使用 [用例] 7eZwpg?K  
    SEZ08:>x r  
    =3 ;! 5P  
    ?$/W3Xn0%  
    VirtualLab Fusion技术 oVfRp.a  
    t`V U<  
     Di$++T8"  
       4Xv."L  
    文件信息 QNj6ETB-d  
    ukD:4s v  
     0? KvR``Aj  
    [>QzT"=  
    延伸阅读 8D^ iQBA  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     b|@f!lA  
    - 光栅级次分析器 v}^uN+a5  
    - Talbot效应的建模 "#%9dWy  
    6?0QzSpfC#  
     o O1Fw1Y  
    有什么问题可以添加微信~ 5* ~E dT  
    \9:IL9~F  
     de"+ABR  
     
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