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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 ^!rAT1(/_  
     Y>Fh<"A|$  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 4KB>O)YNg'  
    9y?)Ga  
     >!W H%J  
    DC(u,iW%6  
    建模任务 Jsf"h-)P  
    NM+ (ss'  
     OCEhwB0  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) D\^\_r):  
     *9tRh Rc  
    某一位置的Talbot图样 &vN^ *:Q  
    *AJYSa,z  
     i,!tu  
       JKA%$l0  
    某一位置的Talbot图样 L\xR<m<,  
    W~j>&PK,?  
     Y3O/`-9i  
    WSbD."p<  
    不同位置的Talbot图样 [Gc9 3PA7q  
    wL[{6wL  
     h^'+y1  
    IlZ$Jd  
    不同位置的Talbot图样 sp6A* mwl  
    .*&F  
     3|BB#;  
    xwojjiV  
    沿Z轴的强度 ~uu{ v')  
    ` 5SQ4  
     |?t}7V#[  
    O? 0`QMY  
    走进VirtualLab Fusion R%6KxN)+@  
    ")9jt^  
     A8 !&Y;d  
    pYh\l.@qf  
    VirtualLab Fusion的工作流程 QBjvbWoIG(  
    %[on.Q'1]2  
     构建光栅结构 /L=Y8tDt  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] \hP.Q;"MtO  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] B#4'3Y-3  
    ~7:Q+ 0,,  
     通过参数运行计算不同位置的强度 P?J\p J1|7  
    - 参数运行文件的使用 [用例] ak zKX}  
    nZ[`Yrq)0  
    =lL)g"x X  
    c9Q_Qr0'  
    VirtualLab Fusion技术 t(UdV  
    0F6~S   
     0~e6\7={  
       _gQ_ixu  
    文件信息 ,3Nna:~f  
    |k]fY*z(  
     w`[`:H_z  
    mt4X  
    延伸阅读 f<>CSjQ4c  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     XoGOY|2`6  
    - 光栅级次分析器 yh{U!hG  
    - Talbot效应的建模 izR#XeBm  
    TjOK8 t  
     K;]Dh?  
    有什么问题可以添加微信~ m,&2s-v  
    gps.  
     z pg512\y  
     
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