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摘要 n@3(bl5{
<"SDU_<xG 在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 |FF"vRi8a7
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 LGxQ>f[V @iC,0AK4k 建模任务 X >i`z qr5ME/)z
 c=S-g 9J 结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ,bv?c@
Jk$XL<t 某一位置的Talbot图样 un+U_|>c
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 m6qmZ2< _8Si8+j VirtualLab Fusion的工作流程 D`r^2(WW !_+LmBd
G 构建光栅结构 nwd
02t u - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] I,{9vew - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] NT~L=x sY F, ^< 通过参数运行计算不同位置的强度 :#!m(s` - 参数运行文件的使用 [用例] v= b`kCH} Jo1=C.V`Y  `pp"htm M ) 9Ss VirtualLab Fusion技术 0 T!_;IQ
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