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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 -Rcl(Q}LZ  
     ;"T,3JQPn6  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 2"IsNbWV  
    23|R $s>}i  
     Ce~ a(J|"  
    898=9`7e  
    建模任务 "eOFp\vPr  
    pGHn   
     FsTl@zN  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) JrA\ V=K  
     [/'=M h  
    某一位置的Talbot图样 vOnhJN  
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       \-eDNwJ:#@  
    某一位置的Talbot图样 2J0N]`|)  
    *<rBV`AP  
     '3'*VcL(  
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    不同位置的Talbot图样 cE SSSH!m  
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    不同位置的Talbot图样 Bq 9 Eu1  
    @Z{!T)#}j  
     9d8bh4[  
    +GDT@,/  
    沿Z轴的强度 rV6SN.  
    1 ^q~NYTK  
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    走进VirtualLab Fusion WAWy3i  
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     BH+@!H3 hf  
    |',$5!:0O  
    VirtualLab Fusion的工作流程 hDAxX= FM  
    U) B^R  
     构建光栅结构 6Q}WX[| tQ  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] /QT"5fxKJ  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] S{.G=O  
    ^9wQl!e ob  
     通过参数运行计算不同位置的强度 z:a%kZQ!0  
    - 参数运行文件的使用 [用例] ;E0aTV)Zp  
    [fl x/E  
    C_q@ixF{  
    n(.U>_ P  
    VirtualLab Fusion技术 ,]* MI"  
    p#DJow  
     s+RSAyU  
       {T2=bK~  
    文件信息 Kp.d#W_TX  
    J=@D]I*3  
     kH9P(`;Vq  
    XzV:q!e-  
    延伸阅读 ,rZp(moj  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     ,ag:w<km  
    - 光栅级次分析器 y^xEZD1X6-  
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    [ _N w5_  
     20Rj Rd  
    有什么问题可以添加微信~ LH_rc  
    I&lb5'6D  
     N~] 4,~  
     
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