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摘要 i s
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Hz\@# 在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 .7]P-]uOZ
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 FA%_jM ,q x^D 建模任务 8EI9&L> 4
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 vJL Gy] 结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) j$K*R."
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2 $P=C7; 构建光栅结构 L.Qz29\ - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] Lm
TFvZ - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] * :O"R gxN>q4z 通过参数运行计算不同位置的强度 f<NR6],} - 参数运行文件的使用 [用例] B 1V{3 1Y|a:){G  xSm;~')g $iu[-my_ VirtualLab Fusion技术 GC{M"q|_
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 gv''A" L=l&, ENy 文件信息 d ~Z\%4
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 2yZr!Rb~* E5 w;75, 延伸阅读 iQ;p59wSzL
- 超稀疏介质纳米线栅偏振片 "9wD|wsz - 光栅级次分析器 5o#JHD - Talbot效应的建模 1^!SuAA@ T$I_nxh[)L
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