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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 -^y1iN'D  
     ]&/0  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 O} (E(v  
    @t "~   
     !HbqbS22  
    #fJwC7  4  
    建模任务 =CGD ~p`  
    \}n !yYh(  
     EF0Pt  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) NH<Y1t  
     "@aq@mY@  
    某一位置的Talbot图样 b^+Fs  
    )|MIWgfWN  
     t4C<#nfo  
       B?!9W@  
    某一位置的Talbot图样 eR(\s_`  
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     4|I7:~  
    C8! 8u?k  
    不同位置的Talbot图样 AfuXu@UZ_/  
    c&0;wgieg  
     ]L[JS^#7  
    z0=Rp0_W  
    不同位置的Talbot图样 J~M H_N  
    U#OWUZ  
     #_JA5W+E  
    wE-Ji<1HJ  
    沿Z轴的强度 ?r^ hm u"a  
    |Gf1^8:C9  
     &?}kL= h  
    3(cU)  
    走进VirtualLab Fusion yBJ/>SAcG  
    {d&X/tT  
     ocb%&m ;i  
    A73V6"  
    VirtualLab Fusion的工作流程 ]J8KCjq@  
    )Ix-5084  
     构建光栅结构 d08`42Z69  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] ^D% }V-"  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] wUh3Hd'  
    !C9ps]6  
     通过参数运行计算不同位置的强度 hr )+Pk  
    - 参数运行文件的使用 [用例] wrZ7Sr!/V  
    CwTS/G  
    qAS70XjOF  
    M63s(f  
    VirtualLab Fusion技术 > C*?17\  
    chvrHvByS  
     ~%cSckE  
       UE}8Rkt  
    文件信息 P5yJO97  
    f}Ne8]U/Hc  
     BLl%D  
    c,3'wnui  
    延伸阅读 Tx|SAa=V  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     _mIa8K;  
    - 光栅级次分析器 Fi?U)T+%+  
    - Talbot效应的建模 sw3:HNG=  
    M~d+HE   
     kR`6s  
    有什么问题可以添加微信~ | o;j0  
    \]L::"![?  
     c<JM1  
     
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