-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2025-10-27
- 在线时间1881小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
摘要 $ \ZWQct
`n>|rd 在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 )f$4: Pq
b|-)p+ba
 `T*Y1@FV [RKk-8I 建模任务 pG "wQ {{G3^ysa
 t)j$lmQ n 结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) xy: Mb =r
b\JU%89 某一位置的Talbot图样 h
F +aL
JE}VRMNr
 'l(s)Oa{M: ,G0"T~ 某一位置的Talbot图样 6MM\nIU)/
P@@MQ[u?!.
 f5F-h0HF`[ JL
G!;sov 不同位置的Talbot图样 Tl yyJ{~
8T pYt)]S
 =)Hu(;Yv N4;g"k b 不同位置的Talbot图样 K9ia|2f
g^
?G)>
 d,?D '/ )w4U]inJ$" 沿Z轴的强度 a0)w/A&
P Ptmh. }e
 E] g
Lwg9K }< '6FxR 走进VirtualLab Fusion 3ux7^ au
[_%u5sc-y
 DX! dU'tj ,EHLW4v VirtualLab Fusion的工作流程 H_@6!R2 odca? 构建光栅结构 *g*"bi* - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] _*UI}JtlS - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] c/88|k ^ f>c_[fR 通过参数运行计算不同位置的强度 1\,k^Je7 - 参数运行文件的使用 [用例] 6I RRRt O( 9nVb$pf e#  (hOD MOh&1]2j5 VirtualLab Fusion技术 ,s So\%
R"XycXn_$
 W*s=No3C 41=H&G& 文件信息 G9-ETj}
'^m'r+B"
 Vaf, vTFG*\Cq 延伸阅读 Ns YEBT7f
- 超稀疏介质纳米线栅偏振片 cQ <|Of - 光栅级次分析器 " 4#&tNQ - Talbot效应的建模 yCR8 c,'8 {,uSDI Oj$
Y$XzZ> VW 有什么问题可以添加微信~ wz3X;1l`c  Uu8ayN j
v/xlb&Xx
|
