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摘要 ZZZ9C#hK^9
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qJ 在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 V" 8 G-dK
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 GF8wKx#J [:#K_EI5% 建模任务 -y$6gC RY P_NF;v5 v
 c`p '5qz 结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) r~h#
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Hrvy I)4{ VirtualLab Fusion的工作流程 (~zu4^9w ` qs}L 构建光栅结构 >h;]rMD!| - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] `}#rcDK - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] C&H'?0Y@ >bze0` }Z 通过参数运行计算不同位置的强度 =3- ?$ - 参数运行文件的使用 [用例] s$hO /INr rY45.,qWs  4 O8ct,Y ^ZQMRNP{r VirtualLab Fusion技术 Z>g>OPu
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- 超稀疏介质纳米线栅偏振片 s<F*kLib - 光栅级次分析器 d'ZNp2L - Talbot效应的建模 o c( '!c dz([GP'-*
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@Q 有什么问题可以添加微信~ $YEm(:v$  l EFd^ @t
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