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    [分享]镀膜倾斜光栅 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 ,@;",  
    lSPQXu*[  
    关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） jav7V"$  
    0/6f9A  
    所需工具：Grating Toolbox Basic U,gg@!1GJo  
    L09YA  
    相关Tutorials：G.001; G.014 QgqR93Ic  
    建模任务 z{wJQZ9"  
    P6!c-\  
    理想平面波照射 sy.FMy+  
    *Ew`Fm H  
    /vYuwaWG=  
    mp*&{[XoVC  
    XT9]+b8(M  
    )>QpR8 G-  
    镀膜倾斜光栅 tda#9i[pkH  
    目标平面 2-s ,PQno^  
    mXtsP1  
    周期：10um UMILAoR  
    厚度：10um y'(( tBWa!  
    倾斜角度：20度 mSm:>hBd  
    i882r=TE3  
    光栅的参数 RP9#P&Qk  
    I<L  
    —倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 _ I"}3*  
    J&CA#Bg:w  
    —填充因子                           2—后面的介质 0/5 a3-3{  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 *'H0%GM  
    —光栅厚度 B5{ wSr  
    (HbA?Aja  
    rE$0a-d2B  
    " R!,5HQF;  
     F$.h+v   
    />Kd w  
    设置层数和转折点 {k*rD!tT  
    1Bp?HyCR  
    fUx;_GX?  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 \e+h">`WgX  
    "A\h+q-  
    fm]mqO  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看  vX1 8 ]  
    +-~8t^  
     PgI H(  
    实现可编程光栅 =hFIH\x  
    o|(Ivt7jk  
    Y\75cfD  
    yAD-sy +/  
     cQ}3? v  
    ~/^q>z!\4  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） +lC?Vpi^  
    4FQB%3>*  
    qQjd@J}^  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转）  B0 E`C  
    $-Iui0h  
    =D;n#n7  
    3Gi^TXE]  
    X'FDQoH  
       <ks+JkW_  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） =EFCd=i  
    Z<D8{&AjS  
    &~=FX e0S  
    2       双击Data Series Diagram #mKF)W  
    7<GC{/^T  
    采样结果 *!oV?N[eA'  
    =$mPReA3v  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略.     Gb!R>WY  
    y'L7o V?L9  
    QQ：2987619807
     
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