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    [分享]镀膜倾斜光栅 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 }o)GBWqHR  
    tb0s+rb  
    关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run cC4*4bMm  
    xA&G91|s  
    所需工具:Grating Toolbox Basic H Qf[T@  
    7sHtJr  
    相关TutorialsG.001; G.014 !u4oo-  
    建模任务 d&R/fIm  
    hr]NW>;  
    理想平面波照射 3=;iC6 `  
    Mc76)  
    S1`+r0Fk~n  
    H+*o @0C\~  
    v]_{oj_(-  
    puMpUY  
    镀膜倾斜光栅 QM;L>e-ZY  
    目标平面 vQBfT% &Q-  
    /l:3* u  
    周期:10um siyJjE)}w  
    厚度:10um o`G'E&  
    倾斜角度20 mjy%xzVr6^  
    =>S5}6  
    光栅的参数 S~Nx;sB  
    z KJ6j]m  
    —倾斜角度                           1—(光栅)前面的介质 2psI\7UjA]  
    LuQ=i`eXx  
    —填充因子                           2—后面的介质 /i^b;?/1  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 Y\9uR!0  
    —光栅厚度 7 NJ1cQ-}t  
    }Qg9l|  
    LZ\}Kgi(!T  
    yt_?4Hc"  
    W0gaOew(^  
    eeB^c/k(P  
    设置层数和转折点 A "S})  
    hiP^*5h  
    LvW9kL+WiQ  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 7i 6-Hq  
    5^P)='0*  
    <R]?8L0{h  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 o?hya.;h4  
    D ZLSn Ax  
    !;iySRZr  
    实现可编程光栅 DSET!F;PG  
    lBPZB%  
    c&F"tLl  
    e ~*qi&,4  
    PiAA,  
    ? )0U!)tK  
    参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) :ykQ[d`:|  
    uCUQxFp  
    \Sg&Qv`  
    参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) = #ocp  
    Hh54&YKZ  
    pBmacFP  
    bk#u0N  
    ot-!_w<  
       _=4Dh/Dv  
    参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) "C}nS=]8m  
    l+YpRx/T\  
    `iQyKZS/+  
    2       双击Data Series Diagram t{84ioJ"$  
    ^qV*W1|0  
    采样结果 d [K56wbpx  
    8(uxz84ce  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略.
    P1z6 sG G  
    JLc\KVmF  
    QQ:2987619807
     
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