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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 jC#`PA3m= s bs[=LW4 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） poTl|y @ 9e0C3+)CY 所需工具：Grating Toolbox Basic /A0 [_ IkiQ Ok 相关Tutorials：G.001; G.014 0S%tsXt+ 建模任务 f<'n5}{RO0 j
l}!T[5 理想平面波照射 ?e"Wu+q~L B {[f}h.n >0kmRVd  @gH(/pFX ]z+*?cc _{[k[] 镀膜倾斜光栅 pk;ff q@ 目标平面 f37ji ,Le&I 9*% 周期：10um - J-3_9I 厚度：10um <jpe u^7 倾斜角度：20度 t|go5DXz4 %~][?Y >< 光栅的参数 : =
]sq}IN [`y :M&@ —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 i< B: V"w`! —填充因子 2—后面的介质 $&ex\_W —膜层厚度 3—膜层材料 \Oi5=, —光栅厚度 XRClBTKF ZM dM_i? =Jsg{vI  BM|-GErE
NFrNm'v 9@$tiDV 设置层数和转折点 fBHkLRFH 83{x"G3> ,`ZPtnH+  2 设置层数和转折点以确定膜层 8#X?k/mzU
YRg=yVo 2 Z}sG3p 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 E}xz7u H.j LGe> 0 C lX 实现可编程光栅 ${jA+L<J @ChN_gd3! ^Nd|+}  7xLo 4
se<i5JsSV l-DGy# h+z 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） U@o2gjGN  DBu)xr}7A &(5^v w<0 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） I
ybl;u s [0prm5. nU=f<] S = n ;-x !Gs  aHBByH W
/~||s 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 4@/ q_*3o  [(D}%+2 *Gk<"pEeS 2 双击Data Series Diagram sf.E|]isW BxSk%$J 采样结果 b qZ?uvc3  "'Q" (S
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. H$k
