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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 K, I  
    w]yVNB  
    关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） KX]!yA  
    {?5iK1|}K  
    所需工具：Grating Toolbox Basic * m^\&  
    huS*1xl  
    相关Tutorials：G.001; G.014 jS~Pdz  
    建模任务 M:{Aq&.  
    ];4!0\M  
    理想平面波照射 |oke)w=gn  
    as!a!1  
    w3ni@'X8  
    KMz!4N  
    BkGEx z  
    pm,xGo2  
    镀膜倾斜光栅 #MlpOk*G  
    目标平面 P3: t 4^  
    y:}qoT_.  
    周期：10um XWnP(C9?  
    厚度：10um (Jw_2pHxr"  
    倾斜角度：20度 |:&6eDlR  
    DegbjqZ#  
    光栅的参数 j&oRj6;Ha+  
    z&tC5]#  
    —倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 a \1QnCy  
    %:d7Ts&?Z  
    —填充因子                           2—后面的介质 )\=xPfs  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 T1 $E][@Iv  
    —光栅厚度 P+}~6}wJE  
    Q`<{cFsU  
    UGI<V!  
    \ agZ D+  
     ur\6~'l4  
    nYj rEy)Q  
    设置层数和转折点 o #e8 Piw  
    32<D9_  
    [jzsB:;XB&  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 n jWe^  
    5b7(^T^K  
    {g<D:"Q  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 G/<zd)  
    #@$80eFq  
    fUkqhqe  
    实现可编程光栅 M}x%'=Pox  
    |(z{)yWbC[  
    ],pB:=  
    05 q760I+  
     p8~lGuH  
    .Q,"gsY  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） _|#abLh%  
    9kH~=`:?  
    X3l>GeUi  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） M\C9^DX{  
    !H\o Qv-I  
    KFd +7C9  
    `Npa/Q  
    j8` B  
       {r&mNbz  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） S)WxTE9  
    O8@65URKx  
    t<p#u=jOa  
    2       双击Data Series Diagram K {' atc  
    q!z"YpYB  
    采样结果 $v;WmYTJ  
    K6IT$$g  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略.     yS W$zA,  
    Q"XDxa'7"  
    QQ：2987619807
     
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