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    [分享]镀膜倾斜光栅 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 ` x%U  
    %jbJ6c  
    关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） Qfkh0DX B  
    pIID= 8RJ.  
    所需工具：Grating Toolbox Basic bk\dy7  
    [ 5CS}FB  
    相关Tutorials：G.001; G.014 p|FlWR'mA  
    建模任务 _XH4;uGg  
    pgz:F#>  
    理想平面波照射 w|!YoMk+o  
    *<`7|BH3  
    Lf,CxZL5  
    ]+}ZfHp  
    `DgaO-Dg3  
    ou<S)_|Iu  
    镀膜倾斜光栅 }j+~'O4m  
    目标平面 o9KyAP$2  
    Tm%$J  
    周期：10um x !#Ma  
    厚度：10um PtQQZ"ept  
    倾斜角度：20度 I!|y;mh:it  
    e={k.y }x}  
    光栅的参数 8 *4@-3Sx  
    b34zhZ  
    —倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 ^?$D.^g  
    uI%N?  
    —填充因子                           2—后面的介质 a za o`z  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 WW@JVZxK  
    —光栅厚度 )LkM,T  
    8yHq7=  
    m.1LxM$8  
    Nj0-`j0E  
     4mEzcwo'  
    jo 7Hyw!g  
    设置层数和转折点 /HB+ami,  
    tP}Xhn`  
    8ku? W  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 pY^pTWs(  
    D3<IuWeM  
    @PYW|*VS  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 r/UYC"K3  
    I["F+kt^^  
    :~\LOKf  
    实现可编程光栅 kR<xtHW  
    0L!er%GM  
    Qy4X#wgD  
    ?wGiog<Q{  
     fm3(70F\  
    mZ`1JO9  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 4 hL`=[AB  
    gsW=3m&`  
    wY' "ab  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ^{),+S  
    t{+ M|Y  
    _aVJ$N.  
    Zw2jezP@t  
    D~cW ]2  
       5){tBK|  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） "4 'kb  
    A;odVaH7  
    q!ee g  
    2       双击Data Series Diagram  pgC d  
    K|`+C1!  
    采样结果 d/l,C4p  
    [m~b[ZwES  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略.     ^Y$QR]  
    {?w"hjy  
    QQ：2987619807
     
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