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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 .%M=dL> [6FCbzS_W 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) _$9<N5F.,o 9V0iV5?( P 所需工具:Grating Toolbox Basic U*(m'Ea vMRM/. 相关Tutorials:G.001; G.014 uV#/Lgw{M 建模任务 ]O,!B''8k Yih^ZTf]O? 理想平面波照射 : N> 5{ ]mn(lK Fm#4;'x5E pV=X vAy`8Q #?@k=e\ 镀膜倾斜光栅 ujXC#r& 目标平面 L@_IGH bO>Mvf 周期:10um =SRp 厚度:10um Y@c!\0e$ 倾斜角度:20度 l=Jbuc B;SYO>.W 光栅的参数 x&8HBF' JrQd7 —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 %A,4vLe~6 zRx-xWo —填充因子 2—后面的介质 G)?VC^Q —膜层厚度 3—膜层材料 ]>b.oI/ —光栅厚度 LR@rn2Z 2ZNTj u7h _SJ#k|vcq ?}D@{%O3T ' &^:@V /(bPc12 设置层数和转折点 _bHmcK V44IA[ %?' jyK 2 设置层数和转折点以确定膜层 RCsQLKqF jQFAlO(E': WtN o@e' 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 4N[8LC;MH 7H:1c=U u}W R1u[ 实现可编程光栅 vj]-p= X2 c<. OxqK}%=Bw fil'._ wN-3@ V:4]]z L} 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) ?lKFcm 4nmc(CHQ: [8EzyB>fH 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) 5`53lK.C UiqHUrx `PXSQf @" UoQ_h% )@Fuw* AifnC4 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) CPWe ( Cb~_{$ A f7c%Z:C#Y 2 双击Data Series Diagram |QHDg( R#eY@N}\ 采样结果 y#!8S{ <t>"b|fW 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. Z&e_yl 8<#X]I_eP+ QQ:2987619807
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