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    [分享]镀膜倾斜光栅 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 %Qc La//  
    D'7SAFOM  
    关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run {F3xJ[  
    esHg'8?U  
    所需工具:Grating Toolbox Basic l%[EXZ  
    ./,/y"x  
    相关TutorialsG.001; G.014 [.m`+  
    建模任务 3_txg>P"  
    GO8GJ;B-U  
    理想平面波照射 0>C T=(A  
    TX$r `~  
    Y -pzy']4  
    >XK PTC5H  
     ;hY S6  
    Rd2qe /  
    镀膜倾斜光栅 u2[ iMd  
    目标平面 Ge2q%  
    OTy.VT|  
    周期:10um '{E@*T /<.  
    厚度:10um s8wmCzB~  
    倾斜角度20 18~>ZR  
    !>v2i"  
    光栅的参数 :ZTc7 }  
    SNfr"2c'h~  
    —倾斜角度                           1—(光栅)前面的介质 a&tSj35*6  
    5i> $]*o  
    —填充因子                           2—后面的介质 GKOD/,  
    —膜层厚度                           3—膜层材料  5V6G=H  
    —光栅厚度 D&/kCi=R  
    `!XY]PI+e  
    A9f)tqbc  
    +g` 'J$  
    #z&& M"*a|  
    r YogW!  
    设置层数和转折点 q;QbUO  
    U@gn;@\  
    E5)b  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 H$@`,{M629  
    N03HQp)g  
    7l'6gg  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 B-.gI4xa  
    aa?w:3  
    n1~o1  
    实现可编程光栅 3 DDML,  
    hJn%mdx~w|  
    x$IX5:E#e  
    d{XO/YQw  
    V^JV4 `o  
    U'8bdsF_  
    参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) lp<g \  
    Qj,]N@7  
    nN*w~f"  
    参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) LJ*q1 ;<E  
    X}tVmO?  
    vWRju*Z&  
    `wus\&!W  
    j<u@j+V  
       cc#gEm)3C  
    参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) Db)?i?o}t  
    KMU4n-s"o  
    Tsgk/e9K2?  
    2       双击Data Series Diagram ]Bm/eRy"  
    Pdt6nzfr  
    采样结果 }D7I3]2>   
    ? %`@ub$  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略.
    F_;vO%}  
    nyBJb(5"B  
    QQ:2987619807
     
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