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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 sQW$P9s c  
    I%xrDiK97  
    关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） ^5vFF@to  
    'N,3]Soi  
    所需工具：Grating Toolbox Basic ~h-G  
    K8*QS_*  
    相关Tutorials：G.001; G.014 uF5d ]{Qt  
    建模任务 2YK4 SL  
    S |T:rc(~  
    理想平面波照射 Q(m} Sr4  
    tF)K$!GR[  
    bTC2Ya  
    "hz(A.THi  
    l/OG 79qq  
    }4xxge?r  
    镀膜倾斜光栅 1DcYc-k#  
    目标平面 FM9b0qE  
    >>krH'79  
    周期：10um mm%w0dOb"  
    厚度：10um b0LjNO@<  
    倾斜角度：20度 <Xw 6m$fr:  
    *sf9(%j  
    光栅的参数 "Gcr1$xG8!  
    D+rDgrv  
    —倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 ]>E9v&X0  
    Fy-nV% P  
    —填充因子                           2—后面的介质 S}e*~^1J  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 ,: w~-   
    —光栅厚度 BieII$\P%P  
    !_<.6ja  
    9In&vF7$  
    *Q=-7a m  
     ;~z>GJox  
    `6j?2plZ  
    设置层数和转折点 FVG|5'V^  
    ]Vjn7P`~ N  
    _ %&"4bm.  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 t,N- |  
    )Tngtt D  
    [k-7Kq  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 &m8B%9w  
    P?n!fA>!  
    fFXs:(  
    实现可编程光栅 ml=1R >#'  
    A#1aO  
    {z@vSQ=)=P  
    !QVd'e  
     ^1,]?F^  
    dG7sY O@U  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） i[3$Wi$  
    %9mB4Fc6b)  
    IvIBf2D;Q  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） tP!sOvQ:  
    ^ bM;C_<$f  
    1:YDN.*  
    U YUIpe  
    Zpb3>0<R  
       a^[io1}-  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） q(.%f3(  
    58e{WC  
    $6!`  
    2       双击Data Series Diagram =q xcM+OX1  
    WS(@KN  
    采样结果 QH\*l~;B\  
    fbuop&FN+q  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略.     .v1rrH?  
    vo7 1T<K  
    QQ：2987619807
     
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