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    [分享]镀膜倾斜光栅 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 Z.<OtsQN  
    h djv/  
    关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） \kZxys!4  
    u!?.vx<qy  
    所需工具：Grating Toolbox Basic n  !]_o  
    BdB/`X*  
    相关Tutorials：G.001; G.014 wz31e!/  
    建模任务 ~\<Fq\.x  
    0Jz'9  
    理想平面波照射 y} AkF2:  
    ZY+NKb_  
    $0V<wsVM  
    8v\BW^z3  
    1XU sr;Wz  
    Y~hBVz2g  
    镀膜倾斜光栅 G+[hE|L~y  
    目标平面 K/KZ}PI-O  
    _n@#Lufx  
    周期：10um 3iJ4VL7  
    厚度：10um ]6Kx0mW  
    倾斜角度：20度 #GT/Q3{C  
    h)7{Cj  
    光栅的参数 l4u_Z:<w  
    kUUeyq  
    —倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 |E&a3TQW  
    .&=nP?ZPC6  
    —填充因子                           2—后面的介质 oOUL<ihe?  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 puA~}6C  
    —光栅厚度 Tn< <i  
    A?<R9A  
    f1y3l1/  
    e<6fe-g9;  
     "C&l7K;bp  
    XCCN6[[+  
    设置层数和转折点 <43O,Kx'Su  
    1[OCojo<  
    W2P(!q>r]  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 n|sP0,$N1  
    Y^Y|\0  
    Xd@  -  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 -61{ MMiA  
    RT HD2  
     0eUK'   
    实现可编程光栅 oP;"`^_  
    CtJ*:wF  
    \/J>I1J  
     yaza  
     E58fY|9  
    F9p'|-   
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） d*$$E  
    bYQvh/(J  
    =+;l>mn?O  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） #N9^C@  
    W{:^P0l  
    o|O730"2F  
    _rt+OzZ*L  
    q{~59{Fha  
       `,a6su (?  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ZFwUau  
     "TE F  
    'ol8lIa.P  
    2       双击Data Series Diagram 4Bg"b/kF  
    F3+ ;2GG2  
    采样结果 HO[W2b  
    `Cq&;-u  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略.     >L[n4x\  
    =f0qih5.4  
    QQ：2987619807
     
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