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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 %Qc La// D'7SAFOM 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) {F3xJ[ esHg'8?U 所需工具:Grating Toolbox Basic l%[EXZ ./,/y"x 相关Tutorials:G.001; G.014 [.m`+ 建模任务 3_txg>P" GO8GJ;B-U 理想平面波照射 0>C T=(A TX$r`~ Y-pzy']4 >XK
PTC5H ;hYS6 Rd2qe / 镀膜倾斜光栅 u2[iM d 目标平面 Ge2q% OTy.VT| 周期:10um '{E@*T/<. 厚度:10um s8wmCzB~ 倾斜角度:20度 18~>ZR !>v2i" 光栅的参数 :ZTc7} SNfr"2c'h~ —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 a&tSj35*6 5i>$]*o —填充因子 2—后面的介质 GKOD/, —膜层厚度 3—膜层材料 5V6G=H —光栅厚度 D&/kCi= R `!XY]PI+e A9f)tqbc +g` 'J$ #z&&M"*a| r
YogW! 设置层数和转折点 q;QbUO U@gn;@\ E5)b 2 设置层数和转折点以确定膜层 H$@`,{M629 N03HQp)g 7l'6gg 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 B-.gI4xa aa?w:3 n1~o1 实现可编程光栅 3 DD ML, hJn%mdx~w| x$IX5:E#e d{XO/YQw V^JV4 `o U'8bdsF_ 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) lp<g\ Qj,]N@7 nN*w~f" 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) LJ*q 1
;<E X}tVmO? vWRju*Z& `wus\&!W j<u@j+V cc#gEm)3C 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) Db)?i?o}t KMU4n-s"o Tsgk/e9K2? 2 双击Data Series Diagram ]Bm/eRy" Pdt6nzfr 采样结果 }D7I3]2> ?%`@ub$ 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. F_;vO%} nyBJb(5"B QQ:2987619807
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