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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 IJ,,aCj4g ;_j\E(^% 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) -lL*WA` ~Y)Au?d(a 所需工具:Grating Toolbox Basic svpWABO J=K3S9:n]g 相关Tutorials:G.001; G.014 v,>F0ofJ 建模任务 any\}
C`mXEX5 理想平面波照射 B_5q}Bp< Q,\lS >\DXA)nc `?JrC3 ZuS+p0H" %n}.E304 镀膜倾斜光栅 +G/~v`Bv 目标平面 ;JL@V}L, n^Z?u9VR 周期:10um \yG_wZs 厚度:10um =r0!-[XCa 倾斜角度:20度 |P?8<8p 0^ (.(: 光栅的参数 }Pb!u9_ xC;$/u%' —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 Tao lX*$5 0[3b, —填充因子 2—后面的介质 95]%j\ —膜层厚度 3—膜层材料 G|O"Kv6 —光栅厚度 ]}v`#-Px( Z<,gSut'Y M2xUs T[Gz
P`bR;2o -nk %He 设置层数和转折点 N ZlJ_[\$C ;?:,L 0)2lBfHQ& 2 设置层数和转折点以确定膜层 !-MG"\#Wq Rkm7"dO0 V)(pe #P 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 ;,4J:zvZdQ Y#t"..mc' >8AtT=}w 实现可编程光栅 Cza)s y mE`V Ck^= H i'5bPW v<c Hx/ LB{a&I LG 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) i{e<kKh un9o~3SF< e5XikLu 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) kXj pCtCu [c W $OhL
95}7 *{Z!m@?
(CV=0{] # xoFIH 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) 3}gK`1Nq1 a #0{tZd hBqu,A 2 双击Data Series Diagram 6?iP z?5 .z4FuG,R 采样结果 ;yXnPAtJ {r}}X@|5 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. H5%I?ZXw4 7>mYD3 QQ:2987619807
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