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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 h/9Sg*k e#m1X6$.e 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) xZg7Jg @|'Z@>!/pV 所需工具:Grating Toolbox Basic n531rkK- 43F^J%G 相关Tutorials:G.001; G.014 lR[z<2w\ 建模任务 ]]3Q*bq4 ?M]u$Te/. 理想平面波照射 ex:3ua$N |QMT
A5 :^.u-bHI -rRz@Cr acy"ct*I YiO3<}Uf 镀膜倾斜光栅 ^W k0*.wg 目标平面 X;5 S ^:U;rHY 周期:10um S~} +ypV 厚度:10um fW[_+r] 倾斜角度:20度 Mi;Tn;3er #-A5Z;TD. 光栅的参数 . *Z#cq0
TiTYs —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 .GtINhz* }:"R-s —填充因子 2—后面的介质 r@;$V_I —膜层厚度 3—膜层材料 R,XD6' Q —光栅厚度 HN^w'I'bp mxZ4
HD{ y.%i Wl?<c
uw00 Aw5K3@Ltz MR[N6E6Mg 设置层数和转折点 T<_+3kw $F<%Jl7_Z mJ/^BT] 2 设置层数和转折点以确定膜层 E:%>0FE x={kjym L 5NFq7&rJ6 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 *:k~g].Iz j`Tm\!q tYF$#Nor#k 实现可编程光栅 qNhH%tYQ McO@p=M tP -5 rUGZjLIGqz g52 1Wdtnn ]Pz|Oi+] 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) ^"PfDTyA 2J1B$.3' Ug%<b 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) nqBG]y aI Au~+Zz|mQ Jx)~kK @263)`9G {H/8#y4qp& *1%e%G 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) &IIJKn|_ VZAuUw+M cu)@P 0I 2 双击Data Series Diagram
MYKs??]Y1 AEi WL.*. 采样结果 vQ?MM&6 ^U R-#WaQ 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. &Xj {:s# U]+b`m QQ:2987619807
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