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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 `x%U %jbJ6c 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) Qfkh0DX
B pIID=8RJ. 所需工具:Grating Toolbox Basic bk\dy7 [ 5CS}FB 相关Tutorials:G.001; G.014 p|FlWR'mA 建模任务 _XH4;uGg pgz:F#> 理想平面波照射 w|!YoMk+o *<`7|BH 3 Lf,CxZL5 ]+}ZfHp `DgaO-Dg3 ou<S)_|Iu 镀膜倾斜光栅 }j+~'O4m 目标平面 o9KyAP$2 Tm%$J 周期:10um x !#Ma 厚度:10um PtQQZ"ept 倾斜角度:20度 I!|y;mh:it e={k.y}x} 光栅的参数 8 *4@-3Sx b34zhZ —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 ^?$D.^g uI%N? —填充因子 2—后面的介质 azao`z —膜层厚度 3—膜层材料 WW@JVZxK —光栅厚度 )LkM,T 8yHq7= m.1LxM$8 Nj0-`j0E 4mEzcwo' jo 7Hyw!g 设置层数和转折点 /HB+ami, tP}Xhn` 8ku?
W 2 设置层数和转折点以确定膜层 pY^pTWs( D3<IuWeM @PYW|*VS 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 r/UYC"K3 I["F+kt^^ :~\LOKf 实现可编程光栅 kR<xtHW 0L!er%GM Qy4X#wgD ?wGiog<Q{ fm3(70F\ mZ`1JO9 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) 4 hL`=[AB gsW=3m&` wY' "ab 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) ^{),+S t{+M|Y _aVJ$N. Zw2jezP@t D~cW
]2 5){tBK| 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) "4'kb A;odVaH7 q!ee g 2 双击Data Series Diagram pgCd K|`+C1! 采样结果 d/l,C4p [m~b[ZwES 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. ^Y$QR] {?w"hjy QQ:2987619807
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