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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 '2UQN7@d Er
-rm 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) 1vS-m x %j2$ ezud 所需工具:Grating Toolbox Basic XM#nb$gl Rd<K.7&A} 相关Tutorials:G.001; G.014 D/=k9[b! 建模任务 8m?cvI qj4jM7 理想平面波照射 TF 80WMt xdVsbW)L2 IVVX3RI :98:U~d1 y(#6nG@S skU
}BUK6 镀膜倾斜光栅 d\zUtcJwC 目标平面 xu{VU^'Y ,LC(Ax'.F 周期:10um :F9Oj1lM% 厚度:10um Y/?z8g'p 倾斜角度:20度 V(g5Gn? c|Z6p{)V 光栅的参数 Z{/GT7 / x0K#- —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 g1:%986jv jfVw{\l —填充因子 2—后面的介质 FGhnK' —膜层厚度 3—膜层材料 RS@[ +! :t —光栅厚度 z.+%{_pe j WMTQLE. k3KT':* i g
. +1@'2w{ oX'@,(6) 设置层数和转折点 +zXcTT[V ;}M&fXFp"| VDxF%!h( 2 设置层数和转折点以确定膜层 27}7
n gf>GK/^HH LFZ*mRiuKE 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 `~=NBN=tiL EXwU{Hl f0R+Mz8{ 实现可编程光栅 F/[m.!Eo *xITMi b|;h$otC mIPDF1=) 9XhH*tBn7( TB= _r(:l+ 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) JT=ax/%Mo l ?YO!$ rq Uk_|Xa 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) 2E`mbT,v& 7%[ YX /k(wb4Hv cV_-Bcb x34GRe!! Qpj[]c5 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) ZHlHnUo mahNQ5 W*) MmePhHf 2 双击Data Series Diagram K4+|K:e !H<%X~|, 采样结果 FjLMN{eH/ k@h0 }% 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. ,oPxt pf+VYZ#) QQ:2987619807
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