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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 ]' =]=o~4 k'X
v*U 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） ["4h%{. W~+
] 7< 所需工具：Grating Toolbox Basic Y~vI@$<~( zRdL-u%(# 相关Tutorials：G.001; G.014 wQ qI@ 建模任务 yf+M sPn[FuT>+s 理想平面波照射 Iodk1Y; tgH@|Kg |GtTz&  t \E#8 tw U^ewO& r k;k:<c 镀膜倾斜光栅 D ::),, 目标平面 Juj"cjob `;4P?!WG 周期：10um -;cZW.< 厚度：10um qz"di~ 7 倾斜角度：20度 bsy\L|wd [ ps5; 光栅的参数 wq!Gj]B "Q6oPDX( —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 SuU,S E'TX eWSA —填充因子 2—后面的介质 %KK 6}d # —膜层厚度 3—膜层材料 fO CLN$x^ —光栅厚度 lN#W I~?D^ (:Rj:8{  w~hO)1c],:
js)M
c*]& t7tX<| aN 设置层数和转折点 `z%f@/:fG .'JO7of r$} M,! J  2 设置层数和转折点以确定膜层 yEyx.Mh.Af Ahk6{uz T%Xl(.Ft 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 +<7~yZ[Z8 yEIM58l ?U.+S Q 实现可编程光栅 hAtf) B-PN +P2 G vMhgG=D  =B@+[b0Z
@S\!wjl]C :U M>`Y 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ste0:.*qb  /MYl:>e> "vI:B} 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ZN#mu]jC? Ws ya:9| VA +
?xk >Lj0B%^EvM  ")m 0 { / r6^]grg 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） U Hh  `~0)}K.F -l)vl<} 2 双击Data Series Diagram a )w
* 5<ZE.' O 采样结果 .anXsjD%W  F!.Z@y P
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. j e z =q hB /4.K ]8
QQ：2987619807
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