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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 ai4ro"H 7#26Smv 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） \9:IL9~F ~ }K$z 所需工具：Grating Toolbox Basic D r6u0rx8 ]XfROhgP= 相关Tutorials：G.001; G.014 dda*gq/p 建模任务 bGp3 V. H _ukBp*u 理想平面波照射 GM@0$ \e?w8R.6w^ vH?3UW  *;<oM ]W_ @ c%h fI iN+&7#x;/ 镀膜倾斜光栅 M >s,I^ 目标平面 ~N wX,-ri >t $^U 周期：10um r@H7J 5<Y- 厚度：10um R%r<AL5kJk 倾斜角度：20度 +~EFRiP] a0B,[i 光栅的参数 _^] :tL6 hr GfA —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 J |WkPv 2 f\vg<lc a —填充因子 2—后面的介质 :c&F\Q= —膜层厚度 3—膜层材料 1Qo2Z;h@ —光栅厚度 u-X P ` { Em fw9L 2?9 gf,U  2E=vMAS
f`, isy[ tc)4 $"9) 设置层数和转折点 `bRt_XGPmF #,\qjY gn 4 Sz")  2 设置层数和转折点以确定膜层 J [ 4IO ;rJ/Diz!g EN@Pr `R 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 lEiOE] '0E^th#u-0 %0^taA 实现可编程光栅 >{w"aJ" F vip&
b} u sT % ^W  $@4(Lq1.
Qf(mn8 =jW= Z$3q 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） K6;
s xF  VA@t8H, SRpPLY{:F 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ? Y#x`DMh d^ YM@>% I'T@}{h `F
TA{ba  KZt4 dr 9 ~C$C 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） v`KYhqTUl  P [bj {lo q8e34Ly7 2 双击Data Series Diagram bpWEF b'f k_%"# 采样结果 -H(\[{3{V  0!!z'm3
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. dw
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