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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 d*:J0J( }`uq:y 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) &GI'-i [ _&z+ 所需工具:Grating Toolbox Basic Ia>~ph#]{` T?D]]x 相关Tutorials:G.001; G.014 x|3G}[= 建模任务 TZ PUVOtL_ uHyc7^X> 理想平面波照射 P)UpUMt;k 'Y>@t6E4 ]?hlpL b yJ[1UK RIF*9= ,S Qy) -gax:, 镀膜倾斜光栅 [uu<aRAg3O 目标平面 "D
ivsq^ hj3wxH.} 周期:10um f7 zGz 厚度:10um :Y&h'FGZm 倾斜角度:20度 ?O/!pUAu kJ B u7 光栅的参数 |TuFx=~5v {uiL91j. —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 ;vgaFc] k
i{8f —填充因子 2—后面的介质 mB*;> —膜层厚度 3—膜层材料 f_> lz —光栅厚度 \2)~dV:6+ _Ns_$_ AJt4I
W@ .OD{^Kq2 =OooTZb:x- $(pVE}J 设置层数和转折点 $`Aps7A ,}$[;$ye }zHG]k,j 2 设置层数和转折点以确定膜层 DbK-3F_ 2Xp?O+b#"O CNyV6jb 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 THnZbh4#) (e[8`C ((]Sy,rdk 实现可编程光栅 f.Ms3)) p}-B>v 5x'
^.$K > n7'X.=o7 Bfr$&?j# }&IOBYHVDo 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) 6zW3!_tz jftf]n&Z(q -<aN$O 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) v,,Dz8!Ty N
uq/y= ]08
~"p |kkg1M# xtRHb''FX *`bAu * 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) ^es/xt ?h'd\.j{ *W=R:Bl! 2 双击Data Series Diagram (T2\ qX!P:M 采样结果 G^_fbrZjN u6~/"
_FwY 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. >^%TY^7n mEDi'!YE" QQ:2987619807
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