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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 ]pA}h.R#- C>7k|;BvF 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) xF{<-b ]HP 所需工具:Grating Toolbox Basic aI8K*D )@ c~Hq.K$d 相关Tutorials:G.001; G.014 QSy #k~ 建模任务 Om2
)$( "|"bo5M: 理想平面波照射 #/1,Cv yj hpym!G ]urcA,a e~weYGK m[u
6<C A]vQ1*pnk 镀膜倾斜光栅 oZ~M`yOz. 目标平面 jKu"Vi|j> ODM<$Yo:d 周期:10um A!
1> 厚度:10um ni]gS0/ 倾斜角度:20度 .Isg1qrC ZA ii"F 光栅的参数 fD|ox +kl@`&ga —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质
n/UyMO3= 4 ITSDx —填充因子 2—后面的介质 #tBbvs+% —膜层厚度 3—膜层材料 QTK{JZf —光栅厚度 _Oq (&I Ph.$]yQCc] ou-5iH? 5R,/X `&>!a Xf9VW}`*8 设置层数和转折点 9!FV.yp%F yZ+o7?(2p A HKS
[ N 2 设置层数和转折点以确定膜层 +]|J s6). ?oE H,=??wN 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 OY`G _=6!N !cE)LG ({zp$P} 实现可编程光栅 )CXJRo`j0 JT<Ia #!y|cP~;I m(Bv}9 wEzLfZ Oz/ ZT_ EpT=1 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) M6|Q~8$ G m<t2Csn #\4uu 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) o~^hsm[44J ]Wv\$JXI FQ(=Fnqn Nc]oAY [>?B`1;@ I%*o7" 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) ;Cyt2]F -oe&1RrdVg oOe5IczS( 2 双击Data Series Diagram Z^`>;n2 XF{}St~ ( 采样结果 t91v%L pU`Q[HOs 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. "2 qp-'^[c #xE"]; QQ:2987619807
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