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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 YX{c06BHs 9~ r YLR(v 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） W~Ae&gcn# ipH'}~=ID 所需工具：Grating Toolbox Basic dQ`=C Ir &{z RuF 相关Tutorials：G.001; G.014 7I;A5f 建模任务 $-p #4^dg j &w4yY 理想平面波照射 Ro :)N:C 6 H' W]T& 'd |*n#Dqc  =QJI_veUG` fA" VLQE 07#e{ 镀膜倾斜光栅 }y&tF 'q G 目标平面 ZMGthI}~- ~Sc{\ZJl 周期：10um #2*6e sP 厚度：10um H%G|8,4 倾斜角度：20度 kH " > (f Xn
# v! 光栅的参数 45U!\mG t~kh?u].j —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 gvCQ! [ ~Hb2-V —填充因子 2—后面的介质 7x //4G —膜层厚度 3—膜层材料 ck\TTNA —光栅厚度 BVe c .
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@s7wKk i>{.Y}; 设置层数和转折点 d$#DXLA\P ..;e p2jSs $9rQ w1#e  2 设置层数和转折点以确定膜层 &b9bb{y_$K |?<^4U8 9 `T 2 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 91\]D g u )k Q*& H J0Rcw% 实现可编程光栅 K_o[m!:jU 7QM1E(cMg 1g>>{ y  S:{`eDk\A_
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YES-,;ZQ' 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） Y x ':~  0;Z ] vl/| rt C:3fDy 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） g66x;2Q ^k5# {?I 9^1li2z k{ bT c^ huP 
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可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. bEB9J-
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