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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 fohZ&f|>  
     yeam-8  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 E`Br#"/Bl  
     ZH<qidpR  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 FX!Qd&kl1  
     D&x.io  
    所需工具箱子：光栅工具箱 M8IU[Pz4  
     biZ=TI2P,L  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 J+T tM>  
     TK0WfWch  
    建模任务 gnYo/q=K  
    'w=aLu5dY  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 c axOxRo\  
    {Iz"]Wh<f  
    ktkS$  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 $b[Ha{9(v  
     uPC(|U%  
    Tz~a. h@  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 hj\A-Yf  
     4aKppj  
    jZH4]^De  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     +-T|ov<  
    4];>O  
    L F&!od9[  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 At'M? Q@v  
    q VavP6I  
    D< kf/hj  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 2PSkLS&IM  
    O`I}Lg]~q  
    lbGPy'h<rt  
    X线偏振光模拟结果：
    =q>lP+  
    "$P/ek  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 @NL37C  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 FAdTp.   
    Z ;[xaP\S  
    -zWNQp$  
    Y线偏光模拟结果 "3'a.b akw  
    i3pOGa<  
    7VskZbj\  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 'blMwD{0&\  
    结论： DL d~  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 _~ 'MQ`P  
    s:cJF  
    .Yvy37n((  
    QQ：2987619807     q#1G4l.  
     
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