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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 * A B  
     k_)H$*  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 ]YF[W`2h  
     VGLE5lP X  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 '%&i#Eb  
     O=wA/T=w?  
    所需工具箱子：光栅工具箱 mT8")J|2  
     %T3L-{s5  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 Do3;-yp>`  
     pgK)  
    建模任务 qq0bIfF\4  
    )*[3Imq/  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 p9*#{~   
    (uB evU\  
    |2,'QTm=  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 v#EXlpS  
     vO#4$ ,  
    ]V!q"|  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 Yrb[:;Y  
     X9^a:7(  
    <&3qFK*9r  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     4u;db_gX  
    [ F id  
    Xz`?b4i  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 qp>V\h\  
    g%1FTl  
    <<>?`7N  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 bqmOfGM  
    ;74hOHDS  
    :( A5 ,$  
    X线偏振光模拟结果：
    {b4+ Yc  
    {5}UP@h  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 $Bd{Y"P@6  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 0w?\KHT  
    v@bs4E46e  
    PfTjC"`,  
    Y线偏光模拟结果 SdF*"]t  
    1=C>S2q  
    = E'\  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 U[5  
    结论： WZ}c)r*R  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 Q>s>@hw  
    7<&CN0&  
    JwR]!  
    QQ：2987619807     [bH5UTA  
     
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