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案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 ]R8}cbtU RSLMO8 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 &xlz80% UGNFWZ c 关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 .FS`Fh; (#WE9~Sru 所需工具箱子:光栅工具箱 G9.+N~GZ. 0i2ZgOJ 相关案例:G.001a,Scenario 104.01 !biq7f%6# =X?jId{ 建模任务 `Tx1?] ceDe!Iu 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 ]:B|_|H -t, .A/? ?3wEO>u 双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 @3/.W + [.O3z*[9# OchIEF"N 为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 iol.RszlZ| E4^zW_|xE yp=(wcJ 选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 jFBLElE ssv4#8p3 xeqAFq=9? 选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 S.bB.< $F!)S rULrGoM 堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 io_4d2uBh K4Mv\! Q<8 B1]dub9 X线偏振光模拟结果: \Lxsg!wtJ w{J0K;L 探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 !JtVp&? 在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 N-fGc?E k\UDZ)TQV 9S
~!!7oj Y线偏光模拟结果 hm=E~wv'L iX8&mUR %UuV^C 对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 w:l/B
'%]Y 结论: `wt*7~'= 严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 FWNO/)~t {umdW
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