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案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 M}6? |ir
7_#i,|]58 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 ? l<u %o
[I` 6F6 关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 Z)zmT%t
^t\AB)(8 所需工具箱子：光栅工具箱 BK:S:
wKA c ;! 相关案例：G.001a,Scenario 104.01 %sLij*
lTv_%hUp 建模任务 ^Ru/7pw 5 4 p(KdYc
加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 Ea*Jl< 6,|)%~VUm  :3Z"Qk$uR
Ge;plD-f L~jKx)S% 为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 Ls^$ E
~ ?{"H< cy6 P=k *
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 ^Cwz A B :bgi*pR{
D jjG?(1
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 [sY>ac
 Gx GZxf*(
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 WVf>>E^1
 xCV3HnZ
X线偏振光模拟结果： i=<N4Vx
b='YCa
探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 _6
~/`_(KP
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 ,wlh0;,
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Ui4 6 p
Y线偏光模拟结果 p'
FYK|
 )*iSN*T8q
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 h30~2]h H
结论： '7{0k{
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 >i4UU0m
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QQ：2987619807 jv]:`$}G\
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