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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟  yS(=eB_  
     =iPd@f"$  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 gDjd{+LUo  
     ?.|wfBI  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 xf{C 'uF/  
     =[43y%   
    所需工具箱子：光栅工具箱 zYNM<W;  
     "Hsq<oV8  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 fNmG`Ke  
     ~gcst;  
    建模任务 S(YHwH":  
    ^.B `Z{Jb  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 {jCu9 ]c!  
    +"fM &F]  
    Ve')LY<  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 )PanJHtU  
     5Rt0h$_J  
    Uzm[e%/`  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 Jh/M}%@|  
     Vtc)/OH  
    cC(ubUR  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     /ltP@*bo  
    hBs>2u|z9  
    1&>nL`E[3  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 Iu)(Huv  
    kcZ;SYosj  
    WhVmycdv  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 (J?}eb;>n  
    _tR.RAaa"  
    lpX p )r+  
    X线偏振光模拟结果：
    `U?H^,FVA  
    |4 d{X@`&  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。  *<h  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 V.G9J!?<P  
    D;T r  
    Vzv.e6_  
    Y线偏光模拟结果 `Mh<S+/  
    %<#$:Qb.  
    th>yi)m  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 >t6'8g"T  
    结论： lCs8`bYU  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 qjRiTIp9q  
    \gk3w,B?E  
    IUBps0.T\  
    QQ：2987619807     9W,}A Wf:Y  
     
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