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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 Blnc y  
     ad[oor/7|  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 .q9wyVi7GI  
     +2S#3m?1  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 6b9 &V`  
     )NCkq~M  
    所需工具箱子：光栅工具箱 om}jQJ]KH  
     qb1[-H  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 3&z.m/  
     ;IX*4E'4s  
    建模任务 o:"^@3  
    N"q C-h  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。  _F9O4Q4  
    z^=e3~-J  
    Ar VNynQ  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 K JX@?1"  
     #cD20t  
    JDy;Jb  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 nlkQ'XGAI  
     '{(/C?T  
    e=%6\&q  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     4]/i0\Vbam  
    r(::3TF%#q  
    5pI=K/-  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 Vdz(\-}ao  
    /P3s.-sL  
    (66DKG   
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 Y!tjaL 9D  
    XgmblNp1  
    tSvklI  
    X线偏振光模拟结果：
    /NDuAjp[@  
    7berkU0P  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 -=A W. Z o  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 BLvI[b|3gn  
    S=wJ{?gzAK  
    8{GRrwQ>  
    Y线偏光模拟结果 %VCfcM}5I  
    &MlBp I  
    <?I s~[2  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 J '^xDIZX  
    结论： 7q] @Jx9  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 Twj?SV  
    /<s $Am  
    @}e'(ju%R  
    QQ：2987619807     gAY%VFBP0  
     
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