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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 lL'Bop@  
     $4*gi&  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 \x:} |   
     %k<+#j6ZH  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 ?D|kCw69SE  
     "!_vQ^y  
    所需工具箱子：光栅工具箱 Kn1T2WSAg  
     k{O bm g  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 Vw3=jIQN:!  
     1/,~0N9  
    建模任务 v_WF.sb~  
    EEMRy  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 ' 9%iHx-<  
    re,}}'  
    zKI1  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 R#i`H(N  
     0dQ\Y]b  
    qQIX:HWDKZ  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 O\gVB!x  
     ;VEKrVD  
    scTt53v^  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     *CbV/j"P?  
    <Ql2+ev6  
    rxs:)# ?A  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 R\Ckk;<$  
    9Fw NX  
    #2lvRJB  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 8C? E1fH\  
    ]826kpq_  
    =p7id5"  
    X线偏振光模拟结果：
    ef!f4u\  
    ^go3F{; 4i  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 wCV~9JTJ!  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 2Q7X"ek~[  
    pe>?m^gz[  
    7F_N{avr  
    Y线偏光模拟结果 ?G<?: /CU  
    -%Ce  
    eKLE^`2*@  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 gX$gUB) x  
    结论： aL&9.L|1 g  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 4#.Q|vyl]"  
    ]vPdj"7  
    g_! xD;0  
    QQ：2987619807     sl(go^  
     
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