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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 T6\]*mlr  
     6S n&; ap  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 Tq )hAZ  
     <Fx%P:d  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 EZ"i0u  
     S& IW]ffK  
    所需工具箱子：光栅工具箱 '/ \*l<  
     D]"W|.6@  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 <a=OiY  
     ?0KIM* .  
    建模任务 d oEuKT  
    KGc.YUoE  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 y>E:]#F  
    zY*~2|q,s  
    zGz}.-F  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 LVdR,'lS  
     2p;I<C:Eo  
    Uvc$&j^k  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 3J 5,V  
     "?aI  
    D4hT Hh  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     Ths~8{dMb  
    S!$S'{f<  
    +UX~'t_'v  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 _U4@W+lhX_  
    5HHf3E [  
    zvq}7,  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 oidK_mU9q  
    S~fP$L5  
    DHeZi3&i  
    X线偏振光模拟结果：
    l8+)Xk>   
    zd$?2y8  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 wM7 Iu86  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 V{q*hQd_3  
    E`qX|n  
    sk 8DW  
    Y线偏光模拟结果 WW6-oQs_#*  
    c*zeO@AAn  
    ND.(N'/O  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 /\mYXi \  
    结论： 8O{V#aop  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 k1yqe rA  
    *}#HBZe(9  
    eE .wnn  
    QQ：2987619807     3$P  
     
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