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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 UQh.o   
     <BBzv-?D  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 420K6[  
     $X)|`$#pL#  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 |#cqxr"  
     |?0MRX0'g  
    所需工具箱子：光栅工具箱 v ,h"u  
     cyWb*Wv  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 2&:z[d}~H  
     [|*7"Q(  
    建模任务 lW#2ox  
    5,f`5'$  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 wV f 7<@/y  
    yc7b%T*Y  
    x{w|Hy  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 F^Jz   
     Q Rr9|p{  
    N@<-R<s^  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 #| g h  
     mGDc,C=5:  
    Kzq^f=p  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     !WlL RkwO  
    xE--)=<$  
    AtHkz|sl  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 ip'{@1L  
    *zweZG8:  
    \oxf_4X  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 )eZuG S  
    _/P;`@  
    8o,0='U  
    X线偏振光模拟结果：
    J7{D6@yLS  
    CHqi5Z/+  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 4PS|  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 Wy6a4oY  
    E3S0u7 Es  
    'Tqusr>lPY  
    Y线偏光模拟结果 .HY,'oC.  
    X04LAYY_u  
    67T.qX2I$  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 |p*cI @  
    结论： p8.JJt^  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 9 {SzE /[  
    aG =6(ec.  
    n'pJl  
    QQ：2987619807     _[&.`jTFn  
     
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