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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 ~y<0Cc3Vs  
     Z& _kq|  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 Y2`sL,'h  
     _.5{vGyxr  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 wC1pfXa  
     69c4bT:b"  
    所需工具箱子：光栅工具箱 yE:y[k0E  
     .S k+"iH5  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 -CvmZ:n  
     .n8R%|C5  
    建模任务 `<7\Zl  
    ;s +/'(*  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 Y{} ub]i  
    (?z?/4>7<  
    `B %%2p&  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 K~L&Z?~|E  
     m$vq %[/#  
     u r$  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 dxeiN#(XT  
     \e86'&  
    WtOjPW  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     0D5Z#iW>1  
    VVJ0?G (?  
    lp`j3)  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 "laf:Ty1  
    "Bd-h|J  
    6 H|SiO9  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 |` T7}U  
    9z(SOzZn  
    a\P:jgF  
    X线偏振光模拟结果：
    " MnWd BS  
    Rw+r1vW:A  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 9qap#A  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 ;[y( 14g  
    dz^HN`AlzC  
    cH_qHXi[G  
    Y线偏光模拟结果 w%L4O;E]*{  
    qiz(k:\o  
    7$*E0  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 f ,e]jw@  
    结论： }?2X q  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 "51/,D  
    A@?0(  
    3@~a)E}T  
    QQ：2987619807     AXbb-GK  
     
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