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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 jp,4h4C^)  
     Hs8>anVo[  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 ^('wy};  
     8LKiS  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 F8=+j_UGI  
     LVGe]lD  
    所需工具箱子：光栅工具箱 s;e\ pt  
     COlqcq'qAu  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 /: "1Z]@  
     f|5co>Hk  
    建模任务 fC`&g~yK'  
    0kh6@y3  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 i5Ggf"![  
    la!~\wpa  
    9*g Z-#  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 "jZ-,P=  
     FrS]|=LJhX  
    M3\AY30L  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 XS#Qu=,-  
     b6bHTH0  
    ';CNGv -  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     K+eM   
    L *wYx|  
    tQ)qCk07  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 ftb\0,-   
    pi(m7Ci"  
    |Cv!,]9:r  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 @d'j zs  
    XFl 6M~ c  
    N~Jda o  
    X线偏振光模拟结果：
    3] Ct6  
    Txu/{ M,  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 j2k"cmsKh  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 !$ JT e  
    -?\D\\+t  
    J.a]K[ci  
    Y线偏光模拟结果 *dQSw)R  
    rI\FI0zIp_  
    ,tFg4k[  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 &C}*w2]0S  
    结论： dysS9a,  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 dtDFoETz  
    )0`C@um  
    F?0Ykjh3  
    QQ：2987619807     =;L|gtH"  
     
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