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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 =q_&* '  
     /Nj:!! AN  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 uvu**s  
     o~i]W.SI(  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 o7_MMeQ4  
     ?RgU6/2  
    所需工具箱子：光栅工具箱 +zFV~]b  
     /E`l:&89)  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 K^!e-Xi6  
     j33P~H~  
    建模任务 6Nfof  
    OmTZ-*N  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 pm'@2dT  
    XBfiaj  
    es.\e.HK  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 ^}i5 0SG:y  
     ~pd1 )  
    ]wkSAi5z*  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 xJ[k#?T'  
     37:b D  
    %{N$1ht^  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     Q|j@#@O1  
    YLA557~  
    %=NM_5a}]  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 |xsV(jK8  
    )Dk0V!%N  
    Z ,|1G6f@  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 PBxK>a  
    3PvZ_!G  
    H y.3ccZ0  
    X线偏振光模拟结果：
    0@sr NuW  
    l6&v}M  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 ?l\gh1{C  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 a`EGx{q(  
     Vq .!(x  
    *!r\GGb  
    Y线偏光模拟结果 | Q1ub S  
    v GR \GFm  
    h9Tf@]W   
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 5oT2)yz  
    结论： =E{{/%u{{S  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 BDRYip[Sa  
    -CU7u=*b  
    VQNYQqu`[  
    QQ：2987619807     +2;#9aa I  
     
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