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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 ]R8}cbtU  
    RSLMO8  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 &xlz80%  
    UGNFWZ c  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 .FS`Fh;  
    (#WE9~Sru  
    所需工具箱子:光栅工具箱 G9.+N~GZ.  
    0i2ZgOJ  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 !biq7f%6#  
    = X?jId{  
    建模任务 `Tx1?]  
    ceDe!Iu  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 ]:B|_| H  
    -t, .A/?  
    ?3wEO>u  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 @3/.W+  
    [.O 3z*[9#  
    OchIEF "N  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 iol.RszlZ|  
    E4^zW_|xE  
    yp=(wcJ  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    jFBLElE  
    ssv4#8p3  
    xeqAFq=9?  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 S.bB.<  
    $F!)S  
    rULrGoM  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 io_4d2uBh  
    K4Mv\!Q<8  
    B1]dub9  
    X线偏振光模拟结果:
    \Lxsg! wtJ  
    w{J0K; L  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 !JtVp&?  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 N-fGc?E  
    k\UDZ)TQV  
    9S ~!!7oj  
    Y线偏光模拟结果 hm=E~wv'L  
    iX8& mUR  
    %UuV^C  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 w:l/B '%]Y  
    结论: `wt*7~'=  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 FWNO/)~t  
    {umdW x.*  
    )J&1uMp{  
    QQ:2987619807
    F0O"rN{  
     
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