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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 x=+R0ny  
     p^2"g~  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 v&6=(k{E@R  
     'C l}IDF  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 u N%RB$G  
     Z_ Gb9  
    所需工具箱子：光栅工具箱 {K{&__Nk  
     lpW|GFG  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 4Xna}7  
     kmJ {(y)w  
    建模任务 A),nkw0X  
    -{Lc?=  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 =)56]ki}  
    ~~U2Sr  
    I91pX<NBf  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 / 38b:,  
     Km~\^(a '  
    Sm(QgZO[4  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 cJEO wAN  
     xS~O Acxg  
    ~[@Gj{6p0  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     %5X}4k!p  
    ~R`Rj*Q2Y  
    Z[.+Wd\)-9  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 &&iZ?JteZ  
    n@LR?  
    .s4hFB^n  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 | v? pS  
    3Lxk7D>0c  
    < V?CM(1C  
    X线偏振光模拟结果：
    KRS_6G],{  
    >U~B"'!xV  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 $#4J^(I*:  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 #+V5$  
    u$%>/cv  
    $}d| ~q\  
    Y线偏光模拟结果 ]Gw?DD|Gn  
    j@c fR  
    T-Od|T@[  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 X-oHQu5  
    结论： )7mX]@  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 o C]tEXJ  
    =*q|568  
    ;H#'9p,2  
    QQ：2987619807     Mis t,H7  
     
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