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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 Pk~P  
     !rTh+F*  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 qa`bR%eH  
     FK@rZP  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 eoTOccb!  
     l:j9lBS  
    所需工具箱子：光栅工具箱 Q&`$:h.~  
     A3$ rPb8  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 )l[ +7  
     )"t=sFxaB  
    建模任务 ^4B6IF*  
    j#-ZL-N  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 c!{.BgGN  
    =ZzhH};aX  
    ~}8 3\LI}  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 r'{pTgm#  
     9e=F  
    f[%\LHq  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 %J~8a_vO  
     S3)JEZi  
    &Vnet7LfU  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     {YK6IgEsJe  
    ;&Eu< %y  
    @hl5^d"l  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 RL.%o?<&?  
    Qi6vP&  
    YCw^u  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 47`{ e_YP0  
    akJ{-   
    h-lMrI)U?h  
    X线偏振光模拟结果：
    2ZIf@C{P.  
    ?kE2 S6j5  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 cl:*Q{(Cjk  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 w V2 7  
    s:I^AL5  
    t~sW]<qjp  
    Y线偏光模拟结果 ;S,g&%N  
    (:Bo'q S  
    {\C$Bz  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 kJJQcjAP:  
    结论： LEyn1d  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 if#$wm%  
    2=F_<Jh|+  
    ;PG'em  
    QQ：2987619807     w>/KQ> \"  
     
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