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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 \U.js-  
     $Ahe Vps@@  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 WlmkM?@  
     9i+`,r  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 40HhMTZ0-  
     \"6?*L|]  
    所需工具箱子：光栅工具箱 c]R27r E  
     3U%kf<m=  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 |X;|=.  
     nt$q< 57  
    建模任务 t"jiLOQ[6  
    Cm;M; ?  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 -|4 Oq  
    W}@IUCRs  
    3>mAZZL5[  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 '+7"dHLC;  
     > Ft)v  
    ;Pe=cc"@  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 [I`:%y  
     jGe%'A N\  
    z[' 2  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     I %|;M%B  
    (h'Bz6K  
    pKaU [1x?%  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 'PWA  
    H:cAORLB  
    0G`@^`  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 Y-lTPR<Eq  
     w>\_d  
    $N\k*=  
    X线偏振光模拟结果：
    m~-O}i~)  
    jcHyRR1R  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 LZ RP}|  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 Z?u}?-b1\H  
    a9NIK/9  
    K #}t\  
    Y线偏光模拟结果 934@Z(aUH  
    NuW6~PV  
    |G_,1$  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 2}15FXgN  
    结论： /}9)ZY Mx  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 O_L>We@3E  
    #HZ W57"  
    "RgP!  
    QQ：2987619807     S_?sJwM  
     
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