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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 {}BAQ9|q  
     Sea6xGdq  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 }`]Et99Q5  
     F:LrQu  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 !'>,37()  
     5`q#~fJ2  
    所需工具箱子：光栅工具箱 ~ F>'+9?Sn  
     vHb^@z=  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 -a7BVEFts  
     [x -<O:r=P  
    建模任务 W4)bEWO+q  
    ?)7UqVyq  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 t<e3EW@>>  
    ix5<h }  
    c9+yU~(  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 3]kN9n{  
     [ZS.6{vr  
    rGay~\  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 #j"GS/y"  
     f0*_& rP  
    Qki? >j"  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     593!;2/@  
    E|W7IgS  
    _!9I f  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 T[2<_nn=  
    FhQb9\g  
    A| y U'k  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 m,ur{B8 :  
    'a>D+A:  
    =)J<R;  
    X线偏振光模拟结果：
    6#HnA"I2n  
    ~w}=Oby'y  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 mv(/M t  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 w7f)v\p  
    dcfwUjp[  
    *pyC<4W  
    Y线偏光模拟结果 o Va[  
    (t,mtdD#1  
    oslj<  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 XY<KLO%  
    结论： =FfR?6 ~  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 (iht LFp  
    kB=5=#s  
    /buj(/q^#  
    QQ：2987619807     :N'   
     
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