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] 均匀化的概念 ]X>yZec !B3TLeh VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形,例如: Q>%n&;: • 微透镜阵列 Q|AZv>'! • 衍射扩散器 cFL~<
[>_ • 计算机生成的全息图 uatUo • 相位板 SL4?E<Jb • 单元阵列 nzflUR{`- )Zr9
`3[ 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 HK!ecQ^+ 光学仿真和设计包括: nQc#AFg
• 衍射 p)IL(_X) • 干涉 I$7eiW @ • 空间和时间相干度 R_PF*q2 ' • 像差 X.t4; • 偏振 p
u(mHB • 光强 vamZKm~p &$
h~Q 应用 Q7865 eQbHf 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域,包括: A8Ju+ • 信息显示 )Z/"P\qo • 测量系统 "bo0O7InOV • 室内照明 P"w\hF • 汽车 Rg?6e N • 军事 Z4] n<~o • 光刻 P3_.U8g$r [%P#ieD4 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 w"^h<]b 优点Benefits Pv'Q3O2<I ntW@Fm:bw> 微光学元件的照明系统有以下几大优点: I_J&>}V' • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. 1^\w7Rew2 • 产生任意的二维图案. .9jKD*U| • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. I^?tF'E • 非常紧凑的照明系统. PXb$]HV ukWn@q* 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟 微透镜阵列 z:,PwLU V_+&Y$msi~ 微透镜阵列,也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中,微透镜阵列有以下光学特性: ^dQ{vL@9b9 • 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. 4V,.Oi • 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. 5> x_G#W • 可以产生一般的二维图案. %=aKW[uq] • 单色光和白光的整形. 六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. }|P3(*S 衍射扩散器 xe`^)2z ?E([Nc0T 衍射扩散器,如相位板和计算机生成全息图,是经过计算机优化的表面轮廓散射元件,衍射扩散器有以下光学性质: UnhVppnex • Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点(衍射级次). L:G#> • 生成任意的二维图案. iod%YjZu • 仅用于单色LED或准分子激光. H71sxek3 4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 AcH-TIgM/ 单元阵列 Ke$_l]} }s}g}t8v- 光栅,棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成,将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性: fj_23{,/"g • 通过控制光栅,微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. 6Z2 ,:j; • 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. tb3VqFx • 产生任意的二维图案. /DYyl/ • 用于单色光和白光. 由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 8|a./%gixs
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