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h:|BQC 均匀化的概念 ,)N/2M\B- j/q&qrlL VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形,例如: >j7]gi( • 微透镜阵列 +6}CNC9Mp • 衍射扩散器 acar-11_o/ • 计算机生成的全息图 BR-wL3x
b • 相位板 XAi0lN{, • 单元阵列 tSnsjd<6. cW_l | 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 , Y,^vzX6 光学仿真和设计包括: 15En$6> • 衍射 c<lEFk!g • 干涉 jt(GXgm • 空间和时间相干度 ay||yn: • 像差 K<r5jb • 偏振 I;1)a4Xc4R • 光强 =}@1Z~
DUH DFG 应用 oX*;iS X MslgQmlM 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域,包括: rC]k'p2x • 信息显示 X&| R\v=} • 测量系统 $pKegK;'z • 室内照明 -/0aGqY • 汽车 SjY|aW+wAL • 军事 X h}D_c • 光刻 RnU7|p{ -"{g kjuv 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 XPZ8*8JL 优点Benefits 'x<oILOG #6~Bg)7AM 微光学元件的照明系统有以下几大优点: AlG5n' • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. |:Maa6(W • 产生任意的二维图案. $TS97'$ • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. #,#:{&H • 非常紧凑的照明系统. KF5r?|8M @HSK[[? 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟 微透镜阵列 Qca3{|r` ~R~.D 微透镜阵列,也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中,微透镜阵列有以下光学特性: I.(@#v7T • 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. TI<3>R • 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. *9w-eK1{ • 可以产生一般的二维图案. 1c429&- • 单色光和白光的整形. 六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. KZ%us 6 衍射扩散器 5W&L cBB lN8l71N^ 衍射扩散器,如相位板和计算机生成全息图,是经过计算机优化的表面轮廓散射元件,衍射扩散器有以下光学性质: Jw&Fox7p • Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点(衍射级次). r:g_mMvB • 生成任意的二维图案. 'ey62-^r6 • 仅用于单色LED或准分子激光. O9o ]4; 4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 ](8F]J , 单元阵列 ggitUQ+t;G f[.'V1 光栅,棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成,将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性: -meY[!"X • 通过控制光栅,微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. ^W9O_5\g4a • 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. diVg|Z3T • 产生任意的二维图案. L;y BZLM • 用于单色光和白光. 由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 =$L+J O
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