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均匀化的概念 E.5*Jr=J ~;!i)[ - VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： GU;TK'Yy? • 微透镜阵列 y<I Z|f • 衍射扩散器 nr<}Hc^f- • 计算机生成的全息图 A>&>6O4 • 相位板 m!FM+kge • 单元阵列 [[.&, 6
~T;a jvJ 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 rFt ,36 #
光学仿真和设计包括: 6T}
CPDRq • 衍射 C+Fh$ • 干涉 )%H5iSNG$P • 空间和时间相干度 os "[Iji • 像差 Jq$6$A,f • 偏振 79< 9}<T • 光强 |}]JWsuB
g4 .'T51 应用 .:|#9%5
cLN[o8 ZU 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： \$$b",2
h • 信息显示 r(?'Y y • 测量系统 Fw_bY/WN{ • 室内照明 /
%U~lr • 汽车 @wAr[. lZ • 军事 s[{:>~{iq • 光刻 sJjl)Qs)T
/pSUn"3 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 8h@)9Q]d\ 优点Benefits hK9t}NE.O
Xdp`Z' g 微光学元件的照明系统有以下几大优点： qMW%$L\HA • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. !X v2PdP • 产生任意的二维图案. j
44bF/ • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. L(!!7B_, • 非常紧凑的照明系统. (x@i,Ba@  #%=vy\r 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
dWq/) %@t
微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： kVG6\<c]
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. f@xfb
ie !
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. ^S; RX*
• 可以产生一般的二维图案. _sf0{/< )
• 单色光和白光的整形. 六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. ]%Q]C
8[C
衍射扩散器 nV,{w4t+
O>"r. sR
衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： ,$zSJzS
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. w Ycz\uV
• 生成任意的二维图案. !Z0rTC3d
• 仅用于单色LED或准分子激光.  bTy' 5 " 4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓
单元阵列 l]58P
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光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： n\8[G [M
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. xjn8)C
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. f )s_e
• 产生任意的二维图案. ,j(p}t
• 用于单色光和白光. 由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 ]rX ?n
QQ：2987619807 coP$7Q .
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