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均匀化的概念 $p4aN C QD:0iD? VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： g[;iVX^1& • 微透镜阵列 Yi[dS`,d • 衍射扩散器 )).;p_nLZ • 计算机生成的全息图 AEwb' • 相位板 2H<? • 单元阵列 .; tO;j |6
1A- 8,) 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 +^+wS`Y
光学仿真和设计包括: =D xJt7J1 • 衍射 BHmA*3? • 干涉 z s"AYxr • 空间和时间相干度 T *t$ • 像差 ~+7yi4(i • 偏振 X y*X4JJh^ • 光强 ,H[AC}z2X
! T,7 应用 J-PzI FWd
p>eD{#2 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： L)nVNY@Mc • 信息显示 /1li^</|p` • 测量系统 b$R>GQ?# • 室内照明 9_>4~!x` • 汽车 bOz\-=au • 军事 C-Fp)Zs{0 • 光刻 _ Mt:^H}Sy
Jj6kZK 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 .sG,TLE[< 优点Benefits Ba+OoS
l wg.'< 微光学元件的照明系统有以下几大优点： fBLd5 • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. ,xh9,EpBk • 产生任意的二维图案. nIi_4=Z
• 对光源辐射特性变化的低灵敏度. ?@#}%<yEq • 非常紧凑的照明系统. Gj ^bz'2  <C>i~ <`d 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
rOD KM-7+
微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： #`fT%'T!
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. kx mS
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. Ii,:+o%
• 可以产生一般的二维图案. H\k5B_3OU
• 单色光和白光的整形. 六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. Ji!-G4.n"
衍射扩散器 0 \ #Q;Z2
(> K$gAQH
衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： Xp~]kRm9
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. 84[^#ke
• 生成任意的二维图案. 'MUrszOO.e
• 仅用于单色LED或准分子激光.  #~x5}8 4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓
单元阵列 eFio,
0uz"}v)
光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： Y2X1!Em>B
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. RF)B4D-W
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. YP<]f>SBt
• 产生任意的二维图案. MQ*#oVqv
• 用于单色光和白光. 由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 >u)ZT
QQ：2987619807 5 DB>zou
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