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[,1\>z|& 均匀化的概念 Ea7LPHE# kj4t![o+ VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形,例如: (Z72 3) • 微透镜阵列 F;&a=R!. • 衍射扩散器 `?PpzDV7Y • 计算机生成的全息图 1*>lYd8_ • 相位板 xN a Dzu" • 单元阵列 QNzx(IV@ D\H)uV` 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 V u`O%[Q/ 光学仿真和设计包括: C"We>! • 衍射 ZrA
OX'>u9 • 干涉 WF.y"{6> • 空间和时间相干度 =h{jF7 • 像差 I>jDM • 偏振 R3dCw:\O+Z • 光强 J:q:g*Wi -brn&1oJ 应用 q ["T6 e{dYLQd 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域,包括: sBo|e]m# • 信息显示 v_zVhEtY • 测量系统 iB:](Md'r • 室内照明 N>'T"^S/ • 汽车 BZP~m=kq • 军事 T%\f$jh6 • 光刻 ,/qS1W( -]?F 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 Ba9le|c5 优点Benefits v/Z!Wp1LV 2bB&/Uumsd 微光学元件的照明系统有以下几大优点: f0^DsP • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. z}" Xt=G? • 产生任意的二维图案. 6S~lgH: • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. 0PK*ULwSN • 非常紧凑的照明系统. k3/V$*i,1b t&r-;sH^[ 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟 微透镜阵列 whzV7RT #_,
l7q8U 微透镜阵列,也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中,微透镜阵列有以下光学特性: 22|a~"Z • 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. FTihxC?.L • 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. `;@#yyj:_ • 可以产生一般的二维图案. :d7tzYT ^ • 单色光和白光的整形. 六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. Rw54`_kFEB 衍射扩散器 *:q ,G ZS-O,[ 衍射扩散器,如相位板和计算机生成全息图,是经过计算机优化的表面轮廓散射元件,衍射扩散器有以下光学性质: ~vVsxC$. • Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点(衍射级次). d@:4se-q+ • 生成任意的二维图案. G1I<B • 仅用于单色LED或准分子激光. _b *gg 4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 zW[HGI6w 单元阵列 uNqN &7g ,WAJ&
'^ 光栅,棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成,将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性: 5UG"i_TC • 通过控制光栅,微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. &F'n
>QT9q • 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. tU>7jo[-p • 产生任意的二维图案. NZ+TTMv • 用于单色光和白光. 由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 zP|^@Homk
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