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Fi3(glgd- 均匀化的概念 <+1w'- U%PMV?L{ VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形,例如: !L.z4n,n+ • 微透镜阵列 \g6 #MNW • 衍射扩散器 n)?F
9Wap • 计算机生成的全息图 ;KZ2L~
THG • 相位板 ~\s &]L • 单元阵列 .=w`T
#L fdEj#Ux<H 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 wb
Tg 光学仿真和设计包括: t T/*ZzMq# • 衍射 &7kSLat+9{ • 干涉 qA_DQ): • 空间和时间相干度 2Lu{@* • 像差 HE<%d • 偏振 ="TOa"Zk • 光强 xfV2/A#h *CD=cmdD* 应用 B>nd9Z ' D
'_#?%3^ 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域,包括: W:( Usy • 信息显示 m?CjYqvf • 测量系统 owVUL~ • 室内照明 ]{,=mOk • 汽车 =ir;m • 军事 {$eZF_}Y^ • 光刻 KNyD}1 "dU#j,B2 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 <YNPhu~5 优点Benefits }8KL]11b S gsR;)2 微光学元件的照明系统有以下几大优点: dz.MH • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. kK6>>lD' • 产生任意的二维图案. +fR`@HI • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. bL#TR;*] • 非常紧凑的照明系统. Rl!WH%;c[X 30v1VLR_) 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟 微透镜阵列 [eik<1=,~? ,O`*AzjS5Q 微透镜阵列,也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中,微透镜阵列有以下光学特性: /PuWJPy; • 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. IHMyP~{ • 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. BTQC1;;N • 可以产生一般的二维图案. WC&Ltw8 • 单色光和白光的整形. 六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. yBjWPx? 衍射扩散器 t`3T_t Y )8>f 衍射扩散器,如相位板和计算机生成全息图,是经过计算机优化的表面轮廓散射元件,衍射扩散器有以下光学性质: `\uv+^x{ • Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点(衍射级次). t/BiZo|zl • 生成任意的二维图案. G7{:d • 仅用于单色LED或准分子激光. `^h##WaXap 4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 _NN{Wk/3w 单元阵列 &otgN<H9 ~Q\ZDMTK 光栅,棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成,将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性: g2_df3Q • 通过控制光栅,微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上.
} R6h • 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. 7lOiFw • 产生任意的二维图案. 4T^WRS • 用于单色光和白光. 由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 laJ%fBWmbi
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