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ro 均匀化的概念 q~*3Bk~ +zodkB~) VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形,例如: XVXiiQ^
• 微透镜阵列 {SH+lX0]{ • 衍射扩散器 8joJe>9VJ • 计算机生成的全息图 ""`>v`\ • 相位板 -$Bom • 单元阵列 AWlR" p2 0l#{7^e 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 0{|ib ! 光学仿真和设计包括: V0hC[Ilr • 衍射 >
Q1r^ • 干涉 (lv|-Phc. • 空间和时间相干度 ?DP]#9 /4 • 像差 #fg RF • 偏振 ow :}NI • 光强 I"awvUP]a[ I#(D.\P 应用 h%e}4U@X a<+Qw' 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域,包括: _%WJ7~> • 信息显示 4>]^1J7Wz • 测量系统 ;)ffGg> • 室内照明 ;u;Y fOr • 汽车 |a@$KF$ • 军事 s=`1wkh0 • 光刻 gE8=#%1< :nki6Rkowt 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 U85t !U 优点Benefits $q#|B3N% rg
U$&O 微光学元件的照明系统有以下几大优点: ?_9cFo59: • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. }N;c • 产生任意的二维图案. r1:S8RT;H5 • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. "kyy>H9) • 非常紧凑的照明系统.
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B 0xL,o< 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟 微透镜阵列 ,sPsL9]$ i|u3 Qt5 微透镜阵列,也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中,微透镜阵列有以下光学特性: (bH*i\W • 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. k1y&'3% • 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. )mO|1IDTN • 可以产生一般的二维图案. Ikiv+Fq( • 单色光和白光的整形. 六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. hNXP-s 衍射扩散器 r.M8#YL 4)Y=)#= 衍射扩散器,如相位板和计算机生成全息图,是经过计算机优化的表面轮廓散射元件,衍射扩散器有以下光学性质: ,X6.p • Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点(衍射级次). +=I_3Wtth • 生成任意的二维图案. LL Oe • 仅用于单色LED或准分子激光. k!E`Xeob 4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 TL@_m^SM 单元阵列 R{S{N2+p( %)_R>. > 光栅,棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成,将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性: Y<Y5HI" • 通过控制光栅,微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. c0ET] • 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. ,vP9oY[n • 产生任意的二维图案. ) ^PY-~o[ • 用于单色光和白光. 由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 .(Q3M0.D
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