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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介: @;/Pl>$|'G  
    ;+hh|NiQ  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计; A!lZyG!3  
    t<!m4Yd|#  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 7hk)I`o65  
    (p{X.X+  
    结构设计 (?qCtLZ  
    1) 点击 ,打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 ;(NTzBq!1  
    fCY|iO0.t  
    s%jBIeh  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布,默认为振幅视图. 点击,将默认的振幅视图转换为相位视图,点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 !1$x4 qxS  
    `^)`J  
         S@qPf0dL<  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 v$}^$8`  
    jX7K- L  
    目标(Target)标签,可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 O/~T+T%  
    TNu% _ 34  
    光学设置(Optical Setup)标签,在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate),并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium),同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长(Wavelength)。 q%3VcR$J  
    4E''pW]8  
    ZdW+=;/#  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签,在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None),以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面,并选择像素化的高度轮廓(最临近点插值)[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 xg p)G!  
    ~>:JwTy  
    (TeH)j!  
    4) 完成结构设计,在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 ,+i^]yF3j  
    RZz?_1'  
    fk}Raej g  
    }u^bTR?3  
    导出加工数据 A[P7hMn  
    ]5'*^rz ^  
    1) 在LPD中双击生成的元件,可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component,简称DIC)的形式保存的,而高度轮廓以取样光学界面(Sampled interface)的形式保存,点击编辑(Edit) |.; N_i  
    K'&,]r#  
    +k=*AQt^8  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口,在结构(Structure)标签上,选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值,并进行3D预览 tY_=[6?Zu  
    TXB!Y!RG#  
    (u?s@/e:`/  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中,点击鼠标右键,选择精度(Accuracy),将界面取样精度设置为5,提高取样光学界面的显示精度 HS=w9:,  
           Rxy|Ag/I;V  
    o#FctM'Z  
    ,88B@a  
    S1r{2s&  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签,将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8,通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据  *RY}e  
    RY5e%/bg~U  
    KE\>T:  
    {tVA(&\<  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 l&H-<Z.8m  
    2 Wcu.  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 kV8R.Baf3  
    P0UR{tK  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 o9sQ!gptw  
    8mr fs%_  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置,并点击Export导出加工数据 i7H([b<_m  
    +HE,Q6-A  
    CX#d  
    导出加工数据列表 puOMtCI  
    %Vo'\|  
    8z93ETv7`  
    0+0 Y$;<  
    导入加工数据 $ (&uaDYv  
    5]{rim  
    1) 点击 ,新建一个LPD,在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件,以下简称SOI &Zz&VwWR  
     o]0E  
    7:~3B-Tb  
    2) 双击SOI,进入其编辑窗口,点击加载(Load) `y'%dY}$n  
    i(A `'V8GY  
    z7fX!'3V  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) F]OWqUV  
    E.#JCO|(1  
    4) 点击编辑(Edit),进入取样光学界面编辑窗口,导入加工数据 #W:.Fsq  
    s\'t=}0q  
    tdU'cc?M  
    %~eu&\os  
    (ht"wY#T<(  
    SP0ueAa}  
    5) 打开文件夹中的.xml文件,导入加工文件 aaVq>$G 3  
    %4VM"C4[  
    .t ^1e  
    6) 导入完成,观察3D视图 :Nz TEK  
    El}~3|a?  
    P'}EZ'  
    6heK8*.T  
    uToi4]w"y  
    QQ:2987619807
     
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