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    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 成像衍射光学元件设计及应用 现代光学与光子学技术
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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： LV}UBao5n  
     LU-#=1Q  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； gE-w]/1zD5  
     O4 +SD  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 gt2>nTJz.Z  
     'DL;c@}37  
    结构设计 [oQ`HX1g  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 ~ERRp3Ee ?  
     ?:#>^eWYe7  
    ]>VJ--fH  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 *@-q@5r}!  
     TS\A`{^T  
         vSyi}5D  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 .LeF|EQU\@  
     pO-s@"j]  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 oW yN:Qh  
    ? e9XVQ*  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 q5?rp|7D  
     ^'C,WZt  
    >/kPnpJ  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 6k@%+<1  
    V'HlAQr  
    )$gsU@H -  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 'gk81@|  
     h+zkVRyA  
    S5*~r@8h  
    Z?.p%*>`T=  
    导出加工数据 j{7ilo(i  
     6g~o3  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) :oon}_MdRd  
     Hg gR=>s  
    3zA8pI w  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 <WHs  
     N:PA/V^z  
    V(' 'p{  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 Ads<-.R  
           G+ $)W u  
    !"Oj$c -  
    /C,>  
    gT5Ji~xI  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 !5E%W[  
    SSL%$:l@  
    P$(iB.&  
    [F AOp@7W  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 `:bvuc(  
     5uD#=/oV  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 L?D~~Jb  
    >arO$|W  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 .J1Hg  
    )/+eL RN5G  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 sjkKaid  
    a' >$88tl  
    SqA+u/"j2  
    导出加工数据列表 `!Ge"JB6   
     [! dnm1   
    R.2KYhp ,  
     +,F= -  
    导入加工数据 \MFWK#W  
     0oi5]f6g?8  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI LO$#DHPt  
     f_5R!;  
    N?mY|x\}wK  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) 'Qs 3  
     D $CY:@  
    ]/V Iff  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) UTK.tg  
    MMxoKL  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 kq1M <lk  
     ,QHx*~9  
    QkCoW[sn  
    jK C qH$  
    Ei p~ ~2  
    Xv5Ev@T  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 dn)tP6qc/  
    1z};"A  
    Y%?!AmER  
    6) 导入完成，观察3D视图 4}_w4@(  
     ^K 77V$v  
    R SWB!-  
    ?D )qgH  
    Alk* "p  
    QQ：2987619807
     
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