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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： F~i ~%f,  
     67hfve  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； 7*j!ZUzp  
     P3`$4p?  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 7UY4* j|[C  
     ^D5Jqh)  
    结构设计 (8aj`> y  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 #M{qMJHDo  
     `3 i<jZMG  
    Rw%% 9  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 (:qc[,m  
     =w}JAEE|(i  
         Pw| h`[h  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 L-}J=n\  
     J,:&U wkv  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 PcEE`.  
    t[J=8rhER  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 a/\{NHs6"5  
     b~}$Ch3ymW  
    nX 9]dz  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 }dop]{RG  
    JLnv O  
    yw$4Hlj5  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 * eC[74Kng  
     bq9w@O  
    s :7/\h  
    uf9 0  
    导出加工数据 ?!&%-R6*  
     t+}w Tis  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) ZaU8eg7  
     *s*Y uY%y  
    ^l|b>z"0ao  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 >iae2W`  
     chKK9SC+|  
    y7M{L8{0  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 e ~'lWJD  
           iW^J>aKy  
    T"[]'|'  
    xsB0LUt  
    UPU$SZAIx  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 z,G_&5|f%  
    kFwFPK%B  
    ey=KAt  
    J _;H  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 [p9v#\G; [  
     H #_Zv]  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 8Rwk o6x  
    d]] z )  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 *u1q7JFQk  
    az6 &  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 7bzm5w@v  
    NC%hsg^0/  
    nf/?7~3?[  
    导出加工数据列表 SOhM6/ID2/  
     "0PrdZMx  
    h<U?WtWT-p  
    :.,9}\LK  
    导入加工数据 o=3hWbe  
     ^obuMQ;  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI t\K (zE  
     j4?Qd0z  
    ?b,>+v-w::  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) z}ar$}T  
     zHb [.ry~  
    J+`aj8_B  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) i=aR ~  
    fz=?QEG  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 #m.e9MU  
     }_]AQN$'G  
    eo0-aHs  
    . ,^WCyvq  
    1IA1;  
    ^m w]u"5\  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 dT|f<E/P  
    P35DVKS  
     ma~#E$i&  
    6) 导入完成，观察3D视图 X ."z+-eh  
     `F7]M  
    {h?pvH_>  
    XMuZ}u[U  
    t]LiFpy2IC  
    QQ：2987619807
     
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