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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： "DWw]\xO](  
     kH&KE5  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； }ZPO^4H;-  
     >b6!*Lrhs  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 ,\t:R1.  
     RXo!K iQO  
    结构设计 6 GL.bS  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 Io8h 8N-  
     fgzkc"ReK  
    .\/jy]Y  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 vUlGE  
     v$H=~m  
         OHEl.p]|  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 x:Mh&dq?  
     EL--?<g  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 |Z ), OW  
    e7T}*Up  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 +>v3&[lGv  
     "4`i]vy8  
    ]VuB2L[D  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 |$hBYw  
    pQ:7%+Om  
    % s|` 1`c  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 aicvu(%EE  
     U04TVQn`  
    c/K:`XP~  
    ]g/:lS4  
    导出加工数据 uItzFX*   
     r4X0. mPY*  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) O %x<  
     U,;a+z4\  
    :TPT]q d@  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 ]$4DhB  
     Z$a5vu*pg  
    B^;G3+}  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 #o>~@.S#:0  
           [UP-BX(  
    O_gr{L}  
    qdss(LZ  
    5o v F$qn  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 7? 1[sPM  
    As5*)o"&  
    %a'Nf/9=:  
    "7G>  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 -VC k k  
     ?h$ =]  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 [Dzd39aKr  
    [WfigqY`b*  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 \/wbk`2  
    6k4ZzQ}  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 @k|V4  
    &d%0[Ui`  
    ryC7O'j_P  
    导出加工数据列表 88]4 GVi  
     vzXfJP  
    >'/KOK"  
    3QD+&9{D  
    导入加工数据 k=^~\$e  
     L  `\>_  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI 2#i*'.  
     uQ(C,f[6p  
    g,k} nkIT  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) Y<ZaW{%  
     1M={8}3  
    N=vb*3ECg  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) #;+ABV  
    u&E$(  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 ]%Db%A  
     u/ Gk>F  
    #Wf9`  
    X2 PyFe  
    crDm2oA~t  
    e I^Q!b8n  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 Eq YBT  
    FD1Z}v!5IJ  
    rGqT[~{t  
    6) 导入完成，观察3D视图 ^e~m`R2fHh  
     LQo>wl  
    =[ +)T[  
    W,D$=Bg  
    c %f'rj  
    QQ：2987619807
     
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