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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： -cS4B//IK8  
     (?=(eo<N  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； ?q8g<-?  
     qdnNapWnc  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 I Q`aDo-V  
     kUBHK"}K  
    结构设计 ]-]@=qYu  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 W;*vcbP  
     1;sAt;/W8  
    A.*nDl`H  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 2QD B'xs3  
     Nr7.BDA  
         9d|7#)a;  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 iONql7S @  
     YXOD fd%L  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 Y\2>y"8>$x  
    lP &%5y;  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 $e,!fB;B  
      [?(W7  
    F>nrV  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 t$Ji{t-  
    um4zLsd#v  
    :Gk~FRA|  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 ^Rh~+  
     S`-IQ,*}  
    >I ; #BE3  
    v2<gkCK^  
    导出加工数据 MO+0]uh:  
     .=<pU k 3G  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) S5p\J!k\B  
      D -EM  
    )O'<jwp$  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 D($UbT-v  
     |W[rywxx  
    Q |r1.  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 _Xe< JJvq  
           rkXSy g b  
    TW? MS em  
    JG$J,!.\  
    cSWVHr  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 O\{_)L  
    T 0C'$1T  
    ZPog)d@!  
    f2XD^:Gc  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 5Uz(Bi  
     AE~}^(G`  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 7guxkN#  
    <o`]wOrl  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 G*V 7*KC  
    1@Gv`{v  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 2?&ptN) `N  
    xrd ^vE  
    J?DyTs3 Z  
    导出加工数据列表 )^3655mb  
     A>S2BL#=  
    b&&'b )  
    breVTY7 S  
    导入加工数据 6f1Y:qK'@  
     cVi CWc2  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI VNfx>&`  
     ax}Xsk_  
    g_=ZcGC  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) 6FAP *V;  
     1EB`6_>y  
    [Y+ bW#'  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) `UPmr50Wq  
    2j|Eh   
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 1k(*o.6  
     \`&fr+x  
    -JkO[ IF  
    }Qo8Xps  
    v.J#d>tvf  
    T9yW# .  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 =$J2  
    ponvi42u  
    4T-AWk  
    6) 导入完成，观察3D视图 qlP=Y .H  
     >Li?@+Zl  
    '-qc \6UY  
    C7:Ry)8'I  
    +/'jX?7x%  
    QQ：2987619807
     
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