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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： %4'<0  
     O{^8dwg  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； xnP@ h  
     D[/h7Ha  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 RK )1@Tz7!  
     5<U:Yy  
    结构设计 2(I S*idq  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 *I]/ [d  
     h'lqj0  
    #mKF)W  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 B 703{k  
     *!oV?N[eA'  
         W_.WMbT  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 &fofFVQnW  
     $Mg[e*ct  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 hZ_@U?^  
    .n[;H;  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 {ooztC   
     B@w/wH  
    *T6*Nxs0k  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 !,lk>j.V  
    HTz5LAe~b7  
    hk+8s\%-  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 H#Hhi<2  
     9$k0  
    hKnAWKb0  
    Znw3P|>B  
    导出加工数据 [s4|+  
     bT7+$^NHf  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) U7#C.Z  
     f+!k:}K  
    -wa"&Q  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 W{m_yEOf  
     }ChScY  
    p0rmcP1Ln  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 -*A1[Z ?  
           hT`fAn_  
    ui RO,B}z  
    s<>d& W 0=  
    \VpN:RI  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 Gg e X  
    S=}1k,I  
    iD*21c<kd  
    40%fOu,u`  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 p$=Z0p4%LL  
     |yl,7m/B-G  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 ?;VsA>PV  
    iGPrWe@.  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 WEYZ(a|  
    Yt[LIn-v:  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 cgnMoBIc  
    nW)?cQ I  
    ZIN1y;dJ  
    导出加工数据列表 /!?b&N/d)  
     EXMW,  
    kXV;J$1  
    ~R&rQJJeJ  
    导入加工数据 7Kf  
     L{&>,ww  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI Y'{}L@"t  
     I cASzSjYX  
    :i4AkBNK  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) in K]+H]{  
     9wlp AK  
    Qs '_\|/-  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) B(WmJ6e  
    yAAV,?:o[  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 4E2#krE%  
     o}DR p4;Ka  
    mPU}]1*p  
    n }b{u@$  
    Nw9@E R  
     v%$l(  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 6cd!;Ca  
    idB1%?<  
    #|K{txC   
    6) 导入完成，观察3D视图 0C;Js\>3]  
     ~/X8Hy!-  
    WMHYOJR  
    =igTY1|af  
    udT0`6l;  
    QQ：2987619807
     
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