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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： 8T"L'{ggWB  
     ?n<F?~  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； O=}w1]  
     C+\z$/q  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 %(s|  
     _*}D@yy&  
    结构设计 + _ehzo97  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 `/1rZ#  
     YAR$6&  
    #_\**%,<  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 ();Z,A  
     :&5u)  
         e| C2/U-  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 3T(ft^~  
     >? o5AdZ  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 >CG;df<~  
    At>e4t2@  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 o?O ZsA  
     bh" Caz.(t  
    )2"WC\%  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 dDiy_Q6  
    /E/6(c  
    &7kLSb&|;  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 5<X"+`=9  
     dw#pObH|`  
    $o9^b Z  
    N]8/l:@  
    导出加工数据 Wv5=$y  
     c-zW 2;|61  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) F+c8 O  
     /p;OZf]  
    )cgNf]oy  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 !]"M]tyv\  
     %eF=;q  
    GwgY{-|`  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 _7v4S/V  
           c(Xm~ 'jeH  
    5a6d3u/  
    m k~F@  
    (CDh,ZN;|  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 <_8eOL<X  
    R8.@5g_  
    }K.)yv n  
    {niV63$m  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 T*k{^=6"!  
     (CAV Oed  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 `j2|aX %Z*  
    CC6]AM(i  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 /L`qOr2E  
    ) fuAdG  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 | v>W  
    j`u2\ ;  
    CW@EQ3y0  
    导出加工数据列表 |em_l$oGc  
     gBgaVG  
    9nd,8Nji  
    7Or?$  
    导入加工数据 'uqY%&U  
     7CU<R9Kl  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI  fsKZ  
     Q9X+H4`}y  
    9-Qu5L~  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) 1b7Q-elG  
     y7b>>|C  
    93)1  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) 9j5k=IXg#a  
    Y,KSr|vG  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 nqY arHi  
     /GP:W6:6z6  
    W1}d6Sbg  
    '8^>Z.~V  
    & @ $D(  
    0VgsV;  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 p1s& y0:d  
    ;|vn;s/  
    =, U~  
    6) 导入完成，观察3D视图 }1Hy[4B(k\  
     9Kc;]2m  
    |3EKK:RE  
    X5)].[d  
    4n\O6$&.x  
    QQ：2987619807
     
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