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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： HFrwf{J  
     A<s9c=d6  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； yj C@  
     kG$U  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 iwT PJGK|  
     XfH[: XG3  
    结构设计 IH~[/qNk  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 )*n2 ,n  
     924a1  
    5\eM3w'd  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 I Z{DR  
     VRa>bS  
         l|&DI]gw  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 xnD"LK  
     z;ko )  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 h1.<\GO  
    ]<IK0  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 /L? ia  
     L9":=  
    {pyTiz#JY  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 ae|j#!~oi  
    Z1ZjQt#~+  
    i-*ZW:  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 *3]_Huw<  
     N.@@ebuE  
    `5C uH  
    rGb<7b%  
    导出加工数据 B(h%>mT[  
     -{rUE +  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) A 2Rp  
     C4^o= 6{  
    !omf>CW;ud  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 #:LI,t  
     y$C\b\hM  
    7S]<?>*  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 _?QVc0S!  
           R /0zB  
    @Xg5 E  
    !{%BfZX<&  
    S{#L7S  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 ;fGh]i  
    'sT7t&v~  
    &Y3 r'"  
    '| rhm  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 f*46,` x  
     N>Q~WXvV#  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 oZwu`~h Y  
    S5>?j n1  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 !rZ r:@  
    JsD|igqF-  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 Sahz*f  
    ?3=y]Vb+  
    N83c+vs%c  
    导出加工数据列表 Hx#1TqC /  
     K|sk]2.  
    5~GH*!h%;  
    BOdd~f%&tn  
    导入加工数据 ) o`ep{<t  
     q)PLc{NO  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI RBOg;EJ  
     ^bG91"0A  
    $@^*lUw  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) g?E8zf `  
     2D)B%nM[  
    @P @{%I  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) q@[UeXu?pZ  
    4U>g0  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 h h7unHt-  
     (j?ckah%V  
    MmQ"z_v  
    []b= xRJM  
    Ym|%ka  
    GW,RE\Q:  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 /^hc8X  
    jT=fq'RK  
    ^2C \--=;  
    6) 导入完成，观察3D视图 N.UeuLz  
     Nbb2wr9A  
    tE WolO[\  
    )}lO%B'K  
    B]u!BBjC  
    QQ：2987619807
     
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