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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： C}!|K0t?  
     *M="k 1P1  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； W`Soa&9  
     O/Fzw^  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 JwO+Dd  
     N5_v}<CN  
    结构设计 'D1@+FFU0  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 {E9Y)Z9  
     /4|qfF3  
    ,Yo In  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 GcKJpI\sB  
     ':Te#S  
         d; M&X!Y  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 g$< @!  
     S^_na]M"4  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 pY2nv/  
    s:jwwE2  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 A`@we  
     NmeTp?)m  
    wtY#8 '^$&  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 )P$ IXA\  
    DI*xf Kt  
    wj/r)rv E  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 ?0%lB=qQ  
     Hi ?],5,/  
    03MB,  
    <'/+E4m  
    导出加工数据 0c]Lm?&  
     fD!O aK  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) 4Ld0AApncy  
     F Hv|6zUX  
    Tj>~#~  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 pdE=9l'  
     ?-(E$ll  
    !D1F4v[c=  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 hX;xbl  
           4b4nFRnH  
    ZJ!/49c*>  
    GE"#.J4z  
    Q i?   
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 zRB1V99k  
    Gs-'  
    gP<l  
    w7O(I"  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 LaLA }1!  
     =6? 3c\  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 5:O"T  
    + ('jqbV  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 w;X-i.%`  
    4).q+{#k  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 "5vFa7y  
    x5{ zGv.j  
    s7=]!7QGS!  
    导出加工数据列表 27;*6/>,  
     S9mj/GpL3  
    Wvcj\2'yd  
    wJ+"JQY.J+  
    导入加工数据 Zr`:A$  
     P_w+p"@m  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI _w(SHWh2  
      37{mhU  
    :U?Kwv8s  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) ^f>+5G  
     st pa2z  
    M@ mCBcbN  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) W| ~Ehg  
    1C:lXx$|  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 m\j'7mZ1  
     M7En%sBp  
    >?I[dYzut  
    /f_lWr:9l  
    eja_+`cJ  
    9QZ;F4 r  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 Dk8" H >*  
    M,:GMO:?a  
    O7:JG[tR*  
    6) 导入完成，观察3D视图 M" %w9)@  
     WG< D+P  
    Q;SMwCB0M  
    |odl~juU  
    /O+,vRw\A  
    QQ：2987619807
     
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