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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： B erwI 7!=  
     |cY`x(?yP  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； C7?/%7{  
     azU"G(6y?+  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 FPTK`Gd0  
     PaN"sf  
    结构设计 K+iP 6B  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 jFb?b6b  
     DL.!G  
    B?wq=DoG  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 y?!"6t7&  
     -^wl>}#*T3  
         hzC>~Ub5  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 G / 5%.Bf@  
     YoE3<[KD(  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 -.3w^D"l  
    F5#YOck&,  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 5(8@%6>ruj  
     ~_ a-E  
    Er[A X.3  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 FgI3   
    MY/}-* |  
    bN88ua}k{  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 59-c<I/}f  
     :i7;w%B  
    XZwK6F)L  
    }&3 ~|kP~O  
    导出加工数据 |D.ND%K&  
     Xm 2'6f,  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) u2[w#   
     i@CxI<1'  
    |)G<,FJQE_  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 _tXlF;  
     w*MpX U<  
    G#1GXFDO{  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 s9d_GhT%-  
           >OK^D+v"j  
    bu"!jHPB  
    ~v"L!=~G;a  
    nxHkv`s k  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 Tb-F]lg$  
    {zFMmPid  
    MJrR[h]  
    Tac$LS\Q  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 <^uBoKB/f  
     ],v=]+R  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置  RX5dO%  
    IqGdfL6[(  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 r"R#@V\'1b  
    OUXR  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 a@*\o+Su  
    I`p;F!s  
    "wHFN>5B  
    导出加工数据列表 -PQv ?5  
     ;({W#Wa  
    ?pZOeqqu$  
    40<mrVl  
    导入加工数据 *WT`o>  
     /FJu)H..U  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI V$?SR44>nH  
     pHJ3nHLQ  
    \'bzt"f$j  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) !0cD$^7  
     O8.5}>gDn.  
    C2Tyoza  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) bY0|N[ g  
    @y&bw9\  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 DDH:)=;z  
     #lW`{i  
    "FKOaQ%IH  
    _#h_:  
    1y4  
    3Ims6I]  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 k)Qtfj}uij  
    E+w<RNBmz  
    ]P?vdgEM&  
    6) 导入完成，观察3D视图 xK\d4 "  
     xUistwq  
    iW /}#  
    5o8EC" 0  
    /~f'}]W  
    QQ：2987619807
     
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