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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： `W1TqA  
     &FZ~n?;hQ  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； "_BWUY  
     ]*)l_mut7  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 %|R]nB  
     #!yX2lR  
    结构设计 S&cN+r  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 mQU t 'j4  
     mB bGj3u;  
    _]3#C[1L  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 7g oRj  
     x @9rc,by  
         y<v-,b*  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 \l5G   
     X6r<#n|l  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 3_i29ghv  
    {=3'H?$  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 Ne1W!0YLK  
     }^n"t>Z8  
    pVjOp~=U  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 Eh9{n,5-  
    v806f8  
    t|UM2h  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 cvtn,Ml6  
     zE}ry!{  
    {e[~1]j3  
    9r8bSV3`  
    导出加工数据 6s! =de  
     A*]sN8  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) 6mIRa(6V  
     LzEH&y_O  
    Jep/%cT$w  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 W<~u0AyO 3  
     cy2K#  
    bK!uR&i^l  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 4C;"4''L  
           _.W;hf`  
    ob[G3rfd@Z  
    {~Q}{ha  
    jnFN{(VH  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 g- INhzMu  
    9m%+6#|  
     6\QsK96_  
    {q);1Nnf  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 2aUE<@RU[  
     Z?eedVV@  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 QT(]S>--n  
    qvJQbo[.9P  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置  y]ya.YG  
    HJe6h. P  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 ,!^;<UR:  
    1w 9zl}  
    j 4(f1  
    导出加工数据列表 'H1k  
     sA,2gbW  
    Bthp_cSmLs  
    S<w? ,Z  
    导入加工数据 TSRl@QVy  
     7VfPS5se  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI GM0pHmC  
     AASS'H@  
    lBG"COu  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) W)odaab7  
     <7MxI@\  
    v 5&8C  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) A=wh&X  
    19\ V@d^  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 mbIHzzW>  
     #\3X;{  
    6lQP+! EF  
    Tnnj8I1v  
    )gxZ &n6  
    mk3,ke8  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 Qf@ha  
    F||oSJrI  
    '=ydU+X  
    6) 导入完成，观察3D视图 sN/8OLc  
     ~<3J9\z1  
    TA"gU8YQ  
    x 4`RKv2m  
    FMqes5\ 3  
    QQ：2987619807
     
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