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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： R@KWiV  
      USJ4Z  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； l-2lb&n  
     qE.3:bQ!`  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 tILnD1q  
     %reW/;)l{  
    结构设计 zVis"g`  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 3}B-n!|*  
     p2gu@!   
    ,=2)1I]  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 o\qeX|.70  
     (`<B#D;  
         ]d*O>Pm  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 c^R "g)gr  
     212 =+k  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 P0rdGf 5T  
    %;#9lkOXWH  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 mhF@S@  
     O]l-4X#8F  
    D=)qd@,K  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 @h5Q?I  
    z'zC  
    F#o{/u?T  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 n.A*(@noe  
     d;a"rq@a)  
    &<) _7?  
    xEB 4oQ5  
    导出加工数据 #+^l3h MK  
      LNvkC4  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) Lve$H(GHT  
     [n +(  
    w_YY~Af  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 ZRUAw,T*  
     { h;i x  
    !9^GkFR6n  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 YGi_7fTyc=  
           7A  
    e XdH)|l,\  
    K4^B~0~  
    72y!cK6  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 mHc2v==X\-  
    B,Jn.YX  
    eoPoG C  
    L~_zR>  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 }Ub "Vb  
     &0mhO+g   
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 .\)p3pC)  
    -Q!?=JNtQ  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 /PkOF ((  
    Uzk_ae  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 _xdttO^N  
     uMBb=   
    U7G|4(  
    导出加工数据列表 Q1 vse  
     _[ `"E'  
    .gI9jRdKw  
    b$FXRR\G  
    导入加工数据 gwYTOs ^  
     ,qlFk|A|  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI 5gPAX $jH  
     St1>J.k_  
    I3?:KVa  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) sQT,@'"  
     {XYf"ONi  
    Vs[!WJ 7  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) Fw;Y)y=O  
    QLTE`t5w3'  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 W&^2Fb  
     O11.wLNH  
    .{ ]=v  
    Q&9& )8-  
    ;"GI~p2~7  
    NPR{g!tK%  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 JGk,u6K7  
    mH3{<^Z6  
    k<S!|  
    6) 导入完成，观察3D视图 =j~}];I  
     Th*mm3D6  
    |zL.PS  
    |&%l @X 6  
    ?)5M3 lV3k  
    QQ：2987619807
     
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