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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： 8T2iqqG/1  
     liuF;*  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； *;]j#0  
     %%=PpKYtSD  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 k'hJ@ 6eKS  
     `!t+sX- n  
    结构设计 9*"Ae0ok1  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 :Jz@`s1n  
     No1*~EQ  
    zURob MpE#  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 ^9g+\W  
     4kZ9]5#.  
         T{VdlgL  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 "AAzBWd/  
     /M.@dW7 w  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 /J-:?./  
    LZ"yMnhOf  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 $Bd13%>)  
     < mb.F-8  
    $xWebz0  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 jZ;dY~fE  
    x-Cy,d:YX  
    /61P`1y(J  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 xq.HR_\  
     |6mDooTy  
    w,'"2^Cwy  
    3O W) %  
    导出加工数据 m ^O9G?  
     f8m%T%]f  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) r-ldqj  
     2L'vB1 `  
    C9`J6Uu  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 AxXFzMW  
     c2,1d`  
    :n4X>YL)  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 :tv:46+s=  
           \; b)qB  
    |#r [{2sS  
    S @EkrC\4n  
    ]lKQ wpX3  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 +:s]>R eDa  
    b0~AN#Es  
    5g{L -8XwI  
    UP@a ?w  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 q66+x)  
     1>doa1  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 '}`|QJ  
    \Lz2"JI  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 2hjR'6h"Y  
    ^Ms)T3dM  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 j:yQP# U  
    Dn 6k,nVh  
    ]m#.MZe  
    导出加工数据列表 q;))3aQe  
     ?D].Za^km  
    7VF^&6  
    N@M(Iw  
    导入加工数据  M>mk=-l  
     1I?D$I>CV  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI FN#6pM']|  
     Jl"),;Od  
    MI|51&m  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) k~(j   
     =sqh PS<>  
    AnbY<&OC1  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) B%v2)+?@  
    }),tk?\  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 C] <K s  
     :qV}v2  
    N0@&eX|$i4  
    O1@-)<_71  
    \haJe~  
    #?xhfSgr  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 %$b)l? !  
    [<)/ c>Y  
    _YXk ,ME!Q  
    6) 导入完成，观察3D视图 _E e`Uk  
     &^ sgR$m  
    uzO%+B!  
    U _~lpu  
    zMfr`&%e  
    QQ：2987619807
     
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