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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： &b'{3o_KN  
     j;I( w [@P  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计；  z31g"  
     2 sj: &][R  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 Wuk!\<T{  
     \opcn\vW  
    结构设计 >sZ_I?YDs  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 8)>4ZNXz  
     U]W "  
    }USOWsLSt  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 MDZPp;\)  
     KGGnypx`  
         Uz=o l.E  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 rk47 $36X  
     'w=aLu5dY  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 X|yVRQ?F`  
    .7M.bpmqE  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 3:)_oHq  
     0+k..l  
    /A+5q\8G  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 ]Ot=At  
    B.!&z-)#  
    &fsk ESV0  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 \t%iUZ$  
     1SH]$V4C  
    >[&ser  
    <rvM)EJv|  
    导出加工数据 4,f`C0>"  
     f&txg,W,yv  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) <g&.UW4  
     q8uq%wf  
    ~Kl"V% >  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 l;$FR4}d  
     #guK&?Fye  
    <m0=bm{j  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 ; K,5qs  
           pWn]$HaoG  
    )3O#T$h  
    RN}joKV  
    KEdqA/F>  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 i3pOGa<  
    VrWQ]L  
    'blMwD{0&\  
    DL d~  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 _~ 'MQ`P  
      8hYl73#  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 %zo 6A1Q;  
    =$%-RX7  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 r;{ggwY&J  
    DliDBArxZ  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 9g# 62oIg  
    Vk*XiEfKm>  
    Y]^*mc0fE  
    导出加工数据列表 XfflD9M  
     zqURnsJ  
    Ov4=!o=  
    Udf\;G@  
    导入加工数据 !Pt4\  
     (pHJEY  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI zo("v*d*q  
     kd_! S[  
    Hzc}NyJ  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) 66sgs16k  
     rCsC}2O  
    6G#[Mc yn  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) /Dyig  
    K4H27SH  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 .tHjGx  
     }_-tJ.  
    6)W8HX~+  
    >rSCf=  
    ,% 'r:@'  
    %%I:L~c  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 k<Xb< U  
    (/Jy9 =~  
    D=Nt 0y  
    6) 导入完成，观察3D视图 Q@8(e&{#W  
     ~C3J-z<  
    #xq3 )B  
    ?"T!<L  
    G$)tp^%]  
    QQ：2987619807
     
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