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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： xcw%RUC-  
     ;x,+*%  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； -J{Dxz  
     fVG$8tB  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 -g9^0V`G  
     ss/h[4h4h  
    结构设计 l_bL,-|E8  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 N?\bBt@  
     vlAO z  
    hx*HY%\P  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 >'eB2  
     lj4%(rB=  
         S^|$23}  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 nt drXg  
     Xg,0/P~  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 W]Y@WKeT  
    MRjH40" 2  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 3fm;r5  
     R:]/{b4Uq  
    o`b$^hv{A  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 o<Xc,mP  
    W+8BQ- 2  
    }Q!h ov  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 >g>f;\mD7$  
     mYiSR   
    g8LT7  
    /&*m1EN#o  
    导出加工数据 c"sj)-_  
     fEHh]%GT`  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) o lYPlH F  
     9 %D$T'K  
    )?F $-~7  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 o G (0i  
     J"/ JRn  
    #DQX<:u  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 17WNJ  
           E}]I%fi  
    ls[Ls  
    uo]Hi^r.l  
    xN e_qO  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 hq5NQi` %  
    )`B -O::  
    eFt\D\XOW  
    @*CAn(@#N  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 =@Q#dDnFu%  
     }V\P,ck  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 gV<0Hj  
    X*TuQ\T  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 QN)/,=#  
    JVD@I{  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 zWF 5m )-  
    AeNyZ[40T  
    WpXODkQL  
    导出加工数据列表 2q`)GCES~  
     bHhC56[M  
    aeG#: Ln+{  
    2>!_B\%)H  
    导入加工数据 ExN j|*  
     l84h%,  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI "WF( 6z#  
     skk-.9  
    EO4" Z@ji  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) >Sc$R0  
     mtSNl|O&{  
    N,WI{*  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) 2uvQf&,  
    z1Bj_u{  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 Gl?P.BCW.&  
     LVPt*S=/  
    qR [}EX&3  
    fOqS|1rC  
    %k/ k]: s  
    i1b4 J  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 uB5h9&57  
    .\z|Fr  
    _Vdb?  
    6) 导入完成，观察3D视图 .jU|gf:x  
     .nj?;).  
    y)?W-5zL  
    kWZ/ej  
    {ED(O -W  
    QQ：2987619807
     
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