膜裂原因有很多。 g9V.13k
有些是温度的影响,有些是吸水的影响。 uQp_':\k
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PC上镀膜最好镀一个打底层,如SIO2或者AL2O3打底,对膜裂会有很大的改善。 ixI:@#5wY
另外如果可以的话用离子源辅助镀膜,也会对吸水造成的膜裂会有改善。 #+G`!<7/@f
但是离子源会造成温度升高,所以要注意条件。
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实验要多做,各种条件都做一下。 3M*Y= ?pI
具体情况具体分析,有时候设备不好也会造成问题的。 qi\n] I
并不是所有问题都可以用工艺解决的。