膜裂原因有很多。 IMD^(k 2
有些是温度的影响,有些是吸水的影响。 {Ycgq%1>]
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PC上镀膜最好镀一个打底层,如SIO2或者AL2O3打底,对膜裂会有很大的改善。 [1(eSH
另外如果可以的话用离子源辅助镀膜,也会对吸水造成的膜裂会有改善。 ,.P]5 lE
但是离子源会造成温度升高,所以要注意条件。 _W(xO
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实验要多做,各种条件都做一下。 LE}`rW3
具体情况具体分析,有时候设备不好也会造成问题的。 )$^xbC#j`3
并不是所有问题都可以用工艺解决的。