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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 gCgMmD=AZ 95aa 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 vAq `*]W+
6t
TLyI$+ 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 0X`Qt[
Mvrc[s+o 要求工具箱：光栅工具箱 s9~W( Wi
4
Yc9Ij 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 DL|,:2` f$iv+7<B^ 一、模拟任务： De4U GX 二、光栅的描述 ;) 5d
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7h<Q{X<A 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 >yg mE`g
AASw^A3p 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 ,!|/|4 vh
2K!3+D" 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 II)\rVP5
-$? xR]( f 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” U'UV =:/-
^T)HRT -k 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 d%81}4f:
O!lZ%j@% 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 r {$ip"f iT%aA Vs @ _U]U j@v*q\X& 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm V
z8o jB:$+k|~. ^vYH"2 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm {tV)+T U GQ {QH 5.]+K<:h"A 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm {^Vkx f] rF2`4j&!
X~sl5? 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm MmI4J$F (8qMF{ KIC5U50J 5. 参数运行 _:Tjq)
wP/&k`HQ#i 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 s&iM.[k
&&xBq? 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 BdG~y1%: Z%y>q|: 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 '+?AaR&p? v98=#k!F U,LW(wueT l{>fma]7 7. 总结 1Zx|SBF
XpdDIKMmE 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 r )ZUeHt}w
[!]a'
T#x 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 9
#TzW9
MGfDxHg] 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 -GD_xk %2f``48#
n`2 d QQ：2987619807 d=o|)kV
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