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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 0ra'H/>Ly -fq 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 . 5( YL 8d
W,<q!<z\t 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 q !ZM Wg
o.{W_k/n 要求工具箱：光栅工具箱 vk92j?
Ek_ 5% n 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 l-+=Yk!X h1w({<q*ov 一、模拟任务： {o}U"b<+Ra 二、光栅的描述 p 0Jr{hM
O[ Vet/^) 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 @NL cO }
8s1nE_3 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 rAH!%~
F8f}PV]b 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 Jka>Er
heVk CM : 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” y{%0[x*N<m
nkW})LyB\ 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 NKu[6J?)
MCKN.f%lP 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 1<YoGm& jRJG .hcB5 }L\; W:0 {R}F4 k 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm P.Z:`P) 'Gy`e-y B ?jmP] MM 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm \^!;r 9z=A lPy|>&Yc *f[ 5rr 4 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm D*M ` qPX~ *w+'I*QSt~ R}nvSerVb 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm aLa<z Essz )1 s5vNVa ,md_eGF 5. 参数运行 ,
>LJpv
K./qu^+k 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 PkvW6,lS
7v5]% %E/ 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 my (@~' K10G+'H^ 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 a(gXvgrf[ (RddR{m X 7he73 Q5,zs_j 7. 总结 d?zSwLsl
\V ? .^/ 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 {L-^J`> G
O^L]2BVC 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 1 G>Ud6(3<
1oQw)X 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 D=e*rrL7a 2W,9HSu8
giakEPl QQ：2987619807 9\Ii$ Mp
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