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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 =D 5!Xq'| ]b^bc2: 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 LyNur8 Zi
I?< ibLpX 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 2
t]=-@
ljh,%#95= 要求工具箱：光栅工具箱 -]Oi/i, {
W5 RZsS] 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 Yd ~Tzh 8O*O 5 一、模拟任务： \Fy HIs 二、光栅的描述 CT{ X$N
.noY[P 8i 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 -]MZP:s
*>j4tA{b@v 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 ) . H nK
w:9n/[ 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 j 2J ew
o6:p2W 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” ~eGtoEY
pkA(\0E8 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 ZpU4"x>
bEzy KrN\ 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 T:udw :Us NiR=l NVo = 5 N5fMMi(O 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm qI gb;=V 7:S)J~s*O |F>'7JJJ 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm &eX^ll l8!n!sC[, HBgt!D0MZ 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm ^(yU)k3pu sX= _|<[ S
5nri(m 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm y8O<_VOO}" 0-A@X>6bs q% }54E80 5. 参数运行 fYZ)5xnj
& Pzr)W( 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 XiUae{j`
;jpsH?3g 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 jQ?6I1o nSV
OS6 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 [,p[%Dza Q W}N,j$ ~G`(=\_0 h{M.+I$}C 7. 总结 D& #ph%U,P
0N*~"j;r#M 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 /*{s1Zcb
x AR9* <- 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 o8ADAU"
H!dg(d^ 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 skn];%[v\ 5J8U] :Y)
@phb5 QQ：2987619807 FQCz_ z
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