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案例87.01:粗糙表面光栅的模拟 ^3HSw ?a" }r04*P( 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅(General Grating 2D)元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 >u%Bn\G s\'t=}0q 关键词:光栅,光栅工具箱,粗糙表面,可编程光学界面,光栅元件 tdU'cc?M ZV Ko$q:F 要求工具箱:光栅工具箱 , wk}[MF kU:Q&[/jzH 相关应用案例:案例090.01,案例246.01 4gZ R!J G>dXK,f<B0 一、模拟任务: ?(s9dS,7wZ 二、光栅的描述 319 4] Lh+7z>1 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓,其周期为5μm,调制深度为468nm(使得最内侧三个级次的效率相同)。 HmXxM:[4; OfLj 4H6Q 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化,由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 /p-k'387 aV fsF|, 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数:最小特征尺寸(Smallest Feature Size)和总高度调制(Total Height Modulation)。使用种子(Seed)变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 |$8N*7UD C
B;j[. 4. 变量“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)” lyowH{.N"3 0>Kgz!I 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图,其“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50 nm,“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为不同的值。 6/a%%1c1 c7rC !v
1) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为0 TPJuS)TU9 Na\&}GSf^ p@$92> ' sVO|Ghy65 2) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为100nm R]Fa?uQW
c3fd6Je5 {s@&3i?ZiC 3) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为500nm T+V:vuK 45+kwo0 8yr-X!eF 4) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1000nm n`Ypv{+ {% } BP.t$_ @
/e{-Q 5) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1500nm .j!:Hp(z} _=w=!U&W Dmtsu2o 5. 参数运行 RZvRV?<bR ylmVmHmc 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50nm时,随“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”变化的结果。 p=Qo92
NH @M*5q# s 2) 相反,文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1.5um时,将“总的高度调制(Total Height Modulation)”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 ]VVx2ERs 3qfQlqJ&3 6. 具有不同的“总的高度调制(Total Height Modulation)”的结果 <.|]%7 yWYsN J<L"D/ : 2L-Nf 7. 总结 ?f6Fj f+Bv8 g 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 r^d:Po ovtZHq/ 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 K`R )q+;+J`> 3) 大的调制(在x-和y-方向)会造成原始衍射结果强烈的偏差。 )=h+5Z>E1 e58tf3 h>NuQo* QQ:2987619807 Jpe\
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