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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 sUz,F8 G @&f~#Xe 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 c"oJ cp
2Dw}o;1' 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 :!L>_ f
l?O%yf`s 要求工具箱：光栅工具箱 q{uv ?{I
tvcM<
e20 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 (y5 ]]l S7( tGD 一、模拟任务： Xq%ijo 二、光栅的描述 ^\g?uH6k U
Y*0j/91 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 J[al4e^
r1[#_A`Yn 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 AHe t,N
L0> 7v 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 nG~^ -c+
r# NR3_@9 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” \kP1 Jr
?0?+~0sI 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 4VP$, |a
>6gduD!6I 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 wRu\9H} OjsMT] "c*#Z P ]F
s r k 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm jdd3[ uQ3W = ~ep^S^V+ 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm @=qWwt4~ TNlS2b1 3bagL)'iz 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm p~z\&&0U0 emG1Wyl H,;9' *84 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm eKe[]/}e9 _ uZVlu@ b$Q#Fv&P 5. 参数运行 (t"e#b(:
@wh-.M D 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 -;o0) DwZ
&"=<w 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 .=@CF8ArG 7upN:7D- 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 nBtKSNT#Q x d!GRJ<I wj\kx\+ :U6Q==B$_ 7. 总结 R2y~+tko?
CP J%<+4%b 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 ^F87gow%`B
s$xm 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 5$c*r$t_RK
*_eY +\j 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 a>eg H
o g Z(BZG O<
lGX8kAv? QQ：2987619807 Bo ofJ m
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