-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2025-09-12
- 在线时间1850小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 ^s|6vd;PD= eEuvl`& 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 \ExMk<y_&
KET2Ws[w 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 D)L+7N0D~
IZpP[hov 要求工具箱：光栅工具箱 wne,e's}
Xu%'Z".>: 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 kM,C3x{A }H ^+A77v 一、模拟任务： s.$3j$vT 8 二、光栅的描述 Dfmjw
aDU<wxnSvO 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 E|iQc8gr&
'uBu6G 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 h1de[q)
45@^L's 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 ]n6# VTz*
8Vr%n2M 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” Y3Yz)T}UkS
LRL,m_gt 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 s~^5kgPA
Ayxkv)%:@) 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 !| ^|,"A) os=e| vkB* p{r}?a Kp%2 k^U 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm rNXQf'*I @>,^":`# =$' 6(aDH 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm I|qo +u) E(>=rD /+ wr$("A( 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm + %<(E Ag-(5: %~4M+r6T 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm }T(D7| ^R }bb;~ u-QB.iQ+s 5. 参数运行 V(H1q`ao9
D+rxT :
d 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 f z'@_4hg
@ a! #G 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 ;AG8C#_ zfJT,h-{ 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 Ouk ^O}W6 lU8l}Ndz" =x/X:; )> Ogq j?]2QC 7. 总结 =/@D8{pU
X]ipI$'+C 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 ju8> :y8
k
R?qb6 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 g_;\iqxL
/!0={G 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 !Jo _"#5 _P!m%34|
* ` JYC QQ：2987619807 '+@=ILj>
|
