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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 ^3HSw ?a" }r04*P( 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 >u%Bn \G
s\ 't=}0q 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 tdU'cc?M
ZV Ko$q:F 要求工具箱：光栅工具箱 , wk}[MF
kU:Q&[/jzH 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 4gZ R!J G>dXK,f<B0 一、模拟任务： ?(s9dS,7wZ 二、光栅的描述 319 4]
Lh+7z>1 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 HmXxM:[4;
OfLj 4H 6Q 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 /p-k'387
aV f sF|, 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 |$8N*7UD
C
B;j[. 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” lyowH{.N"3
0>Kgz!I 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 6/a%%1c1
c7rC !v
1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 TPJuS)TU9 Na\&}GSf^ p@$92> ' sVO|Ghy65 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm R]Fa?uQW
c3fd6 Je5 {s@&3i?ZiC 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm T+V:vuK 45+kwo0 8yr-X!eF 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm n`Ypv{+ {% } BP.t$_ @
/e{-Q 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm .j!:Hp(z} _=w=!U &W Dmtsu2o 5. 参数运行 RZvRV?<bR
ylmVmHmc 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 p=Q o92
NH
@M*5q# s 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 ]VVx2ERs 3qfQlqJ&3 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 <.|]%7 yW YsN J <L"D/ : 2L-Nf 7. 总结 ?f6Fj
f+Bv8 g 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 r^d:Po
ovtZHq/ 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 K ` R
)q+;+J`> 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 )=h+5Z>E1 e58tf3
h>NuQo* QQ：2987619807 Jpe\
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