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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 ;Ym6ey0t Tq^B >{S " 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 Lcg1X3$G
.: wg@Z 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 N f?\O@
xn=mS!"1Zo 要求工具箱：光栅工具箱 w3iX "w
.$f0!`
t 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 )#Ecm<.^ X+;#^A3 一、模拟任务： MB5V$toC 二、光栅的描述 xhCNiYJ |
l"&iSq!3= 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 XYV`[,^h&
E- X 02A 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 F)l1%F Cm
D41. $t[ 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 >7?L q<H
yqJ>Z%)hf 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” e*<pO@Uy
W;X:U. 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 g5nL7;`N
0p,_?3nX 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 =%77~q-HL @Rd`/S@ G]-\$>5R < A`srmS? 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm (e
2.Ru (h&=N a~ F( U(b_DPM 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm !bW^G}
<t W$}2
$}r0U s2tNQtq 0W 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm j;_E0j# - Lsl Ngrj @_J 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm r"7 !J[u +n YF9z2 U
d+6 =Us{ 5. 参数运行 43`Atw`\
0LWV. OIIC 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 Fe2iG-ec
H'@@%nO ( 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 n2opy8J#! M\08 7k 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果
4f213h Fp+f ZU :K*/ 9KL)5_6 M 7. 总结 9*a" ^
H9=8nLb. 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 7Zh#7jiZ`
,_'Z Jlx 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 %8KbVjn
tHJahK:"k 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 4g+o/+6!4 -+Ox/>k
bL%-9BG QQ：2987619807 q] '2'"k
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