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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 KW@][*\uC
PKg>|]Rf. 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 VprrklZ
n8 .Tag(# 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 Gl6M(<f\5
-Q MO*PY 要求工具箱：光栅工具箱 6 k6}SlN[
DX(!G a 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 -}CMNh [r0`D^*= 一、模拟任务： e6i m_ Tk 二、光栅的描述 `L
m9!?
DyCnL@ 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 \"| 7o8
08qM?{z o^ 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 kKs}E| T
oIv\Xdc8 1 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 7?p>v3 4A
w!rw% 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” .L8g( F(=:
`9& ~fWu 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 FT
Ytf4t
=5q_aK#i 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 %h VI*p3 W}P9I&3 jAxrU X<<FS%:+ 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm `6\u!# ?_j ]w%Hz 560` R> 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm 'j$n;3 m9mkZ:r(kV VJSkQ\KD 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm zI$'D|A I\<) 9`O eZ |_wB'r 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm xs^wRE_ :NynNu' E[Bj+mX 9 5. 参数运行 V$g !#V
NJmyp!8 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 34I;DUdcE
"]}?{ 2i;
2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 f>[{1M]n\ eL1)_M;{ 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 5 "&=BD~D |e91KmiqJ 30b dcDm, W=I~GhM 7. 总结 /kV5~i<1S
z,g\7F[ 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 4"s/T0C
Huc|HL#C 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 jJV1 /]TJ
iZE7
B7 K 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 tR<L9h +R',$YzD
#F#M<d3-2
QQ：2987619807 4k)0OQeW6
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