-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2026-06-05
- 在线时间1977小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 $*^7iT4q_t 6AAz 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 B-*+r`@Bd
bQg c8/ 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 f z'@_4hg
Z F!h<h&, 要求工具箱：光栅工具箱 0"jY.*_EW
>^u2cAi3[ 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 `KZm0d{H d[iQ` YW5 一、模拟任务： h79}qU 二、光栅的描述 E>6MeO
P_F30 x( 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 is?{MJZ_
?g_3 [Fk 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 OIGY`
IPS4C[v 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 ">\?&0
{5Q!Y&N.% 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” ~n moz/L
/:cd\A} 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 1 KU!
tL
0_jf/an,% 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 5?f ^Rz 3(>B Ke 6_(&6]}66 &h}#HS>l 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm |Tv#4st ld[I}88$ y'3rNa] G1 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm lov!o: dJ #$.;'#u'so D, k6$` 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm J"0`%'*/ dn& s * !Lu2 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm ,V7nzhA2 -M\ <nx n*h)'8`Ut 5. 参数运行 9=s<Ld
zrvF]|1UP 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 EfqX
y>W
rjK%t|aV^ 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 P?%s
#I: ez7A4>/ 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 ^vZ SUfS ~?l |
[ [|v][Hwv (|2t#'m 7. 总结 z[ N`s$;
QL(n} {.% 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 pd?M f=>#
HVRZ[Y<^ 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 8C40%q..
P1!qbFDv8 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 [z:!j$K YqscZ(L:y
\$K20) QQ：2987619807
8$=n j
|
