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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 $&4Z w6"= ^mGT ZxO 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 HCP Be2
eY-$h nUe 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 8'YL!moG|
v|hi;l@7E 要求工具箱：光栅工具箱 >8,B C
^8 z *f&g 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 ( /)JnBy0 &8 (2U- 一、模拟任务： j_{gk"2:d` 二、光栅的描述 Vf:t!'WD?2
OS!47Z /q 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 > ):b AfI
WgjaMmht 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 mdk:2n dP
Y 8 P 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 M,9WF)p)V
. v;Npm2 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” -uh/W=Q1R
gt
?&!S^ 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 c{E-4PYbah
$Fn# b|e 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 \&cVcA g B1GSZUd^?0 c"| ^Lo.
|.,y M| 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm *Vc}W <sPB| 5Ak > {:8c-\2} 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm !~RD>N&n JRG7<s $ wM|-u/9+ 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm SsaF><{5R 3~
qgvAr ~r{Nc j 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm w0.#/6 ?6[>HX; bkY7]'.bz& 5. 参数运行 >s{[d$
^awl-CG 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 Ar\`OhR
IX3r$}4 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 uW[ <?sFG co;2s-X 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 ;e WVc;H :>cJ[K?0 ";GLX%C!{@ h+vKai 7. 总结 gs. K,x ma
D3jP hPy. 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 JY /Cd6\
t!K|3>w 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 ^x4gUT-Wy
F'Wef11Yz 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 rm2TWM|
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7`P(LQAr! QQ：2987619807 Im#3sn
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