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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 ;(jL`L F X
y`2ux+>/ 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 Q2)(tB= )
A:D 9qp 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 3aB E[
O*bzp-6\ 要求工具箱：光栅工具箱 RZKx!X4=q
D(TG)X? 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 7ku=roPoF %#PWD7a\ 一、模拟任务： r> Xk1~<! 二、光栅的描述 $tI<MZ&Z
)siW c_Z4 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 -QR]BD%J*[
S8+l!$7 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 :-lq Yd5^
$G 6kS@A 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 "EA =auN {
H=*0KX{ 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” |(TEG.<g
7cWeB5 e?O 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 =hd0Ui>x
t#8QyN 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 KaS*LDzw &/2+'wCp5 |pbetA4& GVu[X?q@| 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm ;($xAAR Gd`7Tf)' =Ti@Y 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm ~%
t'}JDZ __s'/ 6u ZZwIB3sNhf 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm 2~7 *jA+Ab 6R8>w , {oF;ZM'r 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm ~Ym*QSD q4Bw5 ~n .@EzHe ^W 5. 参数运行 )c1Pj#|
_A&
[rBm| 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 c +7I
-|s% 5p| 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 C`3 XOth \I/"W#\SJo 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 VK u_ l ; 14Q@yrZ0 kB5y}v.3 S
lX/7 7. 总结 Q>;Aq!mr=
<;> k[P' 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 Y#-c<o}f
EV* |\ te 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 fpjFO&ML
J8@+)hn 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 t1oT Z :
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rTJU)4I^h QQ：2987619807 ,,I K}
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