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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 U{oM*[ (E00T`@t0i 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 e8xq`:4Y
@XzfuuE] 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 J.4U;A5
Nr>UZ lU8 要求工具箱：光栅工具箱 [5p9p1@u{C
[y'blCb 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 <zn)f@W ,v8e7T 一、模拟任务： H<i!C|AF 二、光栅的描述 zM&ro,W
,IboPh&Q78 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 v8y Cf7+"
/}U)|6- B 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 k"DZ"JC
=oL:|$Pj 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。
{q8|/{;
>_yL@^ 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” h0 92S |iY
$#D#ezvxe 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 d> ) =|
v {HF}L 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 Q34u>VkdQI !vu-`u~86 m-Jy
4f# #
f-hI 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm iEtR<R>= @~ke=w6&pe R)Mkt8v 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm ' abEY ">wvd*w0"( nN <,rN{ : 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm b;
C}=gg @Drl5C}+ 9;7"S.7AV 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm :~8@fEKb{ 06AgY0\ Q}B]b-c+E 5. 参数运行 r4iNX+h?V
i3 |xdYe$ 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 ]h`* w
\ [[xyd 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 klQmo30i =bD .5 ,F) 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 tb~E. Lm\ $)ka1L" N E%v0@ _w?!Mu 7. 总结 w" [T
Sq,>^|v4&e 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 zKJQel5
y$-@|M$GG 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 MFa/%O_*
NCi~. I 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 ~3gazTe9 D
)` ( b
%p)& mYK{ QQ：2987619807 3^ wHL:u
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