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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 P(f Tlrb MO)N0{.b 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 -Zfzl`r
!]q wRB$5 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 ]t_AXKd
|;{^Mci% 要求工具箱：光栅工具箱 b8)>:F
reLYtv 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 gsuf d{{ SF KW"cP 一、模拟任务： e $QX?y . 二、光栅的描述 M5 ep\^
<jU[&~p 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 EL 80f>K
1R9hA7y&,/ 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 [La=z 7*
/HH5Mn* 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 s&Y~ 48{
+#O ?a`f 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” cX"[#Em#
HB`u@9le 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 F> &Q5Kl R
yJ8WYQQMG 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 6 grJoim| A:[La #h|p hu[=9#''$ "v4; m\g&: 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm ON _uu]= mIq6\c$ ^Qz8 `1`;Z 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm /ow/)\/} F6 Z l#eL :6PWU$z$7 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm g "]%5Ow1 F >2t=r*9 s@
m
A\ 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm S(mJ;C Wcn3\v6_ t*y4)I !gR 5. 参数运行 kvv -f9/-
2#C!40j&\ 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 ]oP2T:A
BIDmZU9tL 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 A_T-]YQ u*{hXR-" 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 fm87?RgXD En A) Rz A{\7 HV 5 cEi{+rfZd| 7. 总结 o %A4wEye
u-Ct-0 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 =1)yI>2e%}
`rW{zQYM 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 P1 =bbMk
oP5G*AFUq 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 i;*c|ma1> iyU@|^B"Wa
@JE:\ QQ：2987619807 rAIX(2@cR_
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