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    [分享]粗糙表面光栅的模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-23
    案例87.01:粗糙表面光栅模拟 ^3HSw ?a"  
    }r04*P(  
    即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅(General Grating 2D)元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 >u%Bn \G  
    s\'t=}0q  
    关键词:光栅,光栅工具箱,粗糙表面,可编程光学界面,光栅元件 tdU'cc?M  
    ZV Ko$q:F  
    要求工具箱:光栅工具箱 , wk}[MF  
    kU:Q&[/jzH  
    相关应用案例:案例090.01,案例246.01 4gZR!J  
    G>dXK,f<B0  
    一、模拟任务 ?(s9dS,7wZ  
    二、光栅的描述 319 4]  
    Lh+7z>1  
    1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓,其周期为5μm,调制深度为468nm(使得最内侧三个级次的效率相同)。 HmXxM:[4;  
    OfLj 4H 6Q  
    2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化,由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 /p-k'387  
    aV f sF|,  
    3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数:最小特征尺寸(Smallest Feature Size)和总高度调制(Total Height Modulation)。使用种子(Seed)变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 |$8N*7UD  
    C B;j[.  
    4. 变量“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)” lyowH{.N"3  
    0>Kgz!I  
    下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图,其“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50 nm,“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为不同的值。 6/a%%1c1  
    c7rC!v  
    1) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为0 TPJuS)TU9  
    Na\&}GSf^  
    p@$92> '  
    sVO|Ghy65  
    2) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为100nm R]Fa?uQW  
    c3fd6Je5  
    {s@&3i?ZiC  
    3) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为500nm T+V:vuK  
    45+kwo0  
    8yr-X!eF  
    4) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1000nm n`Ypv{+ {%  
    } BP.t$_  
    @ /e{-Q  
    5) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1500nm .j!:Hp(z}  
    _=w=!U&W  
    Dmtsu2o  
    5. 参数运行 RZvRV?<bR  
    ylmVmHmc  
    1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50nm时,随“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”变化的结果。 p=Q o92 NH  
    @M*5q# s  
    2) 相反,文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1.5um时,将“总的高度调制(Total Height Modulation)”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 ]VVx2ERs  
    3qfQlqJ&3  
    6. 具有不同的“总的高度调制(Total Height Modulation)”的结果 <.|]%7  
    yWYsN  
    J<L"D/  
    :2L-Nf  
    7. 总结 ?f6Fj  
    f+Bv8 g  
    1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 r^d:Po  
    ovtZHq/  
    2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 K`R  
    )q+;+J`>  
    3) 大的调制(在x-和y-方向)会造成原始衍射结果强烈的偏差。 )=h+5Z>E1  
    e58tf3  
    h>NuQo*  
    QQ:2987619807 Jpe\  
     
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