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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 c%js u" T.J`S(oI 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 B'<!k7Ew y
v'h3CaA9j 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 D akLD~H;
1 pa*T! 要求工具箱：光栅工具箱 1!X1wC T
#"hJpyW 4V 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 -QN1oK@\mE t3pZjdLJd 一、模拟任务： {ms,q_Zr 二、光栅的描述 *1\z^4=a]
;gEp!R8 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 U?JiVxE^
]cn/(U` 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 i5.?g <.H
'`9%'f) 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 1NuR/DO
Hde]DK,d 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” ;I[ ht
u)tHOV>& 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 P/C&R-{')
N $C{f;xV 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 oG+K '(BB _{lx*dq Jq=00fcT+ g@<sU0B 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm q1U&vZ3]c .=> \Qq% c9\B[@-q 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm 8.*\+nH FYp|oD2=1 \_lG#p| 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm 7bA4 P* +R2^*
*< F5<"ktnI 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm yB0jL:|a S9 $o fndK/~?]H 5. 参数运行 ' 9IP;
-Pqi1pj] 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 K?5B>dv@A
>r;ABz/ 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 m Y$nI -P di8W2cwz 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 ]]\)=F`n77 f %bc64N( 8W19#?7>B !T<z'zZU 7. 总结 x?%rx}h
\? bwm&6+r 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 R2Twm!1
HF*j`} 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 }s`jl` `PM
C_;HaQiu 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 &Pmc"9Rl :*mA,2s
80{#bb QQ：2987619807 a/`c ef
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