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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 wx pD{P owZj Q 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 NuI9"I/
;%2 / 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 DbJ:KQ!*
`48j L3| 要求工具箱：光栅工具箱 UTKS<.q
84)$ CA+NX 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 r&)/3^S ' n )YNt 一、模拟任务： )v;> 6( 二、光栅的描述 JV(eHuw
E4[
|= < 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 ,kuJWaUC@
tY !fO>Fn~ 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 D|Wekhm
kW\=Z 1\# 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 67%eAS
|\@e 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” <<@\K,=
UevbLt1Y 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 i;lzFu )G
rmpJG |( 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 i N+Dmq5 QKc3Q5)@j |xQ G f'F:U^ 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm \lCr~D5 |;'V":yDs y/mxdP w 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm En8-Hc#NC *!%y.$\cE 9vCn^G%B 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm ~[Mk QJxe #9EpQc[4 'cy35M 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm nf +8OH7 NZ 9=hI;iM J)A1`(x&T 5. 参数运行 "6 ^tG[G%
\6)l(b; 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 dr ^pzM!N
QX ish Hk& 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 ncb?iJ/b^ .
l RW 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 f"xi7vJv!f zCL/^^# |4YDvDEJi gC;y>YGP 7. 总结 f % ZqK_CW
m46Q%hwV 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 xU@YBzbk
C/"fS#< 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 {,*G }/9<
L{bcmo\ U 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 .oH0yNFX r^ S 4 I&
V i2 3pDZ5 QQ：2987619807 @ Rj&9/\L
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