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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 kE854Ej k-I U}|Xz 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 =)f5JwZPG
h3j` X' 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 nG~^ -c+
t/J|<Ooj? 要求工具箱：光栅工具箱 d@ef+-
K>_~|ZN1C8 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 |Ge!;v ?0?+~0sI 一、模拟任务： -u~AY#* 二、光栅的描述 {w m P
Ww
=ksggpB 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 o!zo%#0;#)
9#1Jie$ 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 OjsMT]
M3s:B& / 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 R=
.U bY
O'S9y 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” c/}-pZn<
Ws:+P~8 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 UcWf
O!}D
;CDa*(e 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 mw*KLMo42 GpXU&A'r ZJV;&[$[ +r$VrNVs 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm ~|&To > 3bagL)'iz "@ L|Z6U( 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm >S@><[C 3XhLn/@ : 2A\X' @ 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm &{S@v9~IT WD|pG;Gq u_.Ig|Va 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm 3 +8{Y {cmV{ 4Yx b$Q#Fv&P 5. 参数运行 9PG3cCr?
}i52MI1-XP 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 8*E qG5OP
.e|\Bf0P 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 9, $
n 6t; -93 2[+ 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 KP CZiu7 +@MG$* }Oz K QCF " .=@CF8ArG 7. 总结 95*=& d
.2SD)<}(9 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 ad`7[fI
UxvT|~" 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 `t2Y IwOK
K}tC8D 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 HJ!P]X_J1 D:XjJMW3r
|fPR7- QQ：2987619807 KA
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