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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 FW;}S9u3 [N~-9 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 3dbaCusT $
)16+Pm8 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 Hhk`yX c_
]3='TN8aQF 要求工具箱：光栅工具箱
Ci 4c8
eg?p )| 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 N TDmOS\, {`
bX*] 一、模拟任务： m*jE\+)=^ 二、光栅的描述 \}k R'l
{jR3D!hK 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 :6)!#q'g
E>*Wu<< 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 %`$:/3P$U
HOH5_E >d 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 +/[Rvh5WZ
=N\$$3m?
4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” 3*j1v:x`
ThW9=kzQW 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 L>WxAeyu1K
Q"eqql<h# 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 L8'4d'N+ > {6Nbar@3 Kx,X{$Pe ~Eik&5 z 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm tBZ?UA e; XUR #| F=*t]X[z} 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm -Q
Mwtr#q} s?1Aj < ('j'>"1H 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm IUh9skW5 ,aP5) ZN- 8dt=@pwx& 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm };"_Ku4#- nZL!}3@< l& sEdEA 5. 参数运行 &"T7KXx
GyxLzrp 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 Mg8ciV}\xY
Er$&}9G+- 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 ouo IbA9X fwzyCbks 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 [9~ EH8 g26_#4 P zp' h A _(io8zqe{j 7. 总结 $/JXI ?K
fo /sA9 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 2Z<S^9O9
qQo*:3/]; 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 Pjvb}q=
=Ov,7<8o 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 aY pc\jJ %'=TYvB 2
Vi'7m3& QQ：2987619807 NL-PQ%lUA
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