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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 ?(Ti n80=r fv+d3s? h 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 (CH6Q]Wi_!
-{J0~1'#- 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 7lAJ
0
$ cuBd 要求工具箱：光栅工具箱 #H4<8B
T-GvPl9ZJw 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 %C #Ps 7fzH(H 一、模拟任务： 6I=xjgwvf 二、光栅的描述 0S4Y3bac&
ahZ@4v 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 u r Q vJ
$bF+J8%D 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 jk_yrbLc
l Le& q 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 #*lD Kn[vO
xluA jOQ6 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” m@*aA }69
\*BRFUAc 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 1M?x,N_W
v0(}"0 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 UY,u-E" <^Y #q 7bE`P[ (E 8jkc
2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm |0>rojMq _8-1wx H8B.c%_|U 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm 7@ y}J5, a #s
Nd C~K/yLCAi 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm 'Z,7{U1 P `*yOc6i] U8HuqFC 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm P, F 5Hf
mI:D yg m6(+ 5. 参数运行 QkTU@T6>o
}TuMMO4+ 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 Ln+ k _
=%> E8)Jb 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 -;HZ!Lf < 0S\P=\ 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 $ntC{a>& yDe*-N\'W =*6frC~ i ? #U>0! 7. 总结 0|0IIgy
j\Fbi3H 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 -)b u&
zH~g5xgh 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 @^-f +o
)liNjY@ 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 |\"%Dy[m K&dc< 4DC
4
BNbS|?vV QQ：2987619807 eCg|@d% D
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