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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) 32,Y 3!%  
    agPTY{;  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 I(:d8SF  
    eq$.np  
    1. 描述 .d%CD`8!  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 hxuc4C\J  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Gmh6|Dsg  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 `KmM*_a  
    %8g1h)F"S  
    2. 系统 Q)\4  .d  
    E(Y}*.\]#s  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    c\(CbC  
    3. 透镜系统组件编辑 Meo. V|1  
    4xD`Z_U  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ORo,.#<  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 8~8VoU&  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 rE$=~s  
    包括序列光学表面和光学介质。 o) ,1R:  
    c R6:AGr  
    NN@'79x  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 {:c5/ ,7c;  
     F'9#dR?  
    , LVZ  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 tsN,yI]-VA  
    可以选择选取光线的方法: zP|^) h5  
    — 在x-y-网格 <K zEn+  
    — 六边形 |'N)HH>;  
    — 自由选取 q jmlwVw  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    6 ly`lu9  
    L/2,r*LNx$  
    5. 系统的3维视图 o==:e  
    cCbZ*  
    %oHK=],|1  
    6. 其他系统参数 |WDMyKf6J  
    系统由单色平面波照明 S!+}\*  
    照明波长266.08nm /K\]zPq  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: KetNFwbUf  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 :pvJpu$]  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 fKOC-%w  
    光束尺寸探测器置于焦平面 -]k vM  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 |58xR.S'g  
    6#(==}Sm+  
    }*s`R;B|,  
    2c1L[]h'  
    6-J%Z%yT #  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ?n(OH~@$i  
    fuF!3Q  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    AS'%Md&I  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    }YCpd)@  
    P:&X1MC  
    p;n"zr8U  
    qvG@kuz8g5  
    bfX yuv  
    l~Rd\.O  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 z~(3S8$  
    omzG/)M:O  
    2R];Pv  
    VirtualLab可用于计算点列图。 h1 pEC  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 M)1Y7?r]  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 &$g{i:)Z  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 W!t=9i  
    B"?ivxM:U  
    9. 焦平面上的结果 y,s`[=CT  
    9wbj}tN\z  
    .W s\%S  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 D1R$s*{  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ?/|KM8  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm X R|U6bf]  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 7!U^?0?/  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    MUn(ZnQy|  
    ! G3Gr  
    10. 总结 1V.oR`&2E  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 @8*lqV2  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 y4)iL?!J~  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 LR#BP}\b'  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 A<''x'\/  
    Z@,[a  
    Q@KCODi  
    QQ:2987619807 -}(2}~{e(  
     
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