示例.0082(1.0) 2xuU[ kp[&SKU
c 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 }W " i{s/
H/x9w[\+[ 1. 描述 Z] cFbl\ma ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。
2i6P<&@ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 e
jk?If 07 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 C;ha2UV0H
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GMF~ 2. 系统 _%rkN0-(a 8j&1qJx) 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
8_D:#i 3. 透镜系统组件编辑 gEVoY,}/-U
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 !_o1;GzK
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 @d3yqA
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 z9AX8k(B6
■ 包括序列光学表面和光学介质。 :]\-GJV5
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RYA* V^G+_#@,, 4. 光线追迹系统分析器-选项 2+(SR.oGq K)`l >o1 %tkL<e
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 :Z;kMrU
■ 可以选择选取光线的方法: "[L+LPET
— 在x-y-网格 Hn)^C{RN*{
— 六边形 B$97"$#u
— 自由选取 ~ebm,3?
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ,`ehR6b r`0oI66B/ 5. 系统的3维视图 0F 4%Xz J0@#xw=+
It'PWqZtG 6. 其他系统参数 OOus*ooo2 ■ 系统由单色平面波照明 c&L|e$C] ■ 照明波长266.08nm Z
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Ic ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: x2]chN — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ,}OQzK/"mP — 一个虚拟屏位于焦平面 '! ;Xxe5 — 光束尺寸探测器置于焦平面 _ =O;Lz$x ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 =WFG[~8 Wzh#dO?7 Z=s]@r )!`>Q|]}Zd zZCssn;[ 7. 光线追迹系统分析器的结果 +r =p,leb ?
i|LO 光线经过整个光学系统的三维视图
[ 3SbWwg 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
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