示例.0082(1.0) n6oVx5/ o#;w>- 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 "|f ;
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f 1. 描述 5"{wnnY%K} ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 S!rUdxO ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 T
`N(=T^* ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 yp8 .\.
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32n 2. 系统 k/Cr ^J" X!r!lW 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
=#8J9 3. 透镜系统组件编辑 K?P.1H`
P||u{]vU
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 x`a@h\n
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 S7-?&[oeJ
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 !m78 /[LW
■ 包括序列光学表面和光学介质。 NJn~XCq
V$@@!q m`n51i{U 4. 光线追迹系统分析器-选项 _QCAV+K' 1w?X~VZAX |`#[jHd
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 (/PD;R$b
■ 可以选择选取光线的方法: x}72jJe`
— 在x-y-网格 O>H4hp
— 六边形 n1$p
esr
— 自由选取 I#9A\.pO
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 z^~fVl Z3 &8(vw 5. 系统的3维视图 9'O<d/xj/ r)ga{Nn,. 'M YqCfIK 6. 其他系统参数 aNfgSo05@n ■ 系统由单色平面波照明 76xgExOU?C ■ 照明波长266.08nm M=@U]1n*c ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: =T;%R^@ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 `Q}.9s_ri — 一个虚拟屏位于焦平面 q18dSu — 光束尺寸探测器置于焦平面 +STT(b Mn ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 8&H1w9NrX_ iQ~cG[6 G| ^tqI ("wPkm^ 9NKZE?5P|D 7. 光线追迹系统分析器的结果 0W#.$X5 ;v#~o* 光线经过整个光学系统的三维视图
'Zk&AD ~ 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
/9W-;l{=z d7P|
x 7J##IH+z35 .GLotc t4h5R eRC@b^~ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 zI(b#eUF
#2|sS|0 < X2Y-TET
■ VirtualLab可用于计算点列图。 N(/DC)DJg
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 SC"=M^E
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 mLKwk6I
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 qky{]qNW
9
bGN5.5 9. 焦平面上的结果 8V.x%T
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GXJJOy1"!
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 6d` 6=D:
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 KYd2=P6
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm " ?n~ /9`
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 592q`m\
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 X|@|ZRN m>:3Ku 10. 总结 pOpie5)7X ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 :1=mNrg ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 g@KS\.m] ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 <wc=SMmO ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 -i7W|X" ^~8l|d_
@R(6w{h9 QQ:2987619807 Sh}AGNE'