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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) 2xuU[  
    kp[&SKU c  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 }W " i{s/  
    H/x 9w[\+[  
    1. 描述 Z] cFbl\ma  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 2i6P<&@  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 e jk?If 07  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 C;ha2UV0H  
    }o GMF~  
    2. 系统 _%rkN0-(a  
    8j&1qJx)  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    8_D:#i  
    3. 透镜系统组件编辑 gEVoY,}/-U  
    u^ wG Vg  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 !_o1;GzK  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 @d3yqA  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 z9AX8k(B6  
    包括序列光学表面和光学介质。 :]\-GJV5  
    9~f RYA*  
    V^G+_#@,,  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 2+(SR.oGq  
    K)`l > o1  
    %tkL<e  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 :Z;kMrU  
    可以选择选取光线的方法: "[L+LPET  
    — 在x-y-网格 Hn)^C{RN*{  
    — 六边形 B$97"$#u  
    — 自由选取 ~ebm,3?  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    ,`ehR6b  
    r`0oI66B/  
    5. 系统的3维视图 0F 4%Xz  
    J0@#xw=+  
    It'PWqZtG  
    6. 其他系统参数 OOus*ooo2  
    系统由单色平面波照明 c&L|e$C]  
    照明波长266.08nm Z +}# Ic  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: x2]chN  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ,}OQzK/"mP  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 '! ;Xxe5  
    光束尺寸探测器置于焦平面 _ =O;Lz$x  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 =WFG[~8  
    Wzh#dO?7  
    Z=s]@r  
    )!`>Q|]}Zd  
    zZCssn;[  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 +r =p ,leb  
    ? i|LO  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    [ 3SbWwg  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    #5IfF~* i  
     D z>7.'3  
    ,n{ |d33  
    M059"X="  
    hKK"D:?PRs  
    &>auW}r  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 4L6'4t"s  
    yD&UH_ 1g  
    5fhe{d"si  
    VirtualLab可用于计算点列图。 ?)c9!hR  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 xOpCybmc  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 pB]+c%\  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 klC48l  
    0',-V2  
    9. 焦平面上的结果 %?:eURQ  
    Nf{tC9l  
    p8u -3  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 :,dO7dJi  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ]u O|YLWp  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm F1zsGlObu}  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 =_dqoAF  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    <Okl.Iz>  
    Wp$'#HhB  
    10. 总结 *[['X%f  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 RV+0C&0ff  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 [mI;>q  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 {f)"F;]V  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 _NJq%-,'  
    S A16Ng  
    y{\K:    
    QQ:2987619807 Gl>_C@n0h  
     
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