示例.0082(1.0) 32,Y3!% agPTY{; 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 I(:d8SF
eq$.np 1. 描述 .d%CD`8! ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 hxuc4C\J ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Gmh6|Dsg ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 `KmM*_a
%8g1h)F"S 2. 系统 Q)\4 .d E(Y}*.\]#s 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
c\(CbC 3. 透镜系统组件编辑 Meo.
V|1
4xD`Z_U
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ORo,.#<
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 8~8VoU&
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 rE$=~s
■ 包括序列光学表面和光学介质。 o)
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c R6:AGr NN@'79x 4. 光线追迹系统分析器-选项 {:c5/
,7c; F'9#dR? ,LVZ
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 tsN,yI]-VA
■ 可以选择选取光线的方法: zP|^) h5
— 在x-y-网格 <K zEn+
— 六边形 |'N)HH>;
— 自由选取 qjmlwVw
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 6ly`lu9 L/2,r*LNx$ 5. 系统的3维视图 o==:e cCbZ*
%oHK=],|1 6. 其他系统参数 |WDMyKf6J ■ 系统由单色平面波照明 S!+}\* ■ 照明波长266.08nm /K\]zPq ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: KetNFwbUf — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 :pvJpu$] — 一个虚拟屏位于焦平面 fKOC-%w — 光束尺寸探测器置于焦平面 -]kvM ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 |58xR.S'g 6#(==}Sm+ }*s`R;B|, 2c1L[]h' 6-J%Z%yT # 7. 光线追迹系统分析器的结果 ?n(OH~@$i fuF!3Q 光线经过整个光学系统的三维视图
AS'%Md&I 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
}YCpd )@ P:&X1MC p;n"zr8U qvG@kuz8g5 bfXyuv l~Rd\.O 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 z~(3S8$ omzG/)M:O 2R];Pv
■ VirtualLab可用于计算点列图。 h1 pEC
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 M)1Y7?r]
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 &$g{i:)Z
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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B"?ivxM:U 9. 焦平面上的结果 y,s`[=CT
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 D1R$s*{
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ?/|KM8
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm XR|U6bf]
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 7!U^?0?/
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 MUn(ZnQy| !
G3Gr 10. 总结 1V.oR`&2E ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 @8*lqV2 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 y4)iL?!J~ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 LR#BP}\b' ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 A<''x'\/ Z@,[a
Q@KCODi QQ:2987619807 -}(2}~{e(