示例.0082(1.0) T]+*}C GYj`-t 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 8<P.>u
/c09-$M 1. 描述 uzsR*x%s- ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 \]^|IViIQ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 &" b0`&l ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 9F3`hJZRy>
t.m
$|M> 2. 系统 A!NT 2YdHZ +ISB"a 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
>$}nKPC,Y 3. 透镜系统组件编辑 &c A?|(7-
r+>9O
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 y};qo'dlt
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 UHXlBH@
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 p@P[pzxI
■ 包括序列光学表面和光学介质。 Cu>pql<O
}3@`'i7 G G7N!eZ 4. 光线追迹系统分析器-选项 L%fWa2P' U5Rzfm4 )p&xpB(
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 D0uf=BbS
■ 可以选择选取光线的方法: ,u$$w
— 在x-y-网格 r,F'Jd5
— 六边形 l*h6JgU
— 自由选取 qoOHWh&
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 IUzRE?Kzf Y~Zg^x2 5. 系统的3维视图 e7<~[>g) ')_jK',1
\2W( >_z 6. 其他系统参数 2PRGwK/ ■ 系统由单色平面波照明 Z$2mVRS`c ■ 照明波长266.08nm guBOR0x` ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: fE7Kv_N-% — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Yzd-1Jvk — 一个虚拟屏位于焦平面 !zD| @sX{ — 光束尺寸探测器置于焦平面 N#|c2n+ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 IN_GL18^MV 1`b?nX wp$SO^?- IWTD>c). F/mD05{ 7. 光线追迹系统分析器的结果 WMrK8e' RL($h4d9 光线经过整个光学系统的三维视图
IDv@r\Xw 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
iPxSVH[ ZSxKk6n}J IhUuL0 |IZG`3 `lr\V;o! !! #\P7P 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 tw^V?4[Miu g=a-zg9LX =n%?oLg^
■ VirtualLab可用于计算点列图。 {?, :M
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ~d28"p.7
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 z.#gpTXD
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
Bf[D&O
C!v0*^i 9. 焦平面上的结果 4ajBMgD]KG
<PXA`]x~
N/]TZu~k z
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 y=-d*E
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 L[<MBgFKv
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm PLwa!j
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 POx~m
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 *j8w"
4 +HUI1@ql 10. 总结 {{:MJ\_"h_ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 n0nkv[ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 0A\o8T.12 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 tlG&PVvr ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 >(*jL h(jg7R
Q-BciBh$ QQ:2987619807 foaNB=,