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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) Ajm  
    CJYpgSr  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 \Dx;AKs  
     Z[G[.\0  
    1. 描述 A4tb>O M  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 4[lym,8C  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ;%Zu[G`C  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。  ~LF/wx>  
     [*K.9}+G_  
    2. 系统 a7>^^?|  
    N|2PW ~,  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    $xqX[ocor  
    3. 透镜系统组件编辑 m4on<5s/  
    8U)*kmq  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 x+bC\,q  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 mVd%sWD  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 ts/Ha*h  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 M\A6;dz'  
     ZK4d;oa",  
    L2Fi/UWM  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 *5KDu$'(e  
    fyF8RTm{  
    veAdk9  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 s^"*]9B"  
    ■ 可以选择选取光线的方法： NtG^t}V  
    — 在x-y-网格 P r2WF~NuO  
    — 六边形 1wy?<B.f  
    — 自由选取 T(=Z0M  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     $}t;c62  
    pS~=T}o  
    5. 系统的3维视图 ?s@=DDB\u  
    ^@ Xzh:  
    > ofWHl[-  
    6. 其他系统参数 HE:]zH  
    ■ 系统由单色平面波照明 G.~Ffk  
    ■ 照明波长266.08nm xz-?sD/xe  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： fD*jzj7o ,  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 y-uSpW  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 &9EcgazV  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 Hy b_> n  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Y?V.O  
    48)D%867.;  
    cDq*B*e  
    &3|l4R\  
    ;TL>{"z`x  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 6f^IAa|  
    t+#vcg,G  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    kA/yL]m^S  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    hz+c]K  
    lvH} 8 lJ  
    >W6?!ue_  
    bR<XQHl  
    [JEf P/n|.  
    g'NR\<6A  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 o|APsQE  
    g f<vQb|  
    @!*I mNMI  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 H`4KhdqR  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 tu^C<MV  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 \;1nEjIA  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 0py29>"t  
     j/F:j5O*  
    9. 焦平面上的结果 HHL7z,%f  
    T%yGSk  
    fW$1f5g"  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 yeLd,M/I  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 EUby QL  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm A&{eC C  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 pp+z5  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     47)\\n_\z  
    6$t+Q~2G!  
    10. 总结 v,Z?pYYo  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Yv3 P]6c.  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 d wku6lCk  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 @+sYwlA~  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 ir~4\G!  
    1sq1{|NW~  
     ]f6,4[  
    QQ：2987619807 a&Me#H{  
     
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