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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) z~A||@4'  
    `U#*O+S-^  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 VDx=Tsu-  
     @mNf(&  
    1. 描述 v~?d7p {  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 z=N'evx~  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Fm`hFBKW  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 WT;=K0W6&  
     S3MMyS8  
    2. 系统 3:PBVt=  
    ;jfjRcU  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    zKx?cEpE  
    3. 透镜系统组件编辑 a^~T-;_V  
    ipQJn_:2  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 yXh=~:1~  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 (WVN*OR?  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 m[LIM}Gu  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 oA(jtX[(  
     IU{~{(p"  
    E=Ah_zKU  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 hvtg_w6K  
    <?yAIhgN*  
    czi$&(N0w$  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Gx|$A+U  
    ■ 可以选择选取光线的方法： rqxoqcZ  
    — 在x-y-网格 05g U~6AF  
    — 六边形 MG*#-<OV.  
    — 自由选取 <*V%!pwIG  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     ` Xhj7%>  
    ax[-907  
    5. 系统的3维视图 )-xx$0mL-  
    M9.jJf  
    Fx0E4\-  
    6. 其他系统参数 rZLTai}`>  
    ■ 系统由单色平面波照明 WNrgqyM  
    ■ 照明波长266.08nm {VE\}zKF  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： M/x49qO#  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 eGHxiC  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 6%sX<)n%]  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 Rb Jl;  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 luACdC  
    N\ChA]Ck  
    q(p]6Ha|  
    'h53:?~  
    3,DUT{2  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 7m~.V[l1  
    +)k%jIi!  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    wwE`YY  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    Azv j(j  
    S@* lI2  
    wa-#C,R\_#  
    [`Seh$  
    Jte:U*2  
    2kzm(K  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 HR]*75}e  
    0}}b\!]9  
    Z`y%#B6x.  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 !LB#K?I  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 hC2@Gq  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 O W`yv  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 .`*h2  
     j ;}!Yn  
    9. 焦平面上的结果 r#hA kOw  
    ,'w9@A  
    =kFZ2/P2t(  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。  #~QkS_  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 KnK8\p88\  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm MG6taOO!  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 *%'nlAX6%  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     12r]"?@|s  
    C]H'z  
    10. 总结 zv/owK  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 PCKgdh},  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 h2~b%|Pv  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 $}_a`~u  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 <E/"v  
    93I.Wp_{  
     -aj) _.d  
    QQ：2987619807 Qn0 1ig  
     
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