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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) l;F"m+B!$  
    OjU{r N*  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 UBo0c?,4  
    lH fZw})d  
    1. 描述 +Z#=z,.^  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 VO#rJ1J  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ?o<vmIge  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 /08FV|tX)  
    HOW<IZ^  
    2. 系统 O{:{P5  
    j }~?&yB  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    {R$`YWk  
    3. 透镜系统组件编辑 (}#&HE<  
    Q\oa<R D5  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 XY0kd&N8  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Y;af|?U*6:  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 t Cuvb  
    包括序列光学表面和光学介质。 g%2G=gR$?z  
    2[ sY?C  
    L F?/60  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 MmJMx  
    .0Ud?v>=  
    _/[qBe  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 s>9I#_4]  
    可以选择选取光线的方法: +V=<vT  
    — 在x-y-网格 )L<.;`g4x  
    — 六边形 2%/F`_XbP  
    — 自由选取 +\dVC,,=^g  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    lp*5;Ls'q  
    Owp]>e  
    5. 系统的3维视图 DpHubqWz  
    +Q&l}2  
    6/!:vsa"3  
    6. 其他系统参数 #y\O+\4e  
    系统由单色平面波照明 ;Q ZG<  
    照明波长266.08nm ,7nu;fOT[  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: >iyNZ]."\  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 g}9 ,U&$]y  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ft"-  
    光束尺寸探测器置于焦平面 wXNng(M7  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 a$W O} g?  
    o*T?f)_[p  
    6 `6 I<OJ\  
    8%4;'[UV  
    :GvC#2 p  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 }#zL)+XI  
    2d[tcn$;h]  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    ~XUUrg;  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    cfmwz~S6i  
    dcKpsX  
    c((3B  
    su0K#*P&I  
    $GoS?\G  
    c coi  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 hl]d99Lc  
    B"v*[p?  
    #jbC@A9Pe  
    VirtualLab可用于计算点列图。 /{R ^J#  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 U" @5R[=F-  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 g.\b@0Uy'  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 :7@[=n  
    WjBml'^RY  
    9. 焦平面上的结果 erI&XI  
    TJ)Nr*U3_  
    Cq@7oi]W0  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 fD%/]`y  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 .p{lzI9  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm (R=ZI  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 dC<%D'L*  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    I/'>MDB!  
    + s}!+I8 P  
    10. 总结 28JVW3&)  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 9#H0|zL  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 H:b"Vd"x9  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 xpZ@DK;  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 (,"%fc7<i  
    .(&6gB  
    Qfeu3AT  
    QQ:2987619807 oVqx)@$K  
     
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