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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) ,J~kwJ$L  
    UVA|(:  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 z^O>'9#  
     vEOoG>'Zq  
    1. 描述 >kd&>)9v  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 PL[7|_%  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 v|"Nx42  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ZWxq<& Cg  
     +m]$P,yMt  
    2. 系统 +t})tDPXw  
    *dL!)+:d  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    H~e;S#3_v  
    3. 透镜系统组件编辑 -!k"*P  
    8$BZbj%?hx  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 =4 36/O`K  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 Y FL9Q<  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 7lqj" o(  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 )E'iC  
     ZC@sUj"  
    MyXgp>?~T  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 lrPiaSO`I  
    5\A[ra  
    SoI"a^fY  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 TG~:Cmc  
    ■ 可以选择选取光线的方法： @YHB>rNf(7  
    — 在x-y-网格 c~K^ooS-  
    — 六边形 Gcna:w>6d  
    — 自由选取 t-)C0<  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     hS/oOeG<Y  
    $z)r(N$  
    5. 系统的3维视图 _pnJ/YE  
    q["CT&0  
    }Zu>?U  
    6. 其他系统参数 =X'i^Q  
    ■ 系统由单色平面波照明 !ZPaU11  
    ■ 照明波长266.08nm ggR@& \  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： &9g4/c-?$  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 uW3`gwwlU  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 4W &HUQ?^  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 ! ~u;CMR  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 NguJ[  
    ~pWbD~aeg  
    (p08jR '5  
    l*T> 9yC  
    {f3&s4xj=  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 t."hAvRL  
    rLw3\>y  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    9=p^E#d  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    D<B/oSy  
    q-P$ \":  
    0wU8PZ Nj  
    R}'kF63u*  
    .{%~4$yu7  
    lS&$86Jo(  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 {%.FIw k  
    k7yQEU  
    tkx1iBW=  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 z;yb;),  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ~0aWjMc(>  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 f<bc8Lp  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 {h5 S=b  
     {_t i*#  
    9. 焦平面上的结果 !_P;4E  
    I?nj_ as  
    m_{OCHS+  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 }<6xZy  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 m22M[L(q  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm f|G,pDL x  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 OoL#8R  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     \' (_r  
    (jv!q@@2C.  
    10. 总结 9t:P1  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 iLiEh2%P  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 *vqlY[2Ax  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 EkS7j>:  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 9N5ptdP.d  
    $Ay j4|_-  
     jkw:h0hX  
    QQ：2987619807 # ~SuL3  
     
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