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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) @}@Z8$G^  
    QKr,g  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 B oC5E#;G  
    ',:*f8Jk  
    1. 描述 /(iFcMT  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ]=>F.GE  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 bI:zp!-.  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 yt.F\[1  
    3?1`D/  
    2. 系统 /7}It$|nhy  
    4<k9?)~(J  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    k} |   
    3. 透镜系统组件编辑 maXG:l|  
    hRK/T7v  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Mz~M3$$9n  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 zmSUw}-4 N  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 5 N#3a0)  
    包括序列光学表面和光学介质。 hM{{\yZS  
    8 0Gn%1A9  
    R,pX:H&#+  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 no< ^f]33  
    .=X}cJ]`[  
    `/EGyN6X  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Tl2C^j  
    可以选择选取光线的方法: joiL{  
    — 在x-y-网格 PfC!lI BU  
    — 六边形 ug+io mZ  
    — 自由选取 tE]= cTSV  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    ]%?YZn<{  
    E0MGRI"me  
    5. 系统的3维视图 K':K{ee>  
    `bZ/haU}A  
    r[lF<2&*R  
    6. 其他系统参数 uF1~FKB  
    系统由单色平面波照明 e^<#53!  
    照明波长266.08nm %l,,_:7{  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: V3c l~  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 v" OY 1<8  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 *:L?#Bw  
    光束尺寸探测器置于焦平面 /4` 0?/V  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 0},PJ$8x  
    m0cP(  
    .zn;:M#T  
    #m{UrTC  
    z#]Jv!~EPE  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ]8 f ms(  
    k;w- E  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    :yeq(o K,  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    ~:3QBMk::  
    4*e0 hWp  
    {a4z2"\A  
    pBETA'fY  
    ~[\_N\rm  
    b#K:_ac5  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 %=/)  
    }lfnnK#  
    IGtl\b=  
    VirtualLab可用于计算点列图。 \>7^f 3m  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 l&?}hq^'Dn  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 c2e tc8  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 ad:&$  
    k[HAkB \{  
    9. 焦平面上的结果 qeL5D*  
    1. rj'  
    m"o ;L3  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Qt/8r*Oe  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 }w1~K'ck}>  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm sK7+Q  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 gMaN)ESqd4  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    p\JfFfC  
    IaT$ 6\>  
    10. 总结 4Rvf  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 x}Aw)QCh+r  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 aEWWFN  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 CC@.MA@9N  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ui@2s;1t  
    DBCK2PlJ  
    <_XWWT%  
    QQ:2987619807 86\S?=J-b  
     
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