示例.0082(1.0) Nf^6t1se nw 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 [W8"Mc|ve
;uhpo 1. 描述 r}4 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 \uyZl2=WWa ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Yma-$ytp ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 >h9T/J8
~5;2 ni8n 2. 系统 2~y<l #GfM!<q< 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
U:fGIEz{ZY 3. 透镜系统组件编辑 *?x[pqGq
b^'>XT~1J&
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 mcb|N_#n/
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 A5IW[Gu!
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 \^3cNw
■ 包括序列光学表面和光学介质。 Vwpy/5Hmp
p_EWpSOt7 m0,TH[HWGF 4. 光线追迹系统分析器-选项 x4CSUcKb R/\ qDY,@ G<FB:?|
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。
X?z
CB
■ 可以选择选取光线的方法: c9ea%7o{0a
— 在x-y-网格 ;XI=Y"h{%
— 六边形 ZRP[N)Ld$
— 自由选取 A(1WQUu j
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 +EvY-mwfQ hr?0RPp} 5. 系统的3维视图 A,;[9J2\& @ [<B:Tqo
>l =;6QL 6. 其他系统参数
+wE>h>?; ■ 系统由单色平面波照明 X_ (n ■ 照明波长266.08nm tKCX0UZ' ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: .|/VD'xV" — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Q[&CtM
— 一个虚拟屏位于焦平面 /&o<kY — 光束尺寸探测器置于焦平面 =p \eh?^ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Gxw>.O){ Ih%LKFT M!O &\2Q =PmIrvr'[5 ,F?O} ijk 7. 光线追迹系统分析器的结果 3z!^UA>q 9D
@}(t! 光线经过整个光学系统的三维视图
;BW-ag \9 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
dG%{&W9
[g@.dr3t yC9~X='D v4W<_
7L_ 13MB1n Ze3sc$fG2 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 6G;t:[H G >]/aG! t}2M8ue(&
■ VirtualLab可用于计算点列图。 ,H5o/qNU`{
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ngl8) B
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 T%@qlEmf
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
nT%<!/}!
RO.bh#A$ 9. 焦平面上的结果 10ZL-7D#m
BF(Kaf;<t.
x}jiHV@=
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 f= 33+8I
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 P+(Ys[J3
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm %VGQ{:
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 0r%,|FaS
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 iYl{V']A .!Q?TSQ+{! 10. 总结 `E5vO1Pl ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 FSyeDC^@ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Wf9K+my ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 v$EgVcK ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 z{G@t0q =>Dw,+"
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