示例.0082(1.0) :4] J2U\@ \3:
L Nt 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 Ir>2sTrm
BWohMT 1. 描述 J2=*-O: ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 pNSst_!> ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 0ZT 0 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 [{/$9k-aF?
A_]D~HH 2. 系统 x36NL^ iU,/!IQ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
@%%bRY 3. 透镜系统组件编辑 `+Xe'ey
6w@,I;
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 >z5Oy
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 67fIIXk&
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 oM2|]ew)
■ 包括序列光学表面和光学介质。 >waN;&>/
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Kc 4. 光线追迹系统分析器-选项 ^} tLnF 6g8M7<og9R `{%-*f^
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 &6Ns7w6*z
■ 可以选择选取光线的方法: S>(z\`1qm
— 在x-y-网格 5W|u5AIw
— 六边形 d~3GV(M
— 自由选取 wJ/~q)
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 <TL])@da d`UF0T 5. 系统的3维视图 8KZ$F>T]> y>%W;r)
]u~Os< 6. 其他系统参数 |c=d;+ ■ 系统由单色平面波照明 rAL1TU(vm ■ 照明波长266.08nm A}gYcc85Z ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 6(,ItMbI — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 QaIi.*tic — 一个虚拟屏位于焦平面 h<GyplG — 光束尺寸探测器置于焦平面 G]at{(^Vz ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 EQ6l:[ B%) zGTp6 w<btv]X1 )Kxs@F RFhU# 7. 光线追迹系统分析器的结果 ;B*L1'FF%t 8TUF w@H% 光线经过整个光学系统的三维视图
{`tHJ|8 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
5
Xk~,%-C 1V#0\1sj Pkj T&e) :fl*w""V@ r$94J'_ RA!x 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 t>XZ3 (H'_KPK FpwlV}:
■ VirtualLab可用于计算点列图。 o-L|"3P
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 lkI8{
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 B8`R(vu;
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
e6Wl7&@6
3S;>ki4(0 9. 焦平面上的结果 /,=Wy"0TJ
": mCZUt
I:r($m
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 pZyb
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Bk\ *0B
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm Sr4dY`V*:z
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 rOs)B 21/
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 /+Wb6{lY y.L|rRe@P 10. 总结 cpP.7ZR
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 B)_!F`9 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Pc/.*kOT ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 "Nk`RsW ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ?FkQe~FN{ Lr!L}y9T+
WiPM <' QQ:2987619807 B iVd
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