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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) n 6oVx 5/  
    o#;w >-  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 "|f;   
    `9@!"p f  
    1. 描述 5"{wnnY%K}  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 S!rUdxO  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 T `N(=T^*  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 yp8 .\.  
    ao 32n  
    2. 系统 k/Cr ^J"  
    X!r!lW  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
     =#8J9  
    3. 透镜系统组件编辑 K?P.1H`  
    P||u{]vU  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 x`a@h\ n  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 S7-?&[oeJ  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 !m78/[LW  
    包括序列光学表面和光学介质。 NJn~XCq  
    V$@@!q  
    m`n51i{U  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 _QCAV+K'  
    1w?X~VZAX  
    |`#[jHd  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 (/PD;R$b  
    可以选择选取光线的方法: x}72jJe`  
    — 在x-y-网格 O>H4hp  
    — 六边形 n1$p esr  
    — 自由选取 I#9A\.pO  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    z^ ~fVl  
    Z3 &8(vw  
    5. 系统的3维视图 9'O<d/xj/  
    r)ga{Nn,.  
    'M YqCfIK  
    6. 其他系统参数 aNfgSo05@n  
    系统由单色平面波照明 76xgExOU?C  
    照明波长266.08nm M=@U]1n*c  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: =T;%R^@  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 `Q}.9s_ri  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 q18dSu  
    光束尺寸探测器置于焦平面 +STT(bMn  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 8&H1w9NrX_  
    iQ~cG[6  
    G| ^tqI  
    ("wPkm^  
    9NKZE?5P|D  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 0W#.$X5  
    ;v#~ o*  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    'Zk&AD ~  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    /9W-;l{=z  
    d7P| x  
    7J##IH+z35  
    .GLotc  
    t4 h5R  
    eRC@b^~  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 zI(b#eUF  
    #2|sS|0<  
    X2Y-TE T  
    VirtualLab可用于计算点列图。 N(/DC)DJg  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 SC"=M^E  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 mLKwk6I  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 qky{]qNW  
    9 bGN5.5  
    9. 焦平面上的结果 8V.x%T  
    GiI2nHZc  
    GXJJOy1"!  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 6d`6=D:  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 KYd2=P6  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm "?n~ /9`  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 592q`m\  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    X|@|ZRN  
    m>:3Ku  
    10. 总结 pOpie5)7X  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 :1=mNrg  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 g@KS\.m]  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 <wc=SMmO  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 -i7W|X"  
    ^~8l|d_  
    @R(6w{h9  
    QQ:2987619807 Sh}AGNE'  
     
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