示例.0082(1.0) #cj6{%c4 c/B'jPt 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 )o\jJrVDf
8G5Da|\ 1. 描述 r]OK$Ql ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 3 ?Y| ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 i)#s.6.D> ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 SIbDj[s
f;}EhG' 2. 系统 d
Le-nF hp{OL< 2M 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
ZeG_en ; 3. 透镜系统组件编辑 rr#K"SP
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 *3T|M@Y
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Lm@vXgMD
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 o)OUWGjb/K
■ 包括序列光学表面和光学介质。 hJzxbr
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qg~ 4. 光线追迹系统分析器-选项 oI^4pwn h Oy 2+b1{ tzy'G"P|
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 7}*6#KRG
■ 可以选择选取光线的方法: aZEn6*0B
— 在x-y-网格 TYI7<-Mp:[
— 六边形 _|"Y]:j_
— 自由选取 #2`D`>7456
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 R\XKMF3mN3 5OoN!TEM 5. 系统的3维视图 Q5%#^ZdsTd Z}|(FRVk &Wf3~hmo 6. 其他系统参数 xoOJauSX1 ■ 系统由单色平面波照明 /m!Cc/Hv ■ 照明波长266.08nm iS5W>1] ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: _-5,zPR — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 7Sz?S_N/j — 一个虚拟屏位于焦平面 *6 _tQ9G — 光束尺寸探测器置于焦平面 J)mhu} ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 [o*7FEM|< K-&V,MI J[^}u_z o!4!"O'E _gD
pKEaY 7. 光线追迹系统分析器的结果 5s{ABJ\@V }8;[O
9 光线经过整个光学系统的三维视图
d~h:~ 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
V21njRS 3BpZX`l*p :_Eqf8T Agrp(i"\@ D5~n/.B" waKT{5k 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 QJ|a p4r 4e;QiTj S~]mWxgZ
■ VirtualLab可用于计算点列图。 )]#aa uC+
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 o!Rd ^
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 h[Gg}N!
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Dde]I_f}
`Y?87f:SP 9. 焦平面上的结果 inlk++Og
#[#KL/i)$
A{B/lX)
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Py{<bd
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 *6(kbe s
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm #lU9yv
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 GU Q{r!S
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 gl).cIp w R-^96fFBy 10. 总结 1He{v# ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 S.!UPkW H ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 j5I`a 1j` ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Hi]cxD*` ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 t20PP4FWM $H$j-)\D
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