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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) #cj6{%c 4  
    c/B'jPt  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 )o\jJrVDf  
    8G5Da|\  
    1. 描述 r]OK$Ql  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 3 ?Y|  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 i)#s.6.D>  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 SIbDj[s  
    f;}EhG'  
    2. 系统 d Le-nF  
    hp{OL<2M  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    ZeG_en ;  
    3. 透镜系统组件编辑 rr#K"SP  
    hFiIW77 s2  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 *3T| M@Y  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Lm@vXgMD  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 o)OUWGjb/K  
    包括序列光学表面和光学介质。 hJzxbr <  
    LH:i| I  
    >~K qg~  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 oI^4pwnh  
    Oy 2+b1{  
    tzy'G"P|  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 7}*6#KRG  
    可以选择选取光线的方法: aZEn6*0B  
    — 在x-y-网格 TYI7<-Mp:[  
    — 六边形 _|"Y]:j_  
    — 自由选取 #2`D`>7456  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    R\XKMF3mN3  
    5OoN!TEM  
    5. 系统的3维视图 Q5%#^ZdsTd  
    Z}|(F RVk  
    &W f3~hmo  
    6. 其他系统参数 xoOJauSX1  
    系统由单色平面波照明 /m!Cc/Hv  
    照明波长266.08nm iS5W>1]  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: _-5,zP R  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 7Sz?S_N/j  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 *6 _tQ9G  
    光束尺寸探测器置于焦平面 J)mh u}  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 [o*7FEM|<  
    K-&V,MI  
    J[^}u_z  
    o !4!"O'E  
    _gD pKEaY  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 5s{ABJ\@V  
    }8;[O 9  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    d&#~ h:~  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    V 21njRS  
    3BpZX`l*p  
    :_Eqf8T  
    Agrp(i"\@  
    D5~n/.B"  
    waKT{5k  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 QJ|ap4r  
    4e;QiTj  
    S~]mWxgZ  
    VirtualLab可用于计算点列图。 )]#aauC+  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 o!Rd ^  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 h[Gg}N!  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Dde]I_f}  
    `Y?87f:SP  
    9. 焦平面上的结果 inlk++Og  
    #[#KL/i)$  
    A{B/lX)  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Py{ <bd  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 *6(kbes  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm #lU9yv  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 GUQ{r!S  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    gl).cIpw  
    R-^96fFBy  
    10. 总结 1He{v#  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 S.!UPkWH  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 j5I`a 1j`  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Hi]cxD*`  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 t20PP4FWM  
    $H$j-)\D  
    /pp1~r.s?>  
    QQ:2987619807 ;l$ \6T  
     
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