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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) T]+*} C  
    GYj`-t  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 8<P.>u  
    /c09-$M  
    1. 描述 uzsR*x%s-  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 \]^|IViIQ  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 &" b0`&l  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 9F3`hJZRy>  
    t.m $|M>  
    2. 系统 A!NT 2YdHZ  
    +ISB"a  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    >$}nKPC,Y  
    3. 透镜系统组件编辑 &c A?|(7-  
    r+>9O  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 y};qo'dlt  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 UHXlBH@  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 p@P[pzxI  
    包括序列光学表面和光学介质。 Cu >pql<O  
    }3@`'i7  
    GG7N!eZ  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 L%fWa2P'  
    U5Rzfm4  
    )p&xpB(  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 D0uf=BbS  
    可以选择选取光线的方法: ,u$$w  
    — 在x-y-网格 r,F'Jd5  
    — 六边形 l*h6 JgU  
    — 自由选取 qoOHWh&  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    IUzRE?Kzf  
    Y~Zg^x2  
    5. 系统的3维视图 e7<~[>g)  
    ')_jK',1  
    \2 W( >_z  
    6. 其他系统参数 2PRGwK/  
    系统由单色平面波照明 Z$2mVRS`c  
    照明波长266.08nm guBOR 0x`  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: fE7Kv_N-%  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Yzd-1Jvk  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 !zD| @sX{  
    光束尺寸探测器置于焦平面 N#|c2n+  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 IN_GL18^MV  
    1`b?nX  
    wp$SO^?-  
    IWTD>c).  
    F/mD05{  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 WMrK8e'  
    RL($h4d9  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    IDv@r\Xw  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    iPxSVH[  
    ZSxKk6n}J  
    IhUuL0  
    |IZG `3  
    `lr\V;o!  
    !! #\P7P  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 tw^V?4[Miu  
    g=a-zg9LX  
    =n%?oLg^  
    VirtualLab可用于计算点列图。 {?,:M  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ~d28"p.7  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 z.#gpTXD  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 B f[D&O  
    C!v0*^i  
    9. 焦平面上的结果 4ajBMgD]KG  
    <PXA`]x~  
    N/]TZu~k z  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 y=-d*E  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 L[<MBgF Kv  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm PL wa!j  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 POx~m  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    *j8w" 4  
    +HUI1@ql  
    10. 总结 {{:MJ\_"h_  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 n0nkv[  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 0A\o8T.12  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 tlG&PVvr  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 >(*jL  
    h (jg7R  
    Q-Bci Bh$  
    QQ:2987619807 foaNB=,  
     
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