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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) nZk +  
    ]a'99^?\  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 vXE0%QE'Q  
    iE].&>w  
    1. 描述 F3M aqr y  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 5's~>up&  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 EGVM)ur  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 P8Qyhc  
    :-T*gqj|  
    2. 系统 o\VUD  
    3gEMRy*+  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    nz]&a1"&  
    3. 透镜系统组件编辑 ac{?+]8}  
     #xh_  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 }UwO<#  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 3FE(}G  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 (p#0)C  
    包括序列光学表面和光学介质。 }<a^</s  
    \M<3}t  
    ;&b.T}Nf06  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 cVnJ^*Z  
    Z<?OwAWz  
    Ifc]K?  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 *ISZlR\#  
    可以选择选取光线的方法: q*7<)VwI  
    — 在x-y-网格 w>; L{  
    — 六边形 CusF/>  
    — 自由选取 58Xzup_"  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    tBbOY}.VD  
    ]:M0Kj&h  
    5. 系统的3维视图 ZBT1Y.qA  
    Zdc63fllM  
    k <iTjI*N  
    6. 其他系统参数 uo%P+om_}  
    系统由单色平面波照明 T;TA7{B  
    照明波长266.08nm Z<[<n0o1  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: bNs4 5hDP  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 <7SpEVQ  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 x!LQxoNF  
    光束尺寸探测器置于焦平面 a8k;(/  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 `{k"8#4:qA  
    Hb} X-6N  
    W!Hm~9fz  
    {9Y+.46S  
    Dl(3wgA  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 q;g>t5]a  
    y;w x?1)  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    XR2~Q)@  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    }D411228  
    gxz-R?.  
    M5nWVK7c  
    I-y#Ks1p+  
    O/AaYA&  
    DI+]D~N  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 L37Y+C//  
    A1'hlAGF  
    |8> 3`w!  
    VirtualLab可用于计算点列图。 "k*PA\U  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 3.22"U\1:  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ;c~cet4  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 {^(ACS9mL  
    B~o\+n  
    9. 焦平面上的结果 {!6/x9>  
    -p3Re9  
    _XJ2fA )  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 t!*+8Q !e  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 qmO6,T-|  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm &%})wZ+Dj  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 mxb(<9O  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    ~|<WHHN (  
    R\o<7g-|  
    10. 总结 j83p)ido  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 0/S_e)U  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 R|O8RlH  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 C<KrMRWh^  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 (WJ${OW  
    PH"n{lW.T  
    GKN%Tv:D_  
    QQ:2987619807 Wu4Lxv]B4  
     
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