示例.0082(1.0) %Q2<bj]
1TIP23: 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 m@2;9
d0"Xlleld 1. 描述 Jd0I!L ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 UrhSX!g/A> ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 $RJpn]d
j ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 h,u?3}Knnb
{:!CA/0Jx 2. 系统 teDO,$ 41'|~3\X 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
yo=0Ov 3. 透镜系统组件编辑 CPj8`kl
p~!UE/V
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Sph:OX8
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 &!=[.1H<
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Y8$,So>~
■ 包括序列光学表面和光学介质。 xD|CQo}:
,^#{k!uaC{ ]=EYju@ 4. 光线追迹系统分析器-选项 =SEgv;#KZ~ tXWhq f(r=S Xa*
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 UOwEA9q%
■ 可以选择选取光线的方法: +l8`oQuG
— 在x-y-网格 ha -KfkPFE
— 六边形 BA
9c-Ay
— 自由选取 / ~\ I
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ),u)#`.l
G +YA,HhX9 5. 系统的3维视图 i;GF/pi zZ11J0UI
j$u=7Z&E 6. 其他系统参数 3{j&J- ■ 系统由单色平面波照明 "dN4EA&QJ ■ 照明波长266.08nm $ZEwz;HNo ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: {"x>ewAf — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 (X?'}Ur — 一个虚拟屏位于焦平面 "Om4P| — 光束尺寸探测器置于焦平面 ^ rB7&96C, ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 6|O2i j-J w.2[Xx~ *;noZ9{"+ zKP{A Sk F6$QEiDu@ 7. 光线追迹系统分析器的结果 `c)//o 0M=U>g) 光线经过整个光学系统的三维视图
9:\YEs" 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
"yo~;[ E Pgn2[z 13X\PO'9 r-,P *co=<g]4KY ofu
{g 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 r{Cbx#; <Z -d5D> ~}g"Fe
■ VirtualLab可用于计算点列图。 !4blX'<w
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 e7cqm*Qi
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 bhq s%B!:
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
5^}"Tn4I
l?AWG& 9. 焦平面上的结果 F*bmV>Qq
k^vsQ'TD
iLyJ7zby
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 1syI%I1
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 <1L?Xhoc6
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm aUBGp: (
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 r@XH=[:
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 DAPbFY9 )l|/lj 10. 总结 8)1k>= ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 z
TM1 e ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 VEuT!^0Z ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Y@+e)p{ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 X;hV+|Bo F_?aoP&5
:JEzfI1 QQ:2987619807 OjUZ-_J