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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) :4]J2U\@  
    \3: L Nt  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 Ir>2sTrm  
    BWohMT  
    1. 描述 J2=*-O:  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 pNSst_!>  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 0ZT 0  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 [{/$9k-aF?  
    A_]D~HH  
    2. 系统 x36NL^  
    iU,/!IQ  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    @%%bRY  
    3. 透镜系统组件编辑 `+Xe'ey  
    6w@,I;   
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 >z5Oy  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 67fIIXk&  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 oM2|]ew)  
    包括序列光学表面和光学介质。 >waN;&>/  
    -@#Pc#  
    oN4G1U Kc  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 ^}tL nF  
    6g8M7<og9R  
    `{%-*f^  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 &6Ns7w6*z  
    可以选择选取光线的方法: S>(z\`1qm  
    — 在x-y-网格 5W|u5AIw  
    — 六边形 d~3GV(M  
    — 自由选取 wJ/ ~q)  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    <TL])@da  
    d`UF0T  
    5. 系统的3维视图 8KZ$ F>T]>  
    y>%W;r)  
    ]u~Os<   
    6. 其他系统参数 |c=d;+  
    系统由单色平面波照明 rAL1TU(vm  
    照明波长266.08nm A}gYcc85Z  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 6(,ItMbI  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 QaIi.* tic  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 h<GyplG  
    光束尺寸探测器置于焦平面 G]at{(^Vz  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 EQ6l:[  
    B%)zGTp6  
    w<btv]X1  
     )Kxs@F  
    RFhU#  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ;B*L1'FF%t  
    8TUF w@H%  
    光线经过整个光学系统的三维视图
     {`tHJ|8  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    5 Xk~,%-C  
    1V#0\1sj  
    PkjT&e)  
    :fl*w""V@  
    r$94J'_  
    RA! x  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 t>XZ 3  
    (H'_KPK  
    Fp wlV}:  
    VirtualLab可用于计算点列图。 o-L|"3 P  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 l kI8 {  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 B8`R(vu;  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 e6Wl7&@6  
    3S;>ki4(0  
    9. 焦平面上的结果 /,=Wy"0TJ  
    ": mCZUt  
    I:r($m  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 pZyb  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Bk\*0B  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm Sr4dY`V*:z  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 rOs)B21/  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    /+Wb6{lY  
    y.L|rRe@P  
    10. 总结 cpP.7ZR  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 B)_!F`9  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 P c/.*kOT  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。  "Nk`RsW  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ?FkQe~FN{  
    Lr!L}y9T+  
    WiPM <'  
    QQ:2987619807 BiVd ka  
     
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