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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) EX,>V,.UV  
    uwwR$ (\7  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 @16GF!.  
     `YhGd?uu$  
    1. 描述 nrac )W  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 =uP? ?E  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Xu$>$D# a  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 `v*HH}aDO  
     mjeJoMvN)H  
    2. 系统 YT(N][V  
    h"FI]jK|}  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    VD=H=Ju  
    3. 透镜系统组件编辑 mx Nd_{n  
    ;1k& }v&  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 ,54z9F`  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 QLqtE;;)JK  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 L(y70T  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 O}M-6!%<,  
     ON2o^-%=  
    Hw \of  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 t3<MoDe7`r  
    2` o @L  
    $ XjijD9R  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 'ZbWr*bo  
    ■ 可以选择选取光线的方法： 3h7RQ:lUi  
    — 在x-y-网格 )/RG-L  
    — 六边形 JR!-1tnc  
    — 自由选取 C4+DZ<pE  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     fyQOF ItM  
    tZ_'>7)  
    5. 系统的3维视图 JFT$1^n  
    *5)UIRd  
    VN`.*B|9[  
    6. 其他系统参数 3FBLCD3  
    ■ 系统由单色平面波照明 'Lu<2=a~  
    ■ 照明波长266.08nm EI_-5TtRD  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： Oeh A3$|#  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 z\ZnxZ@  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 JK$3qUDnI  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 dl4n -*h  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 jVff@)_S  
    YBt=8`r  
    q5;dQ8Y ?  
    L}h_\1  
    ~?\U];l  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 f,G*e367:  
    }0'LKwIR  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    jQ{ @ol}n  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    o/Ismg-p  
    Xg dBLb  
    q`xc h[H  
    Z^kE]Ir#EV  
    M%E<]H2;S  
    sOhn@*X  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 f@i#Znkf*?  
    HE&)N clY  
    5r5on#O&  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 =u2 z3$  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 yCQvo(V[F  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 IxbQ6  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 TiD#t+g  
     mG[jR*JW  
    9. 焦平面上的结果 $_S-R 3L\  
    ^yW['H6V  
    :E9pdx+  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Lm[,^k  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 URb8[~dR:  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm \c2x udU  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 o;@~uU  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     'g%:/lwA  
    [FBS|v#T  
    10. 总结 cN@_5  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 .i*oZ'[X  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 ]'5Xjcx  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ~vXbh(MX  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 f1vD{M ;  
    )0/9 L  
     rl}<&aPH  
    QQ：2987619807 jSjC43lh  
     
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