示例.0082(1.0) nZk+ ]a'99^?\ 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 vXE0%QE'Q
iE].&>w 1. 描述 F3Maqr y ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 5's~>up& ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 EGVM)ur ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 P8Qyhc
:-T*gqj| 2. 系统 o\VUD 3gEMRy*+ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
nz]&a1"& 3. 透镜系统组件编辑 ac{?+]8}
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 }UwO<#
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 3FE( }G
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 (p#0)C
■ 包括序列光学表面和光学介质。 }<a^</s
\M<3}t ;&b.T}Nf06 4. 光线追迹系统分析器-选项 cVnJ^*Z Z<?OwAWz Ifc]K?
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 *ISZlR\#
■ 可以选择选取光线的方法: q*7<)VwI
— 在x-y-网格 w >; L{
— 六边形 CusF/>
— 自由选取 58Xzup_"
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 tBbOY}.VD
]:M0Kj&h 5. 系统的3维视图 ZBT1Y.qA Zdc63fllM
k <iTjI*N 6. 其他系统参数 uo%P+om_} ■ 系统由单色平面波照明 T;TA7{B ■ 照明波长266.08nm Z<[<n0o1 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: bNs4 5hDP — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 <7SpEVQ — 一个虚拟屏位于焦平面 x!LQxoNF — 光束尺寸探测器置于焦平面 a8k; (/ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 `{k"8#4:qA Hb} X-6N W!Hm~9fz {9Y+.46S Dl(3wgA 7. 光线追迹系统分析器的结果 q;g>t5]a y;wx?1) 光线经过整个光学系统的三维视图
XR2~Q)@ 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
}D411228 gxz-R?. M5nWVK7c I-y#Ks1p+ O/AaYA& DI+]D~N 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 L37 Y+C// A1'hlAGF |8>3`w!
■ VirtualLab可用于计算点列图。 "k*PA\U
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 3.22"U\1:
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ;c~cet4
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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B~o\+n 9. 焦平面上的结果 {!6/x9>
- p3Re9
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 t!*+8Q!e
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 qmO6,T-|
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm &%})wZ+Dj
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 mxb(<9O
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 ~|<WHHN( R\o<7g-| 10. 总结 j83p)ido ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 0/S_e)U ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 R|O8RlH ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 C<KrMRWh^ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 (WJ${OW PH"n{lW.T
GKN%Tv:D_ QQ:2987619807 Wu4Lxv]B4