示例.0082(1.0) %~PcJhz bj}Lxc ], 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ij;NM:|Sd
xYCJO(& 1. 描述 A5J41yH ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ^h$*7u"^y ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 l=p_ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 \c4jGJ
P*BRebL: 2. 系统 6ICW>#fI` QMz =e 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
4pf@.ra, 3. 透镜系统组件编辑 't}\U&L.{
lUB?eQuN_
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 <O
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■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 $QwpoVp`~
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Mq)]2>"v
■ 包括序列光学表面和光学介质。 WM?-BIlT=
! e$ZOYe :Q> e54]'& 4. 光线追迹系统分析器-选项 XDJE]2^52? k:Y\i]#yP eZAMV/]jH
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ,\iHgsZ
■ 可以选择选取光线的方法: TLVsTM8P
— 在x-y-网格 QF/_?Tm4
— 六边形 G|KA!q
— 自由选取 i,r:R
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■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 `
= O =yZq]g6Q 5. 系统的3维视图 fV|uKs(W x)Bbo9J
#4O4,F>e 6. 其他系统参数 vvv'!\'# ■ 系统由单色平面波照明 '~&W'='b; ■ 照明波长266.08nm &L$9Ii ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: m%`YAD@2z — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Pgr2S I — 一个虚拟屏位于焦平面 ]|tg`*l!> — 光束尺寸探测器置于焦平面 I?}jf?!oM ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 kZz'&xdv'. GNMOHqg4 O|,9EOrP G-T^1? &M}X$k I 7. 光线追迹系统分析器的结果 +Pb:<WT}% W :]2Tp 光线经过整个光学系统的三维视图
_x<NGIz 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
YUEyGhkMV{ ~dr,;NhOLJ n8<?<-2 }8x+F2i sh_;98^ ]##aAh-P4& 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 F)hj\aHm k q k^FyZ< ^qR|lA@=\
■ VirtualLab可用于计算点列图。 4-.K<-T%D
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 .@,t}:lD
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 q-<DYVG+
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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6i[Ts0H%<! 9. 焦平面上的结果 !.,wg'\P
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 oN,1ig
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 tRdf:F\X
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm `xBoNQai
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 =NtHV4=b
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 gPKf8{#%e 8<C*D".T$ 10. 总结 |&= -Nm ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 [j0[c9.p[ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。
[Jt}^ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 v]V N'Hs? ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 NbU`_^oC @vlP)"
4[$:KGh3 QQ:2987619807 9S|sTf