示例.0082(1.0) l;F"m+B!$ OjU{r N* 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 UBo0c?,4
lH fZw})d 1. 描述 +Z#=z,.^ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 VO#rJ1J ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ?o<vmIge ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 /08FV|tX)
HOW<IZ^ 2. 系统 O{ :{P5 j
}~?&yB 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
{R$`YWk 3. 透镜系统组件编辑 (}#&HE<
Q\oa<R
D5
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 XY0kd&N8
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Y;af|?U*6:
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 t Cuvb
■ 包括序列光学表面和光学介质。 g%2G=gR$?z
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sY?C L F?/60 4. 光线追迹系统分析器-选项 MmJMx .0Ud?v>= _/[qBe
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 s>9I#_4]
■ 可以选择选取光线的方法: + V=<vT
— 在x-y-网格 )L<.;`g4x
— 六边形 2%/F`_XbP
— 自由选取 +\dVC,,=^g
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 lp*5;Ls'q Owp]>e 5. 系统的3维视图 DpHubqWz +Q&l}2
6/!:vsa"3 6. 其他系统参数 #y\O+\4e ■ 系统由单色平面波照明 ;QZG< ■ 照明波长266.08nm ,7nu;fOT[ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: >iyNZ]."\ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 g}9,U&$]y — 一个虚拟屏位于焦平面 ft"- — 光束尺寸探测器置于焦平面 wXNng(M7
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 a$W
O}g? o*T?f)_[p 6 `6I<OJ\ 8%4;'[UV :GvC#2p 7. 光线追迹系统分析器的结果 }#zL)+XI 2d[tcn$;h] 光线经过整个光学系统的三维视图
~XUUrg; 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
cfmwz~S6i dcKpsX c((3 B su0K#*P&I
$GoS?\G c coi 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 hl]d99Lc B"v*[p? #jbC@A9Pe
■ VirtualLab可用于计算点列图。 /{R
^J#
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 U" @5R[=F-
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 g.\b@0Uy'
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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WjBml'^RY 9. 焦平面上的结果 erI&XI
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Cq@7oi]W0
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 fD%/]`y
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 .p{lzI9
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm (R=ZI
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 dC<%D'L*
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 I/'>MDB! +s}!+I8P 10. 总结 28JVW3&) ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 9#H0|zL ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 H:b"Vd"x9 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 xpZ@DK; ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 (,"%fc7<i . (&6gB
Qfe u3AT QQ:2987619807 oVqx)@$K