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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) %Q2<bj]  
    1TIP23:  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 m@2;9  
    d0"Xlle ld  
    1. 描述 Jd0I!L  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 UrhSX!g/A>  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 $RJpn]d j  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 h,u?3}Knnb  
    {:!CA/0Jx  
    2. 系统 teDO,$  
    41'|~3\X  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    yo=0Ov  
    3. 透镜系统组件编辑 CPj8`kl  
    p~!UE/V  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Sph:OX8  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 &!=[.1H<  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Y8$,So>~  
    包括序列光学表面和光学介质。 xD|CQo}:  
    ,^#{k!uaC{  
    ]= EYju@  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 =SEgv;#KZ~  
    tXWh q  
    f(r=S Xa*  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 UOwEA9q%  
    可以选择选取光线的方法: +l8`oQuG  
    — 在x-y-网格 ha -KfkPFE  
    — 六边形 BA 9c-Ay  
    — 自由选取 / ~\ I  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    ),u)#`.l G  
    +YA,HhX9  
    5. 系统的3维视图 i;GF/pi  
    zZ11J0UI  
    j$u=7Z&E  
    6. 其他系统参数 3{j&J-  
    系统由单色平面波照明 "dN4EA&QJ  
    照明波长266.08nm $ZEwz;HNo  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: {"x>ewAf  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 (X?'}Ur  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 " Om4P|  
    光束尺寸探测器置于焦平面 ^ rB7&96C,  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 6|O2i j-J  
    w.2[Xx~  
    *;noZ9{"+  
    zK P{A Sk  
    F6$QEiDu@  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 `c )//o  
    0M=U >g)  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    9:\YEs"  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    "yo~;[  
    E Pgn2[z  
    13X\PO'9  
    r-,P  
    *co=<g]4KY  
    ofu {g  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 r{Cbx#;  
    <Z -d5D>  
    ~ }g"Fe  
    VirtualLab可用于计算点列图。 !4blX'<w  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 e7cqm*Qi  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 bhqs%B!:  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 5^}"Tn4I  
    l?AWG&  
    9. 焦平面上的结果 F*bmV>Qq  
    k^vsQ'TD  
    iLyJ7zby  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 1syI%I1  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 <1L?Xhoc6  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm aUBGp: (  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 r@XH=[:  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    DAPbFY9  
    )l|/lj  
    10. 总结 8)1 k>=  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 z TM1 e  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 VEuT!^0Z  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Y@+e)p{  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 X;hV+| Bo  
    F_?aoP&5  
    :JEzfI1  
    QQ:2987619807 OjUZ-_J  
     
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