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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) tJHzhH)  
    ]0m4esK`  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ut-UTW  
    YroKC+4"i  
    1. 描述 [2)Y0; ["  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 )vuxy  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 $G*$j!  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 4~G9._  
    qr<5z. %  
    2. 系统 'ky'GzX,  
    V-7!)&q  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    (O&ooM* o  
    3. 透镜系统组件编辑 (]mN09uE  
    .f(x9|K^  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 8 A%)m  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 \P{VJ^) 0  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 5zfaqt`  
    包括序列光学表面和光学介质。 X`J~3s  
    G9Xrwk<g4  
    Qs;bVlp!H  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 dLQ!hKD~  
    ZL1[Khr,s  
    +sgishqn9  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 EkOBI[`  
    可以选择选取光线的方法: E8FS jLZ  
    — 在x-y-网格 SwSBQq%h]M  
    — 六边形 8#7z5:_  
    — 自由选取 GbStqR~^#  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    h\D y(\  
    /A <L  
    5. 系统的3维视图 G.T}^ xHmL  
    IU Dp5MIuR  
    \!G&:<h  
    6. 其他系统参数 -] J V  
    系统由单色平面波照明 RUO,tB|(_;  
    照明波长266.08nm 8 b|&  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Y}nE/bmx&9  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 `;QpPSw+  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 8LR_K]\  
    光束尺寸探测器置于焦平面 g%RL9-z  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 a8Ci 7<V  
    roW8 4x  
    E(TL+o  
    =<a`G3SY!  
    3}LTEsdM  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 .rN 5A+By`  
    ;t"#7\  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    [",W TZ:  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    XY0Gjo0  
    )ZNH/9e/  
    I.q nA  
    QXgh[9w G  
    3{]i|1&j  
    0P%(4t$pd  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 8n);NZ  
    ^aXyho  
    H$;K(,'  
    VirtualLab可用于计算点列图。 }2V|B4  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 vpOzF>O  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ]}KmT"vA  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 rJ9a@n,  
    dO rgqz`e  
    9. 焦平面上的结果 4wBMBCJ;P  
    e~nmIy  
    }MXZ  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 VJZ   
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 /g@.1z1w  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm R}>Gk  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 K^s!0[6  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    ?sp  
    !t~S.`vF  
    10. 总结 q=UKL`;C}U  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 &[qL l  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 F~{yqY5]n  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Q[`_Y3@j  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 N;<<-`i  
    XSn^$$S  
    sT'wps2  
    QQ:2987619807 _%z)Y=Q  
     
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