示例.0082(1.0) wfL-oi'5 uV-'~8 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 _ ~RpGX
]u-]'P 1. 描述 22<0DhJ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 @\oz4^ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 cWGDee( ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 }),w1/#5u8
b96%") 2. 系统 <D&)OxEn\ &~UJf4b|A 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
i`/+,< 3. 透镜系统组件编辑 FG3UZVUg9
UY2X
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 e}@)z3Q<l
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ~A<H9Bw
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 V>64/
■ 包括序列光学表面和光学介质。 _UE)*l m+
U7xmC bsxTqJ 4. 光线追迹系统分析器-选项 1iL'V-y J`IDlGFYp 4`Nt{
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 58%'UwKn
■ 可以选择选取光线的方法: '6$*YN&5
— 在x-y-网格 v{i7h|e
— 六边形 Mfk2mIy
— 自由选取 e&MC|US=\
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 >vrxP8_
<]C$xp<2 5. 系统的3维视图 k{tMzx]F__ SxyONp.$\
(vR 9H(# 6. 其他系统参数 Y=Z1Tdxa| ■ 系统由单色平面波照明 EA.D}X C ■ 照明波长266.08nm vN4Qdpdb ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Vh3Ijn — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 2;L|y._`w — 一个虚拟屏位于焦平面 E^_wI> — 光束尺寸探测器置于焦平面 IdIrI ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 p
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\ Mh(]3\ k~%<Ir1V] 53HU. 7. 光线追迹系统分析器的结果 `"i Y* CV$],BM 光线经过整个光学系统的三维视图
|o'Q62`%} 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
-K(fh#<6KO *?QE2&S: &"_u}I&\ rOW-0B+N JB</euyV 0.r4f'vk 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
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( z ,3v+PIcMM+ -Z4{;I[Q@
■ VirtualLab可用于计算点列图。 6,1b=2G
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 {^{p,9
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 k>}g\a,
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
gB\T[RV
\&V0vN1 9. 焦平面上的结果 h:XzUxL\
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v]2S`ffP
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ZaFb*XRgS
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 GwsY-jf
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm R cY>k
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 ;;5Uwd'-
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 A]`El8_t" ezhDcI_T 10. 总结 A6<C-1
N}j ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 `&M{cfp_ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 *y`%]Hy< ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ZA~Z1Mro#" ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ^IZ)#1U `\=Gp'&Q+
M"q[ p QQ:2987619807 f#%JSV"7