切换到宽版
广告投放
稿件投递
繁體中文
光行天下旗下网站:
光行天下
光行天下社区
人才天下
团购天下
光行天下APP
下拉
用户名
UID
电子邮箱
用户名
密 码
记住登录
登录
找回密码
注册
快捷通道
关闭
您还没有登录,快捷通道只有在登录后才能使用。
立即登录
还没有帐号? 赶紧
注册一个
首页
资讯
技术
团购
招聘求职
会议展览
技术培训
书籍
新鲜事
充值
VIP会员
交流社区
随便看看
我的新鲜事
我关注的
关注我的
提到我的
我的主题
我的回复
我的收藏
我的日志
我的积分
我的资料
我的任务
我的打卡
我的兑换
我的邀请码
帖子
文章
日志
用户
版块
群组
帖子
搜索
热搜:
zemax
lucidshape
非球面
目镜
tracepro
光谱仪
光子
Zemax光学设计从入门到精通
Zemax光学设计从基础到实践
Zemax光学设计实践基础(陈家璧)
ZEMAX光学系统设计实战
讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商
光学设计与光学元件
CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape
计算光学带来的成像革命
光行天下
>
FRED,VirtualLab
>
受粗糙光栅表面影响的光栅级次效率分析
发帖
回复
返回列表
新帖
1300
阅读
0
回复
[分享]
受粗糙光栅表面影响的光栅级次效率分析
[复制链接]
上一主题
下一主题
离线
infotek
UID:317649
注册时间
2020-06-19
最后登录
2025-07-08
在线时间
1811小时
发帖
5987
搜Ta的帖子
精华
1
光币
24088
光券
0
访问TA的空间
加好友
用道具
科学家
关闭
个人中心可以申请新版勋章哦
立即申请
知道了
发帖
5987
光币
24088
光券
0
加关注
发消息
只看楼主
倒序阅读
楼主
发表于: 2020-11-26
该案例介绍了一个正弦
光栅
的
仿真
,该光栅表面具有随机变化的粗糙度
结构
。此外,分析了对
衍射
级次的影响,特别是衍射效率。
pm=O.)g4`
%>+lr%B
1. 建模任务
x^)?V7[t
{:"<E?+
j~\FDcG*ed
一个正弦光栅不同衍射级次的严格分析和
优化
。
,sc#l<v
对于该仿真,采用傅里叶模态法。
53aJnxX
M x,5
2. 建模任务:正弦光栅
C TG^lms
Ww8U{f
x-z方向(截面视图)
U1/I(w
6P>Y2xV:
W^^0Rh_
光栅
参数
:
=/'>.p3/S
周期:0.908um
XQ[\K6X5
高度:1.15um
^kcuRJ0*$
(这些参数提供了一个具有均匀分布传输效率0级和±1级衍射级次,详见案例341)
eSObOG/
7Z:HwZ
3. 建模任务
FLQke"6i0:
v `/nX->
X:`=\D
PtUS7[]
|*J;X<Vm
VirtualLab
光栅工具箱提供的光栅级次分析器,可对光栅衍射效率进行严格的计算。
V+1c<LwT
$~:ZzZO
利用该分析器,也可以分别计算出现的每个衍射级次的衍射效率。
@Yb8CB
WLU_t65
:,p3&2I
: ^}!"4{
4. 光滑结构的分析
@ ^F{
{}'Jr1
|b='DJz2
9(HGe+R4o
计算衍射效率后,结果可在级次采集图中显示。
6@#=z
对于光滑结构,参数平稳,0级和±1衍射级次的传输效率大约为32%
4IW90"uc
R6 ej
ts[8;<YD
}T}c%p
5. 增加一个粗糙表面
{-7ovH?
T7ShE-X
_+)OL-
VirtualLab光栅工具箱可将两个界面进行组合(如添加)。
d=+zOF
因此任意光栅形状(如正弦光栅)可以与粗糙表面组合,形成粗糙光栅面型。
2<0".5+I
`xv Uq\
]S?G]/k}
R3_;!/1
[m< jM[w{
A6_ER&9$>N
?T%"Jgy8
该粗糙面有可通过几个选项来实现表面的变化(如周期化)。
(]mBAQ#hw
第一个重要的
物理
参数称为”最小特征尺寸”。
SLkgIb~'X
第二个重要的物理参数是定义”总调制高度”。
{be|G^.c
b?Q$UMAbH
?en-_'}~a
*R4=4e2#S
6. 对衍射级次效率的影响
c3fi<?0&|
G^ <m0ew|
H 9/m6F
粗糙度参数:
T[[E )f1[
最小特征尺寸:20nm
*pS3xit~
总的调制高度:200nm
"3 2Ua3m:G
高度轮廓
>3 p8o@:
[}Rs
""V\hHdp
<Cs9$J
Y~( 8<`^
效率
gQhYM7NP{5
qa:muW
粗糙表面对效率仅有微弱的影响
|,.1=|&u
GmUm?A@B
[UdJ(cGf
粗糙度参数: 最小特征尺寸:20nm
`tH F}
总调制高度:400nm 高度轮廓
!L|VmLqa
*6_>/!ywI
ZW;Re5?DJ
Zn|lL0b{q
效率
.Q</0*sp
%AT/g&M&1#
由于粗糙表面的总调制高度变大,±1级衍射效率发生轻微不对称。
4rCw#mVtB
-DZ5nx
粗糙度参数:
7we='L&R
最小特征尺寸:40nm
w1F)R^tU
总调制高度:200nm
N-p||u
高度轮廓
V+})$m*>
WT 5 2
gz:US77
A i#~Eu*
效率
Kx;l a
Aba%QQQ
@Ko}Td&E(
[4])\q^q
更大的”最小特征尺寸”降低了0级衍射的透射效率。
=jG."o
qssK0!-
=':SOO7
粗糙度参数:
|hvclEu,
最小特征尺寸:40nm
>n&+<06
全高度调制:400nm
j3?@p5E(
高度轮廓
k_OzkEM9!
8X\":l:
$U^ Ms!'L
效率
|t58n{V.O
9~r8$,e
QcdAg%"yy
pe\]}&
<{HV|B7
对于较粗糙的表面,0级衍射效率大幅降低,而且±1级衍射效率的不对称性增大。
y&F&Z3t
[GW;RjPE
7. 总结
uH} }z !
VirtualLab的光栅工具箱可对任意形状光栅结构进行严格分析(如包含一个附加粗糙面的正弦光栅)。
0bQ"s*K
对于这种类型的分析,VirtualLab中采用全矢量傅里叶模态法。
99Nm? $g
光栅级次分析器能够计算全部或特定衍射级次的衍射效率。
S]c&